JPH01299633A - ベーキング装置 - Google Patents
ベーキング装置Info
- Publication number
- JPH01299633A JPH01299633A JP13056888A JP13056888A JPH01299633A JP H01299633 A JPH01299633 A JP H01299633A JP 13056888 A JP13056888 A JP 13056888A JP 13056888 A JP13056888 A JP 13056888A JP H01299633 A JPH01299633 A JP H01299633A
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- JP
- Japan
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- baking
- vacuum
- ultrasonic wave
- vibration
- vacuum container
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- Pending
Links
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
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- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/10—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing sonic or ultrasonic vibrations
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は真空容器内の部材から発生するガスをあらか
じめ除去するベーキング装置に関するものである。
じめ除去するベーキング装置に関するものである。
４３図は例えば雑誌〔真空）ＶＯｌ、２７磁５（［株］
５９生６月８０日発行）の８４から８７ページＩｃ示さ
れた従来のベーキング装置を示す概略構成図である。図
において、巾は真空容器、（！１は真空容器…の７り、
１３Ｉは真空容器Ｉｌｌ内に搬入された試験機器ｓ ＋
４１は試験機器ｆｉｌ ｔ−加熱するためのヒータ％ｉ
ｌｌはヒータ（４１の電源、１６１ Ｆｉ真空ポンプで
ある・ 次に動作について説明する。−殻内に、真空容器＋ｌ＋
の内壁を構成する部材および真空容器（１）内で種々の
実独を行なうために真空容器…内に搬入された試験機器
（３１を構成する部材などは。
５９生６月８０日発行）の８４から８７ページＩｃ示さ
れた従来のベーキング装置を示す概略構成図である。図
において、巾は真空容器、（！１は真空容器…の７り、
１３Ｉは真空容器Ｉｌｌ内に搬入された試験機器ｓ ＋
４１は試験機器ｆｉｌ ｔ−加熱するためのヒータ％ｉ
ｌｌはヒータ（４１の電源、１６１ Ｆｉ真空ポンプで
ある・ 次に動作について説明する。−殻内に、真空容器＋ｌ＋
の内壁を構成する部材および真空容器（１）内で種々の
実独を行なうために真空容器…内に搬入された試験機器
（３１を構成する部材などは。
真空容器＋１＋内の真空度が良くなるにつれ、これらの
部材が大気中に置かれていた間に部材表面に付着してい
た微量の異物ガス、あるいは部材内部に吸着してい友ガ
ス等を除々に放出し、真空容器（１）内の真空度１！ｃ
悪くする。このため真空容器１１） に真空洩れが無
い事が明らかな場合でも、真空ポンプ＋６１１＆：常時
作動させて、これ等のガスを排出させる。しかし、真空
容器…内の気圧の目標が１０ 気圧程度よりも低くな
ると、真空ポンプ１６）による排出のみでは圧力が下が
らず。
部材が大気中に置かれていた間に部材表面に付着してい
た微量の異物ガス、あるいは部材内部に吸着してい友ガ
ス等を除々に放出し、真空容器（１）内の真空度１！ｃ
悪くする。このため真空容器１１） に真空洩れが無
い事が明らかな場合でも、真空ポンプ＋６１１＆：常時
作動させて、これ等のガスを排出させる。しかし、真空
容器…内の気圧の目標が１０ 気圧程度よりも低くな
ると、真空ポンプ１６）による排出のみでは圧力が下が
らず。
部材から放出されるガスそのものを減らすこ七が必要と
なる。このためベーキング処置（加熱焼出しとも呼ばれ
る）が行なわれる。以下、このベーキング処置について
説明する。真空容器Ｉｌｌ内に試験機器（３１を搬入し
た後真空容器＋１１のフタＩ（１）に閉じて真空ポンプ
１６１１に作動させ、真空容器Ｉｌｌ内の排気を行なう
。真空容器山内の真空度がある程ｆ尚〈なってからヒー
タ１４１を電源ｔｅｌに接続して試験機器（３）を加熱
する。
なる。このためベーキング処置（加熱焼出しとも呼ばれ
る）が行なわれる。以下、このベーキング処置について
説明する。真空容器Ｉｌｌ内に試験機器（３１を搬入し
た後真空容器＋１１のフタＩ（１）に閉じて真空ポンプ
１６１１に作動させ、真空容器Ｉｌｌ内の排気を行なう
。真空容器山内の真空度がある程ｆ尚〈なってからヒー
タ１４１を電源ｔｅｌに接続して試験機器（３）を加熱
する。
加熱する温度は試験を行なう際の温度より高い事が望ま
しい。又、試験機器１３）は本来は加熱されても酸化さ
れない材質であることが好ましいが、真空容器ＩＩＩ内
に空気がほとんどないので酸化することはない。試Ｉ！
Ｉ！機器１３１が金属性である４４＋、例えば数百℃に
達するまで加熱し、その状態で数時間ないし数十時間真
空ポンプ（６）により排気を続ける。
しい。又、試験機器１３）は本来は加熱されても酸化さ
れない材質であることが好ましいが、真空容器ＩＩＩ内
に空気がほとんどないので酸化することはない。試Ｉ！
Ｉ！機器１３１が金属性である４４＋、例えば数百℃に
達するまで加熱し、その状態で数時間ないし数十時間真
