JPH01319111A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要コ 薄膜の積層により構成される５１Ｍ磁気ヘッドに関し、 コイル形成の高精度化や製品の歩留り向上が可能となる
薄膜磁気ヘッドの提供を目的とし、非磁性の基板上で積
み重ねられた一対の磁極層と、アクセス端面側で両磁極
層間に挿入されたギャップ層と、基板上で平面的に配置
された複数の層状コイルと、各コイルを挿通され両端が
磁極層に各々接続されたヨークと、を有する、ことを特
徴としている。

【産業上の利用分野］ 本発明は、積層形の薄膜磁気ヘッドに関するものである
。

この種のヘッドは磁極先端の幅を狭少化でき、このため
、磁気記録装置の大容量化に極めて好適である。

［従来の技術］ 第４図、第５図では従来におけるこの種のヘッドの構成
が説明されており、非磁性の基板１０上で一対の磁極層
１２−１．　１２−２が積み重ねられている。

そしてアクセス端面Ａ側における両磁極層１２−１．１
２−２間でギャップ層１４が挿入された形で形成されて
おり、ギャップ層１４の奥手側（すなわち、図における
上側）で、磁極層１２−１゜１２−２が磁気結合されて
埴る。

この磁気結合部分が３−り１８とされており、コイル層
１５ではヨーク１８部分の磁束が検出され、またコイル
Ｊ１１５で発生した磁束がヨーク１８に与えられる。

ここで、磁気記録装置の小型化および大容量化を図るた
めには、磁気記録媒体との相対速度が低い場合でも十分
なレベルで磁気記録および再生を行なうことが要求され
ており、このため薄膜磁気ヘッドではその磁気記録およ
び再生の効率を高めることが必要となる。

そこで、コイル層１５は層状コイル１６と層間絶縁層１
７とが交互に形成されてコイルパターンが積層され、こ
れによりコイル層１５の巻線数が増加される。

［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら従来においては、層状コイル１６のコイル
パターンが多段に形成されるので、パターン段差で各コ
イルパターンの高精度な形成が困難となる。

このため、磁気記録および再生の感度が−様な製品を量
産することが不可能となる。

また、コイルパターンを多段形成するために製造工程が
複雑化するので、製品の特性にばらつきが生じ、その歩
留りが低下する。

本発明は上記従来の課題に鑑みてなされたものであり、
その目的は、コイル形成の高精度化や製品の歩留り向上
が可能となる薄膜磁気ヘッドを提供することにある。

［課逼を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明では、第１図及び１
２図のようにｌ！！１磁気ヘッドが構成されている。

本発明においては、非磁性の基板１０上で一対の磁極層
１２−１．１２−２が積み重ねられ、アクセス端面Ａ側
で両磁極層１２−１．１２−２間にギャップ層１４が挿
入される。

そして、複数の層状コイル１６−１．１１３−２＊＊拳
ｌ８−ｎ（第１図、第２図では１６−１゜１６−２のみ
が示されている）は基板１０上で平面的に配置され、両
端が磁極層１２−１．１２−２に各々接続されたヨーク
１８の中間部は、各層状コイル１６−Ｌ　　１６−２”
　・・１８−ｎに挿通される。

［作用］ 本発明では、層状コイル１６−１．１８−２・・ａｌｅ
−ｎが基板ｌＯ上で平面的に配置されるので、コイルパ
ターンの形成段数が減少する。

［実施例コ 以下、図面に基づいて本発明にかかる薄膜磁気ヘッドの
好適な実施例を説明する。

第１図、第２図では第１実施例の構成が説明されており
、基板１０にはＡ　Ｍ　＊Ｏａ＋　　Ｔ　ｉ　Ｃなどの
非磁性材料が使用されている。

そして基板１０上で積み重ねられる一対の磁極層！２−
１．１２−２にはＮ　Ｉ　Ｆ　ｅｌ　　Ｃｏ　Ｚ　ｒな
どの軟磁性材料などが使用されており、アクセス９！１
ｉｉＩＡ側で両磁極層１２−１．１２−２間に挿入形成
されるギャップ層１４には５ｉｄｅ、Ａｌ２Ｑ０３など
の非磁性材料が使用されている。

