JPH01304649A - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
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- JPH01304649A JPH01304649A JP63132765A JP13276588A JPH01304649A JP H01304649 A JPH01304649 A JP H01304649A JP 63132765 A JP63132765 A JP 63132765A JP 13276588 A JP13276588 A JP 13276588A JP H01304649 A JPH01304649 A JP H01304649A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は質量分析計の検出機構に係り、特に正イオンお
よび負イオンを高感度で検出するのに好適な質量分析計
に係る。
よび負イオンを高感度で検出するのに好適な質量分析計
に係る。
従来の質量分析計における正イオン、負イオン共用検出
機構は、真空１９巻、８号、（１９７６年）第２８０頁
から第２８８頁に記載のようにイオン−電子コンバータ
、電子−フォトンコンバータ（シンティレータ）、光電
子増倍管を組み合わせたものとなっていた。
機構は、真空１９巻、８号、（１９７６年）第２８０頁
から第２８８頁に記載のようにイオン−電子コンバータ
、電子−フォトンコンバータ（シンティレータ）、光電
子増倍管を組み合わせたものとなっていた。
上記従来技術では正イオンおよび負イオン検出が行なえ
るが、光電子増倍管を使用することによるノイズ増加を
低減させる配慮がされておらず、特に正イオンに対する
高感度化が阻害されるという問題があった。
るが、光電子増倍管を使用することによるノイズ増加を
低減させる配慮がされておらず、特に正イオンに対する
高感度化が阻害されるという問題があった。
質量分析計では一般に正イオンを検出する場合には第６
図に示される構造の検出機構が用いられている。すなわ
ち質量分離器３で質量分離された正イオンは負高電圧の
印加された電子増倍管８のイオン−電子変換面７で二次
電子を発生する。二次電子は電子増倍管８で増幅され、
電流として検出記録部１９へ送られる。この電子増倍管
８はノイズ発生量が少なく、質量分析計の正イオン検出
増幅器として多用されている。
図に示される構造の検出機構が用いられている。すなわ
ち質量分離器３で質量分離された正イオンは負高電圧の
印加された電子増倍管８のイオン−電子変換面７で二次
電子を発生する。二次電子は電子増倍管８で増幅され、
電流として検出記録部１９へ送られる。この電子増倍管
８はノイズ発生量が少なく、質量分析計の正イオン検出
増幅器として多用されている。
しかし、電子増倍管はこの利用形態では負イオン検出に
用いることはできない。すなわち、電子増倍管８は電子
増幅のためイオン−電子変換面７が電流送出部９より低
い電位に設定されている必要がある。質量分離器３およ
びスリット４はアース電位であり、質量分離器３を通過
した負イオンがイオン−電子変換面７で電子を発生する
ためにはイオン−電子変換面７は正の高電圧が印加され
る必要がある。この時、電流送出部９はイオン−電子変
換面７よりさらに高い正の高電位状態となり、この電流
を扱う検出記録部１９も高電位状態となってしまう。こ
の問題を解決するために電流送出部９と検出記録部１９
を直接導通させないパルス計測法があるが、この手法は
高感度化を図るためにイオン源２およびイオン源から電
子増倍管８までのイオン光学系改良により、イオン−電
子変換面７に到達するイオン量を増加させるとイオンの
数え落としが発生するという不都合な現象がある。例え
ば大気圧イオン化質量分析計は極めて高感度な分析計で
微量成分検出に用いられるため、弱小ピークを検出する
必要がある。しかし、この手法はその特性から、同時に
主成分の主ピークも観測する必要がある。高感度化のた
めイオン光学系を改良し、電子増倍管に到達するイオン
量を増大させた時、主成分イオン量は１Ｏ−１０Ａ以上
となり、パルス計測法では計測できない。
用いることはできない。すなわち、電子増倍管８は電子
