JPH01304649A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JPH01304649A JPH01304649A JP63132765A JP13276588A JPH01304649A JP H01304649 A JPH01304649 A JP H01304649A JP 63132765 A JP63132765 A JP 63132765A JP 13276588 A JP13276588 A JP 13276588A JP H01304649 A JPH01304649 A JP H01304649A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ions
- electron
- positive
- detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 84
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 40
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 36
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 21
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000009532 heart rate measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N carbonyl sulfide Chemical compound O=C=S JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は質量分析計の検出機構に係り、特に正イオンお
よび負イオンを高感度で検出するのに好適な質量分析計
に係る。
よび負イオンを高感度で検出するのに好適な質量分析計
に係る。
従来の質量分析計における正イオン、負イオン共用検出
機構は、真空19巻、8号、(1976年)第280頁
から第288頁に記載のようにイオン−電子コンバータ
、電子−フォトンコンバータ(シンティレータ)、光電
子増倍管を組み合わせたものとなっていた。
機構は、真空19巻、8号、(1976年)第280頁
から第288頁に記載のようにイオン−電子コンバータ
、電子−フォトンコンバータ(シンティレータ)、光電
子増倍管を組み合わせたものとなっていた。
上記従来技術では正イオンおよび負イオン検出が行なえ
るが、光電子増倍管を使用することによるノイズ増加を
低減させる配慮がされておらず、特に正イオンに対する
高感度化が阻害されるという問題があった。
るが、光電子増倍管を使用することによるノイズ増加を
低減させる配慮がされておらず、特に正イオンに対する
高感度化が阻害されるという問題があった。
質量分析計では一般に正イオンを検出する場合には第6
図に示される構造の検出機構が用いられている。すなわ
ち質量分離器3で質量分離された正イオンは負高電圧の
印加された電子増倍管8のイオン−電子変換面7で二次
電子を発生する。二次電子は電子増倍管8で増幅され、
電流として検出記録部19へ送られる。この電子増倍管
8はノイズ発生量が少なく、質量分析計の正イオン検出
増幅器として多用されている。
図に示される構造の検出機構が用いられている。すなわ
ち質量分離器3で質量分離された正イオンは負高電圧の
印加された電子増倍管8のイオン−電子変換面7で二次
電子を発生する。二次電子は電子増倍管8で増幅され、
電流として検出記録部19へ送られる。この電子増倍管
8はノイズ発生量が少なく、質量分析計の正イオン検出
増幅器として多用されている。
しかし、電子増倍管はこの利用形態では負イオン検出に
用いることはできない。すなわち、電子増倍管8は電子
増幅のためイオン−電子変換面7が電流送出部9より低
い電位に設定されている必要がある。質量分離器3およ
びスリット4はアース電位であり、質量分離器3を通過
した負イオンがイオン−電子変換面7で電子を発生する
ためにはイオン−電子変換面7は正の高電圧が印加され
る必要がある。この時、電流送出部9はイオン−電子変
換面7よりさらに高い正の高電位状態となり、この電流