空ポンプ（６）により排気を続ける。
この様な処置により、試験機器１８１を構成する部材に
吸着されていたガス等はほとんど放出される。この処置
の後ヒータ１４１を消して試験機器（３１の温度を下げ
るとガス放出がほとんどなくなり、真空容器Ｉｌｌ内の
真空度が目標レベルに達するので試験等を行なうことが
出来る。なお、説明は省略するが、真空容器Ｉｌｌ内の
内壁等も同様に加熱してベーキング処置を行なうのが一
般的である。第４図はこの様なベーキング処置により放
出されるガスの欧が一般的に時間と共にどう変化するか
を示すもので、ガス放出ｔｅｌケタ減らすためには１０
倍の時間が必要である。
吸着されていたガス等はほとんど放出される。この処置
の後ヒータ１４１を消して試験機器（３１の温度を下げ
るとガス放出がほとんどなくなり、真空容器Ｉｌｌ内の
真空度が目標レベルに達するので試験等を行なうことが
出来る。なお、説明は省略するが、真空容器Ｉｌｌ内の
内壁等も同様に加熱してベーキング処置を行なうのが一
般的である。第４図はこの様なベーキング処置により放
出されるガスの欧が一般的に時間と共にどう変化するか
を示すもので、ガス放出ｔｅｌケタ減らすためには１０
倍の時間が必要である。
従来のベーキング装置は以上の様に構成されているので
、試験機器が高温になると変質する様な部材で構成され
ている場合にはあまり高温に加熱することは出来ない。
、試験機器が高温になると変質する様な部材で構成され
ている場合にはあまり高温に加熱することは出来ない。
そのため−殻内にはそれほど高温とはせずにその代り加
熱保持している時間を長くする必要がある。又、ベーキ
ング処置は一般的に数十時間を必要とするため。
熱保持している時間を長くする必要がある。又、ベーキ
ング処置は一般的に数十時間を必要とするため。
実験や試験などのための時間ロスが非常に大きいという
課題があった。
課題があった。
この発明は上記のよりな１１！題を解消するためになさ
れたもので、ベーキング処置に要する時間を短縮する事
ができるベーキング装置を得ることを目的とする◎ 〔課題を解消するための手段〕 この発明に係るベーキング装置は、真空容器内の部材を
加熱して該部材から発生するガスをめらかしめ除去する
ベーキング装置において、上記部材に超音波振動を印加
する加振装置を設けたものである。
れたもので、ベーキング処置に要する時間を短縮する事
ができるベーキング装置を得ることを目的とする◎ 〔課題を解消するための手段〕 この発明に係るベーキング装置は、真空容器内の部材を
加熱して該部材から発生するガスをめらかしめ除去する
ベーキング装置において、上記部材に超音波振動を印加
する加振装置を設けたものである。
この発明における加振装置は、ベーキング処置時に真空
容器内の部材に超音波振＃を印加することにより、上記
部材からのガスの放出を促進させる。
容器内の部材に超音波振＃を印加することにより、上記
部材からのガスの放出を促進させる。
以下、この発明の一実施例を図につめて説明する。第１
図において、（１１から（６）は上記従来のものと同一
のものである。１７）は真空容器Ｉｌｌ内の部材に超音
波振動を印加するＷ＃ｉ装置であり、超音波振動の発振
源である超音波発振器（８）と、超音波発振器（８）に
より発振された超音波振＃を真空容器内の部材としての
試験機器（３１に伝達する伝達コーン（９１により構成
されている。
図において、（１１から（６）は上記従来のものと同一
のものである。１７）は真空容器Ｉｌｌ内の部材に超音
波振動を印加するＷ＃ｉ装置であり、超音波振動の発振
源である超音波発振器（８）と、超音波発振器（８）に
より発振された超音波振＃を真空容器内の部材としての
試験機器（３１に伝達する伝達コーン（９１により構成
されている。
上記の様に構成されたベーキング装置においては、ヒー
タ１４１による加熱および真空ポンプ（６）による排気
によりベーキング処置を行なう点は、上記従来のものと
同一であるが、このベーキング処置中に超音波発振器１
８１１に発振；せ、伝達コーン（９）を通じて試験機器
１３１に超音波振動を印加すると、試験機器１８１１に
構成する部材から放出されるガスは、超音波振動により
部材から離脱しやすくなる。このため、従来は鴫と真空
という２つの条件により部材からのガスの放出が行なわ
れていたのが、更に超音波振動という物理的な力が加わ
ることにより、ガスの放出が早くなる。
タ１４１による加熱および真空ポンプ（６）による排気
によりベーキング処置を行なう点は、上記従来のものと
同一であるが、このベーキング処置中に超音波発振器１
８１１に発振；せ、伝達コーン（９）を通じて試験機器
１３１に超音波振動を印加すると、試験機器１８１１に
構成する部材から放出されるガスは、超音波振動により
部材から離脱しやすくなる。このため、従来は鴫と真空
という２つの条件により部材からのガスの放出が行なわ
れていたのが、更に超音波振動という物理的な力が加わ
ることにより、ガスの放出が早くなる。
なお、試験機器（３１０寸法の大きい場合など、伝達コ
ーン＋９１の試験機器１３１への接触点を適宜移動させ
たり、加振装置（７）を複数個設置することにより超音
波振動が伝わらない部分をなくすようにする。又、超音
波振＃けしばしば部材表面で定在波を構成し、部材の良
く振動している部分と、全く振動していない部分を作る
ことがある。この状況を第２図ＶＣより説明する。第２
図１ａｌは振動を発振していない状態を示し、第２図１
ａｌは振動を発振している状態を示すものである。
ーン＋９１の試験機器１３１への接触点を適宜移動させ
たり、加振装置（７）を複数個設置することにより超音
波振動が伝わらない部分をなくすようにする。又、超音
波振＃けしばしば部材表面で定在波を構成し、部材の良
く振動している部分と、全く振動していない部分を作る
ことがある。この状況を第２図ＶＣより説明する。第２
図１ａｌは振動を発振していない状態を示し、第２図１
ａｌは振動を発振している状態を示すものである。
