JPH01320453A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH01320453A JPH01320453A JP15419688A JP15419688A JPH01320453A JP H01320453 A JPH01320453 A JP H01320453A JP 15419688 A JP15419688 A JP 15419688A JP 15419688 A JP15419688 A JP 15419688A JP H01320453 A JPH01320453 A JP H01320453A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、被検査体の外観の良否判定を行う外観検査装
置に関し、より詳細にはモールド製品、特にモールドギ
ヤのショート不良、だれ不良等の選別に適用しうる外観
検査装置に関するものである。
置に関し、より詳細にはモールド製品、特にモールドギ
ヤのショート不良、だれ不良等の選別に適用しうる外観
検査装置に関するものである。
このモードルギヤの成形不良には、■ショート不良と呼
ばれる歯部の長さが正常歯部と比べて短い不良と、■だ
れ不良と呼ばれる歯部の先端の形状が丸くなってしまう
不良がある。
ばれる歯部の長さが正常歯部と比べて短い不良と、■だ
れ不良と呼ばれる歯部の先端の形状が丸くなってしまう
不良がある。
このようなモールドギヤの歯部の外観検査の手段として
、被検査体を照明する照明装置と、該照明装置により照
明された被検査体の表面をti像する撮像装置と、該撮
像装置の映像出力より上記被検査体の表面状態に応じた
信号を抽出する信号処理部とを備えた外観検査装置があ
り、上記照明手段として、透過照明が用いられている。
、被検査体を照明する照明装置と、該照明装置により照
明された被検査体の表面をti像する撮像装置と、該撮
像装置の映像出力より上記被検査体の表面状態に応じた
信号を抽出する信号処理部とを備えた外観検査装置があ
り、上記照明手段として、透過照明が用いられている。
すなわち、この照明手段は、第13図に示すようにベル
トコンベア1より流されてくるモールドギヤ2を、撮像
装置としてのrTVカメラ4のところで停止させ、カメ
ラの反対側よりハロゲンランプ等の光源3を用いて、ギ
ヤの歯部部分を照明する。これにより、歯部部分は、光
を通さないので黒くなり、それ以外の部分、つまり、光
が透過した部分は白くなって、カメラに画像入力され、
画微処理される。
トコンベア1より流されてくるモールドギヤ2を、撮像
装置としてのrTVカメラ4のところで停止させ、カメ
ラの反対側よりハロゲンランプ等の光源3を用いて、ギ
ヤの歯部部分を照明する。これにより、歯部部分は、光
を通さないので黒くなり、それ以外の部分、つまり、光
が透過した部分は白くなって、カメラに画像入力され、
画微処理される。
従来の透過照明による外観検査では、良否判定する歯部
部分が小さいので、1度に1枚のギヤ全部の歯部を検査
すると、良否判定が困難となるので、歯部部分を拡大し
て検査を行っている。
部分が小さいので、1度に1枚のギヤ全部の歯部を検査
すると、良否判定が困難となるので、歯部部分を拡大し
て検査を行っている。
従って、1回の外観検査を行うギヤの歯数は少なくなり
、1枚のギヤ全部の歯部を検査する検査時間は遅くなる
。
、1枚のギヤ全部の歯部を検査する検査時間は遅くなる
。
また透過照明では、歯の丈が短かいショート不良に関し
ては、モールドギヤの画像は第9図、第10図のように
なり、黒部としてあられれる正常な歯部Glと黒部とし
てあられれるショート・不良の歯部G2どで面積値の差
が明瞭であるので信頼性は高く検査できるが、歯部に異
常な丸味をおびただれ不良に関しては、最外輪部を影と
して検知するので第11図、第12図のようになり、正
常な歯部G3とだれ不良の歯部G、1との面積値の差は
小さく、さらにごみ等がだれ不良の歯部に付着すると良
品の歯部部分の面積値と略等しくなってしまい、このた
めだれ不良の判別は霞しいという間層がある。
ては、モールドギヤの画像は第9図、第10図のように
なり、黒部としてあられれる正常な歯部Glと黒部とし
てあられれるショート・不良の歯部G2どで面積値の差
が明瞭であるので信頼性は高く検査できるが、歯部に異
常な丸味をおびただれ不良に関しては、最外輪部を影と
して検知するので第11図、第12図のようになり、正
常な歯部G3とだれ不良の歯部G、1との面積値の差は
小さく、さらにごみ等がだれ不良の歯部に付着すると良
品の歯部部分の面積値と略等しくなってしまい、このた
