JPH01298782A - ２個の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置 - Google Patents
２個の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置Info
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- JPH01298782A JPH01298782A JP63128168A JP12816888A JPH01298782A JP H01298782 A JPH01298782 A JP H01298782A JP 63128168 A JP63128168 A JP 63128168A JP 12816888 A JP12816888 A JP 12816888A JP H01298782 A JPH01298782 A JP H01298782A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/06—Arrangements for controlling the laser output parameters, e.g. by operating on the active medium
- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
- H01S5/0683—Stabilisation of laser output parameters by monitoring the optical output parameters
- H01S5/0687—Stabilising the frequency of the laser
-
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/40—Arrangement of two or more semiconductor lasers, not provided for in groups H01S5/02 - H01S5/30
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野コ
この発明は、２周波数測長方式における２個の％ｌ／、
導体レーザの発振波長の同時安定化方法およびその装置
に関するものである。
導体レーザの発振波長の同時安定化方法およびその装置
に関するものである。
［従来の技術］
光学式測長器は、レーザの干渉現象を利用して干渉縞の
個数をカウントして移動体の変位を測定するものである
。この場合、レーザビームとして弔−の波長（周波数）
を使用するものと、異なる波長の２つのレーザビームを
使用し、それらのビート周波数のドツプラーシフトによ
るものとがあり、後者はヘテロダイン方式、または２周
波数測長方式と呼ばれている。
個数をカウントして移動体の変位を測定するものである
。この場合、レーザビームとして弔−の波長（周波数）
を使用するものと、異なる波長の２つのレーザビームを
使用し、それらのビート周波数のドツプラーシフトによ
るものとがあり、後者はヘテロダイン方式、または２周
波数測長方式と呼ばれている。
第３図は、実願公告昭５４−３４Ｇ旧号「レーザ測長器
」に開示されている２周波数測長器のブロック構成図で
ある。■は異なる周波数ｆ／ ｆ２の２つのレーザを同
時に発振するレーザ光源で、両レーザビームはハーフミ
ラ−２で分割されて、一方は受光器７−１により、それ
らのビート周波数Δｆが検出される。他方は、ビームス
プリッタ３、測定ミラー４、参照ミラー５などにより構
成されたトワイマン（”渉計において、移動体４ａの変
位速度に従って、ビートノＮ波数ΔｆがΔνだけドツプ
ラーシフトする。これを検光子６を通して受光器７ｂに
より検出した（Δｆ±Δν）のイハ号電圧と、受光器７
ａのΔｆの信号電圧とを信号処理部８に入力し、それら
の差分よりシフト周波数Δνをえて移動体の変位量を計
測するものである。
」に開示されている２周波数測長器のブロック構成図で
ある。■は異なる周波数ｆ／ ｆ２の２つのレーザを同
時に発振するレーザ光源で、両レーザビームはハーフミ
ラ−２で分割されて、一方は受光器７−１により、それ
らのビート周波数Δｆが検出される。他方は、ビームス
プリッタ３、測定ミラー４、参照ミラー５などにより構
