JPH01317558A - 有機溶剤のミスト又はガスの回収方法 - Google Patents
有機溶剤のミスト又はガスの回収方法Info
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- JPH01317558A JPH01317558A JP63150919A JP15091988A JPH01317558A JP H01317558 A JPH01317558 A JP H01317558A JP 63150919 A JP63150919 A JP 63150919A JP 15091988 A JP15091988 A JP 15091988A JP H01317558 A JPH01317558 A JP H01317558A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は各種工業において用いられる有機溶剤のミス
ト又はガスの回収方法に関するものである。
ト又はガスの回収方法に関するものである。
従来の技術
従来この種の技術としては公知のため詳細な説明は省略
するが一般に活性炭を用いる方法が行われている。
するが一般に活性炭を用いる方法が行われている。
これは例えばフロン（化学式ＣＣｌ２Ｆ ＣＣＩ Ｆ。
（フロｙＨ３”）、−例として旭ガラス株式会社製、商
品名フロンソルプ）を用いる工業製品の洗浄の際等、洗
浄装置から製品を取り出す場合に、その取り出し口から
フロンのミスト又はガスが外気中に洩出しようとする。
品名フロンソルプ）を用いる工業製品の洗浄の際等、洗
浄装置から製品を取り出す場合に、その取り出し口から
フロンのミスト又はガスが外気中に洩出しようとする。
このフロンのミスト又はガスを前記活性炭に吸着させて
回収するのである。
回収するのである。
発明が解決しようとする課題
しかし上記従来の方法は次のような難点を有している。
それは活性炭が使用に伴い疲労し、吸着能力が劣化する
ことである。このため比較的頻繁に活性炭を交換しなけ
ればならず、保守が面倒である。
ことである。このため比較的頻繁に活性炭を交換しなけ
ればならず、保守が面倒である。
この発明はこのような問題を解決するためになされたも
ので、その目的は前記従来例に述べた活性炭の交換の面
倒さをなくすことができ、従って保守のきわめて容易な
有機溶剤のミスト又はガスの回Ｊ１５ｊ方法を提供する
ことである。
ので、その目的は前記従来例に述べた活性炭の交換の面
倒さをなくすことができ、従って保守のきわめて容易な
有機溶剤のミスト又はガスの回Ｊ１５ｊ方法を提供する
ことである。
課題を解決するための手段
上記の目的を達成するこの発明について述べるとそれは
、有機溶剤のミスト又はガスに帯電剤を加えて帯電用ミ
ストを形成し、該帯電用ミストな帯電装置により帯電せ
しめて帯電ミストを形成し、該帯電ミストな、補集用の
電極に接しさせて回収する有機溶剤のミスト又はガス回
収方法である。
、有機溶剤のミスト又はガスに帯電剤を加えて帯電用ミ
ストを形成し、該帯電用ミストな帯電装置により帯電せ
しめて帯電ミストを形成し、該帯電ミストな、補集用の
電極に接しさせて回収する有機溶剤のミスト又はガス回
収方法である。
又、上記のように補集用の電極に接しさせて捕集した有
機溶剤と帯電剤の混合物を有機溶剤と帯電剤に分離する
有機溶剤のミスト又はガスの回収方法である。
機溶剤と帯電剤の混合物を有機溶剤と帯電剤に分離する
有機溶剤のミスト又はガスの回収方法である。
又前記有機溶剤と帯電剤の分離は両者の沸点の差に基づ
いてなされる前記有機溶剤のミスト又はガスの回収方法
である。
いてなされる前記有機溶剤のミスト又はガスの回収方法
である。
そして前記有機溶剤はフロンであってもよく、又はトリ
クロールエタンであってもよい、又前記帯電剤は液体で
もよ（、その−例としてはフタル酸ジブチルである。
クロールエタンであってもよい、又前記帯電剤は液体で
もよ（、その−例としてはフタル酸ジブチルである。
実施例
矛１図において、１は回収装置の本体であり、２．３．
４はそれぞれ溶剤ミスト又はガスの通口、５は吸気用の
ファン、６は集合室である。
４はそれぞれ溶剤ミスト又はガスの通口、５は吸気用の
ファン、６は集合室である。
セして７は第一整流装置、８は整流羽根１，９は添加室
である。そして添加室９に添加装置ＩＯが設けられてお
り、同添加装置１０は一例として噴霧ノズルにより形成