を扱う検出記録部19も高電位状態となってしまう。こ
の問題を解決するために電流送出部9と検出記録部19
を直接導通させないパルス計測法があるが、この手法は
高感度化を図るためにイオン源2およびイオン源から電
子増倍管8までのイオン光学系改良により、イオン−電
子変換面7に到達するイオン量を増加させるとイオンの
数え落としが発生するという不都合な現象がある。例え
ば大気圧イオン化質量分析計は極めて高感度な分析計で
微量成分検出に用いられるため、弱小ピークを検出する
必要がある。しかし、この手法はその特性から、同時に
主成分の主ピークも観測する必要がある。高感度化のた
めイオン光学系を改良し、電子増倍管に到達するイオン
量を増大させた時、主成分イオン量は1O−10A以上
となり、パルス計測法では計測できない。
用いることはできない。すなわち、電子増倍管8は電子
増幅のためイオン−電子変換面7が電流送出部9より低
い電位に設定されている必要がある。質量分離器3およ
びスリット4はアース電位であり、質量分離器3を通過
した負イオンがイオン−電子変換面7で電子を発生する
ためにはイオン−電子変換面7は正の高電圧が印加され
る必要がある。この時、電流送出部9はイオン−電子変
換面7よりさらに高い正の高電位状態となり、この電流
を扱う検出記録部19も高電位状態となってしまう。こ
の問題を解決するために電流送出部9と検出記録部19
を直接導通させないパルス計測法があるが、この手法は
高感度化を図るためにイオン源2およびイオン源から電
子増倍管8までのイオン光学系改良により、イオン−電
子変換面7に到達するイオン量を増加させるとイオンの
数え落としが発生するという不都合な現象がある。例え
ば大気圧イオン化質量分析計は極めて高感度な分析計で
微量成分検出に用いられるため、弱小ピークを検出する
必要がある。しかし、この手法はその特性から、同時に
主成分の主ピークも観測する必要がある。高感度化のた
めイオン光学系を改良し、電子増倍管に到達するイオン
量を増大させた時、主成分イオン量は1O−10A以上
となり、パルス計測法では計測できない。
そこで、負イオン検出のために従来は図7に示される検
出機構が用いられていた。すなわち、負イオンは正の高
電圧の印加されたイオン−電子コンバータ10で電子に
変換され、電子はさらに正の高電圧が印加された電子−
フォトンコンバータ13でフォトンに変換される。この
フォトンが光電子増管15で電流として検出増幅され、
検出記録部19に送出される。光電子増倍管15の電流
送出部17はアース電位であるから、検出記録部19も
アース電位となる。
出機構が用いられていた。すなわち、負イオンは正の高
電圧の印加されたイオン−電子コンバータ10で電子に
変換され、電子はさらに正の高電圧が印加された電子−
フォトンコンバータ13でフォトンに変換される。この
フォトンが光電子増管15で電流として検出増幅され、
検出記録部19に送出される。光電子増倍管15の電流
送出部17はアース電位であるから、検出記録部19も
アース電位となる。
この負イオン検出機構はイオン−電子コンバータ10に
負の高電圧を印加し、電子−フォトンコンバータ13に
イオン−電子コンバータ10より正側に高い電圧を印加
すれば正イオンの検出も行なえるので正イオン、負イオ
ンの共用検出器となる。
負の高電圧を印加し、電子−フォトンコンバータ13に
イオン−電子コンバータ10より正側に高い電圧を印加
すれば正イオンの検出も行なえるので正イオン、負イオ
ンの共用検出器となる。
しかし、第7図の検出機構は以下の欠点がある。
すなわち、光電子増倍管15は第6図に示される電子増
倍管8に比較して、光、宇宙線等の影響を受けやすく、
ノイズを発生しやすい。従って、第7図に示される正負
イオン検出機構は正イオン検出に関し、第6図に示され
る正イオン検出機構より信号雑音比(S/N)が低く、
微量イオンの高感度検出ができないという大きな問題点
があった。
倍管8に比較して、光、宇宙線等の影響を受けやすく、
ノイズを発生しやすい。従って、第7図に示される正負
イオン検出機構は正イオン検出に関し、第6図に示され
る正イオン検出機構より信号雑音比(S/N)が低く、
微量イオンの高感度検出ができないという大きな問題点
があった。
もし、第6図に示される装置で負イオンを検出しようと
すれば第7図の検出機構をわざわざ第6図の検出機構に
