JP2942487B2 - 外観検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】検査対象物の画像を取り込ん
で、その対象物の表面に存在する欠陥等を検査する外観
検査装置に関し、特に、検査対象物に対して画像を取り
込むための最適な光の照射を行なうことによってその外
観を検査可能な外観検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】外観検査装置とは、検査対象物の表面の
画像を取り込んで、その表面に表された色彩や模様の状
態を認識するものであり、例えば、円筒形状の電解コン
デンサーの表面を検査するために、その外観検査装置が
使用されている。電解コンデンサー本体はアルミ製の円
筒形状であり、その表面には絶縁のためのビニールで被
覆されている。そして、このビニール被覆に０．５ｍｍ
程度でも穴が存在すると絶縁性が低下して問題となるた
め、その検査を行っている。図１０は、従来の外観検査
装置の画像取り込み部の概念図を示したものである。こ
れは電解コンデンサ５１に対して、照明手段としてライ
ト５２が並行に位置するように配置され、更にそのライ
ト５２を挟んで電解コンデンサ５１に対になるように撮
像カメラ５５が設けられている。また、ライト５２にサ
ークライン蛍光灯を使用している。そして、この電解コ
ンデンサー５１は、アルミ円筒部をかしめ固定し、シー
リングするための凹部５１ｃが形成されている。

【０００３】このように、検査対象物である電解コンデ
ンサ５１に対し、ライト５２を挟んで撮像カメラ５５が
設けられた従来の外観検査装置では、ライト５２で電解
コンデンサ５１を照らし、その表面で反射する光を撮像
カメラ５５によって取り込み、取り込んだ光データを基
に電解コンデンサ５１の検査処理が行なわれる。しか
し、このような外観検査装置では、一時に電解コンデン
サー５１の一部側面しか検査できないため、全周を検査
するには、電解コンデンサー５１を撮像カメラ５５及び
ライト５２に対して、回転させる必要があった。そのた
め、１個の電解コンデンサー５１を検査するのに時間が
かかり効率が悪かった。

【０００４】一方、円筒形状の製品の全周を瞬間的に効
率よく検査するための外観検査装置として、特公平６−
７９３２７号公報に紙巻タバコ検査装置が提案されてい
る。図１１にその装置の主要部を示す。この紙巻タバコ
検査装置は、紙巻タバコ５７が挿入される孔６１を頂点
として円錐ミラー５６が付設され、円錐ミラー５６の鏡
面６０に対抗して円錐ミラー５６に映し出されるリング
状像を撮像するサーキュラカメラ５９が付設されたもの
である。そこで、このような紙巻タバコ検査装置では、
円形光源５８によって鏡面６０を介して紙巻タバコ５７
の全周に同時に光が照射され、その紙巻タバコ５７は、
移動機構によって撮像ごとに所定量軸方向に移動され
る。そのため、紙巻タバコの三次元表面を二次元画像と
して撮像することが可能となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の外観検査装置では次のような問題があった。電解コ
ンデンサー５１を特公平６−７９３２７号公報の外観検
査装置で検査する場合に、電解コンデンサー５１の凹部
５１ｃに発生したピンホールを検出できない問題があっ
た。すなわち、図１２に示すように、円形光源５８を出
た光は、４５゜の角度をなす円錐ミラー５６の鏡面６０
により、電解コンデンサー５１の全周に直角な入射光Ｎ
として照射される。そして、凹部５１ｃ以外の垂直部に
ピンホールＰが存在する場合には、図１３に示すよう
に、ピンホールＰを通過してアルミ面で反射された反射
光Ｒは入射光Ｎとほぼ同じルートを辿る。

【０００６】しかし、図１４に示すように、凹部５１ｃ
に照射された入射光Ｎのうちアルミ面で正反射した反射
光Ｒは、入射光Ｎとは異なった角度で反射してしまう。
従って、凹部５１ｃに存在するピンホールＰを正反射し
た光によって当該部分の像が鏡面６０には映し出され
ず、鏡面６０に写る暗い像からはサーキュラカメラ５９
で検出することができなかった。このようなことは、電
解コンデンサー５１のように検査対象物表面に形成され
た凹部の場合だけではなく、凸部を有する検査対象物で
あっても同様な問題があった。