成されたトワイマン（”渉計において、移動体４ａの変
位速度に従って、ビートノＮ波数ΔｆがΔνだけドツプ
ラーシフトする。これを検光子６を通して受光器７ｂに
より検出した（Δｆ±Δν）のイハ号電圧と、受光器７
ａのΔｆの信号電圧とを信号処理部８に入力し、それら
の差分よりシフト周波数Δνをえて移動体の変位量を計
測するものである。
以上の単一周波数方式と、２周波数方式には、分解能、
移動体の変位速度に対する適応性などにそれぞれ特徴が
あり、実情に合わせていずれかが使用される。
移動体の変位速度に対する適応性などにそれぞれ特徴が
あり、実情に合わせていずれかが使用される。
さて、上記の実頼公告によるレーザ測長器においては、
異なる２周波数のレーザを１個の発振器で発振するもの
で、このように１個の光源により２周波数をうるには、
ヘリウム・ネオンなどのガスレーザ管を用い、これに磁
場をかけてゼーマン効果によりスペクトル分割する方法
が行われている。しかしながら、このような装置は大型
、高価であり、コンパクトで安価な測長器には不適当で
ある。これに対して、異なる波長を発振する２個の半導
体レーザ素子を光源とする考えをとり、この発明の発明
者により特願昭６２−１６７５１２号、「複合型レーザ
測長方式および測長器」が出願されている。
異なる２周波数のレーザを１個の発振器で発振するもの
で、このように１個の光源により２周波数をうるには、
ヘリウム・ネオンなどのガスレーザ管を用い、これに磁
場をかけてゼーマン効果によりスペクトル分割する方法
が行われている。しかしながら、このような装置は大型
、高価であり、コンパクトで安価な測長器には不適当で
ある。これに対して、異なる波長を発振する２個の半導
体レーザ素子を光源とする考えをとり、この発明の発明
者により特願昭６２−１６７５１２号、「複合型レーザ
測長方式および測長器」が出願されている。
第４図は、上記特願にかかる測長器において、２周波数
測長方式に関する部分の構成図を示すもので、レーザ光
源として２個の半導体レーザ素子１ ａ、 １ ｂを使
用し、それぞれの周波数をｆ、ｆ２とし、ミラー９ｂに
より反射したｆ２のビームと、ｆ、のビームとを偏光ビ
ームスプリッタ９ａにより合成ビームとする。以下、第
３図の場合と同様に、干渉計よりなる測長器に合成ビー
ムが入力してビート周波数Δｆに対するシフト周波数Δ
νを検出して変位が計測される。
測長方式に関する部分の構成図を示すもので、レーザ光
源として２個の半導体レーザ素子１ ａ、 １ ｂを使
用し、それぞれの周波数をｆ、ｆ２とし、ミラー９ｂに
より反射したｆ２のビームと、ｆ、のビームとを偏光ビ
ームスプリッタ９ａにより合成ビームとする。以下、第
３図の場合と同様に、干渉計よりなる測長器に合成ビー
ムが入力してビート周波数Δｆに対するシフト周波数Δ
νを検出して変位が計測される。
以上に説明した２周波数測長方式においては、ビート周
波数に対する波長を単位として変位量が計測されるため
に、ビート周波数、従って各レーザビームの波長が安定
なことが必要である。これに対して、半導体レーザの発
振波長は変動が比較的大きいので、適当な安定化方法を
必要とする。
波数に対する波長を単位として変位量が計測されるため
に、ビート周波数、従って各レーザビームの波長が安定
なことが必要である。これに対して、半導体レーザの発
振波長は変動が比較的大きいので、適当な安定化方法を
必要とする。
さて、半導体レーザの発振波長の変動の要因はｔとして
温度と注入電流である。従って、温度または注入電流を
制御して波長を安定化することができる。実際−ヒでは
、温度をヒートシンクで一定に保持し、注入電流に対し
ては波長変動を検出して制御する方法が行われている。
温度と注入電流である。従って、温度または注入電流を
制御して波長を安定化することができる。実際−ヒでは
、温度をヒートシンクで一定に保持し、注入電流に対し
ては波長変動を検出して制御する方法が行われている。
この波長変動を検出するものとして、特殊の金属ガス、
例えばルビジューム気体の波長に対する選択吸収特性を
利用する技術が公知であり、このような目的のためにル
ビジューム気体を充填したセルが製造されている。
例えばルビジューム気体の波長に対する選択吸収特性を
利用する技術が公知であり、このような目的のためにル
ビジューム気体を充填したセルが製造されている。
［解決しようとする課題］
前記の２個の一一導体レーザの発振波長に対して、上記
のルビジューム気体セルを２個用いて各素子の発振波長
をそれぞれ安定化することが考えられる。しかし、レー
ザ光源のヘッドに２個のルビジュームセルを組込むとき
は、ヘッドが大きくなり、またセルが高価であるので経
費」―無駄である。そこで、ヘッドをコンパクトとして
経済的とするには１個のルビシュ７ムセルを用いること
が有利である。
のルビジューム気体セルを２個用いて各素子の発振波長
をそれぞれ安定化することが考えられる。しかし、レー
ザ光源のヘッドに２個のルビジュームセルを組込むとき
は、ヘッドが大きくなり、またセルが高価であるので経
費」―無駄である。そこで、ヘッドをコンパクトとして
経済的とするには１個のルビシュ７ムセルを用いること
が有利である。
この発明は１個のルビジューム気体セルを利用して、２
個の半導体レーザ素子を同時に制御して、それぞれの波
長および、それらのビート周波数を安定化する方法およ
び装置を提供することを目的とするものである。
個の半導体レーザ素子を同時に制御して、それぞれの波
長および、それらのビート周波数を安定化する方法およ
び装置を提供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
この発明は、異なる波長のレーザを発振する２個の半導
体レーザ素子を光源とし、光源よりの各レーザビームの
合成ビームを干渉計よりなる測長器に入力し、合成ビー
ムのビート周波数により移動体の変位量を計測する２周
波数測長方式における、２個の半導体レーザの発振波長
の同時安定化方法および装置である。
体レーザ素子を光源とし、光源よりの各レーザビームの
合成ビームを干渉計よりなる測長器に入力し、合成ビー
ムのビート周波数により移動体の変位量を計測する２周
波数測長方式における、２個の半導体レーザの発振波長
の同時安定化方法および装置である。
まず安定化方法においては、上記の合成ビームを適当な
分割手段により分割し、分割された一方の合成ビームを
上記の測長器に入力して２周波数測長方式に充当する。
分割手段により分割し、分割された一方の合成ビームを
上記の測長器に入力して２周波数測長方式に充当する。
他方の合成ビームを１個のルビジューム気体セルよりな
る波長基準器に入力し、各レーザビームに対する波長選
択特性により、波長が変動する各レーザビームをそれぞ
れ選択して受光し、えられた波長変動を示す２個の信号
電圧により、２個の半導体レーザ素子の注入電流を制御
して、それぞれの発振波長を安定化するものである。
る波長基準器に入力し、各レーザビームに対する波長選
択特性により、波長が変動する各レーザビームをそれぞ
れ選択して受光し、えられた波長変動を示す２個の信号
電圧により、２個の半導体レーザ素子の注入電流を制御
して、それぞれの発振波長を安定化するものである。
次に安定化装置は、２個の半導体レーザ素子よりの異な
る波長のレーザビームを、互いに直角な偏光面として合
成するミラーおよび第１の偏光ビームスプリッタと、合
成された合成ビームを分割するビームスプリッタとを具
備し、分割された合成ビームを入力して、各レーザビー
ムの変動する波長をそれぞれ選択して出力する１個のル
ビジューム気体セルよりなる波長基準器と、波長基準器
の出力する合成ビームより、レーザビームを偏光方向に
より分離する第２のビームスプリッタと、分離された各
レーザビームを受光する２個の受光器、および各受光器
の出力する波長変動を示す信号電圧を入力して、２個の
半導体レーザ素子の注入電流を制御して、それぞれの発
振波長を安定化する２個の電流制御回路とにより構成さ
れたものである。
る波長のレーザビームを、互いに直角な偏光面として合
成するミラーおよび第１の偏光ビームスプリッタと、合
成された合成ビームを分割するビームスプリッタとを具
備し、分割された合成ビームを入力して、各レーザビー
ムの変動する波長をそれぞれ選択して出力する１個のル
ビジューム気体セルよりなる波長基準器と、波長基準器
の出力する合成ビームより、レーザビームを偏光方向に
より分離する第２のビームスプリッタと、分離された各
レーザビームを受光する２個の受光器、および各受光器
の出力する波長変動を示す信号電圧を入力して、２個の
半導体レーザ素子の注入電流を制御して、それぞれの発
振波長を安定化する２個の電流制御回路とにより構成さ
れたものである。
［作用コ
上記の構成による、この発明の２個の半導体レーザの発
振波長の同時安定化方法および装置においては、１個の
ルビジューム気体セルによる波長基準器を使用する。第
１図はルビジューム気体セルの波長（周波数）選択特性
を示すもので、波長λに対する透過率（相対値）の曲線
である。図中のλ０は〜７８０ｎｍで、これは近赤外領
域を発振領域とする半導体レーザの発振波長にほぼ一致
するので、これに対する波長基準器として好都合である
。−万事導体レーザは前記のように注入電流により変動
するので、図の横軸を注入電流１１として変化させて、
そのレーザビームを同じルビジューム気体セルを透過さ
せるときは同一の曲線を示し、ＩＩが約６２〜７０ｍＡ
で選択吸収を生ずることが判る。曲線はいわば逆双峰性
であるが、透過率０．５の２点、Ａ、！：Ｂをとると、
この間の周波数差は約１．５ＭＨｚである。そこでこの
２点をレーザビームの周波数ｆ、とｆ２に対する基準と
して、それぞれのほぼ直線範囲の選択特性を使用するこ
とにより、１個のルビジューム気体セルにより２周波数
ｆ、ｆ２を同時に安定化することが、この発明の着眼点
である。以−ヒにおいて、Ａ、８２点間の周波数差は、
すなわち両レーザビームのビート周波数であるが、２周
波数測長方式ではビート周波数は、安萱性が必要である
が、しかし周波数そのものは例えば１〜数ＭＨｚの範囲
内であれば差し支えないものであり、従って上記の約１
．５ＭＨｚのビート周波数が使用できるものである。
振波長の同時安定化方法および装置においては、１個の
ルビジューム気体セルによる波長基準器を使用する。第
１図はルビジューム気体セルの波長（周波数）選択特性
を示すもので、波長λに対する透過率（相対値）の曲線
である。図中のλ０は〜７８０ｎｍで、これは近赤外領
域を発振領域とする半導体レーザの発振波長にほぼ一致
するので、これに対する波長基準器として好都合である
。−万事導体レーザは前記のように注入電流により変動
するので、図の横軸を注入電流１１として変化させて、
そのレーザビームを同じルビジューム気体セルを透過さ
せるときは同一の曲線を示し、ＩＩが約６２〜７０ｍＡ
で選択吸収を生ずることが判る。曲線はいわば逆双峰性
であるが、透過率０．５の２点、Ａ、！：Ｂをとると、
この間の周波数差は約１．５ＭＨｚである。そこでこの
２点をレーザビームの周波数ｆ、とｆ２に対する基準と
して、それぞれのほぼ直線範囲の選択特性を使用するこ
とにより、１個のルビジューム気体セルにより２周波数
ｆ、ｆ２を同時に安定化することが、この発明の着眼点
である。以−ヒにおいて、Ａ、８２点間の周波数差は、
すなわち両レーザビームのビート周波数であるが、２周
波数測長方式ではビート周波数は、安萱性が必要である
が、しかし周波数そのものは例えば１〜数ＭＨｚの範囲
内であれば差し支えないものであり、従って上記の約１
．５ＭＨｚのビート周波数が使用できるものである。
さて、前記の構成による発振波長の同時安定化方法にお
いては、２個の半導体レーザの発振波長を近赤外領域と
して、］−記のｆ／とｆ２にほぼ等しいものとし、これ
らの合成ビームを適当な手段により分割し、一方を２周
波数測長器に充当する。
いては、２個の半導体レーザの発振波長を近赤外領域と
して、］−記のｆ／とｆ２にほぼ等しいものとし、これ
らの合成ビームを適当な手段により分割し、一方を２周
波数測長器に充当する。
他方の合成ビームは上記の１個のルビジューム気体セル
の選択特性のＡ、Ｂ点をそれぞれ中心として、波長変動
により透過した各レーザビームの鉤度が変化する。これ
を受光して、波長変動を示す信号電圧かえられ、これに
よりレーザ素子の注入電流を制御してそれぞれの発振波
長が安定化される。それぞれが安定化すれば、ビート周
波数もまた安定化することは明らかである。
の選択特性のＡ、Ｂ点をそれぞれ中心として、波長変動
により透過した各レーザビームの鉤度が変化する。これ
を受光して、波長変動を示す信号電圧かえられ、これに
よりレーザ素子の注入電流を制御してそれぞれの発振波
長が安定化される。それぞれが安定化すれば、ビート周
波数もまた安定化することは明らかである。
次に安定化装置においては、上記同様に２個の半導体レ
ーザ素子の発振領域を近赤外領域のものを使用し、注入
電流を調整してそれぞれの発振周波数を−Ｌ記のｆ、ｆ
２に設定する。ここで両レーザビームはいわゆる無偏光
波であるが、第１の偏光ビームスプリッタの２面に入力
し、互いに直角の偏光面の成分が合成されて出力する。
ーザ素子の発振領域を近赤外領域のものを使用し、注入
電流を調整してそれぞれの発振周波数を−Ｌ記のｆ、ｆ
２に設定する。ここで両レーザビームはいわゆる無偏光
波であるが、第１の偏光ビームスプリッタの２面に入力
し、互いに直角の偏光面の成分が合成されて出力する。
この合成ビームはビームスプリンタにより分割されて、
その一方が上記の波長基準器に入力して、それぞれの波
長選択特性に従った強度のレーザビームの合成ビームが
出力される。この合成ビームに対して第２の偏光ビーム
スプリッタにより、レーザビームが分離される。各レー
ザビームは受光器により波長変動の信号電圧となり、電
流側回路を経て各半導体レーザ素子の注入電流が制御さ
れて、それぞれの発振波長の安定化がなされる。
その一方が上記の波長基準器に入力して、それぞれの波
長選択特性に従った強度のレーザビームの合成ビームが
出力される。この合成ビームに対して第２の偏光ビーム
スプリッタにより、レーザビームが分離される。各レー
ザビームは受光器により波長変動の信号電圧となり、電
流側回路を経て各半導体レーザ素子の注入電流が制御さ
れて、それぞれの発振波長の安定化がなされる。
［実施例コ
第２図は、この発明による２個の半導体レーザの発振波
長の同時安定化方法および装置の実施例におけるブロッ
ク構成図である。図において、２個の半導体レーザ素子
１ａ、１ｂは、ヒートシンク１０ａにマウントされて、
ペルチェ素子１０ｂ 、放熱ｍ１Ｏｃにより一定温度に
維持される。各レーザ素子よりのレーザの周波数をｆ、
ｆ２とし、これらはコリメータＩｌａ、Ｉｌｂにより平
行とされて一方は直接第１の偏光ビームスプリッタ９ａ
に、また他方はミラー９ｂを経て入力する。偏光ビーム
スプリッタの性質により、両ビームの互いに直角な偏光
面の成分ｐおよびＳ波がそれぞれ透過、反射して合成さ
れる。合成ビームはビームスプリッタＩ２により分割さ
れ、一方は直進して２周波致方式の測長″ｊ！Ａ１３に
入力して両ビームのビート周波数により測長が行われる
。
長の同時安定化方法および装置の実施例におけるブロッ
ク構成図である。図において、２個の半導体レーザ素子
１ａ、１ｂは、ヒートシンク１０ａにマウントされて、
ペルチェ素子１０ｂ 、放熱ｍ１Ｏｃにより一定温度に
維持される。各レーザ素子よりのレーザの周波数をｆ、
ｆ２とし、これらはコリメータＩｌａ、Ｉｌｂにより平
行とされて一方は直接第１の偏光ビームスプリッタ９ａ
に、また他方はミラー９ｂを経て入力する。偏光ビーム
スプリッタの性質により、両ビームの互いに直角な偏光
面の成分ｐおよびＳ波がそれぞれ透過、反射して合成さ
れる。合成ビームはビームスプリッタＩ２により分割さ
れ、一方は直進して２周波致方式の測長″ｊ！Ａ１３に
入力して両ビームのビート周波数により測長が行われる
。
ビームスプリッタ１２により分割された他方は、第１図
に示した波長選択特性を有するルビジューム気体セルの
波長基準器１４に入力し、ここで前記したように波長が
変動する各レーザビームは、選択特性に従った強度とな
り、その合成ビームが出力される。この合成ビームは第
２の偏光ビームスプリブタ１４により分離されて、それ
ぞれが受光器ｌｅａ 、 ｌＧｂに受光され、各受光器
より波長変動を示す信号電圧Ｖ／ Ｖ２が電流制御回路
１７ａ 、 １７ｂに与えられて、レーザ素子１ ａ、
１ ｂの注入型流目ｌとＩｔ２が制御されるものであ
る。
に示した波長選択特性を有するルビジューム気体セルの
波長基準器１４に入力し、ここで前記したように波長が
変動する各レーザビームは、選択特性に従った強度とな
り、その合成ビームが出力される。この合成ビームは第
２の偏光ビームスプリブタ１４により分離されて、それ
ぞれが受光器ｌｅａ 、 ｌＧｂに受光され、各受光器
より波長変動を示す信号電圧Ｖ／ Ｖ２が電流制御回路
１７ａ 、 １７ｂに与えられて、レーザ素子１ ａ、
１ ｂの注入型流目ｌとＩｔ２が制御されるものであ
る。
［発明の効果コ
以上の説明により明らかなように、この発明による２個
の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置
においては、１個のルビジューム気体セルの波長選択特
性における適当な周波数間隔の２周波数を基準点とし、
それぞれに各レーザの周波数を対応させて、互いに独立
にレーザビームの波長変動に対する信号電圧をえて、各
素子の注入電流を制御するもので、各レーザビームに対
してそれぞれルビジューム気体セルを使用する方法に比
較して、レーザヘッドが小型化できるとともに経済性が
あるもので、２個の半導体レーザによる２周波数測長器
に寄与するところには大きいものがある。
の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置
においては、１個のルビジューム気体セルの波長選択特
性における適当な周波数間隔の２周波数を基準点とし、
それぞれに各レーザの周波数を対応させて、互いに独立
にレーザビームの波長変動に対する信号電圧をえて、各
素子の注入電流を制御するもので、各レーザビームに対
してそれぞれルビジューム気体セルを使用する方法に比
較して、レーザヘッドが小型化できるとともに経済性が
あるもので、２個の半導体レーザによる２周波数測長器
に寄与するところには大きいものがある。
第１図は、この発明による２個の半導体レーザの発振波
長の同時安定化方法および装置に使用する、ルビジュー
ム気体セルの波長選択特性を示す曲線図、第２図は、こ
の発明による２個の半導体レーザの発振波長の同時安定
化方法および装置の実施例にブロック構成図、第３図は
、従来の２周波数測長方式の概略構成図、第４図は従来
の２個の半導体レーザ素子による２周波数測長方式の概
略構成図である。 １・・・レーザ光源％ １ａ、１ｂ・・・半導体レーザ
素子、２・・・ハーフミラ−１３・・・ビームスプリッ
タ、４・・・測定ミラー、 ４ａ・・・移動体、５
・・・参照ミラー、 ６・・・検光子、７ａ、７ｂ
・・・受光器、 ８・・・信号処理部、９ａ・・・第
１の偏光ビームスプリフタ、９ｂ・・・ミラー、１０ａ
・・・ヒートシンク、１０ｂ・・・ペルチェ素子、１０
Ｃ・・・放熱器、！１ａ、Ｉｌｂ・・・コリメータ、１
２・・・ビームスプリッタ、Ｉ３・・・２周波数測長器
、１４・・・波長基準品、Ｉ５・・・第２の偏光ビーム
スプリッタ、ｌＧａ、１Ｅｉｂ・・・受光器、１７ａ、
＋７ｂ・・・電流制御回路。
長の同時安定化方法および装置に使用する、ルビジュー
ム気体セルの波長選択特性を示す曲線図、第２図は、こ
の発明による２個の半導体レーザの発振波長の同時安定
化方法および装置の実施例にブロック構成図、第３図は
、従来の２周波数測長方式の概略構成図、第４図は従来
の２個の半導体レーザ素子による２周波数測長方式の概
略構成図である。 １・・・レーザ光源％ １ａ、１ｂ・・・半導体レーザ
素子、２・・・ハーフミラ−１３・・・ビームスプリッ
タ、４・・・測定ミラー、 ４ａ・・・移動体、５
・・・参照ミラー、 ６・・・検光子、７ａ、７ｂ
・・・受光器、 ８・・・信号処理部、９ａ・・・第
１の偏光ビームスプリフタ、９ｂ・・・ミラー、１０ａ
・・・ヒートシンク、１０ｂ・・・ペルチェ素子、１０
Ｃ・・・放熱器、！１ａ、Ｉｌｂ・・・コリメータ、１
２・・・ビームスプリッタ、Ｉ３・・・２周波数測長器
、１４・・・波長基準品、Ｉ５・・・第２の偏光ビーム
スプリッタ、ｌＧａ、１Ｅｉｂ・・・受光器、１７ａ、
＋７ｂ・・・電流制御回路。
Claims (2)
- （１）、異なる波長のレーザを発振する２個の半導体レ
ーザ素子を光源とし、該光源の各レーザビームの合成ビ
ームを干渉計よりなる測長器に入力し、該合成ビームの
ビート周波数により移動体の変位量を計測する２周波数
測長方式において、上記合成ビームを適当な分割手段に
より分割し、該分割された一方の合成ビームを上記測長
器に入力して上記２周波数測長方式に充当し、他方の合
成ビームを１個のルビジュームの気体セルよりなる波長
基準器に入力し、該波長基準器の有する各レーザビーム
に対する波長選択特性により、変動する上記各レーザビ
ームの波長のそれぞれを選択して受光し、えられた波長
変動を示す２個の信号電圧により、上記２個の半導体レ
ーザ素子の注入電流を制御して、それぞれの発振波長を
安定化することを特徴とする、２個の半導体レーザの発
振波長の同時安定化方法。 - （２）、上記２個の半導体レーザ素子の発振する異なる
波長のレーザビームの合成ビームを用いる上記２周波数
測長方式において、上記２個の半導体レーザ素子よりの
レーザビームを、互いに直角な偏光面として上記合成す
るミラーおよび第１の偏光ビームスプリッタと、該合成
された合成ビームを分割するビームスプリッタとを具備
し、該分割された合成ビームを入力して、上記各レーザ
ビームの変動する波長をそれぞれ選択して出力する１個
のルビジューム気体セルよりなる波長基準器と、該波長
基準器の出力する各レーザビームを偏光方向により分離
する第２の偏光ビームスプリッタと、該分離された各レ
ーザビームを受光する２個の受光器、および各受光器の
出力する波長変動を示す信号電圧を入力して、上記２個
の半導体レーザ素子の注入電流を制御して、それぞれの
発振波長を安定化する２個の電流制御回路とにより構成
されたことを特徴とする、２個の半導体レーザの発振波
長の同時安定化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63128168A JPH01298782A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | ２個の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63128168A JPH01298782A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | ２個の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01298782A true JPH01298782A (ja) | 1989-12-01 |
Family
ID=14978081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63128168A Pending JPH01298782A (ja) | 1988-05-27 | 1988-05-27 | ２個の半導体レーザの発振波長の同時安定化方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01298782A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5189677A (en) * | 1990-12-14 | 1993-02-23 | Carl-Zeiss-Stiftung | Arrangement having two laser diodes for generating light having two wavelengths |
| JP2006073755A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | National Institute Of Information & Communication Technology | 多重飽和分光によるレーザー周波数安定化装置 |
| WO2009024504A1 (de) * | 2007-08-17 | 2009-02-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Laserlichtquelle mit wenigstens zwei einzel-lasern |
-
1988
- 1988-05-27 JP JP63128168A patent/JPH01298782A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5189677A (en) * | 1990-12-14 | 1993-02-23 | Carl-Zeiss-Stiftung | Arrangement having two laser diodes for generating light having two wavelengths |
| JP2006073755A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-03-16 | National Institute Of Information & Communication Technology | 多重飽和分光によるレーザー周波数安定化装置 |
| WO2009024504A1 (de) * | 2007-08-17 | 2009-02-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Laserlichtquelle mit wenigstens zwei einzel-lasern |
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