めだれ不良の判別は霞しいという間層がある。
本発明は1つの被検査体の外観検査時間を短縮すると共
に、ごみ等の付着による影響を少なくして信頼性を向上
した外観検査装置を提供することを目的としている。
に、ごみ等の付着による影響を少なくして信頼性を向上
した外観検査装置を提供することを目的としている。
CHMを解決するための手段〕
上記目的を達成するために1本発明の外観検査装置にお
いては、被検査体を照明する照明装置は、撮像装置側よ
り被検査体の表面を照明するとともに、被検査体の表面
に照明する光束を平行光にしている。
いては、被検査体を照明する照明装置は、撮像装置側よ
り被検査体の表面を照明するとともに、被検査体の表面
に照明する光束を平行光にしている。
照明方法を、従来の透過照明から、直射照明に変えたこ
とにより、形状不良部分での反射光は乱反射してしまい
、正常に形成された部分からの反射光と比べて光量に差
が生じて撮像装置に入力される。
とにより、形状不良部分での反射光は乱反射してしまい
、正常に形成された部分からの反射光と比べて光量に差
が生じて撮像装置に入力される。
本発明に係る外観検査装置は、照明装置と、撮像装置と
、信号処理部とにより構成されている。
、信号処理部とにより構成されている。
第1図において、照明装置は符号5で示され。
点光源としてのハロゲンランプ5Aと、ハロゲンランプ
の光を平行光にするためのレンズ系5Bを有している。
の光を平行光にするためのレンズ系5Bを有している。
本実施例では、このレンズ系5Bは光源側が凹で、被検
査体側が凸のレンズを用いている。
査体側が凸のレンズを用いている。
図に示す通り、照明装置5はベルトコンベア1上のモー
ルドギヤ2の上方っまりITVカメラ4と同じ側に設置
されている。
ルドギヤ2の上方っまりITVカメラ4と同じ側に設置
されている。
なお、点光源としては、ハロゲンランプでなくともよい
。
。
撮除装置としてのITVカメラ4は前述の通り、ベルト
コンベアlの上方に設置されている。
コンベアlの上方に設置されている。
次に、信号処理部6はITVカメラ4に接続されており
、その構成部分であるA/Dコンバーター6A、画像メ
モリ60.制御部6cの順に情報が伝えられ画像信号が
処理される。
、その構成部分であるA/Dコンバーター6A、画像メ
モリ60.制御部6cの順に情報が伝えられ画像信号が
処理される。
画像信号の処理プロセスは後述する第2図に示す通りで
ある。
ある。
次に検査のプロセスを第1図の例に即して説明する。
(1)被検査体としてのモールドギヤ2をベルトコンベ
アlにより、ITVカメラ4の搬像位置まで運び、照明
装置5で歯部部分をmtbする。
アlにより、ITVカメラ4の搬像位置まで運び、照明
装置5で歯部部分をmtbする。
(2)次に、このモールドギヤ2を少し回転させ、別の
歯部部分をITVカメラ4により撮像する。
歯部部分をITVカメラ4により撮像する。
これを1枚のモールドギヤの歯部全部について行う。
(3)上記(2)の過程でITVカメラ4がらの画像を
信号処理部6で入力し信号処理する。
信号処理部6で入力し信号処理する。
信号処理の手順は第2図の流れに従うので、以下第2図
のステップ順に説明する。
のステップ順に説明する。
(ステップ■)。
モールドギヤの歯部部分がカメラの撮像位置まで運ばれ
たことを、図示されないセンサーにより検知して、この
検知信号によりカメラが撮像を開始する。
たことを、図示されないセンサーにより検知して、この
検知信号によりカメラが撮像を開始する。
カメラからの画像信号は、信号処理部に入力され、信号
処理部では、この画像を、256階調の輝度(濃度)に
分けて、′a淡両画像作成し、画像メモリに取り込む。
処理部では、この画像を、256階調の輝度(濃度)に
分けて、′a淡両画像作成し、画像メモリに取り込む。
なお、添付の写真(第3図、第5図)は。
全て濃淡画像の時のものである。
(ステップ■)。
濃淡画像の輝度のある値を設定し、それを基準レベルと
して、二値化し、画像メモリに取り込む。本実施例では
、添付の写真(第3図、第5図)の灰色の部分を黒い部
分0と同じにOとなるように二値化レベルを設定する。
して、二値化し、画像メモリに取り込む。本実施例では
、添付の写真(第3図、第5図)の灰色の部分を黒い部
分0と同じにOとなるように二値化レベルを設定する。
(ステップ(↓)。
二値化レベルの設定に基き二値化された画像を画像メモ
リに収納する。
リに収納する。
(ステップ■)。
このように二値化された画像において、予め設定された
画像処理をする領域のデータだけを画像メモリから抽出
する。本実施例では。
