JPH0143902B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面疵検査機構の創案に係り、鋼板な
どにおける表面疵の検出を的確化すると共に表面
疵の種別や状態の如きをも適切に判別することの
できる表面疵検査機構を提供しようとするもので
ある。

鋼板等の移動する帯状体又は切板のように連続
的に順次送られる板状体の表面疵を検査するため
の装置として光学的走査手段が用いられているこ
とは公知の通りであり、この光学的走査手段とし
てフライングスポツト（飛点走査）又はフライン
グイメージ（イメージセンサーを含む飛像走査）
などが採用され、これらのものは何れも上記のよ
うな被検査材検査面をその移動方向を横断せしめ
て光学的に走査し、欠陥部における反射光量又は
透過光量の変化を受光手段として用いられた受光
素子で検知するものである。ところでこのような
表面疵検査機構で前記欠陥部で得られる光量変化
は被検査材の平均反射率のむらに比較してそれな
りに小さいものでも検知する必要があり、このた
め微分回路を設けて極部的変化を拡大せしめてキ
ヤツチし、又緩漫な光量変化を検知しないように
することが行われている。然るに上記したような
鋼板等の表面欠陥部（疵）はその種類によつて反
射光量の増加するものの外に反射光量が却つて減
少するものがあり、又欠陥部の幅によつて出力パ
ルス幅も異ることになり、このような種々に異つ
た様相を示す反射光量変化によつて適切な検出結
果を得難い不利がある。

本発明は上記したような実情に鑑み検討を重ね
て創案されたものであつて、前記したように種々
に異る欠陥部からの出力波形を適切に識別せし
め、その欠陥部の種類を分類して有効且つ的確な
検出結果を得しめるようにしたものであり、その
要旨とするところは、上記のような帯状体又は切
板の如きである移動走行被検査物の表面を該被検
査物の移動方向に交叉せしめて走査し、該走査線
上の欠陥部を光学的手段により検出するようにし
たものにおいて、前記光学的手段として用いられ
た受光素子の出力を微分増幅器回路と非微分アナ
ログ遅延回路に分岐せしめ、前記微分増幅器回路
出力の欠陥検出パルスにより上記した非微分アナ
ログ遅延回路出力を一定時間だけ出力させ、欠陥
出力波形の極性およびパルス幅を判定する回路を
介して検出出力を得しめるようにしたものであ
る。

即ち本発明によるものの具体的な実施態様を添
付図面に示すものについて説明すると、上記した
ような受光素子１からの出力を第１図に示すよう
に微分増幅回路２と非微分アナログ遅延素子回路
５とに分岐せしめ、その微分増幅器回路２の出力
をコンパレータ４に送つて欠陥部のパルスを強調
せしめると共に欠陥部以外の反射光量むらを減衰
させて欠陥部のみのパルス出力が得られるように
し、該欠陥部パルス出力ニを疵検出出力部１０に
送ると共に再トリガーモノマルチ６に送り、該モ
ノマルチ６からの信号を前記アナログ遅延素子回
路５に連結されたアナログスイツチ７に送るよう
に成つている。又このアナログスイツチ７には疵
極性判定回路８，８ａが連結され、これらの回路
にはおよびの各判定レベル回路１８，１８ａ
が設けられていて、それぞれの疵極性を判定し、
又それら判定回路８，８ａに各疵幅判定回路９，
９ａが連結され、その疵幅を判定するように成つ
ている。１４はコンパレータ４に附設された検出
レベル設定回路を示す。

上記したような本発明の構成によるものについ
て第１図に示したイ〜リの各部での出力波形は第
２図において示す通りであり、又上記した従来の
ものにおける出力波形については別に第３図と第
４図に示す通りである。即ち先ず第３図に示すよ
うに受光素子出力波形において平均反射光量が平
均ラインＳ…Ｓより減少している部分において
側に光量の増加する欠陥部があつても側検出レ
ベルに達しないこととなり、光量増加として判定
できない。又第４図の上段に示すような出力パル
スの場合に走査光が欠陥部を通過し同図下段のよ
うな微分出力が出たならばその疵種などの判別が
できない。このような従来のものに対し第２図に
分析的に示した本発明のものにおいては、そのイ
に示すような欠陥部ａを適宜に検出した受光素子
１からの出力波形は微分増幅器回路２においてロ
のような微分波形として得られ、このものの両端
部（被検査材の端縁）が消却されて同図ハのよう
になつてコンパレータ４に送られ、該コンパレー
タ４における前記のような作用で同図ニのような
明確な疵検出パルス信号が得られる。一方アナロ
グ遅延素子回路５からは第２図ホのような出力波
形が得られるが、これに対し再トリガーモノマル
チ６からの同図ヘに示すような欠陥部出力パルス
がアナログスイツチ７に入り、該アナログスイツ
チ７を一定時間ｔだけ開いて同図トに示すような
波形のパルスが疵極性判定回路８，８ａに入り、
この場合において側判定回路９における出力は
第２図のトの如くであるが、側判定回路９ａに
おける出力は第２図のチのようになり、即ち検出
された疵の極性をこれらの判定回路９，９ａにお
いて判定し、疵種別、状態および大きさを求める
ことができる。と共にその疵幅Ｗも的確に判別し
得る。

以上説明したような本発明によるときはこの種
光学的手段によつて走行移動する鋼板等の被検査
材を検査するに当り、的確な検出結果を得しめる
と共に疵の種類や疵幅のような形態の如きをも適
切に識別して好ましい検査結果を提供するもので
あるから工業的にその効果の大きい発明である。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の技術的内容を示すものであつ
て、第１図は本発明による機構構成を電気的に略
解した説明図、第２図はその各部によつて得られ
る出力パルスの形態を分析的に示した説明図、第
３図と第４図は従来のこの種光学的検査機構につ
いての出力パルスに関する説明図である。 然してこれらの図面において、１は受光素子、
２は微分増幅器回路、４はコンパレータ、５は非
微分アナログ遅延素子回路、６は再トリガーモノ
マルチ、７はアナログスイツチ、８，８ａは疵極
性判定回路を示すものである。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 移動する鋼板等の被検査物の表面を該被検査
   物移動方向に交叉せしめて走査し、該走査線上の
   欠陥部を光学的手段により検出するようにしたも
   のにおいて、前記光学的手段として用いられた受
   光素子の出力を微分増幅回路と非微分アナログ遅
   延回路に分岐せしめ、前記微分増幅回路の出力を
   コンパレータに送つて得られる欠陥部のみの検出
   パルスを上記した非微分アナログ遅延回路に設け
   られたアナログスイツチ回路に送つて該非微分ア
   ナログ遅延回路の信号を一定時間だけ出力せし
   め、この出力を夫々レベル回路の附設された各疵
   極性判定回路に連結して極性およびパルス幅から
   疵種別、状態および大きさを求めるようにしたこ
   とを特徴とする表面疵検査機構。