増幅のためイオン−電子変換面７が電流送出部９より低
い電位に設定されている必要がある。質量分離器３およ
びスリット４はアース電位であり、質量分離器３を通過
した負イオンがイオン−電子変換面７で電子を発生する
ためにはイオン−電子変換面７は正の高電圧が印加され
る必要がある。この時、電流送出部９はイオン−電子変
換面７よりさらに高い正の高電位状態となり、この電流
を扱う検出記録部１９も高電位状態となってしまう。こ
の問題を解決するために電流送出部９と検出記録部１９
を直接導通させないパルス計測法があるが、この手法は
高感度化を図るためにイオン源２およびイオン源から電
子増倍管８までのイオン光学系改良により、イオン−電
子変換面７に到達するイオン量を増加させるとイオンの
数え落としが発生するという不都合な現象がある。例え
ば大気圧イオン化質量分析計は極めて高感度な分析計で
微量成分検出に用いられるため、弱小ピークを検出する
必要がある。しかし、この手法はその特性から、同時に
主成分の主ピークも観測する必要がある。高感度化のた
めイオン光学系を改良し、電子増倍管に到達するイオン
量を増大させた時、主成分イオン量は１Ｏ−１０Ａ以上
となり、パルス計測法では計測できない。
そこで、負イオン検出のために従来は図７に示される検
出機構が用いられていた。すなわち、負イオンは正の高
電圧の印加されたイオン−電子コンバータ１０で電子に
変換され、電子はさらに正の高電圧が印加された電子−
フォトンコンバータ１３でフォトンに変換される。この
フォトンが光電子増管１５で電流として検出増幅され、
検出記録部１９に送出される。光電子増倍管１５の電流
送出部１７はアース電位であるから、検出記録部１９も
アース電位となる。
出機構が用いられていた。すなわち、負イオンは正の高
電圧の印加されたイオン−電子コンバータ１０で電子に
変換され、電子はさらに正の高電圧が印加された電子−
フォトンコンバータ１３でフォトンに変換される。この
フォトンが光電子増管１５で電流として検出増幅され、
検出記録部１９に送出される。光電子増倍管１５の電流
送出部１７はアース電位であるから、検出記録部１９も
アース電位となる。
この負イオン検出機構はイオン−電子コンバータ１０に
負の高電圧を印加し、電子−フォトンコンバータ１３に
イオン−電子コンバータ１０より正側に高い電圧を印加
すれば正イオンの検出も行なえるので正イオン、負イオ
ンの共用検出器となる。
負の高電圧を印加し、電子−フォトンコンバータ１３に
イオン−電子コンバータ１０より正側に高い電圧を印加
すれば正イオンの検出も行なえるので正イオン、負イオ
ンの共用検出器となる。
しかし、第７図の検出機構は以下の欠点がある。
すなわち、光電子増倍管１５は第６図に示される電子増
倍管８に比較して、光、宇宙線等の影響を受けやすく、
ノイズを発生しやすい。従って、第７図に示される正負
イオン検出機構は正イオン検出に関し、第６図に示され
る正イオン検出機構より信号雑音比（Ｓ／Ｎ）が低く、
微量イオンの高感度検出ができないという大きな問題点
があった。
倍管８に比較して、光、宇宙線等の影響を受けやすく、
ノイズを発生しやすい。従って、第７図に示される正負
イオン検出機構は正イオン検出に関し、第６図に示され
る正イオン検出機構より信号雑音比（Ｓ／Ｎ）が低く、
微量イオンの高感度検出ができないという大きな問題点
があった。
もし、第６図に示される装置で負イオンを検出しようと
すれば第７図の検出機構をわざわざ第６図の検出機構に
置き換えて設置しなおさなければならず、また第７図の
装置で正イオンを高感度に検出しようとすれば、第６図
の検出機構を第７図の装置に設置しなおさなければなら
ない。この交換操作は極めて煩雑で長時間を要し、頻繁
に行なうことは実際不可能である。
すれば第７図の検出機構をわざわざ第６図の検出機構に
置き換えて設置しなおさなければならず、また第７図の
装置で正イオンを高感度に検出しようとすれば、第６図
の検出機構を第７図の装置に設置しなおさなければなら
ない。この交換操作は極めて煩雑で長時間を要し、頻繁
に行なうことは実際不可能である。
そこで、本発明の目的は正イオンを高感度に検出可能と
し、かつ負イオンも検出可能な検出機構を提供すること
にある。