置き換えて設置しなおさなければならず、また第7図の
装置で正イオンを高感度に検出しようとすれば、第6図
の検出機構を第7図の装置に設置しなおさなければなら
ない。この交換操作は極めて煩雑で長時間を要し、頻繁
に行なうことは実際不可能である。
すれば第7図の検出機構をわざわざ第6図の検出機構に
置き換えて設置しなおさなければならず、また第7図の
装置で正イオンを高感度に検出しようとすれば、第6図
の検出機構を第7図の装置に設置しなおさなければなら
ない。この交換操作は極めて煩雑で長時間を要し、頻繁
に行なうことは実際不可能である。
そこで、本発明の目的は正イオンを高感度に検出可能と
し、かつ負イオンも検出可能な検出機構を提供すること
にある。
し、かつ負イオンも検出可能な検出機構を提供すること
にある。
上記目的は電子増倍管と光電子増倍管を質量分離器後方
の同一真空槽内に設置することにより、達成される。
の同一真空槽内に設置することにより、達成される。
質量分離器を透過した正イオンは負高電圧の印加された
電子増倍管のイオン−電子変換面に加速されて衝突し、
二次電子を発生する。二次電子は電子増倍管により増幅
され、電流として検出記録部へ送出される。
電子増倍管のイオン−電子変換面に加速されて衝突し、
二次電子を発生する。二次電子は電子増倍管により増幅
され、電流として検出記録部へ送出される。
また負イオンは同一真空槽内に設置されたイオン−電子
コンバータ、電子−フォトンコンバータ。
コンバータ、電子−フォトンコンバータ。
光電子増倍管によって検出増幅される。すなわち、質量
分離器を透過した負イオンは正の高電圧の印加されたイ
オン−電子コンバータと質量分離器の電位勾配により、
イオン−電子コンバータに加速導入され、電子を発生す
る。この電子はイオン−電子コンバータより高い電位が
印加されている電子−フォトンコンバータに加速導入さ
れて光を発生する。光は光電子増倍管で光電子として増
幅され、検出記録部に送出される。
分離器を透過した負イオンは正の高電圧の印加されたイ
オン−電子コンバータと質量分離器の電位勾配により、
イオン−電子コンバータに加速導入され、電子を発生す
る。この電子はイオン−電子コンバータより高い電位が
印加されている電子−フォトンコンバータに加速導入さ
れて光を発生する。光は光電子増倍管で光電子として増
幅され、検出記録部に送出される。
このように同一真空槽内に正イオン検出用の電子増倍管
と負イオン検出用の光電子増倍管の両方を設置すること
により、正イオンは高感度に検出され、また負イオンの
検出も行なえる。しかし、単に同一真空槽内に二つの検
出機構を設置しても検出機構の形状、大きさ等から、高
感度検出を行うための検出器へ到達するイオン量が最大
となるような最適位置に検出器を設置することは困難で
ある。
と負イオン検出用の光電子増倍管の両方を設置すること
により、正イオンは高感度に検出され、また負イオンの
検出も行なえる。しかし、単に同一真空槽内に二つの検
出機構を設置しても検出機構の形状、大きさ等から、高
感度検出を行うための検出器へ到達するイオン量が最大
となるような最適位置に検出器を設置することは困難で
ある。
そこで、本発明では真空槽外からの操作により、真空槽
内で各検出機構の位置を移動させることにより、イオン
軌道に対して最適位置に各検出機構を設置することがで
きるようにしている。この移動機構を具備した本発明に
より、従来の正負共用検出機構の正イオンに対するS/
N低下を解消することができる。
内で各検出機構の位置を移動させることにより、イオン
軌道に対して最適位置に各検出機構を設置することがで
きるようにしている。この移動機構を具備した本発明に
より、従来の正負共用検出機構の正イオンに対するS/
N低下を解消することができる。
以下、本発明の一実施例を第1図、第2図により説明す
る。
る。
第1図では電子増倍管8と光電子増倍管15が同一真空
槽1内に平行に設置されている。また、電子増倍管8.
ディフレクタ6、イオン−電子コンバータ10.電子−
フォトンコンバータ(シンティレータ)14.光電子増
倍管15はいずれも固定台16に固定されて設置され、
固定台16は回転導入機構20に結合されている。固定
台16は回転導入機構20を真空槽1外部で操作するこ
とにより、A−A’力方向移動可能となっている。
槽1内に平行に設置されている。また、電子増倍管8.