第２図（ｂ＋ ＶＣ示すように振＃を発振している状態
では伝達コーン（９１は実線および仮想線で示す伸縮性
の振動金し、試験機器（３）を構成する部材には、振動
の頗の部分１１０１と振動の腹の部分Ｕυが生じ、頗の
部分（１０）でにベーキング促進効果が十分でなくなる
。この様な場合が生ずるのを防止するため超音波振動の
周波数は少なくとも１．５倍程度変化させるのが好まし
い。試験機器（３）を構成する部材の振動状態は試験機
器＋Ｓ＋の固臀振動数によって定まるため、試験機器（
３１と伝達コーン（９１の振動伝達点を移動させてもあ
まり効果はなく、上記のように超音波振動の周波数を変
えるのが最も効果的である。
では伝達コーン（９１は実線および仮想線で示す伸縮性
の振動金し、試験機器（３）を構成する部材には、振動
の頗の部分１１０１と振動の腹の部分Ｕυが生じ、頗の
部分（１０）でにベーキング促進効果が十分でなくなる
。この様な場合が生ずるのを防止するため超音波振動の
周波数は少なくとも１．５倍程度変化させるのが好まし
い。試験機器（３）を構成する部材の振動状態は試験機
器＋Ｓ＋の固臀振動数によって定まるため、試験機器（
３１と伝達コーン（９１の振動伝達点を移動させてもあ
まり効果はなく、上記のように超音波振動の周波数を変
えるのが最も効果的である。
以上のように、この発明によれｖ′ｆ％真空容器内の部
材を加熱して該部材から発生するガスをあらかじめ除去
するベーキング装置において、上記部材に超音波振動を
印加するｍ嵌装置を備えるようにしたので、ベーキング
装置に要する時間を短縮することが出来るものが得られ
る効果がある。
材を加熱して該部材から発生するガスをあらかじめ除去
するベーキング装置において、上記部材に超音波振動を
印加するｍ嵌装置を備えるようにしたので、ベーキング
装置に要する時間を短縮することが出来るものが得られ
る効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるベーキング装置を示
す概略構成図、第２図１ａｌ 、 ｆｌ）ｌは第１図の
動作説明の九めの説明図％第８図は従来のベーキング装
置？示す概略構成図、第４図はベーキング処置時間とガ
ス放出量の一般的関係を示す説明図である。 図において、）１１は真空容器、１４１￥′ｉヒータ、
１６１は真空ポンプ、＋７１は加振装置である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。
す概略構成図、第２図１ａｌ 、 ｆｌ）ｌは第１図の
動作説明の九めの説明図％第８図は従来のベーキング装
置？示す概略構成図、第４図はベーキング処置時間とガ
ス放出量の一般的関係を示す説明図である。 図において、）１１は真空容器、１４１￥′ｉヒータ、
１６１は真空ポンプ、＋７１は加振装置である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）真空容器内の部材を加熱して該部材から発生する
ガスをあらかじめ除去するベーキング装置において、上
記部材に超音波振動を印加する加振装置を備えているこ
とを特徴とするベーキング装置。 - （２）加振装置は超音波の周波数を可変にしたことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のベーキング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13056888A JPH01299633A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | ベーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13056888A JPH01299633A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | ベーキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01299633A true JPH01299633A (ja) | 1989-12-04 |
Family
ID=15037359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13056888A Pending JPH01299633A (ja) | 1988-05-26 | 1988-05-26 | ベーキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01299633A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246380A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Ihi Corp | 真空処理装置及びそのメンテナンス方法 |
| JP2010185810A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | ガス採取容器 |
-
1988
- 1988-05-26 JP JP13056888A patent/JPH01299633A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008246380A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Ihi Corp | 真空処理装置及びそのメンテナンス方法 |
| JP2010185810A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Central Res Inst Of Electric Power Ind | ガス採取容器 |
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