【０００７】そこで、本発明では上記問題点を解消すべ
く、検査対象物表面に凹部又は凸部が存在する場合に
も、当該表面を正確に検査可能な外観検査装置を提供す
ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の外観検査装置
は、検査対象物の上方から光を照射する照明手段と、中
心に配置した前記検査対象物の側面部を前記上方に映し
出す光路変更ミラーと、前記光路変更ミラーに映し出さ
れた像を前記上方から取り込む画像取込手段と、前記画
像取込手段によって取り込まれた検査対象物の画像デー
タに基づいて所定の検査処理を行う検査処理手段とを有
するものであって、前記光路変更ミラーが、前記検査対
象物の凹部又は凸部を軸方向に分割した各分割部分に対
応する複数の鏡面を備え、各鏡面が前記照明手段側の同
一方向に異なる角度で広げられた円錐形状をなすことを
特徴とする。また、本発明の外観検査装置は、検査対象
物を照射する照明手段と、該照明手段によって照らされ
た検査対象物の画像を取り込む画像取込手段と、該画像
取込手段によって取り込まれた検査対象物の画像データ
に基づいて所定の検査処理を行う検査処理手段とを有す
るものであって、前記検査対象物を中心線上に持ち、前
記照明手段側に広がった異なる角度の円錐形状の鏡面を
備えた光路変更ミラーを有し、その光路変更ミラーの各
円錐形状鏡面が、段差を介して設けられていることを特
徴とする。また、本発明の外観検査装置は、前記光路変
更ミラーが、前記照明手段から照射された光のうち前記
検査対象物を正反射した直接反射光が前記画像取込手段
に入光する角度で設定された鏡面を有するものであるこ
とが望ましい。

【０００９】また、本発明の外観検査装置は、前記光路
変更ミラーが、３０゜と６０゜の角度をなす円錐形状鏡
面によって構成されたものであることが望ましい。更
に、本発明の外観検査装置は、検査対象物の上方から光
を照射する照明手段と、中心に配置した前記検査対象物
の側面部を前記上方に映し出す光路変更ミラーと、前記
光路変更ミラーに映し出された像を前記上方から取り込
む画像取込手段と、前記画像取込手段によって取り込ま
れた検査対象物の画像データに基づいて所定の検査処理
を行う検査処理手段とを有するものであって、前記光路
変更ミラーが、前記検査対象物の凹部又は凸部に対応す
る複数の角度なす面を連続させて凹面及び凸面を形成し
た鏡面を備えることを特徴とする。

【００１０】このような構成からなる本発明の外観検査
装置は、次のように作用する。上方から検査対象物へ照
射する照明手段からの光は、中心に検査対象物を持った
光路変更ミラーによって反射され、その検査対象物表面
へ照射される。そして、検査対象物表面を正反射した光
は、再び入射光とほぼ同じルートを辿り光路変更ミラー
によって反射され、画像取込手段によって検査対象物の
画像として取り込まれ、検査処理手段によってその画像
データに基づく検査処理が行なわれる。ここで、検査対
象物表面に凹部又は凸部が存在する場合には、照明手段
から発せられた光は、異なる角度の前記光路変更ミラー
の各円錐形状鏡面を反射して、それぞれ凹部又は凸部表
面の上側或は下側へ分かれて照射される。そして、検査
対象物を正反射した光は、入射光と同じほぼルートを辿
って画像取込手段によって検査対象物の画像として取り
込まれる。これにより、凹部又は凸部表面に欠陥が存在
したとしても正確に欠陥を認識することができる。