ディフレクタ6、イオン−電子コンバータ10.電子−
フォトンコンバータ(シンティレータ)14.光電子増
倍管15はいずれも固定台16に固定されて設置され、
固定台16は回転導入機構20に結合されている。固定
台16は回転導入機構20を真空槽1外部で操作するこ
とにより、A−A’力方向移動可能となっている。
まず負イオン検出の場合を説明する。イオン源2から引
き出され、質量分離器3.スリット4を透過した負イオ
ンが負電位が設定されたディフレクタ6によって負イオ
ン軌道26のように偏向される。さらにイオン−電子コ
ンバータ10にかけられた正の高電圧により加速されて
イオン電子−コンバータ10のイオン−電子変換面11
に導入されて電子を発生する。この電子は電子増幅器1
2で増幅され、さらに電子増幅器12より正側の高電圧
の印加された電子−フォトンコンバータ(シンチレータ
)13に加速導入されて光を発生する。この光は光電子
増倍管15のフォトン−電子変換面14で電子に変換さ
れ、この電子が光電増倍管15で増幅され、信号電流と
して記録部19に送られる。
き出され、質量分離器3.スリット4を透過した負イオ
ンが負電位が設定されたディフレクタ6によって負イオ
ン軌道26のように偏向される。さらにイオン−電子コ
ンバータ10にかけられた正の高電圧により加速されて
イオン電子−コンバータ10のイオン−電子変換面11
に導入されて電子を発生する。この電子は電子増幅器1
2で増幅され、さらに電子増幅器12より正側の高電圧
の印加された電子−フォトンコンバータ(シンチレータ
)13に加速導入されて光を発生する。この光は光電子
増倍管15のフォトン−電子変換面14で電子に変換さ
れ、この電子が光電増倍管15で増幅され、信号電流と
して記録部19に送られる。
次に正イオン検出の場合を第2図を用いて説明する。デ
ィフレクタ6は正電位に変更され、これによって正イオ
ンは正イオン軌道27のように偏向されてイオン−電子
変換面7に導入されて電子を発生する。この電子が電子
増倍管8で増幅されて信号電流として記録部19に送ら
れる。
ィフレクタ6は正電位に変更され、これによって正イオ
ンは正イオン軌道27のように偏向されてイオン−電子
変換面7に導入されて電子を発生する。この電子が電子
増倍管8で増幅されて信号電流として記録部19に送ら
れる。
負イオン、正イオンは以上のようにして検出されるが、
第1図と第2図において固定台16の位置が異なってい
ることが重要な事項である。
第1図と第2図において固定台16の位置が異なってい
ることが重要な事項である。
一般に質量分析計、特に四重極質量分析計では質量分離
器3を通過してくる粒子として、イオンの他に中性の励
起分子がある。この励起分子がイオン−電子変換面7,
11に導入されるとイオンと同様に電子を発生してノイ
ズ原因となるのでこの励起分子は感度低減の原因となる
。そこでこの励起分子をイオン−電子変換面7,11に
導入させないために通常は第6図、第7図に示されるよ
うにイオン−電子変換器7,11は質量分離器3内のイ
オン進行方向の軸25からはずれた位置に設置され、イ
オンのみをディフレクタ6で偏向させている。従って第
1図、第2図のように同一真空槽内に電子増倍管8と光
電子増倍管15を設置した場合、イオン軌道26.27
の最適軌道に対してイオン−電子変換面7,11が最適
位置に設置されれば固定台16は移動される必要がない
。
器3を通過してくる粒子として、イオンの他に中性の励
起分子がある。この励起分子がイオン−電子変換面7,
11に導入されるとイオンと同様に電子を発生してノイ
ズ原因となるのでこの励起分子は感度低減の原因となる
。そこでこの励起分子をイオン−電子変換面7,11に
導入させないために通常は第6図、第7図に示されるよ
うにイオン−電子変換器7,11は質量分離器3内のイ
オン進行方向の軸25からはずれた位置に設置され、イ
オンのみをディフレクタ6で偏向させている。従って第
1図、第2図のように同一真空槽内に電子増倍管8と光
電子増倍管15を設置した場合、イオン軌道26.27
の最適軌道に対してイオン−電子変換面7,11が最適
位置に設置されれば固定台16は移動される必要がない
。
しかし、電子増倍管8.光電子増倍管15の大きさおよ
びイオン−電子変換面7,11に印加された高電圧によ
る放電対策の関係から、イオン−電子変換面7,11は
質量分離器3内のイオン進行方向軸からの距離が大きく
なるように設置されなければならず、単純に2つの検出
機構を設置しただけでは最適イオン軌道上への設置が困
難である。イオン軌道26.27はディフレクタ6の電
位により変えられるが、スリット4の穴とイオン−電子
変換面7,11の距離が大きくなると電界領域5でのイ
オンの損失が大きくなり、感度が低下する。
びイオン−電子変換面7,11に印加された高電圧によ
る放電対策の関係から、イオン−電子変換面7,11は
質量分離器3内のイオン進行方向軸からの距離が大きく
なるように設置されなければならず、単純に2つの検出
機構を設置しただけでは最適イオン軌道上への設置が困
難である。イオン軌道26.27はディフレクタ6の電
位により変えられるが、スリット4の穴とイオン−電子
変換面7,11の距離が大きくなると電界領域5でのイ
オンの損失が大きくなり、感度が低下する。
そこで、本実施例では最適イオン軌道に対して、イオン
−電子変換面7,11を最適位置に調整可能とするため
、固定台16を真空槽外部から真空を破らずに移動する
ことができる様になっている。
−電子変換面7,11を最適位置に調整可能とするため
、固定台16を真空槽外部から真空を破らずに移動する
ことができる様になっている。
すなわち、回転導入機構20を回転軸24を中心として
回転させることにより、回転導入機構先端21の位置が
A−A’力方向移動される。回転導入機構先端21はベ