され、仁の噴霧ノズルは添加用のポングＩＩＫ連通され
、かつ帯電剤１２の供給槽１３に連通されており、同ポ
ンプ１１かも加圧送出される仁とにより噴霧ノズルから
帯電剤１２が噴−されるようになっている、なお上記り
１ｙ電剤１２は一例として液状で溶剤であり、−例とし
てフタル酸ジブチル（化学式Ｃ６Ｉζ（ＣＯ□Ｃｄ−’
ｅ−ｎ）ｔが用いられた。これはフタル酸ジブチルが有
機溶剤のフロン又はトリクロールエタン等と親和性が良
く、それらと良好に混合し、それらのミスト又はガスと
溶は合ってこれらを捕捉し帯電用ミストを形成すること
による。又後述のように帯電も良好に行われ、かつ又前
記溶剤との分離も容易なことによる０次に１４は第二整
流装置、１５は整流羽根を示し、１６は帯電装置、１７
は捕集用の電極であり、この両者１６ 、１７は一例と
して通常のコットレル集塵装置をそのまま用いてよい、
そして同装置は一例として矛２図に示すように形成され
る。同図において１８は集塵装置、１９（１・１図）は
それに用いる高電圧装置。
である。そして添加室９に添加装置ＩＯが設けられてお
り、同添加装置１０は一例として噴霧ノズルにより形成
され、仁の噴霧ノズルは添加用のポングＩＩＫ連通され
、かつ帯電剤１２の供給槽１３に連通されており、同ポ
ンプ１１かも加圧送出される仁とにより噴霧ノズルから
帯電剤１２が噴−されるようになっている、なお上記り
１ｙ電剤１２は一例として液状で溶剤であり、−例とし
てフタル酸ジブチル（化学式Ｃ６Ｉζ（ＣＯ□Ｃｄ−’
ｅ−ｎ）ｔが用いられた。これはフタル酸ジブチルが有
機溶剤のフロン又はトリクロールエタン等と親和性が良
く、それらと良好に混合し、それらのミスト又はガスと
溶は合ってこれらを捕捉し帯電用ミストを形成すること
による。又後述のように帯電も良好に行われ、かつ又前
記溶剤との分離も容易なことによる０次に１４は第二整
流装置、１５は整流羽根を示し、１６は帯電装置、１７
は捕集用の電極であり、この両者１６ 、１７は一例と
して通常のコットレル集塵装置をそのまま用いてよい、
そして同装置は一例として矛２図に示すように形成され
る。同図において１８は集塵装置、１９（１・１図）は
それに用いる高電圧装置。
又矛２図において笈は正電極、２１は負電極であり、こ
の両極美、２１間には、高圧電源１９により一例として
１５ＫＶの直流電圧が印加されている。
の両極美、２１間には、高圧電源１９により一例として
１５ＫＶの直流電圧が印加されている。
そして帯電用ミス）２２は実印Ａ２２に示すよ５に供給
され、帯電装置１６によって正に帯電させられ１次に捕
集用の負電極乙に接し、電荷を失って下方に流下する。
され、帯電装置１６によって正に帯電させられ１次に捕
集用の負電極乙に接し、電荷を失って下方に流下する。
２４は正電極である９次に、矛１図において５は脱臭フ
ィルタであり、−例として活性炭の層が設けられている
。但しこの脱臭フィルター５は前記従来例に述べた活性
炭と異り、吸着量は僅かなものであり、このためその交
換の頻度はごく少くてすむようになっている。２Ｇは排
気ファン１、υは排気口である１次に路は回＋１３（通
路であり、加は分離装置であって断面はぼ矛３図に示す
ように樋状に形成されている。３０は側壁であり、その
本体はアルミニウムにより形成され、内部にヒータ（シ
ーズヒータ）３１が温度調整可能に設けられ、又本体四
は傾斜させて設けられ、その角度は調整装置３２（矛１
図）により変更できるようになっている。１３は多孔体
で、−例としてステンレス製のネットである。この多孔
体おけスチールウールその他の多孔体であってもよく、
金属の他色ラミックス、ガラス等製の多孔体でも差支え
はないこれは供給された液体を面積を大きくして拡げ。
ィルタであり、−例として活性炭の層が設けられている
。但しこの脱臭フィルター５は前記従来例に述べた活性
炭と異り、吸着量は僅かなものであり、このためその交
換の頻度はごく少くてすむようになっている。２Ｇは排
気ファン１、υは排気口である１次に路は回＋１３（通
路であり、加は分離装置であって断面はぼ矛３図に示す
ように樋状に形成されている。３０は側壁であり、その
本体はアルミニウムにより形成され、内部にヒータ（シ
ーズヒータ）３１が温度調整可能に設けられ、又本体四
は傾斜させて設けられ、その角度は調整装置３２（矛１
図）により変更できるようになっている。１３は多孔体