【００１１】また、本発明の外観検査装置では、前記照
明手段から照射された光が、光路変更ミラーを反射して
検査対象物に形成された凹部又は凸部表面に照射され、
更に当該表面を正反射した直接反射光が再び光路変更ミ
ラーを反射して前記画像取込手段に入光し、凹部又は凸
部表面に欠陥が存在したとしても正確に欠陥を認識する
ことができる。また、本発明の外観検査装置は、前記光
路変更ミラーの異なる角度の円錐形状鏡面が、照明手段
からの光をその一の鏡面によって凹部又は凸部表面の下
側半分へ、そして他の鏡面によって当該表面の上側半分
へ反射させるが、検査対象物を正反射して各鏡面に映し
出される凹部又は凸部表面の像の位置には距離が生じる
ため、各鏡面との間に段差を設けて半径方向への広がり
を小さくして光路変更ミラーをコンパクトにした。

【００１２】また、本発明の外観検査装置は、照明手段
から検査対象物への入射光は、前記光路変更ミラーの円
錐形状鏡面のうち、６０゜及び３０゜の角度をなす鏡面
で反射する光によって、それぞれ凹部又は凸部表面の上
側あるいは下側へ照射され、その検査対象物を正反射し
た直接反射光が再び同じ光路変更ミラーの鏡面を反射し
て前記画像取込手段に入光し、凹部又は凸部表面に欠陥
が存在したとしても正確に認識することができる。更
に、本発明の外観検査装置は、検査対象物表面に凹部又
は凸部表面が存在する場合には、照明手段から発せられ
た光は、前記光路変更ミラーの凸面又は凹面での反射に
よって、それぞれ凹部又は凸部表面の下側あるいは上側
へ照射され、その検査対象物を正反射した光は、入射光
とほぼ同じルートを辿って画像取込手段によって検査対
象物の画像として取り込まれる。これにより、凹部の表
面に欠陥が存在したとしても、撮像カメラで正確に認識
することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる外観検査装
置の第１の実施の形態について説明する。図１は、本実
施の形態の外観検査装置の一部を示した図である。本実
施の形態においては検査対象物を電解コンデンサー５１
とした場合について説明する。この電解コンデンサー５
１には凹部５１ｃが形成されているが、図１の外観検査
装置は、特にこの凹部５１ｃを検査するステーションの
ものを示している。一方、電解コンデンサー５１の他の
垂直部５１ｄは、図１１で示した従来例のものと同様の
構成をなす外観検査装置を備えたステーションで検査さ
れる。

【００１４】本実施の形態の外観検査装置は、図に示す
ように中心に検査対象物を配置する光路変更ミラー１上
に、少し離れてリングライト２とＣＣＤカメラ３及びレ
ンズ４が固設されている。このＣＣＤカメラ３は、後述
する画像処理手段に接続されている。また、リングライ
ト２としては、サークライン蛍光灯を使用している。本
実施の形態の外観検査装置の光路変更ミラー１には、円
錐形状の頂点部に挿入孔１１が形成されている。そし
て、その光路変更ミラー１内に電解コンデンサー５１を
垂直に配置するよう、２本の電極５１ａ，５１ｂを保持
する保持部材５を有する。この保持部材５は、不図示の
駆動手段に係設され、電解コンデンサー５１を本実施の
形態の凹部５１ｃを検査するステーションと、垂直部５
１ｄを検査するステーションへ移動する。

【００１５】そして、本実施の形態の光路変更ミラー１
は、次のような構成をなす。図２は光路変更ミラーの拡
大断面図である。この光路変更ミラー１は、基台１２に
２つの鏡面１３，１４が一体に構成されている。この基
台１２は、上記したように中心下部に挿入孔１１を有
し、その挿入孔１１に向けて上端部から段差面１５を介
して２つの円錐面が形成されている。そして、その円錐
面にそれぞれ鏡面１３，１４が固着されている。このと
き、下方の鏡面１４が３０゜で、上方の鏡面１３が６０
゜の角度をなすよう構成されている。このように、光路
変更ミラー１の鏡面部を上下に分割したのは、電解コン
デンサー５１の凹部５１ｃをその中心で分けた場合に、
上部が下方に面し下部が上方に面しているためである。
従って、凹部５１ｃを正反射した光の画像を映し出すた
めには、凹部５１ｃの上部に対しては下方から光が照射
され、下部に対しては上方から光が照射される必要があ
る。