ローズ22に結合されており、さらにベローズ22と固
定台16が結合棒23によって結合されている。すなわ
ち1回転導入機構20を真空槽外部で回転させることに
より固定台16をA−A’力方向移動させることができ
る。この機構により、正イオン軌道27および負イオン
軌道26に対してイオン−電子変換面7゜11を各々最
適位置に設定できるため、高感度測定が可能となる。な
おベローズ22は回転導入機構20に用いられる潤滑油
等の汚れ成分が真空槽内に混入するのを防ぐ目的で用い
られている。
回転させることにより、回転導入機構先端21の位置が
A−A’力方向移動される。回転導入機構先端21はベ
ローズ22に結合されており、さらにベローズ22と固
定台16が結合棒23によって結合されている。すなわ
ち1回転導入機構20を真空槽外部で回転させることに
より固定台16をA−A’力方向移動させることができ
る。この機構により、正イオン軌道27および負イオン
軌道26に対してイオン−電子変換面7゜11を各々最
適位置に設定できるため、高感度測定が可能となる。な
おベローズ22は回転導入機構20に用いられる潤滑油
等の汚れ成分が真空槽内に混入するのを防ぐ目的で用い
られている。
第3図は本実施例による正イオンの検出例、第4図は従
来の正負共用検出装置(第7図)による正イオンの検出
例である。第3図と第4図を比較して明らかなように本
実施例によるスペクトルは従来装置スペクトルよりノイ
ズレベルが極めて低い。本実施例で検出されているm
/ z 167のピークは従来装置では検出不可能であ
る。
来の正負共用検出装置(第7図)による正イオンの検出
例である。第3図と第4図を比較して明らかなように本
実施例によるスペクトルは従来装置スペクトルよりノイ
ズレベルが極めて低い。本実施例で検出されているm
/ z 167のピークは従来装置では検出不可能であ
る。
以上述べたように本実施例によれば正イオンを高感度に
検出でき、また負イオンも簡便に検出できる。
検出でき、また負イオンも簡便に検出できる。
第5図も本発明の一実施例である。
第5図は第1図、第2図の固定台16の移動を自動的に
行なりせたものである。
行なりせたものである。
固定台16は回転導入機構20で移動させるが、回転導
入機構20は駆動モータ29で駆動される。
入機構20は駆動モータ29で駆動される。
さらに駆動モータ29は騰区動制御部28で制御されて
いる。固定台16を移動させながら信号検出を行ない、
記録部19で信号解析が行なわれ、イオン検出量が最大
となる固定台16の位置情報が駆動制御部28に送られ
て、駆動モータ299回転導入機構20によって固定台
16が最適位置に移動されているようになっている。
いる。固定台16を移動させながら信号検出を行ない、
記録部19で信号解析が行なわれ、イオン検出量が最大
となる固定台16の位置情報が駆動制御部28に送られ
て、駆動モータ299回転導入機構20によって固定台
16が最適位置に移動されているようになっている。
本実施例によれば高感度測定のためのイオン−電子変換
面を最適位置に設置する煩雑な操作が自動的に行われる
という操作簡略の効果がある。
面を最適位置に設置する煩雑な操作が自動的に行われる
という操作簡略の効果がある。
以上、述べたように本発明によれば従来不可能であった
正イオンの感度を低下させることなく検出でき、また負
イオンも簡便に検出できるという大きな効果がある。
正イオンの感度を低下させることなく検出でき、また負
イオンも簡便に検出できるという大きな効果がある。
すなわち、正イオンを高感度に検出し、かつ負イオンも
測定する場合、従来装置では複数台の専用質量分析計を
持つかまたは真空装置内の検出機構を交換しなければな
らないという極めて困難な問題を本発明は解決している
。
測定する場合、従来装置では複数台の専用質量分析計を
持つかまたは真空装置内の検出機構を交換しなければな
らないという極めて困難な問題を本発明は解決している
。
第1図、第2図は本発明の一実施例の構成図、第3図は
本発明の質量分析計により得られたスペクトルを示す図
、第4図は従来装置により得られたスペクトルを示す図
、第5図は本発明による他の実施例の構成図、第6図は
正イオン検出用従来装置の構成図、第7図は正負両イオ
ン検出用従来装置の構成図である。 1・・・真空槽、2・・・イオン源、3・・・質量分離
器、4・・・スリット、5・・・電界領域、6・・・デ
ィフレクタ、7・・・イオン−電子変換面、8・・・電
子増倍管、9・・・電流送出部、10・・・イオン−電
子コンバータ。 11・・・イオン−電子変換面、12・・・電子増幅器
、13・・・電子−フォトンコンバータ、14・・・フ
ォトン−電子変換面、15・・・光電子増倍管、16・
・・固定置、17・・・電流送出部、18・・・電流導
入端子、19・・・記録部、20・・・回転導入機構、
21・・・回転導入機構先端、22・・ベローズ、23
・・・結合棒、24・・・回転軸、25・・・質量分離
器内イオン軌道、26・・・負イオン軌道、27・・・
正イオン軌道、28・・・駆動制御部、29・・・駆動
モータ。 第3目 1 第′目 第1目 第4図 第7目 2:(ド(帰零
本発明の質量分析計により得られたスペクトルを示す図
、第4図は従来装置により得られたスペクトルを示す図
、第5図は本発明による他の実施例の構成図、第6図は
正イオン検出用従来装置の構成図、第7図は正負両イオ
ン検出用従来装置の構成図である。 1・・・真空槽、2・・・イオン源、3・・・質量分離
器、4・・・スリット、5・・・電界領域、6・・・デ
ィフレクタ、7・・・イオン−電子変換面、8・・・電
子増倍管、9・・・電流送出部、10・・・イオン−電
子コンバータ。 11・・・イオン−電子変換面、12・・・電子増幅器
、13・・・電子−フォトンコンバータ、14・・・フ
ォトン−電子変換面、15・・・光電子増倍管、16・