画像処理をする領域のデータだけを画像メモリから抽出
する。本実施例では。
上記の領域を歯部の先端から根元までとし、この根元部
分とは、歯部と、となりの歯部とがそれぞれ切り離され
た状態、即ち1つ1つの歯部のブロックとなるようなと
ころである。
分とは、歯部と、となりの歯部とがそれぞれ切り離され
た状態、即ち1つ1つの歯部のブロックとなるようなと
ころである。
この例では、二値化画像の予め設定された画像処理をす
る領域のデータをメモリから抽出する方法を用いている
が、この例に限らず。
る領域のデータをメモリから抽出する方法を用いている
が、この例に限らず。
例えば二値化画像の全領域を膨張、縮小処理して検査し
たいデータを抽出してもよい。
たいデータを抽出してもよい。
(ステップ■)。
次に、上記の予め設定された画像処理をする領域を、ス
キャニングしていき、最初に現れた白い部分を1として
画像メモリに読み込み、この白い部分に隣接した白い部
分には1をメモリさせ、この1の白い部分とはg接して
いない場所にある次の白い部分には、2を画像メモリに
読み込んでいく。このようにして、上記領域の全てにつ
いておこなっていき、この1とメモリされた白い部分の
集合体、即ち歯部を1とし、次に2をメモリされた歯部
を2というように番号を付けていく。
キャニングしていき、最初に現れた白い部分を1として
画像メモリに読み込み、この白い部分に隣接した白い部
分には1をメモリさせ、この1の白い部分とはg接して
いない場所にある次の白い部分には、2を画像メモリに
読み込んでいく。このようにして、上記領域の全てにつ
いておこなっていき、この1とメモリされた白い部分の
集合体、即ち歯部を1とし、次に2をメモリされた歯部
を2というように番号を付けていく。
(ステップCD)。
番号が付けられた歯部の1つ1つについて。
面積値を例えば番号順に計算し、画像メモリにそれぞれ
読み込んでいく。
読み込んでいく。
(ステップ■)。
予め歯部部分の良否判定の面積値を基準値として設定し
ておき、この基準値と、上記計算より求められた面積値
との大小を比較する。
ておき、この基準値と、上記計算より求められた面積値
との大小を比較する。
(ステップ())。
基準値と測定値の比較から良否を判定する。
上記ステップ■からステップ9までのプロセスに従う画
像処理を、1枚のモールドギヤの歯部全部について行う
。
像処理を、1枚のモールドギヤの歯部全部について行う
。
なお、二値化画像を用いずに、濃淡画像を用いて良否判
定を行うこともできる。その場合は、カメラから取り込
まれた被検査体の画像信号は256階調の輝度に分けら
れ、濃淡画像が作成される。
定を行うこともできる。その場合は、カメラから取り込
まれた被検査体の画像信号は256階調の輝度に分けら
れ、濃淡画像が作成される。
この作成された濃淡画像上、スキャニングしていき、予
め設定しておいた基準の輝度より明るい値をもつ画素数
を求め、その画素数によって良否の判定を行う。
め設定しておいた基準の輝度より明るい値をもつ画素数
を求め、その画素数によって良否の判定を行う。
このようにして直接照明によって検査した場合。
ショート不良に関しては、モールドギヤの画像は第3図
、第4図のように正常な歯部Gl (白部)とショート
不良の歯部G2 (白部)との面積値の差が明確にあら
れれる。すなわち、灰色部分7は乱反射部分を示し、黒
部とみなして扱い白部のみを比較対象となし得るからで
ある。なお、照明方法の相違により歯部と空間部の白黒
が従来例(第9図。
、第4図のように正常な歯部Gl (白部)とショート
不良の歯部G2 (白部)との面積値の差が明確にあら
れれる。すなわち、灰色部分7は乱反射部分を示し、黒
部とみなして扱い白部のみを比較対象となし得るからで
ある。なお、照明方法の相違により歯部と空間部の白黒
が従来例(第9図。
第10図)と逆転している。
同様に、だれ不良に関しても、第5図、第6図に示すよ
うに正常な歯部G3 (白部)とだれ不良の歯部G4
(白部)との面積値の差が従来の第11図、第12図の
例と比較して明らかなように明確にあられれる。
うに正常な歯部G3 (白部)とだれ不良の歯部G4
(白部)との面積値の差が従来の第11図、第12図の
例と比較して明らかなように明確にあられれる。
その理由は、次のように説明できる。
正常な歯部に照明された場合は第7図に示されるように
光源からの平行光は、歯部部分の表面にθaで照射され
、一定の角度Obで反射されてITVカメラに入力され
るので乱反射する部分、即ち、第5図の符号G3に示さ
九る部分に対応する第6図の該当部の灰色部分は小さく
なっている。