【００１６】そして、例えば、図３に示すように、電解
コンデンサー５１の凹部５１ｃにピンホールＰ１，Ｐ２
が生じていたとする。そうした場合、リングライト２か
ら発せられた光のうち、ピンホールＰ１，Ｐ２のそれぞ
れの箇所のアルミ７１を正反射した光が、図に示すよう
に入射光Ｎ１，Ｎ２と反射光Ｒ１，Ｒ２とがほぼ同じル
ートを辿るのが好ましい。そこで、このような点から鏡
面１３，１４の角度を決定するが、その際、図４に示す
ように凹部５１ｃを直線で近似させることによって求め
ることとする。ところで、凹部５１ｃを直線で近似させ
た場合に中心部を所定幅だけ垂直線で示したが、これは
中心部分が曲面部とともに正反射した像を鏡面に写しだ
し取り込むことが不可能だからである。この中心部は、
実際にも鏡面６０が４５゜の角度をなす垂直部５１ｄ用
のステーションで画像が取り込まれるためである。

【００１７】そこで、リングライト２から発せられた光
が、図に示すように入射光Ｎ１，Ｎ２と反射光Ｒ１，Ｒ
２が重なる角度、即ち凹部５１ｃに照射された光が正反
射して鏡面１３，１４に写し出された像をＣＣＤカメラ
３に取り込める角度を調べると、鏡面１３の角度１３α
＝６０゜、そして鏡面１４の角度１４α＝３０゜となっ
た。また、光路変更ミラー１には段差面１５が形成され
ているが、これは、図３に示すように２つの鏡面１３，
１４を連続して設けたのでは、凹部５１ｃからの正反射
した光による像を映し出さない鏡面部分が無駄となるた
めである。さらに、鏡面１３，１４は外に広がるように
傾斜を有しているので、凹部５１ｃが写し出されない部
分を省くことにより半径方向への寸法を小さくすること
ができるためである。

【００１８】次に、本実施の形態の外観検査装置の制御
部の構成について説明する。図５は外観検査装置の検査
処理手段を示したブロック図である。画像処理手段６
は、上記位置になるように配置されたＣＣＤカメラ３に
接続されている。この画像処理手段６には、先ずアナロ
グ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ２１
がＣＣＤカメラ３に直接接続されている。そして、この
Ａ／Ｄコンバータ２１には、ＣＣＤカメラ３で取り込ん
だ画像データを記憶する画像メモリ２２、与えられた信
号を混合して出力するビデオミキサ２３、そして画像デ
ータからその外観を所定計算方法で計算する計算ロジッ
ク２４がそれぞれ接続されている。また、画像メモリ２
２、そして計算ロジック２４には、それぞれの各動作を
規定するコントロールロジック２５が接続されている。

【００１９】一方、この画像メモリ２２、計算ロジック
２４、そしてこの画像処理手段６の演算処理、制御処理
を統括的に行なうＣＰＵ２６がそれぞれ双方向に接続さ
れている。また、このＣＰＵ２６には、制御プログラム
等を記憶するＲＯＭ２７、データ等を一時的に記憶する
ＲＡＭ２８が接続されている。更に、ＣＰＵ２６には入
出力装置２９が接続され、その入出力装置２９に、外観
検査装置を駆動するためのスタート手段と、電解コンデ
ンサー５１が正常か否かを検査する検査表示手段（いず
れも不図示）が接続され、また、外部入力手段としてキ
ーボード３０が接続されている。また、電解コンデンサ
ー５１の外観は、演算処理されるとともに人の目で認識
できるように、取り込んだ画像を表示するディスプレイ
モニタ３１がビデオミキサ２３に接続されている。