で、−例としてステンレス製のネットである。この多孔
体おけスチールウールその他の多孔体であってもよく、
金属の他色ラミックス、ガラス等製の多孔体でも差支え
はないこれは供給された液体を面積を大きくして拡げ。
かつ薄く形成させつつ流下させ、その間ヒータ３１によ
って加熱させ、前記有機溶剤と帯電剤１２とをその沸点
の差によりｅｌさせるのである。
って加熱させ、前記有機溶剤と帯電剤１２とをその沸点
の差によりｅｌさせるのである。
この場合ヒータ３１は５０℃〜８０℃でコントロールさ
れ、有機溶剤のフロンは４７．６℃で、又トリクロール
エ１グツは１７６．８℃でガス化し、揮発する。
れ、有機溶剤のフロンは４７．６℃で、又トリクロール
エ１グツは１７６．８℃でガス化し、揮発する。
なお帯電剤１２としてのフタル酸ジブチルは沸点が２８
０℃であり、揮発せずに流下して分離されるよう罠なっ
ている。そして揮発分離した有機溶剤はファン３７１に
、より冷却室あに送られ、冷却ユニット３６の冷却管３
７ Ｋより液化され、セパレレータ謔に流下する。七パ
レータあは帯電剤１２と有機溶剤とを比重によりセパレ
ートするようになっており、分離された有機溶剤は３９
として示され、後述の洗浄機等へポンプ・１０によって
送られる。一方分離装置四を流下した帯電剤・１２は供
給装置Ｉ３に入れられ、前記冷却ユニット％に接読され
た冷却管４１で冷却され、ポンプ１１によって添加装置
１０へ送られるようになっている。
０℃であり、揮発せずに流下して分離されるよう罠なっ
ている。そして揮発分離した有機溶剤はファン３７１に
、より冷却室あに送られ、冷却ユニット３６の冷却管３
７ Ｋより液化され、セパレレータ謔に流下する。七パ
レータあは帯電剤１２と有機溶剤とを比重によりセパレ
ートするようになっており、分離された有機溶剤は３９
として示され、後述の洗浄機等へポンプ・１０によって
送られる。一方分離装置四を流下した帯電剤・１２は供
給装置Ｉ３に入れられ、前記冷却ユニット％に接読され
た冷却管４１で冷却され、ポンプ１１によって添加装置
１０へ送られるようになっている。
次に、１・４図に示すものは有機溶剤を使用する装置の
一例としての洗浄装置であり、４３は洗浄装置の本体で
あり、４４はローダ、４５はアンローダ、４６は回動自
在に形成された無端状のチェノ又はネット等のキャリヤ
、４７は洗浄される物品であり、キャリヤ４６に固定さ
れている。４８はローラであり、四〇−ラ４８は図示し
ない駆動装置で駆動され、Φヤリャ４６は矢印Ａ４６方
向に移動される。４９は温浴槽であり、底部外側にヒー
タ関を有し、又超音波振動′ｊＡ置５１を有し、−例と
してフロンが洗浄剤として用いられる。・５２は冷浴ｉ
、５３はペーハー槽であり、フロンのペーパーにより物
品４７を洗浄するようになっている。
一例としての洗浄装置であり、４３は洗浄装置の本体で
あり、４４はローダ、４５はアンローダ、４６は回動自
在に形成された無端状のチェノ又はネット等のキャリヤ
、４７は洗浄される物品であり、キャリヤ４６に固定さ
れている。４８はローラであり、四〇−ラ４８は図示し
ない駆動装置で駆動され、Φヤリャ４６は矢印Ａ４６方
向に移動される。４９は温浴槽であり、底部外側にヒー
タ関を有し、又超音波振動′ｊＡ置５１を有し、−例と
してフロンが洗浄剤として用いられる。・５２は冷浴ｉ
、５３はペーハー槽であり、フロンのペーパーにより物
品４７を洗浄するようになっている。
５４は柔軟なプラスチックフィルム等を吊り下げた。ガ
スの洩出防止部材、５５は冷却用水管、５６は集合ガイ
ドで、水菅弱で凝集された有機溶剤を冷却槽５２へ流下
させて戻すようＫなっている。
スの洩出防止部材、５５は冷却用水管、５６は集合ガイ
ドで、水菅弱で凝集された有機溶剤を冷却槽５２へ流下
させて戻すようＫなっている。
次に５７ 、５８はエアシャワーで図示しないポンプに
連結され、周囲の空気、ガス等をローダ伺、アンローダ
４５の内側に吹き込ませるようになっている０次に５９
はローダ４４の、印はアンローダ４５の、６１は本体４
３の各負圧装置であり、それぞれ開口６２ 、６３ 、
６４を有し、これらはそれぞれファン６５ 、６６ 、
６７を設けて負圧を生ぜしめる。
連結され、周囲の空気、ガス等をローダ伺、アンローダ
４５の内側に吹き込ませるようになっている０次に５９
はローダ４４の、印はアンローダ４５の、６１は本体４
３の各負圧装置であり、それぞれ開口６２ 、６３ 、