光源からの平行光は、歯部部分の表面にθaで照射され
、一定の角度Obで反射されてITVカメラに入力され
るので乱反射する部分、即ち、第5図の符号G3に示さ
九る部分に対応する第6図の該当部の灰色部分は小さく
なっている。
これに対し、不良な歯部に照明された場合は第8図に示
されるように例えばだれ不良を生じている部分の歯部の
断面は、歯部の先端が丸くなっており、乱反射をおこす
部分が多く、従って、ITVカメラに入力される光量に
差が生じるので、第5図の符号G4に示される部分に対
応する第6図の該当部の灰色部分は大きくなっている。
されるように例えばだれ不良を生じている部分の歯部の
断面は、歯部の先端が丸くなっており、乱反射をおこす
部分が多く、従って、ITVカメラに入力される光量に
差が生じるので、第5図の符号G4に示される部分に対
応する第6図の該当部の灰色部分は大きくなっている。
なお、実施例において、照明装置とme装置との角度は
Oa=θbの関係が成立すればよく、半透明鏡を用いて
光路を分割し、同一光軸上に設けることもできる。
Oa=θbの関係が成立すればよく、半透明鏡を用いて
光路を分割し、同一光軸上に設けることもできる。
本例では、直接照明により正常部と成形不良部で明るさ
に差が発生することを利用し、これをカメラから取り込
み、正常部と成形不良部が分離できるように二値化し、
その画素数で正常と成形不良を判別するのであるから、
正常部と不良部とで明瞭に差が生じ、従来の透過照明に
よる外観検査装置と比べて大きく拡大しなくても十分に
良品。
に差が発生することを利用し、これをカメラから取り込
み、正常部と成形不良部が分離できるように二値化し、
その画素数で正常と成形不良を判別するのであるから、
正常部と不良部とで明瞭に差が生じ、従来の透過照明に
よる外観検査装置と比べて大きく拡大しなくても十分に
良品。
不良品の選別を行い得る。よって1回の測定に取り込め
る測定範囲が広くなり、検査時間の大幅な短縮を図るこ
とができる。例えば、従来16秒要した検査時間が2秒
に短縮された。
る測定範囲が広くなり、検査時間の大幅な短縮を図るこ
とができる。例えば、従来16秒要した検査時間が2秒
に短縮された。
さらに、直接照明にしたので、だれ不良である先端の丸
くなった部分があれば該部で乱反射が生じ、正常な歯部
の先端と比べて光量の差が明瞭にあられれ、よって、従
来の透過照明では判別の難しかっただれ不良についても
確実な良否判定が可能となった。
くなった部分があれば該部で乱反射が生じ、正常な歯部
の先端と比べて光量の差が明瞭にあられれ、よって、従
来の透過照明では判別の難しかっただれ不良についても
確実な良否判定が可能となった。
本発明は、モールド製品全般について用いることが可能
である。モールド製品は成形不良の場合、角が丸いのが
常であるからである。
である。モールド製品は成形不良の場合、角が丸いのが
常であるからである。
本発明では、直射照明により検査するため、検査対象の
正常部分と不良部分の光量差が明瞭にあられれることか
ら細部を拡大検査する必要がなく、検査時間が大幅に短
縮されると共に、信頼性の高い検査結果を得ることがで
きる。
正常部分と不良部分の光量差が明瞭にあられれることか
ら細部を拡大検査する必要がなく、検査時間が大幅に短
縮されると共に、信頼性の高い検査結果を得ることがで
きる。
第1図は本発明に係る外観検査装置の説明図、第2図は
信号処理部における信号処理の手順を説明したフローチ
ャート、第3図は第4図の写真説明図、第4図は本発明
に係る外観検査装置でショート不良を説明するために撮
像した写真、第5図は第6図の写真説明図、第6図は本
発明に係る外観検査装置でだれ不良を説明するために撮
影した写真、第7図は良品のモールドギヤを直射照明し
た場合の説明図、第8図は不良品のモールドギヤを直射
照明した場合の説明図、第9図は第10図の写真説明図
、第10図は従来の外観検査装置でショート不良を説明
するための撮影した写真、第11図は第12図の写真説
明図、第12図は従来の外観検査装置でだれ不良を説明
するために撮影した写真、第13図は従来の外観検査装
置による検査の説明図である。 2・・・・(被検査体としての)モールドギヤ。 4・・・・(撮像装置としての)ITVカメラ、5・・
・・照明装置。 外4 図 邊407 −−−――〜ヘヘ〜〜ζ〜−−−〜〜−〜−一(す〜−
−−−へ)〜−\1−へ一一へ\手続補正書働式) %式% 1 事件の表示 昭和63年特許願第154196号 2 発明の名称 外観検査装置 3 補正をする者 事件どの関係 特許出願人 名 称 (223)株式会社三協精機製作所4 代
理 人 住 所 東京都世田谷区経堂4丁目5番4号6補正の対