し、かつ負イオンも検出可能な検出機構を提供すること
にある。
上記目的は電子増倍管と光電子増倍管を質量分離器後方
の同一真空槽内に設置することにより、達成される。
の同一真空槽内に設置することにより、達成される。
質量分離器を透過した正イオンは負高電圧の印加された
電子増倍管のイオン−電子変換面に加速されて衝突し、
二次電子を発生する。二次電子は電子増倍管により増幅
され、電流として検出記録部へ送出される。
電子増倍管のイオン−電子変換面に加速されて衝突し、
二次電子を発生する。二次電子は電子増倍管により増幅
され、電流として検出記録部へ送出される。
また負イオンは同一真空槽内に設置されたイオン−電子
コンバータ、電子−フォトンコンバータ。
コンバータ、電子−フォトンコンバータ。
光電子増倍管によって検出増幅される。すなわち、質量
分離器を透過した負イオンは正の高電圧の印加されたイ
オン−電子コンバータと質量分離器の電位勾配により、
イオン−電子コンバータに加速導入され、電子を発生す
る。この電子はイオン−電子コンバータより高い電位が
印加されている電子−フォトンコンバータに加速導入さ
れて光を発生する。光は光電子増倍管で光電子として増
幅され、検出記録部に送出される。
分離器を透過した負イオンは正の高電圧の印加されたイ
オン−電子コンバータと質量分離器の電位勾配により、
イオン−電子コンバータに加速導入され、電子を発生す
る。この電子はイオン−電子コンバータより高い電位が
印加されている電子−フォトンコンバータに加速導入さ
れて光を発生する。光は光電子増倍管で光電子として増
幅され、検出記録部に送出される。
このように同一真空槽内に正イオン検出用の電子増倍管
と負イオン検出用の光電子増倍管の両方を設置すること
により、正イオンは高感度に検出され、また負イオンの
検出も行なえる。しかし、単に同一真空槽内に二つの検
出機構を設置しても検出機構の形状、大きさ等から、高
感度検出を行うための検出器へ到達するイオン量が最大
となるような最適位置に検出器を設置することは困難で
ある。
と負イオン検出用の光電子増倍管の両方を設置すること
により、正イオンは高感度に検出され、また負イオンの
検出も行なえる。しかし、単に同一真空槽内に二つの検
出機構を設置しても検出機構の形状、大きさ等から、高
感度検出を行うための検出器へ到達するイオン量が最大
となるような最適位置に検出器を設置することは困難で
ある。
そこで、本発明では真空槽外からの操作により、真空槽
内で各検出機構の位置を移動させることにより、イオン
軌道に対して最適位置に各検出機構を設置することがで
きるようにしている。この移動機構を具備した本発明に
より、従来の正負共用検出機構の正イオンに対するＳ／
Ｎ低下を解消することができる。
内で各検出機構の位置を移動させることにより、イオン
軌道に対して最適位置に各検出機構を設置することがで
きるようにしている。この移動機構を具備した本発明に
より、従来の正負共用検出機構の正イオンに対するＳ／
Ｎ低下を解消することができる。
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。
る。
第１図では電子増倍管８と光電子増倍管１５が同一真空
槽１内に平行に設置されている。また、電子増倍管８．
ディフレクタ６、イオン−電子コンバータ１０．電子−
フォトンコンバータ（シンティレータ）１４．光電子増
倍管１５はいずれも固定台１６に固定されて設置され、
固定台１６は回転導入機構２０に結合されている。固定
台１６は回転導入機構２０を真空槽１外部で操作するこ
とにより、Ａ−Ａ’力方向移動可能となっている。
槽１内に平行に設置されている。また、電子増倍管８．
ディフレクタ６、イオン−電子コンバータ１０．電子−
フォトンコンバータ（シンティレータ）１４．光電子増
倍管１５はいずれも固定台１６に固定されて設置され、
固定台１６は回転導入機構２０に結合されている。固定
台１６は回転導入機構２０を真空槽１外部で操作するこ
とにより、Ａ−Ａ’力方向移動可能となっている。
まず負イオン検出の場合を説明する。イオン源２から引
き出され、質量分離器３．スリット４を透過した負イオ
ンが負電位が設定されたディフレクタ６によって負イオ
ン軌道２６のように偏向される。さらにイオン−電子コ