・・固定置、17・・・電流送出部、18・・・電流導
入端子、19・・・記録部、20・・・回転導入機構、
21・・・回転導入機構先端、22・・ベローズ、23
・・・結合棒、24・・・回転軸、25・・・質量分離
器内イオン軌道、26・・・負イオン軌道、27・・・
正イオン軌道、28・・・駆動制御部、29・・・駆動
モータ。 第3目 1 第′目 第1目 第4図 第7目 2:(ド(帰零
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、真空槽と、該真空槽内に設けられイオンを質量分離
する質量分離手段と、上記真空槽内に設けられた上記分
離されたイオンを検出し電気信号にする検出手段とを有
する質量分析計において、上記検出手段として正イオン
を検出する電子増倍管及び負イオンを検出する光電子増
倍管を設けたことを特徴とする質量分析計。 2、請求項1記載の質量分析計において、上記電子増倍
管及び光電子増倍管の位置を上記真空槽外部からの制御
により移動する手段を設けたことを特徴とする質量分析
計。 3、請求項2記載の質量分析計において、上記電子増倍
管及び光電子増倍管の移動方向は上記質量分析計から射
出される中性粒子の軌道と垂直方向であることを特徴と
する質量分析計。 4、請求項1乃至3のうちいずれかに記載の質量分析計
において、上記質量分離手段と上記検出手段の間に、イ
オンの軌道を変えるための偏向手段を設けたことを特徴
とする質量分析計。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63132765A JP2735222B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 質量分析計 |
EP89109734A EP0345605B1 (en) | 1988-06-01 | 1989-05-30 | Mass spectrometer |
DE68917381T DE68917381T2 (de) | 1988-06-01 | 1989-05-30 | Massenspektrometer. |
US07/360,107 US4996422A (en) | 1988-06-01 | 1989-06-01 | Mass spectrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63132765A JP2735222B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 質量分析計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01304649A true JPH01304649A (ja) | 1989-12-08 |
JP2735222B2 JP2735222B2 (ja) | 1998-04-02 |
Family
ID=15089032
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63132765A Expired - Fee Related JP2735222B2 (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 質量分析計 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4996422A (ja) |
EP (1) | EP0345605B1 (ja) |
JP (1) | JP2735222B2 (ja) |
DE (1) | DE68917381T2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020161451A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2648616B1 (fr) * | 1989-06-16 | 1991-12-13 | Cit Alcatel | Dispositif de traitement du signal recu par un multiplicateur d'electrons |
JP2769205B2 (ja) * | 1989-09-16 | 1998-06-25 | 株式会社日立製作所 | 粒子状物質の分析方法、その装置及びこれを利用した超純水製造管理システム |
DE4019005C2 (de) * | 1990-06-13 | 2000-03-09 | Finnigan Mat Gmbh | Vorrichtungen zur Analyse von Ionen hoher Masse |
US5386115A (en) * | 1993-09-22 | 1995-01-31 | Westinghouse Electric Corporation | Solid state micro-machined mass spectrograph universal gas detection sensor |
US5401963A (en) * | 1993-11-01 | 1995-03-28 | Rosemount Analytical Inc. | Micromachined mass spectrometer |
GB9604655D0 (en) * | 1996-03-05 | 1996-05-01 | Fisons Plc | Mass spectrometer and detector apparatus therefor |
US6958474B2 (en) * | 2000-03-16 | 2005-10-25 | Burle Technologies, Inc. | Detector for a bipolar time-of-flight mass spectrometer |