象 明細書の「発明の詳細な説明」、「図面の簡単な説明」
の各間及び図面 (1)明細書第2頁下から第8行中の「13」を「9」
に改める。 (2)同第3頁第11行末尾から同頁節12打切頭にか
けての「第9図、第10図」を「第7図」に改める。 (3)同第3頁下から第4行中の「第11図、第12図
」を「第8図」に改める。 (4)同第7頁第2行初頭から同頁第3行末尾までを削
除する。 (5)同第7頁第7行中の「本実施例では、」の次から
同頁第8行末尾の「0と同」の前までを次の文に改める
。 「写真で灰色に現われる部分即ち第3図で符号7で示さ
れる部分を、写真で黒く現われる部分即ち第3図でハツ
チングで示される部分」(6)同第10頁第1行中の「
、第4図」を削除する。 (7)同第10頁第6行末尾から同頁筒7朽初頭にかけ
ての「第9図、第10図」を「第7図」に改める。 (8)同第10頁第8行末尾の「第5図、第6図」を「
第4図」に改める。 (9)同第10頁第10行末尾から同頁筒11打切頭に
かけての「第11図、第12図」を[第8図」に改める
。 (10)同第10頁下から第7行中の「7」を「5」に
改める。 (11)同第10頁下から第3行中の「第5図」より同
頁下から第2行末尾までを次の文に改める。 「第4図の符号G3に示される部分に対応する灰色部分
7は小さくなっている。」 (12)同第11頁第1行初頭の「8」を「6」に改め
る。 (13)同第11頁第5行初頭から同頁第6行末尾まで
を次の文に改める。 「4図の符号G4に対応する灰色部分7は大きくなって
いる。」 (14)同第12頁最下行中の「第3図は」の次から同
第13頁第12行中の「従来の」の前までを次のとおり
改める。 「本発明に係る外観検査装置でショート不良を説明する
ために撮影した写真を模写した説明図。 第4図は本発明に係る外観検査装置でだれ不良を説明す
るために撮影した写真を模写した説明図、第5図は良品
のモールドギヤを直射照明した場合の説明図、第6図は
不良品のモールドギヤを直射照明した場合の説明図、第
7図は従来の外観検査装置でショート不良を説明するた
めに撮影した写真を模写した説明図、第8図は従来の外
観検査装置でだれ不良を説明するため、に撮影した写真
を模写した説明図、第9図は」(18)図面の第4図乃
至第9図を別添の通り改め。 第10図乃至第13図を削除する。
信号処理部における信号処理の手順を説明したフローチ
ャート、第3図は第4図の写真説明図、第4図は本発明
に係る外観検査装置でショート不良を説明するために撮
像した写真、第5図は第6図の写真説明図、第6図は本
発明に係る外観検査装置でだれ不良を説明するために撮
影した写真、第7図は良品のモールドギヤを直射照明し
た場合の説明図、第8図は不良品のモールドギヤを直射
照明した場合の説明図、第9図は第10図の写真説明図
、第10図は従来の外観検査装置でショート不良を説明
するための撮影した写真、第11図は第12図の写真説
明図、第12図は従来の外観検査装置でだれ不良を説明
するために撮影した写真、第13図は従来の外観検査装
置による検査の説明図である。 2・・・・(被検査体としての)モールドギヤ。 4・・・・(撮像装置としての)ITVカメラ、5・・
・・照明装置。 外4 図 邊407 −−−――〜ヘヘ〜〜ζ〜−−−〜〜−〜−一(す〜−
−−−へ)〜−\1−へ一一へ\手続補正書働式) %式% 1 事件の表示 昭和63年特許願第154196号 2 発明の名称 外観検査装置 3 補正をする者 事件どの関係 特許出願人 名 称 (223)株式会社三協精機製作所4 代
理 人 住 所 東京都世田谷区経堂4丁目5番4号6補正の対
象 明細書の「発明の詳細な説明」、「図面の簡単な説明」
の各間及び図面 (1)明細書第2頁下から第8行中の「13」を「9」
に改める。 (2)同第3頁第11行末尾から同頁節12打切頭にか
けての「第9図、第10図」を「第7図」に改める。 (3)同第3頁下から第4行中の「第11図、第12図
」を「第8図」に改める。 (4)同第7頁第2行初頭から同頁第3行末尾までを削
除する。 (5)同第7頁第7行中の「本実施例では、」の次から
同頁第8行末尾の「0と同」の前までを次の文に改める
。 「写真で灰色に現われる部分即ち第3図で符号7で示さ
れる部分を、写真で黒く現われる部分即ち第3図でハツ
チングで示される部分」(6)同第10頁第1行中の「
、第4図」を削除する。 (7)同第10頁第6行末尾から同頁筒7朽初頭にかけ
ての「第9図、第10図」を「第7図」に改める。 (8)同第10頁第8行末尾の「第5図、第6図」を「
第4図」に改める。 (9)同第10頁第10行末尾から同頁筒11打切頭に
