JPH03170895A - 光学的距離測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、測定物へ光ビームを放射するための光源と、
該測定物において反射されたないし後方散乱された光と
放射された光との間の位相偏差を測定するための装置と
を有する光学的距離測定装置に関する。

従来技術 この種の装置は現在、数１００ｍの距離を正確にかつ迅
速に測定すべき時に用いられる。可視光線測定光または
赤外線測定光の振動を直接観察できる検出器は存在しな
いため、これらの測定装置は振幅変調された光ビームを
用いて動作する。

本出願人による電子視距機一例えば“Ｚａｉｓｓ一Ｉｎ
ｆｏｒｍａｔｉｏｎ　　＋　２　０−年報８０巻、２４
頁（１９７２）一はこの種の測定装置を示しているこれ
らは著しく簡単な光学的構造を有する。

１つの発振器と１つの増幅器を介して作動される発光ダ
イオードが振幅変調された光ビームを発生する。この光
ビームは測定物へ放射され、ここから反射されこの装置
により受信されて検出される。検出器信号と基準信号は
増幅器により、第２発振器の信号と電子的に混合される
。

続いて検出器信号と基準信号との間の位相差が求められ
る。

視距機の測定精度は、数１００ｍの測定距離の場合に約
Ｉｎである。このことは相対測定精度５ＸＩＯ−６に相
応する。測定物としては反射性の物体だけが適している
。

Ｗ０　　８８／０８５１９号公報にヘテログイン干渉計
形式の構或を有する測定装置が示されており、この測定
装置は測定距離が小さい時に、比較的大きい測定精度を
提供する。

この装置は、異なる周波数を有する周波数安定化された
２つのレーザビームを用いる。これらの２つのレーザビ
ームから、２つの音響的光学的変調器が和周波数形或に
より、それぞれ異なる周波数を有する４つのレーザビー
ムを発生する。このために必要とされる変調周波数は２
つの電子発振器により発生されて音響的光学的変調器に
加えられる。

この装置の測定精度は測定物に依存する。この測定精度
は散乱性の測定物の場合は、反射性測定物の場合よりも
低い。このことはＲ．ＤａｎｄＬｉｋｅｒ他の論文Ｏｐ
ｔｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅｒｓ，　　１　３巻第５．３３９
（１９８８）に示されている。

通常はこの種の測定装置の相対測定精度は、２つの測定
信号の位相差がどのくらい正確に求められるか、および
振幅変調された光の位相がどのくらい安定であるかに依
存する。距離Ｓを精度ΔＳで求めるべき場合は、変調周
波数ｆのスペクトル拡散度Δｆ／ｆは、所望の横方向の
拡散度ΔＳ／Ｓよりも大きくしてはならない：Δｆ／ｆ
≦ΔＳ／Ｓ そのため距離Ｓ−３００ｍで精度が０．１顛の場合はス
ペクトル拡散度はわずかΔｆ／ｆ≦３　．３　Ｘ　１　
０−７Ｌか許容されない。相応にシャープに定められた
変調周波は、電子発振器により著しく高い費用の下での
み発生される。

発明の解決すべき問題点 本発明の課題は、反射性の測定物に対する測定精度と散
乱性の測定物に対する測定精度とが同じであるような、
上述の形式の測定装置を提供することである。さらに測
定装置が測定を、測定時間が１　０　０　ｍ　ｓ以下で
かつｌＯ−６よりも小さい相対誤差で可能とすることで
ある。

問題を解決するための手段 この課題は本発明により次のようにして解決されている
。即ち、冒頭に述べた形式の距離測定装置において、光
源が２つのそれぞれ周波数安定化された多モードの、該
モード間の周波数間隔Δｆ１とΔｆ２を有するレーザか
ら構成されており、さらに両方の周波数間隔の比Δｆ１
／Δｆ２が整数とは数値１よりも小さい値だけ異なるよ
うに選定されている構或により解決されている。

周波数安定化された両方のレーザの各々は高いスペクト
ル鮮鋭度の複数個のモードを放射する。１つのレーザの
モード間の周波数間隔は、各々の個々のモードそのもの
のと同じスペクトル鮮鋭度を有する。１つのレーザの複
数個のモードの適切な重畳により、振幅変調されたレー
ザビームが発生され、それの変調周波数は、重畳された
モード間の周波数間隔に相応する。