US6828729B1 (en) | 2000-03-16 | 2004-12-07 | Burle Technologies, Inc. | Bipolar time-of-flight detector, cartridge and detection method |
US6707034B1 (en) * | 2002-08-29 | 2004-03-16 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mass spectrometer and ion detector used therein |
WO2005024882A2 (en) * | 2003-09-05 | 2005-03-17 | Griffin Analytical Technologies | Ion detection methods, mass spectrometry analysis methods, and mass spectrometry instrument circuitry |
US7624403B2 (en) * | 2004-03-25 | 2009-11-24 | Microsoft Corporation | API for building semantically rich diagramming tools |
CA2570806A1 (en) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Griffin Analytical Technologies, Inc. | Analytical instruments, assemblies, and methods |
DE112006001030T5 (de) | 2005-04-25 | 2008-03-20 | Griffin Analytical Technologies L.L.C., West Lafayette | Analyseinstrumente, -Vorrichtungen und -Verfahren |
US7465919B1 (en) * | 2006-03-22 | 2008-12-16 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Ion detection system with neutral noise suppression |
US7992424B1 (en) | 2006-09-14 | 2011-08-09 | Griffin Analytical Technologies, L.L.C. | Analytical instrumentation and sample analysis methods |
US8735810B1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-05-27 | Virgin Instruments Corporation | Time-of-flight mass spectrometer with ion source and ion detector electrically connected |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6244946A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Shimadzu Corp | 荷電粒子等の検出器 |
JPS6297249A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 二次イオン質量分析計 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2445711A1 (de) * | 1973-10-03 | 1975-04-10 | Hewlett Packard Co | Ionen/elektronen-umwandler |
US3898456A (en) * | 1974-07-25 | 1975-08-05 | Us Energy | Electron multiplier-ion detector system |
CA1076714A (en) * | 1976-01-20 | 1980-04-29 | Donald F. Hunt | Positive and negative ion recording system for mass spectrometer |
US4423324A (en) * | 1977-04-22 | 1983-12-27 | Finnigan Corporation | Apparatus for detecting negative ions |
US4507555A (en) * | 1983-03-04 | 1985-03-26 | Cherng Chang | Parallel mass spectrometer |
GB8603999D0 (en) * | 1986-02-18 | 1986-03-26 | Vg Instr Group | Vacuum monitoring apparatus |