６４を有し、これらはそれぞれファン６５ 、６６ 、
６７を設けて負圧を生ぜしめる。
なお前記エアシャワー５７ 、５８はそれぞれ負圧装置
の開口６２ 、６３の方に向けてエアを噴出するように
形成される。
の開口６２ 、６３の方に向けてエアを噴出するように
形成される。
又、前記負圧装置５９ 、６０ 、６１はこの発明にお
いては、前記回収装置１０通口２＋３＋４ＶＣそれぞれ
連通させられるが、その場合ファン６７は省略してもよ
い。
いては、前記回収装置１０通口２＋３＋４ＶＣそれぞれ
連通させられるが、その場合ファン６７は省略してもよ
い。
このよ５に、この洗浄装置はエアシャワー５７゜聞及び
負圧装置５９ 、６０ 、６１を設けたことにより従来
ならば本体４３の上部に図示しない通口を形成し、この
通口をダクトに連通させてこれを屋外等に開口せしめて
いたものであるが、これをなくシ、装置の外部に洩出す
る有機溶剤のガスを殆ど零にすることができるのである
。矛１図罠おいてミスト又はガスの通口２，３．４から
吸入された有機溶剤のミスト又はガスは第一整流装置７
で整流され、添加室９で帯電剤１２を添加され、帯電用
ミス）２２を形成し、次に帯電装置１６により帯電させ
られ、次に捕集用の電極１７により捕集されて回収され
る。そして回収された帯電剤１２及び有機溶剤の混合物
は分離装置四により分離され、それぞれ再使用される。
負圧装置５９ 、６０ 、６１を設けたことにより従来
ならば本体４３の上部に図示しない通口を形成し、この
通口をダクトに連通させてこれを屋外等に開口せしめて
いたものであるが、これをなくシ、装置の外部に洩出す
る有機溶剤のガスを殆ど零にすることができるのである
。矛１図罠おいてミスト又はガスの通口２，３．４から
吸入された有機溶剤のミスト又はガスは第一整流装置７
で整流され、添加室９で帯電剤１２を添加され、帯電用
ミス）２２を形成し、次に帯電装置１６により帯電させ
られ、次に捕集用の電極１７により捕集されて回収され
る。そして回収された帯電剤１２及び有機溶剤の混合物
は分離装置四により分離され、それぞれ再使用される。
この装置を使用すると、−例として、前記集合室６の濃
度５．０００ Ｐ Ｐ Ｍであったフロンガスは、排気
口ｎにおいて１１．７Ｉ’ｌ’Ｍであった。
度５．０００ Ｐ Ｐ Ｍであったフロンガスは、排気
口ｎにおいて１１．７Ｉ’ｌ’Ｍであった。
発明の効果
この発明は前記のようにＦｉｌ成され、有機溶剤のミス
ト又はガスに帯電剤を加えて帯電用ミストを形成し、該
帯電用ミストを？１′ｉ電装置により帯電せしめて帯電
ミストを形成し、該帯電ミストを捕集用の１１！極に接
しさせて回１■することにより、主な捕集を活性炭で行
なわないため、活性炭の交換による保守の面倒さを大巾
に減少させることができる。又活性炭を使用しないため
装置を小型化することができる。
ト又はガスに帯電剤を加えて帯電用ミストを形成し、該
帯電用ミストを？１′ｉ電装置により帯電せしめて帯電
ミストを形成し、該帯電ミストを捕集用の１１！極に接
しさせて回１■することにより、主な捕集を活性炭で行
なわないため、活性炭の交換による保守の面倒さを大巾
に減少させることができる。又活性炭を使用しないため
装置を小型化することができる。
ナして効率の高い有機溶剤のミスト又はガスの回収方法
を提供することができる。
を提供することができる。
又、回収したミストは帯電剤と有機溶剤に分離させて再
使用することができる。又その分離は両者の沸点の差に
基づいて容易に行５ことができる。
使用することができる。又その分離は両者の沸点の差に
基づいて容易に行５ことができる。
又フロン又はトリクロールエタンを効率的に回１１ｇす
ることができる。
ることができる。
又（１）１剤としてフタル酸ジブチルを用いたことによ
りフロン、トリクロールエタン等の有機溶剤の回収を良
好に行うことができる。
りフロン、トリクロールエタン等の有機溶剤の回収を良
好に行うことができる。
牙１図はこの発明の実施例を示し、有機溶剤のミスト又
はガスの回収方法に用いる装置の概略を示す断面図、Ａ
・２図は同装置の部分の平面図、５１１３図は矛１図に
示す装置の部分の正面断面図、矛４図は有機溶剤を用い
る洗浄装置の断面図である。 Ｉ２・・・Ｍ［剤 １６・・・帯電装置 １７・・・捕集用の電極
はガスの回収方法に用いる装置の概略を示す断面図、Ａ
・２図は同装置の部分の平面図、５１１３図は矛１図に