モードが、１つの共振器の異なる縦方向モードを対象と
する時は、周波数間隔は共振器の長さに応じて約１　０
　０　Ｍ　Ｈ　ｚ　＝　ｌ　Ｏ　Ｇ　Ｈ　ｚである。共
振器長さ２５ｃｍのヘリウム・ネオン・レーザの２つの
隣り合う縦方向モードは例えば周波数間隔６　０　０　
Ｍ　Ｈ　ｚを有する。

現在では、約Ｉ　Ｍ　Ｈ　ｚまでの周波数を有する電気
振動の位相を高い精度で測定することができる。そのた
め両方のレーザの周波数間隔が互いに次のように調整さ
れる、即ち振幅変調された両方の光ビームの検出の後に
、それぞれの検出器信号の電子的混合により電気振動が
発生され、その周波数は両方の変調周波数の１よりも著
しく小さい値しか有しない。場合により、検出器信号も
周波数逓倍化の目的でそれ自体と混合される。

本発明の装置の付加的な利点は、周波数の安定化された
電子発振器の省略により、必要とされる費用が少ないこ
とである。

レーザをスペクトル拡散度Δｆ／ｆ＜１０−７へ安定化
するための種々のかつ部分的には簡単な方法が知られて
いる。これらの方法のうちのいくつかは、”Ｄｏｋｕｍ
ａｎｔａｔｉｏｎ　Ｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｒｉｅ　ｉｎ　ｄｅｒ　Ｌｉｉｎｇｅｎｍｅｌ３ｔｅ
ｃｈｎｉｋＨ，　ＶＤｒ一出版ＤＱｓｓｅｌｄｏｒｆ　
１９８５＋　８ページ以下に示されている。

特別に簡単な安定化法がドイツ連邦共和国特許第２０４
３７３４号に提案されている．２モード形式の気体レー
ザの両方のモードは偏光光学的に最適に分離されてそれ
らの強さが測定される。調整回路が放電電流を、両方の
モードの強さの比が一定になるように制御する。

安定化された多モードレーザの場合、個々のモードのス
ペクトル鮮鋭度はモード間の周波数間隔へも反映する。

この周波数間隔の高いスペクトル鮮鋭度を干渉計による
長さ測定のために用いることは公知である。この種の干
渉計装置は、既に現在、１０−６よりも良好な相対精度
での測定を可能にする。しかしこれらの干渉計装置は、
常に高い反射性の測定物を、通常はトリプル反射器を必
要とする。他方、散乱性の測定物の場合、後方散乱され
た光の強さは小さすぎる。さらに散乱が測定光の位相に
関する非相関化を生ぜさせる。

本発明の有利な実施例では、両方のレーザがそれぞれ２
モードの形式を有する。そのためドイツ連邦共和国特許
第２０４３７３４号による著しく簡単な安定化法が、両
方のレーザに対して使用できる。さらに測定光として用
いられるレーザ光の部分は、レーザがそれぞれ２モード
形式である時は、最大となる。

２つの２モードレーザの使用の場合は、両方のレーザの
両方の周波数間隔の比Δｆ　１／Δｆ２は、数値ｌとは
ｌ％よりも小さい値だけ異なる．そのため位相測定は、
両方の周波数間隔の差周波数Δｆｌ２−Δｆ１−Δｆ２
の場合は、直接実施される。

著しく簡単な光学的構戒を有する距離測定装置において
、各々のレーザのモードは干渉可能に重畳され、そのた
め変調周波数Δｆ１とΔｆ２を有する２つの振幅変調さ
れたレーザビームが形戊される。この測定装置は全部で
３つの検出器を含み、しかもそれぞれ１つの検出器を、
各々のレーザの重畳されたモードのそれぞれの部分ビー
ムの受信用に含む。第３の検出器はレーザから測定物へ
放射されてここで散乱されたまたは反射された光を受信
する。距離測定のためには２つの測定ステップが必要と
される，各々の測定ステップにおいて第３の検出器と同
じレーザの光を、すなわち第３の検出器と同じ変調周波
数を有する光を受信する検出器との間の位相差の測定が
行われる。この目的で両方の検出器信号が同位相で残り
の検出器の信号と混合される。そのため差周波数Δｆｌ
２−Δｆ１−Δｆ２の場合に位相測定そのものが行われ
る。両方の測定ステップは、異なる測定ステップにおい
て異なるレーザの光がしたがって異なる変調周波数の光
が測定物へ放射される点で、互いに異なるこの目的のた
めに両方のレーザビームの変換用の装置が設けられる。