ンバータ１０にかけられた正の高電圧により加速されて
イオン電子−コンバータ１０のイオン−電子変換面１１
に導入されて電子を発生する。この電子は電子増幅器１
２で増幅され、さらに電子増幅器１２より正側の高電圧
の印加された電子−フォトンコンバータ（シンチレータ
）１３に加速導入されて光を発生する。この光は光電子
増倍管１５のフォトン−電子変換面１４で電子に変換さ
れ、この電子が光電増倍管１５で増幅され、信号電流と
して記録部１９に送られる。
き出され、質量分離器３．スリット４を透過した負イオ
ンが負電位が設定されたディフレクタ６によって負イオ
ン軌道２６のように偏向される。さらにイオン−電子コ
ンバータ１０にかけられた正の高電圧により加速されて
イオン電子−コンバータ１０のイオン−電子変換面１１
に導入されて電子を発生する。この電子は電子増幅器１
２で増幅され、さらに電子増幅器１２より正側の高電圧
の印加された電子−フォトンコンバータ（シンチレータ
）１３に加速導入されて光を発生する。この光は光電子
増倍管１５のフォトン−電子変換面１４で電子に変換さ
れ、この電子が光電増倍管１５で増幅され、信号電流と
して記録部１９に送られる。
次に正イオン検出の場合を第２図を用いて説明する。デ
ィフレクタ６は正電位に変更され、これによって正イオ
ンは正イオン軌道２７のように偏向されてイオン−電子
変換面７に導入されて電子を発生する。この電子が電子
増倍管８で増幅されて信号電流として記録部１９に送ら
れる。
ィフレクタ６は正電位に変更され、これによって正イオ
ンは正イオン軌道２７のように偏向されてイオン−電子
変換面７に導入されて電子を発生する。この電子が電子
増倍管８で増幅されて信号電流として記録部１９に送ら
れる。
負イオン、正イオンは以上のようにして検出されるが、
第１図と第２図において固定台１６の位置が異なってい
ることが重要な事項である。
第１図と第２図において固定台１６の位置が異なってい
ることが重要な事項である。
一般に質量分析計、特に四重極質量分析計では質量分離
器３を通過してくる粒子として、イオンの他に中性の励
起分子がある。この励起分子がイオン−電子変換面７，
１１に導入されるとイオンと同様に電子を発生してノイ
ズ原因となるのでこの励起分子は感度低減の原因となる
。そこでこの励起分子をイオン−電子変換面７，１１に
導入させないために通常は第６図、第７図に示されるよ
うにイオン−電子変換器７，１１は質量分離器３内のイ
オン進行方向の軸２５からはずれた位置に設置され、イ
オンのみをディフレクタ６で偏向させている。従って第
１図、第２図のように同一真空槽内に電子増倍管８と光
電子増倍管１５を設置した場合、イオン軌道２６．２７
の最適軌道に対してイオン−電子変換面７，１１が最適
位置に設置されれば固定台１６は移動される必要がない
。
器３を通過してくる粒子として、イオンの他に中性の励
起分子がある。この励起分子がイオン−電子変換面７，
１１に導入されるとイオンと同様に電子を発生してノイ
ズ原因となるのでこの励起分子は感度低減の原因となる
。そこでこの励起分子をイオン−電子変換面７，１１に
導入させないために通常は第６図、第７図に示されるよ
うにイオン−電子変換器７，１１は質量分離器３内のイ
オン進行方向の軸２５からはずれた位置に設置され、イ
オンのみをディフレクタ６で偏向させている。従って第
１図、第２図のように同一真空槽内に電子増倍管８と光
電子増倍管１５を設置した場合、イオン軌道２６．２７
の最適軌道に対してイオン−電子変換面７，１１が最適
位置に設置されれば固定台１６は移動される必要がない
。
しかし、電子増倍管８．光電子増倍管１５の大きさおよ
びイオン−電子変換面７，１１に印加された高電圧によ
る放電対策の関係から、イオン−電子変換面７，１１は
質量分離器３内のイオン進行方向軸からの距離が大きく
なるように設置されなければならず、単純に２つの検出
機構を設置しただけでは最適イオン軌道上への設置が困
難である。イオン軌道２６．２７はディフレクタ６の電
位により変えられるが、スリット４の穴とイオン−電子
変換面７，１１の距離が大きくなると電界領域５でのイ
オンの損失が大きくなり、感度が低下する。
びイオン−電子変換面７，１１に印加された高電圧によ