ここで、従来例におけるコイル層１５が、第１図、第２
図においてアクセス端面Ａ側のコイル層１５−１とその
奥手側のコイル層１５−２に分割されており、第２図か
ら理解されるように、コイル層１５−１．１５−２にお
ける層状コイル１６−１．１８−２のコイルパターン形
成段数は従来例の半分とされている。

これらコイル層１５−１．　１５−２の層状コイル１８
−１．１８−２にはＣｕなどの導電性材料が使用されて
おり、層間絶縁層１７−１．１７−２には熱硬化したフ
ォトレジストが使用されている。

さらに、ヨーク１８はコイル層１５−１ｊ　１５−２に
おける層状コイル１６−１、１８−２の中心を挿通され
ており、ヨーク１８の両端は磁極層１２−１．１２−２
に接続されてそれらと磁気結合されている。

このヨーク１８も膜状に形成されており、ヨーク１８に
はＮ　Ｉ　Ｆ　ａ、　　Ｃｏ　Ｚ　ｒなどの軟磁性材料
が使用されて（する。

また、基板１０の上面は第２図のように保Ｗ１膜２０で
覆われており、保護ｌＩ２０にはＡＭｉｔｓなどの材料
が使用されている。

本実施例は以上の構成からなり、以下その作用を説明す
る。

コイル層１５−１．　１５−２の層状コイル１６−１．
１６−２は直列接続され、層状コイル１６−１．１６−
２に挿通されたヨーク１８では、第１図、第２図におい
て矢印で示されるように磁束が流れる。

その磁束は層状コイル１６−１、１８−２で検出され、
あるいはそれらにより発生するが、層状コイル１６−１
、１８−２が直列接続されるので、コイル巻数は従来と
同様となる（ただし、コイル内の信号は層状コイル１８
−１．１６−２の直列接続で同位相となる）。

このため、コイル層１５−１．１５−２により高いレベ
ルで磁束検出が再生時に行なわれ、あるいは十分な磁束
が記録時に得られ、従って効率よ４磁気記録、再生が行
なわれる。

ここで、コイル層１５−１．１５−２が基板１０上で平
面的に配置されているので、層状コイル１６−１、１８
−２のコイルパターン形成段数は従来に比して半分とな
る。

またそれらのパターンは他と同時に形成でき、製造工程
が簡略化される。

従って本実施例によれば、層状コイル１８−１゜１６−
２のコイルパターンを高精度に形成して磁気記録再生の
効率を均一化しながら、製造工程を簡略化して製品の歩
留りを向上できる。

第３図ではｆ４２実施例の構成が説明されており、この
実施例ではヨーク１８における上側の磁路が２本となる
。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、層状コイルが平面
的に配置され、ヨークが各層状コイルに挿通されてその
両端が磁極層に各々接続されるので、コイル段数を減少
させてコイルパターン形成の精度を高めながら、薄膜磁
気ヘッドの製造工程を簡略化できる。

このため、磁気記録再生の効率が均一で高性能なヘッド
を、歩留り良（量産することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１＠は第１実施例の構成を説明する平面図、第２図は
第１実施例の構成を説明する断面図、第３図は第２実施
例の構成を説明する平面図、第４図は従来例の構成を説
明する平面図、第５図は従来例の構成を説明する断面図
である。 １０・・・基板、 １２−１．１２−２・・・磁極層、 １４−拳・ギャップ層、 ＩＥ３−１．　１６−２・・拳層状コイル、１８１１１
１１１　ヨーク、 Ａ・・・アクセス端面。 ｍｌ実施例の構成を説明する断面図 第２図 第３図 「７ 従来例の構成を説明する平面図 第４図 従来例の構成を説明する断面図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 非磁性の基板（１０）上で積み重ねられた一対の磁極層
   （１２−１、１２−２）と、 アクセス端面（Ａ）側で両磁極層（１２−１、１２−２
   ）間に挿入されたギャップ層（１４）と、基板（１０）
   上で平面的に配置された複数の層状コイル（１６−１、
   １６−２・・・１６−ｎ）と、 各コイル（１６−１、１６−２・・・１６−ｎ）に挿通
   され両端が磁極層（１２−１、１２−２）と各々接続さ
   れたヨーク（１８）と、 を有することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。