測定された両方の位相差から距離を一義的に求めること
ができる。この一義性の領域Ｌは周波数間隔Δｆ１とΔ
ｆ２により与えられる。

Ｌ−（Δｆｌ一Δｆ２）ｃ／２ この簡単な測定装置は、干渉計の形式の測定装置に比較
して、測定結果の大きい一義性領域Ｌを与える利点を有
する。ＷＯ８８／０８５１９号に相応する干渉計形式の
測定装置は、光学的レーザ周波の少なくとも１つが調整
可能である時にだけ、同様に大きい一義性領域を有する
レーザビームの交換用の種々の装置が知られている。高
い安定度を有するこの種の簡単な装置は機械的なチョッ
パ装置を有しており、このチョッパ装置が２つの異なる
個所において交番的に光を伝送させる。

許容される測定結果を得るために、検出器間の位相ドリ
７トを補償することができる。この種の位相ドリフトの
原因は、例えば温度変化にもとづく検出器の信号処理時
間の変動があり得る。この種の位相ドリ７トの補償のた
めに、第３の検出器が交番的に、測定物において散乱さ
れたないし反射された光を、または放射された光の一部
を受信する。この場合も機械的なチョッパー装置を用い
ることができる。このチ胃ツバー装置は交番的に、２つ
のビーム路のうちの一つを遮断する。

有利に、ディジタル位相測定器の計数周波数は、両方の
レーザのうちの１つの両方のモードの周波数間隔により
与えられる。この場合、高い計数速度が高いディジタル
分解能を与える。

さらに計数は、１つのレーザの両方のモードの周波数間
隔の大きいスペクトル鮮鋭度で、行われる。

実施例の説明 次に本発明の実施例を図面を用いて説明する第ｌ図にお
いてｌおよび２により２つの２モード形式のレーザが示
されている。これらは以下で詳述する。両方のレーザの
安定化の目的でビーム分割器３．４が各々のレーザの部
分光線をウオラストンプリズム５．６へ案内する。ウオ
ラストンプリズムは各々のレーザ光線の両方のモードを
その極性に応じて分割する。分割されたモードはツウイ
ン・フォトダイオード７．８によりＥ＋１個に検出され
、さらに２つの調整器９．ＩＯが検出信号から２つの調
整信号を得る。調整器９，１０はレーザ電源１１．１２
を介してそれぞれのレーザの放電電流を制御して、１つ
のレーザの両方のモードが同じ強さを有するようにする
。これにより両方のレーザがスペクトル拡散度Δｆ／ｆ
−３Ｘ１０−８へ安定化される。この安定化法はドイツ
連邦共和国特許第２０４３７３４号公報に示されている
。

第ｌレーザ１の両方のモードの偏光装置に対して４５＠
傾斜している第１偏光器ｌ３により、その両方のモード
が干渉可能に重畳される。

振幅変調された光波１５が形戊され、その変調周波数Δ
ｆ１は両方のモードの周波数間隔により与えられる。

第２偏光器ｌ４により同様に第２レーザ２の両方のモー
ドが干渉可能に重畳される。第２の振幅変調された光波
１６が形戊され、その変調周波数はΔｆ２の値を有する
。

２つのビーム分割器１７．２２が、第１の振幅変調され
た波ｌ５を２つの強さの等しい部分ビーム１８．１９へ
分割し、第２の振幅変調された波１６を２つの強さの等
しい部分ビーム２３，２４へ分割する。第ｌレーザの部
分ビームｌ９と第２レーザの部分ビーム２３は点Ｐ１で
交差し、両方の残りの部分ビーム１８．２４は第２の点
Ｐ２において交差する。機械的なチョッパー装置２５が
交番的に光を点Ｐ１を介してまたは点Ｐ２を介して伝送
させる。

ビーム路においてチョッパー装置２５の後方に設けられ
ている第３ビーム分割器２７は、点ｐｉにより案内され
る、第１レーザｌの部分ビーム１９と、点Ｐ２により案
内される、第２レーザ２の部分ビーム２４とを重畳して
、これらを第１フォトダイオード２９へ案内する。