る放電対策の関係から、イオン−電子変換面７，１１は
質量分離器３内のイオン進行方向軸からの距離が大きく
なるように設置されなければならず、単純に２つの検出
機構を設置しただけでは最適イオン軌道上への設置が困
難である。イオン軌道２６．２７はディフレクタ６の電
位により変えられるが、スリット４の穴とイオン−電子
変換面７，１１の距離が大きくなると電界領域５でのイ
オンの損失が大きくなり、感度が低下する。
そこで、本実施例では最適イオン軌道に対して、イオン
−電子変換面７，１１を最適位置に調整可能とするため
、固定台１６を真空槽外部から真空を破らずに移動する
ことができる様になっている。
−電子変換面７，１１を最適位置に調整可能とするため
、固定台１６を真空槽外部から真空を破らずに移動する
ことができる様になっている。
すなわち、回転導入機構２０を回転軸２４を中心として
回転させることにより、回転導入機構先端２１の位置が
Ａ−Ａ’力方向移動される。回転導入機構先端２１はベ
ローズ２２に結合されており、さらにベローズ２２と固
定台１６が結合棒２３によって結合されている。すなわ
ち１回転導入機構２０を真空槽外部で回転させることに
より固定台１６をＡ−Ａ’力方向移動させることができ
る。この機構により、正イオン軌道２７および負イオン
軌道２６に対してイオン−電子変換面７゜１１を各々最
適位置に設定できるため、高感度測定が可能となる。な
おベローズ２２は回転導入機構２０に用いられる潤滑油
等の汚れ成分が真空槽内に混入するのを防ぐ目的で用い
られている。
回転させることにより、回転導入機構先端２１の位置が
Ａ−Ａ’力方向移動される。回転導入機構先端２１はベ
ローズ２２に結合されており、さらにベローズ２２と固
定台１６が結合棒２３によって結合されている。すなわ
ち１回転導入機構２０を真空槽外部で回転させることに
より固定台１６をＡ−Ａ’力方向移動させることができ
る。この機構により、正イオン軌道２７および負イオン
軌道２６に対してイオン−電子変換面７゜１１を各々最
適位置に設定できるため、高感度測定が可能となる。な
おベローズ２２は回転導入機構２０に用いられる潤滑油
等の汚れ成分が真空槽内に混入するのを防ぐ目的で用い
られている。
第３図は本実施例による正イオンの検出例、第４図は従
来の正負共用検出装置（第７図）による正イオンの検出
例である。第３図と第４図を比較して明らかなように本
実施例によるスペクトルは従来装置スペクトルよりノイ
ズレベルが極めて低い。本実施例で検出されているｍ
／ ｚ １６７のピークは従来装置では検出不可能であ
る。
来の正負共用検出装置（第７図）による正イオンの検出
例である。第３図と第４図を比較して明らかなように本
実施例によるスペクトルは従来装置スペクトルよりノイ
ズレベルが極めて低い。本実施例で検出されているｍ
／ ｚ １６７のピークは従来装置では検出不可能であ
る。
以上述べたように本実施例によれば正イオンを高感度に
検出でき、また負イオンも簡便に検出できる。
検出でき、また負イオンも簡便に検出できる。
第５図も本発明の一実施例である。
第５図は第１図、第２図の固定台１６の移動を自動的に
行なりせたものである。
行なりせたものである。
固定台１６は回転導入機構２０で移動させるが、回転導
入機構２０は駆動モータ２９で駆動される。
入機構２０は駆動モータ２９で駆動される。
さらに駆動モータ２９は騰区動制御部２８で制御されて
いる。固定台１６を移動させながら信号検出を行ない、
記録部１９で信号解析が行なわれ、イオン検出量が最大
となる固定台１６の位置情報が駆動制御部２８に送られ
て、駆動モータ２９９回転導入機構２０によって固定台
１６が最適位置に移動されているようになっている。
いる。固定台１６を移動させながら信号検出を行ない、
記録部１９で信号解析が行なわれ、イオン検出量が最大
となる固定台１６の位置情報が駆動制御部２８に送られ
て、駆動モータ２９９回転導入機構２０によって固定台
１６が最適位置に移動されているようになっている。
本実施例によれば高感度測定のためのイオン−電子変換
面を最適位置に設置する煩雑な操作が自動的に行われる
という操作簡略の効果がある。
面を最適位置に設置する煩雑な操作が自動的に行われる
という操作簡略の効果がある。
以上、述べたように本発明によれば従来不可能であった