かけての「第11図、第12図」を[第8図」に改める
。 (10)同第10頁下から第7行中の「7」を「5」に
改める。 (11)同第10頁下から第3行中の「第5図」より同
頁下から第2行末尾までを次の文に改める。 「第4図の符号G3に示される部分に対応する灰色部分
7は小さくなっている。」 (12)同第11頁第1行初頭の「8」を「6」に改め
る。 (13)同第11頁第5行初頭から同頁第6行末尾まで
を次の文に改める。 「4図の符号G4に対応する灰色部分7は大きくなって
いる。」 (14)同第12頁最下行中の「第3図は」の次から同
第13頁第12行中の「従来の」の前までを次のとおり
改める。 「本発明に係る外観検査装置でショート不良を説明する
ために撮影した写真を模写した説明図。 第4図は本発明に係る外観検査装置でだれ不良を説明す
るために撮影した写真を模写した説明図、第5図は良品
のモールドギヤを直射照明した場合の説明図、第6図は
不良品のモールドギヤを直射照明した場合の説明図、第
7図は従来の外観検査装置でショート不良を説明するた
めに撮影した写真を模写した説明図、第8図は従来の外
観検査装置でだれ不良を説明するため、に撮影した写真
を模写した説明図、第9図は」(18)図面の第4図乃
至第9図を別添の通り改め。 第10図乃至第13図を削除する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被検査体を照明する照明装置と、該照明装置により照明
された被検査体の表面を撮像する撮像装置と、該撮像装
置の映像出力より上記被検査体の表面状態に応じた信号
を抽出する信号処理部とを備えた外観検査装置において
、 上記被検査体を照明する上記照明装置は、上記撮像装置
側より上記被検査体の表面を照明するとともに、上記被
検査体の表面に照明する光束を平行光にしたことを特徴
とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15419688A JPH01320453A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15419688A JPH01320453A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 外観検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01320453A true JPH01320453A (ja) | 1989-12-26 |
Family
ID=15578937
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15419688A Pending JPH01320453A (ja) | 1988-06-22 | 1988-06-22 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01320453A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8141695B2 (en) | 2010-01-29 | 2012-03-27 | Ecolab Usa Inc. | Clean conveyor sensing system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62102145A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-12 | Hitachi Metals Ltd | 欠陥検出方法 |
-
1988
- 1988-06-22 JP JP15419688A patent/JPH01320453A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62102145A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-12 | Hitachi Metals Ltd | 欠陥検出方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8141695B2 (en) | 2010-01-29 | 2012-03-27 | Ecolab Usa Inc. | Clean conveyor sensing system |
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