【００２０】そこで、上記構成からなる本実施の形態の
外観検査装置は、次のように作用して電解コンデンサー
５１の凹部５１ｃの表面を検査する。リングライト２か
らの入射光は、光路変更ミラー１の鏡面１３，１４を反
射して電解コンデンサー５１へ照射される。このとき、
６０゜の角度をなす鏡面１３への入射光は下方へ反射し
て凹部５１ｃ下部表面へ照射され、一方、３０゜の角度
をなす鏡面１４への入射光は上方へ反射して凹部５１ｃ
上部表面へ照射される。そして、電解コンデンサー５１
の凹部５１ｃを正反射した反射光は、入射光とほぼ同じ
ルートを辿り、再び鏡面１３，１４で反射されてＣＣＤ
カメラ３に入光する。このとき、レンズ４からは、図４
の点線で示した位置に電解コンデンサー５１が存在する
かのごとく、鏡面１３，１４に凹部５１ｃの像が写し出
され、その画像がＣＣＤカメラ３に取り込まれる。

【００２１】電解コンデンサー５１の凹部５１ｃ表面で
正反射した光がＣＣＤカメラ３のレンズ１４に入射する
ことにより、ＣＣＤカメラ３を構成する多数の撮像素子
によって撮像され、さらにデジタルデータへの変換を行
なうことによってその映像のデータが取り込まれる。す
なわち、ＣＣＤカメラ３によって取り込まれた映像は、
各撮像素子毎の画像データとして検査処理手段６のＡ／
Ｄコンバータ２１に入力される。そして、そのアナログ
信号である画像データは、Ａ／Ｄコンバータ２１でデジ
タルデータに変換されて画像メモリ２２、ビデオミキサ
２３、そして計算ロジック２４に入力される。そして、
計算ロジック２４によりピンホールＰ等の存在の有無が
確認される。計算ロジック２４の処理としては、ピンホ
ールＰ部が、ピンホールＰ以外の部分よりも明るいこと
を利用してその存在の有無を確認できる。

【００２２】計算ロジック２４の処理方法は、例えば、
ある明るさの閾値以上の画素を１、しきい値以下の画素
を０とするような画素の２値化を行った後、１である画
素の数をカウントする構成にしておき、ＣＰＵ２６がこ
のカウント結果を読み取り、カウント数が１以上であれ
ば、少なくとも１つ以上のピンホールＰが存在すると判
断し、入出力装置２９により不良である旨表示する方法
がある。もし、電解コンデンサー５１に存在するピンホ
ールＰの数が複数であって、その数をカウントする必要
がある場合は、連結性解析処理をする構成とすれば良
い。また、２値化以外の方法としては、多値画像空間上
で微分し、暗部から明部への変化をとらえる等、様々な
処理方法が考えられる。この種の技術は周知なので詳細
な説明を省略する。

【００２３】以上説明したように、本実施の形態の外観
検査装置によれば、鏡面１３，１４からなる光路変更ミ
ラー１により、円筒形状の検査対象物表面を照射してい
るので、電解コンデンサー５１の側面に形成された凹部
５１ｃにピンホールＰ等の欠陥が存在する場合でも、正
確に欠陥を認識することができる。また、異なる角度の
円錐形状の鏡面１３，１４を段差面１５を挟んで構成し
たので、無駄な鏡面の使用を避けることができ、また半
径方向の寸法を小さくして光路変更ミラー１を小型化で
きた。

【００２４】次に、本発明にかかる外観検査装置の第２
の実施の形態について説明する。本実施の形態の外観検
査装置は、光路変更ミラーに上記第１の実施の形態のも
のとは異なる特徴があるため、そのものについてのみ説
明する。図６は、本実施の形態の外観検査装置を構成す
る光路変更ミラーの断面を示した図である。この光路変
更ミラー４１は、基台４２に鏡面４３が張り付けるよう
にして一体に構成されている。そして、本実施の形態の
光路変更ミラー４１は、鏡面４３が凸面と凹面とが連続
してなる曲面によって形成されている。この曲面は、電
解コンデンサー５１の凹部５１ｃを構成する曲面の各点
に、リングライト２からの光が垂直に入射する角度を連
続したものである。