第４のビーム分割器２６がビーム路において同じくチョ
ッパー装置２５の後方に設けられている。この第４のビ
ーム分割器２６は、両方の別の部分ビーム１８と２３を
重畳して、小さい光或分を第２７ォトダイオード２８へ
案内する。最大の光戊分が測定ビーム３０を或形する。

この測定ビームは次の経過において、ビーム分割器プリ
ズム３ｌを介しておよびテレスコープ３２を介して、測
定物３３へ放射される。ビーム分割器プリズム３ｌは、
測定物３３において散乱されたまたは反射された光を、
第３のフォトダイオード３４へ方向変換する。

テレスコープ３２の表面反射が第３のフォトダイオード
３４へ達しないようにするために、ビーム分割器プリズ
ムが偏光作用を有するビーム分割器として構成されてい
る。テレスコープ３２の後方にλ／４プレート３５が設
けられている。測定物３３において反射されたまたは散
乱された光は、このλ／４プレート３５を二重に通過す
るため、テレスコープの表面反射に対して垂直に偏光さ
れる。

第ｌ図に示された状態においてａｍ的なチョッパー装置
２５が光を点Ｐｌを介して伝送する。この場合この第２
フォトダイオード２８が変調周波数Δｆ２の光を受信し
、他方、両方の別の７才トダイオード２９．３４が変調
周波数Δｆ１の光を受信する。後者のフォトダイオード
２９．３４の信号は位相が互いに値−１だけ異なる。

２つの電子的混合器３６．３７が３つの７ｔトダイオー
ド２８．２９．３４の信号の中から、位相が互いに値一
ｌだけ異なる、差周波数Δｆｌ２−Δｆ１−Δｆ２の２
つの電気振動を形戊する。ディジタル位相測定器３８は
位相偏位の値−１を測定する。ディジタル位相測定器の
計数パルスを発生させるために、第２検出器２８の信号
が用いられる。この場合、個々の位相測定はディジタル
精度２πΔｆｘｚ／Δｆ２により行われる。

第２測定ステップの間中に機械的チョッパー装置２５が
光を点２５を介して伝送する。この場合、第２フォトダ
イオード２８が変調周波Δｆｌを受信し、他方、両方の
別のフオトダイ才−ド２９．３４が変調周波数Δ【２の
光を受光する。そのためこの後者のフォトダイオード２
９．３４の信号は位相が互いに値−２だけ偏差している
。この位相偏差の値−２は上述のように求められる。デ
ィジタル精度を一定に保つために、ディジタル位相測定
器３８の計数パルスの発生のために第１検出器２９の信
号が用いられる。スイッチ３９がディジタル位相測定器
のトリガ入力側を機械的チ３ツバー装置の周波数で第１
検出器２８と第２検出器との間を切り換える。

測定された位相偏差−１および−２から測定装直と測定
物３３との間の距離値Ｓが算出される。この距離値は、
Ｓ≦Ｃ／２Δｆ４２である限り、一義的である。距離測
定値のディジタル精度ΔＳは、ΔＳ・±（ＣΔｆ　１２
）／（２Δｆ１Δｆ２）となるように得られる。

上述の様に達成可能な最大相対測定精度ΔＳ／Ｓは、変
調周波数のスペクトルの拡散度Δｆ／ｆに依存する。こ
れに対してディジタル測定精度ΔＳと一義性領域は両方
のレーザ１，２のモード間隔の数値Δｆ１とΔｆ２によ
り定められる。

第２ａ図において２０ａで、第１ヘリウムネオンレーザ
の増幅度のスペクトル特性が示されている。隣り合う２
つの縦方向モードｎ１とｎ十ｌはレーザ閾値２１ａを上
回わる。両方のモードの周波数間隔Δｆ１は第ｌレーザ
の共Ｍ器長さＬｌと光速Ｃにより与えられる： Δｆｌ−Ｃ／２Ｌ１ 共振器長さＬｌ−２５ｃｍの場合、Δｆｌ−６　０　０
　ＭＨｚとなる。隣り合うモードｎ１とｎ１＋１とが互
いに垂直に直線偏光される形式のいわゆる“ランダム”
偏光レーザが用いられる。