示す装置の部分の正面断面図、矛４図は有機溶剤を用い
る洗浄装置の断面図である。 Ｉ２・・・Ｍ［剤 １６・・・帯電装置 １７・・・捕集用の電極
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 有機溶剤のミスト又はガスに帯電剤を加えて帯電用
ミストを形成し、該帯電用ミストを帯電装置により帯電
せしめて帯電ミストを形成し、該帯電ミストを捕集用の
電極に接しさせて回収することを特徴とする有機溶剤の
ミスト又はガスの回収方法。 ２ 有機溶剤のミスト又はガスに帯電剤を加えて帯電用
ミストを形成し、該帯電用ミストを帯電装置により帯電
せしめて帯電ミストを形成し、該帯電ミストを捕集用の
電極に接しさせて捕集し、捕集した有機溶剤と帯電剤の
混合物を、有機溶剤と帯電剤に分離させることを特徴と
する有機溶剤のミスト又はガスの回収方法。 ３ 有機溶剤と帯電剤の分離は両者の沸点の差に基づい
てなされる請求項２記載の有機溶剤のミスト又はガスの
回収方法。 ４ 有機溶剤はフロンである請求項１又は２又は３記載
の、有機溶剤のミスト又はガスの回収方法。 ５ 有機溶剤はトリクロールエタンである請求項１又は
２又は３記載の有機溶剤のミスト又はガスの回収方法。 ６ 帯電剤は液体である請求項１又は２又は３又は４又
は５記載の有機溶剤のミスト又はガスの回収方法。 ７ 帯電剤はフタル酸ジブチルである請求項１又は２又
は３又は４又は５記載の有機溶剤のミスト又はガスの回
収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63150919A JPH01317558A (ja) | 1988-06-18 | 1988-06-18 | 有機溶剤のミスト又はガスの回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63150919A JPH01317558A (ja) | 1988-06-18 | 1988-06-18 | 有機溶剤のミスト又はガスの回収方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01317558A true JPH01317558A (ja) | 1989-12-22 |
| JPH0512029B2 JPH0512029B2 (ja) | 1993-02-17 |
Family
ID=15507270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63150919A Granted JPH01317558A (ja) | 1988-06-18 | 1988-06-18 | 有機溶剤のミスト又はガスの回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01317558A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100236406A1 (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and exhaust method therefor |
-
1988
- 1988-06-18 JP JP63150919A patent/JPH01317558A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100236406A1 (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-23 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and exhaust method therefor |
| US8398745B2 (en) * | 2009-03-19 | 2013-03-19 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and exhaust method therefor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512029B2 (ja) | 1993-02-17 |
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