正イオンの感度を低下させることなく検出でき、また負
イオンも簡便に検出できるという大きな効果がある。
正イオンの感度を低下させることなく検出でき、また負
イオンも簡便に検出できるという大きな効果がある。
すなわち、正イオンを高感度に検出し、かつ負イオンも
測定する場合、従来装置では複数台の専用質量分析計を
持つかまたは真空装置内の検出機構を交換しなければな
らないという極めて困難な問題を本発明は解決している
。
測定する場合、従来装置では複数台の専用質量分析計を
持つかまたは真空装置内の検出機構を交換しなければな
らないという極めて困難な問題を本発明は解決している
。
第１図、第２図は本発明の一実施例の構成図、第３図は
本発明の質量分析計により得られたスペクトルを示す図
、第４図は従来装置により得られたスペクトルを示す図
、第５図は本発明による他の実施例の構成図、第６図は
正イオン検出用従来装置の構成図、第７図は正負両イオ
ン検出用従来装置の構成図である。 １・・・真空槽、２・・・イオン源、３・・・質量分離
器、４・・・スリット、５・・・電界領域、６・・・デ
ィフレクタ、７・・・イオン−電子変換面、８・・・電
子増倍管、９・・・電流送出部、１０・・・イオン−電
子コンバータ。 １１・・・イオン−電子変換面、１２・・・電子増幅器
、１３・・・電子−フォトンコンバータ、１４・・・フ
ォトン−電子変換面、１５・・・光電子増倍管、１６・
・・固定置、１７・・・電流送出部、１８・・・電流導
入端子、１９・・・記録部、２０・・・回転導入機構、
２１・・・回転導入機構先端、２２・・ベローズ、２３
・・・結合棒、２４・・・回転軸、２５・・・質量分離
器内イオン軌道、２６・・・負イオン軌道、２７・・・
正イオン軌道、２８・・・駆動制御部、２９・・・駆動
モータ。 第３目 １ 第′目 第１目 第４図 第７目 ２：（ド（帰零
本発明の質量分析計により得られたスペクトルを示す図
、第４図は従来装置により得られたスペクトルを示す図
、第５図は本発明による他の実施例の構成図、第６図は
正イオン検出用従来装置の構成図、第７図は正負両イオ
ン検出用従来装置の構成図である。 １・・・真空槽、２・・・イオン源、３・・・質量分離
器、４・・・スリット、５・・・電界領域、６・・・デ
ィフレクタ、７・・・イオン−電子変換面、８・・・電
子増倍管、９・・・電流送出部、１０・・・イオン−電
子コンバータ。 １１・・・イオン−電子変換面、１２・・・電子増幅器
、１３・・・電子−フォトンコンバータ、１４・・・フ
ォトン−電子変換面、１５・・・光電子増倍管、１６・
・・固定置、１７・・・電流送出部、１８・・・電流導
入端子、１９・・・記録部、２０・・・回転導入機構、
２１・・・回転導入機構先端、２２・・ベローズ、２３
・・・結合棒、２４・・・回転軸、２５・・・質量分離
器内イオン軌道、２６・・・負イオン軌道、２７・・・
正イオン軌道、２８・・・駆動制御部、２９・・・駆動
モータ。 第３目 １ 第′目 第１目 第４図 第７目 ２：（ド（帰零
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、真空槽と、該真空槽内に設けられイオンを質量分離
する質量分離手段と、上記真空槽内に設けられた上記分
離されたイオンを検出し電気信号にする検出手段とを有
する質量分析計において、上記検出手段として正イオン
を検出する電子増倍管及び負イオンを検出する光電子増
倍管を設けたことを特徴とする質量分析計。 ２、請求項１記載の質量分析計において、上記電子増倍
管及び光電子増倍管の位置を上記真空槽外部からの制御
により移動する手段を設けたことを特徴とする質量分析
計。 ３、請求項２記載の質量分析計において、上記電子増倍
管及び光電子増倍管の移動方向は上記質量分析計から射
出される中性粒子の軌道と垂直方向であることを特徴と
する質量分析計。 ４、請求項１乃至３のうちいずれかに記載の質量分析計
において、上記質量分離手段と上記検出手段の間に、イ
オンの軌道を変えるための偏向手段を設けたことを特徴
とする質量分析計。
Priority Applications (4)
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