【００２５】そして、このような光路変更ミラー４１を
備えた外観検査装置も同様に、リングライト２から発せ
られた光は、鏡面４３を反射して電解コンデンサー５１
に照射され、正反射した光が再び入射光とほぼ同じルー
トを辿ってＣＣＤカメラ３へ入光し、画像処理手段６に
よって処理される。よって、本実施の形態のものでは、
曲面によって光路変更ミラー４１の鏡面４３を構成した
ため、凹部５１ｃの全ての面を連続して取り込むことが
でき、上記第１実施例では取り込むことができなかった
凹部５１ｃの中心部分も綺麗に取り込むことができた。

【００２６】なお、本発明は、上記実施の形態に示した
ものに限定されるものではなく、その趣旨を変更しない
範囲で様々な変更が可能である。例えば、上記第１の実
施の形態の外観検査装置では、異なる角度の円錐形状鏡
面を有する光路変更ミラーを一の基台に形成したが、図
７や図８に示すように基台を各鏡面ごとに構成したもの
を組み立てるようにしてもよい。また、上記実施の形態
では、電解コンデンサー側面に形成された断面がほぼ半
円の凹部を検査する場合について示したので、光路変更
ミラーに３０゜と６０゜の２つの異なる角度の鏡面を用
いたが、更に異なる形状の凹部に対して、光路変更ミラ
ーの鏡面を更に異なる２以上の角度によるものを用いて
もよい。また、上記実施の形態では、電解コンデンサー
に形成された凹部表面を検査する外観検査装置について
説明したが、図９に示すように凸部表面を検査すること
も可能である。この場合、凹部表面の場合とは逆に上側
鏡面で凸部表面の上側へ光を反射し、下側鏡面でその下
側へ光を反射することとなる。

【００２７】

【発明の効果】本発明は、照明手段によって照らされた
検査対象物の画像を取り込み、その画像データに基づい
て所定の検査処理を行うものであって、検査対象物表面
に存在する凹部又は凸部表面の画像と取り込むのに、そ
の検査対象物を中心線上に持ち、検査対象物の凹部又は
凸部を軸方向に分割した各分割部分に対応する複数の鏡
面を備え、各鏡面が照明手段側の同一方向に異なる角度
で広げられた円錐形状をなして形成された光路変更ミラ
ーを有するので、検査対象物表面に凹部又は凸部が存在
する場合にも、その表面を正確に検査可能な外観検査装
置を提供することが可能となった。また、本発明は、検
査対象物を中心線上に持ち、検査対象物の凹部又は凸部
に対応する複数の角度なす面を連続させて凹面及び凸面
を形成した鏡面を備える光路変更ミラーを有するので、
検査対象物の側面に凹部又は凸部が存在する場合でも、
当該表面を正確に検査可能な外観検査装置を提供するこ
とが可能となった。また、本発明は、検査対象物を照射
する照明手段と、該照明手段によって照らされた検査対
象物の画像を取り込む画像取込手段と、該画像取込手段
によって取り込まれた検査対象物の画像データに基づい
て所定の検査処理を行う検査処理手段とを有するもので
あって、前記検査対象物を中心線上に持ち、前記照明手
段側に広がった異なる角度の円錐形状の鏡面を備えた光
路変更ミラーを有し、その光路変更ミラーの各円錐形状
鏡面が、段差を介して設けられているので、検査対象物
の側面に凹部又は凸部が存在する場合でも、当該表面を
正確に検査可能な外観検査装置を提供することが可能と
なり、また光路変更ミラーの各円錐形状鏡面を段差を介
して設けることで、鏡面の無駄を省き、光路変更ミラー
自体を小型化した外観検査装置を提供することが可能と
なった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の外観検査装置の主
要構成を示した図である。