GB8705289D0 (en) * | 1987-03-06 | 1987-04-08 | Vg Instr Group | Mass spectrometer |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP63132765A patent/JP2735222B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-05-30 DE DE68917381T patent/DE68917381T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-30 EP EP89109734A patent/EP0345605B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-06-01 US US07/360,107 patent/US4996422A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6244946A (ja) * | 1985-08-22 | 1987-02-26 | Shimadzu Corp | 荷電粒子等の検出器 |
JPS6297249A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 二次イオン質量分析計 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020161451A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
WO2020195062A1 (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | イオン検出装置 |
US11955327B2 (en) | 2019-03-28 | 2024-04-09 | Hitachi High-Tech Corporation | Ion detector |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0345605B1 (en) | 1994-08-10 |
EP0345605A1 (en) | 1989-12-13 |
US4996422A (en) | 1991-02-26 |
JP2735222B2 (ja) | 1998-04-02 |
DE68917381T2 (de) | 1994-12-01 |
DE68917381D1 (de) | 1994-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH01304649A (ja) | 質量分析計 | |
US10395905B2 (en) | Ion detectors and methods of using them | |
CA1269181A (en) | Mass spectrometer for positive and negative ions | |
US20060011829A1 (en) | Gas chromatograph and mass spectrometer | |
EP0485412A1 (en) | Plasma source mass spectometry | |
EP0559202B1 (en) | Secondary ion mass spectrometer for analyzing positive and negative ions | |
US6091068A (en) | Ion collector assembly | |
US5032724A (en) | Multichannel charged-particle analyzer | |
US5091645A (en) | Selectable-resolution charged-particle beam analyzers | |
EP0278034A1 (en) | Detector of charged particles | |
JP3721833B2 (ja) | 質量分析装置 | |
Van Hoof et al. | Position-sensitive detector system for angle-resolved electron spectroscopy with a cylindrical mirror analyser | |
GB2323468A (en) | Mass spectrometer total pressure collector | |
JPH083987B2 (ja) | 質量分析装置の後段加速検知器 | |
CN112378985A (zh) | 用于扇形磁场质谱仪的离子信号检测装置和方法 | |
GB2148050A (en) | Ac-modulation quadrupole mass spectrometer | |
WO2004047143A1 (en) | Mass spectrometer | |
US20240128070A1 (en) | Multimode ion detector with wide dynamic range and automatic mode switching | |
EP0932184A1 (en) | Ion collector assembly | |
WO1999035668A3 (en) | Charged particle energy analysers | |
JPH10144254A (ja) | 四重極質量分析計 | |
JPS6264042A (ja) | 荷電粒子等の検出器 | |
Grzelakowski et al. | The miniature cylindrical mirror analyzer: A new tool for surface analysis | |
JP3097148B2 (ja) | 質量分析装置 | |
SU860638A1 (ru) | Квадрупольный масс-спектрометр |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080109 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |