JPH01303406A - 回折格子の複製方法 - Google Patents
回折格子の複製方法Info
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- JPH01303406A JPH01303406A JP13274688A JP13274688A JPH01303406A JP H01303406 A JPH01303406 A JP H01303406A JP 13274688 A JP13274688 A JP 13274688A JP 13274688 A JP13274688 A JP 13274688A JP H01303406 A JPH01303406 A JP H01303406A
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- diffraction grating
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- curing resin
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Links
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Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は回折格子に係り、特にレプリカ回折格子の製作
に使用するに好適な回折格子に関する。
に使用するに好適な回折格子に関する。
レプリカ回折格子を接着剤を介して複製してゆく製作法
については、特開昭５９−６５１８０に開示されている
。紫外線硬化樹脂を用いることについては特開昭５９−
８３１１０でアイデアが述べられている。
については、特開昭５９−６５１８０に開示されている
。紫外線硬化樹脂を用いることについては特開昭５９−
８３１１０でアイデアが述べられている。
接着剤としてどのような材質を選べば良いか、特に光の
透光度が問題にされる透過形回折格子の場合の材質につ
いては特開昭６２−２２０９０１において論じられてい
る。
透光度が問題にされる透過形回折格子の場合の材質につ
いては特開昭６２−２２０９０１において論じられてい
る。
特開昭り９−６５１８０ではレプリカ回折格子を接着剤
を用いて作る場合の基本的手法が述べられているが、こ
こで使用される接着剤は熱硬化形のもので、完成レプリ
カ回折格子に熱歪の影響を残さない為にはゆっくりと硬
化させる必要があり、−枚のレプリカ回折格子を作るの
に長時間を要するという問題があった。このような問題
を解決するものとして、短時間で硬化する紫外線硬化樹
脂を用いる方法が特開昭５９−８３１１０で提案されて
いる。
を用いて作る場合の基本的手法が述べられているが、こ
こで使用される接着剤は熱硬化形のもので、完成レプリ
カ回折格子に熱歪の影響を残さない為にはゆっくりと硬
化させる必要があり、−枚のレプリカ回折格子を作るの
に長時間を要するという問題があった。このような問題
を解決するものとして、短時間で硬化する紫外線硬化樹
脂を用いる方法が特開昭５９−８３１１０で提案されて
いる。
しかるに特開昭５９−８３１１０では主に装飾用途に回
折格子を大量に複製する方法を目的としており、回折格
子の外形を模様として各種パターンに応じ形成する方法
に関して述べられており、光学用途に用いる回折格子と
しては軽く触れているだけで技術の開示には至っていな
い。特開昭６２−２２０９０１では、接着剤を用いて作
るレプリカ回折格子において品質上問題となる、材料の
透光度、均一性などの立場から、接着剤の材質について
述べられているが、レプリカ回折格子を短時間に効率良
く作製する方法については注意が払われていなかった。
折格子を大量に複製する方法を目的としており、回折格
子の外形を模様として各種パターンに応じ形成する方法
に関して述べられており、光学用途に用いる回折格子と
しては軽く触れているだけで技術の開示には至っていな
い。特開昭６２−２２０９０１では、接着剤を用いて作
るレプリカ回折格子において品質上問題となる、材料の
透光度、均一性などの立場から、接着剤の材質について
述べられているが、レプリカ回折格子を短時間に効率良
く作製する方法については注意が払われていなかった。
本発明の目的は、均質なレプリカ回折格子を短時間に効
率良く作製する方法を提供することにある。
率良く作製する方法を提供することにある。
上記目的は、レプリカ回折格子を構成する接着剤として
紫外線硬化樹脂を用いることにより達成される。
紫外線硬化樹脂を用いることにより達成される。
紫外線硬化樹脂は粘度が低く、マスタ回折格子の溝形状
を忠実に転写し、硬化時間は紫外照射により普通数分か
ら数十分のオーダで完了する。この為、硬化時間中の外
部雰囲気からの擾乱の影響の少ない品質の安定したレプ
リカ回折格子を効率良く短時間に作製することができる
。
を忠実に転写し、硬化時間は紫外照射により普通数分か
ら数十分のオーダで完了する。この為、硬化時間中の外
部雰囲気からの擾乱の影響の少ない品質の安定したレプ
リカ回折格子を効率良く短時間に作製することができる
。
以下、本発明の一実施例、第１図、第２図、第３図によ
り説明する。
り説明する。
マスタ回折格子１０は、マスタ基板１の上の金属層２に
光を回折する為の溝が規則正しく刻線されている。レプ
リカ基板４は表面を洗浄した後、紫外線硬化樹脂３との
親和力を増す目的で、接着力強化処理剤５による処理を
行なったものに紫外線硬化樹脂３を塗布し、マスタ回折
格子１０に密着させる。こうして、密着固定したものに
紫外線を照射すれば、紫外線の作用により、紫外線硬化
樹脂３が硬化し、このとき密着している金属層２上に刻
まれた溝形状が紫外線硬化樹脂３上に複製される。レプ
リカ基板４をマスタ基板ｌから引きはがすと、接着力強
化処理剤５の効果により、紫外線硬化樹脂３はレプリカ
基板４側にくっついてはがれる（第２図）。第２図にお
いて、紫外線硬化樹脂３上には、マスタ回折格子１ｏの
溝形状が複製されており、−膜内に紫外線硬化樹脂３は
透光性を有するので、レプリカ回折格子２０は透過形回
折格子としてそのまま使える。これを分光用途の回折格
子として広く使われている反射形回折格子とするには、
アルミ、金、白金などの使用目的に用いた金属層６を表
面に蒸着することにより反射形レプリカ回折格子２１を
得る（第３図）。
光を回折する為の溝が規則正しく刻線されている。レプ
リカ基板４は表面を洗浄した後、紫外線硬化樹脂３との
親和力を増す目的で、接着力強化処理剤５による処理を
行なったものに紫外線硬化樹脂３を塗布し、マスタ回折
格子１０に密着させる。こうして、密着固定したものに
紫外線を照射すれば、紫外線の作用により、紫外線硬化
樹脂３が硬化し、このとき密着している金属層２上に刻
まれた溝形状が紫外線硬化樹脂３上に複製される。レプ
リカ基板４をマスタ基板ｌから引きはがすと、接着力強
化処理剤５の効果により、紫外線硬化樹脂３はレプリカ
基板４側にくっついてはがれる（第２図）。第２図にお
いて、紫外線硬化樹脂３上には、マスタ回折格子１ｏの
溝形状が複製されており、−膜内に紫外線硬化樹脂３は
透光性を有するので、レプリカ回折格子２０は透過形回
折格子としてそのまま使える。これを分光用途の回折格
子として広く使われている反射形回折格子とするには、
アルミ、金、白金などの使用目的に用いた金属層６を表
面に蒸着することにより反射形レプリカ回折格子２１を
得る（第３図）。
第１図、第２図、第３図の実施例では、はく雌用に接着
力強化処理剤５をレプリカ基板４側に塗布して、金属層
２と紫外線硬化樹脂３の間ではがれるような手段をとっ
であるが、接着力強化処理剤５の変わりに金属層２と紫
外線硬化樹脂３の間に、離形剤を塗布することによって
も同等の作用を得る。
力強化処理剤５をレプリカ基板４側に塗布して、金属層
２と紫外線硬化樹脂３の間ではがれるような手段をとっ
であるが、接着力強化処理剤５の変わりに金属層２と紫
外線硬化樹脂３の間に、離形剤を塗布することによって
も同等の作用を得る。
本実施例によれば、接着剤の硬化時間が短く、硬化中の
雰囲気環境の変化に伴う品質むらの少ないレプリカ回折
格子を効率良く短時間に作製することができる。
雰囲気環境の変化に伴う品質むらの少ないレプリカ回折
格子を効率良く短時間に作製することができる。
本発明によれば、短時間にレプリカ回折格子を作製する
ことができるので、効率の良いレプリカ回折格子製作法
を提供することができる。
ことができるので、効率の良いレプリカ回折格子製作法
を提供することができる。
第１図、第２図、第３図は本発明の詳細な説明する工程
断面図である。 １・・・マスタ基板、２・・・金属層、３・・・紫外線
硬化樹脂、４・・・レプリカ基板、５・・・接着力強化
処理剤、６・・・金属層、１０・・・マスタ回折格子、
２ｏ・・・レプリカ回折格子、２１・・・反射形レプリ
カ回折格子。 第１図 第２図
断面図である。 １・・・マスタ基板、２・・・金属層、３・・・紫外線
硬化樹脂、４・・・レプリカ基板、５・・・接着力強化
処理剤、６・・・金属層、１０・・・マスタ回折格子、
２ｏ・・・レプリカ回折格子、２１・・・反射形レプリ
カ回折格子。 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、マスタ回折格子の格子溝を接着剤を介してレプリカ
回折格子側に複製するようなレプリカ回折格子の複製に
おいて、接着剤として紫外線硬化樹脂を用いたことを特
徴とする回折格子の複製方法。 ２、特許請求の範囲第１項に示す複製方法で作られたこ
とを特徴とする透過形回折格子。３、特許請求の範囲第
１項に示す複製方法で作られたことを特徴とする反射形
回折格子。４、特許請求の範囲第１項において、レプリ
カ回折格子側に接着剤がくつついてはがれるように接着
力強化処理をレプリカ基板側に施したことを特徴とする
回折格子の複製方法。５、特許請求の範囲第１項におい
て、レプリカ回折格子とマスタ回折格子が容易にはがれ
るようはく離剤を用いたことを特徴とする回折格子の複
製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13274688A JPH01303406A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 回折格子の複製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13274688A JPH01303406A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 回折格子の複製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01303406A true JPH01303406A (ja) | 1989-12-07 |
Family
ID=15088617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13274688A Pending JPH01303406A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 回折格子の複製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01303406A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05232307A (ja) * | 1992-02-18 | 1993-09-10 | Sony Magnescale Inc | 回折格子の作製方法 |
| JP2002517343A (ja) * | 1998-06-09 | 2002-06-18 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 複製による光学素子の製造方法 |
| JP2006084885A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Shimadzu Corp | レプリカ回折格子の製造方法 |
| JP2006098428A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Shimadzu Corp | レプリカ回折格子 |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP13274688A patent/JPH01303406A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05232307A (ja) * | 1992-02-18 | 1993-09-10 | Sony Magnescale Inc | 回折格子の作製方法 |
| JP2002517343A (ja) * | 1998-06-09 | 2002-06-18 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 複製による光学素子の製造方法 |
| JP2006084885A (ja) * | 2004-09-17 | 2006-03-30 | Shimadzu Corp | レプリカ回折格子の製造方法 |
| JP2006098428A (ja) * | 2004-09-28 | 2006-04-13 | Shimadzu Corp | レプリカ回折格子 |
| JP4576961B2 (ja) * | 2004-09-28 | 2010-11-10 | 株式会社島津製作所 | レプリカ回折格子の製造方法 |
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