【図２】第１の実施の形態の外観検査装置の光路変更ミ
ラーを示した断面図である。

【図３】電解コンデンサー側面の凹部を反射する照射光
の理想光路とそのときの光路変更ミラーの角度を示した
図である。

【図４】光路変更ミラーに写るコンデンサー凹部の虚像
を示した図である。

【図５】外観検査装置の制御装置の構成を示すブロック
図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態の外観検査装置の光
路変更ミラーを示した断面図である。

【図７】外観検査装置を構成する光路変更ミラーの一例
を示した断面図である。

【図８】外観検査装置を構成する光路変更ミラーの一例
を示した断面図である。

【図９】光路変更ミラーに写る検査対象物の凸部の虚像
を示した図である。

【図１０】従来の外観検査装置の照明装置を示した斜視
図である。

【図１１】従来の外観検査装置の主要構成を示す図であ
る。

【図１２】図１１での光の経路を示した図である。

【図１３】電解コンデンサーの側面の垂直部に入射光が
当たったときの反射光の経路を示した図である。

【図１４】電解コンデンサー側面の凹部に入射光が当た
ったときの反射光の経路を示す図である。

【符号の説明】

１ 光路変更ミラー ２ リングライト ３ ＣＣＤカメラ ４ レンズ ５ 保持部材 ６ 画像処理手段 １２ 基台 １３，１４ 鏡面 １５ 段差面

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物の上方から光を照射する照明
   手段と、中心に配置した前記検査対象物の側面部を前記
   上方に映し出す光路変更ミラーと、前記光路変更ミラー
   に映し出された像を前記上方から取り込む画像取込手段
   と、前記画像取込手段によって取り込まれた検査対象物
   の画像データに基づいて所定の検査処理を行う検査処理
   手段とを有する外観検査装置において、前記光路変更ミラーは、前記検査対象物の凹部又は凸部
   を軸方向に分割した各分割部分に対応する複数の鏡面を
   備え、各鏡面が前記照明手段側の同一方向に異なる角度
   で広げられた円錐形状をなす ことを特徴とする外観検査
   装置。
2. 【請求項２】 検査対象物を照射する照明手段と、該照
   明手段によって照らされた検査対象物の画像を取り込む
   画像取込手段と、該画像取込手段によって取り込まれた
   検査対象物の画像データに基づいて所定の検査処理を行
   う検査処理手段とを有する外観検査装置において、 前記検査対象物を中心線上に持ち、前記照明手段側に広
   がった異なる角度の円錐形状の鏡面を備えた光路変更ミ
   ラーを有し、その光路変更ミラーの各円錐形状鏡面が、
   段差を介して設けられていることを特徴とする外観検査
   装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の外観検査
   装置において、 前記光路変更ミラーが、前記照明手段から照射された光
   のうち前記検査対象物を正反射した直接反射光が前記画
   像取込手段に入光する角度で設定された鏡面を有するこ
   とを特徴とする外観検査装置。
4. 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載
   の外観検査装置において、 前記光路変更ミラーが、３０゜と６０゜の角度をなす円
   錐形状鏡面によって構成されたものであることを特徴と
   する外観検査装置。
5. 【請求項５】 検査対象物の上方から光を照射する照明
   手段と、中心に配置した前記検査対象物の側面部を前記
   上方に映し出す光路変更ミラーと、前記光路変更ミラー
   に映し出された像を前記上方から取り込む画像取込手段
   と、前記画像取込手段によって取り込まれた検査対象物
   の画像データに基づいて所定の検査処理を行う検査処理
   手段とを有する外観検査装置において、前記光路変更ミラーは、前記検査対象物の凹部又は凸部
   に対応する複数の角度なす面を連続させて凹面及び凸面
   を形成した鏡面を備える ことを特徴とする外観検査装
   置。