同様のことが第２ヘリウム・ネオンレーザに対しても当
てはまる。このレーザの増幅度のスペクトル特性は、第
２ｂ図において２０ｂで示されている。同じく２モード
の“ランダム”偏波レーザが用いられ、その隣り合う縦
方向モードｎ２およびｎｚ＋１はレーザ閾値２ｌｂを上
回わる。しかしこの第２レーザは第ｌレーザよりも０．
２１ｍｍだけ短い共振器長さＬ２を有する。そのため周
波数間隔もΔｆ２＝ｃ／２Ｌ２＝６００．５ＭＨｚであ
る。両方のレーザの共振器長さの相対的な差は約１／１
　０　０　０である。相応のレーザ対は例えば大量生産
により選定することができる。

この両方のレーザにより一義性領域３００ｍｍ内でディ
ジタル測定精度ΔＳ一±０．２ｍｍ　が得られる。個々
の測定の測定時間はわずか２μｓである。

ディジタルエラーを一層低減する目的で、位相偏差が差
周波数Δｆｌ２の数周期にわたり測定される。位相差Δ
ｒｔ２のｌＯ周期にわたる測定の場合に、ディジタルエ
ラーの値がわずかに２ｆ／１２．０．ＩＯとなる。この
場合、距離測定値の精度は、測定時間が２０μｓの場合
ΔＳ−±０．０２ｍｍである。

スタティックなエラーは位相偏差の値−１および−２の
反復測定により低減される。この場合、第１図において
ディジタル位相測定＠３８に切り換えスイッチを設ける
ことができる。この切り換えスイッチは、各々の測定サ
イクル後に両方の測定入力を互いに交換する。この構或
により、ディジタル位相測定器３８の電圧比較器間のシ
ステムによる差の影響が抑圧される。

第１図に示されている様に、第２検出１ａ２８と第３検
出器３４との間の位相ドリフトの補正のために、測定光
のビーム路３０において、ビーム分割プリズム３ｌの前
方にもう１つのビーム分割器４０が設けられている。こ
のビーム分割器は測定光３０の部分ビーム４３を第３検
出器３４へ偏向させる。第２の機械的チョッパ−４１が
交番的にこの部分ビーム４３を、および測定物３３にお
いて散乱されたまたは反射された光のビーム路を、遮断
する。機械的なチョッパー装置４ｌが測定光３０の部分
ビーム４３を伝送させている時間において、第２検出器
２８と第３検出器３４の信号の間の位相補正値１１１ｋ
が測定される。この位相補正値一ｋが位相値−１または
Ｉ２から減算される。

散乱性の測定物への距離を測定すべき時は、測定光３０
の、および測定物３３において散乱されたまたは反射さ
れた光４２の偏光に最適の分割は理想的ではない、何故
ならば散乱が常に偏光を陣げるように作用するからであ
る。この場合は、例えば別個の送光テレスコープおよび
受光テレスコープにより実施できる幾何学的ビーム路を
設けることができる。

機械的チＢツパー装置２５．４１は液晶装置によりまた
は電気的一または磁気的光学的スイッチングエレメント
によっても、置き換えることができる。これらは例えば
、短かい測定時間がしたがって高いチョップ周波数が用
いられる時に、設けられる。

第２の実施例においては２つの異なるレーザが用いられ
ている。第ｌレーザのスペクトル特性は第３ａ図におい
て５０ａで示されている。

増幅度の最大値は周波数ｆ３の場合に存在する。再び２
モードレーザが用いられる。画方のモードｎ３およびｎ
３＋ｌはレーザ閾値５１ａを上回わる。これらの両方の
モードは互いに垂直に線形に偏光されている。モード間
の周波数間隔はΔｆ３で示されている。このレーザの周
波数安定化は第１図において示されたように行なわれる
。

第２のレーザは第３ｂ図にしめされているように３モー
ド形式である。３つのモードｎ４　−１、ｎ４およびｎ
４＋１はレーザ閾値５ｌｂを上回わる。モードｎ４は両
方の別のモードに垂直に線形に偏向されている。モード
の周波数間隔Δｆ４はΔｆ３／２よりも小さい。増幅度
のスペクトル特性５０ｂは極大値５２ｂと５３ｂとの間
で、ラムディップ（Ｌａｍｂ−Ｄｉｐ）と称される極小
値５４ｂを有する。安定化の目的で偏光分割器がレザビ
ームを偏光に応じて分割する。両方のモードｎ４−１と
１　４＋１が、変調周波数２Δｆ４を有する振幅変調さ
れた測定ビームを形戊する。モードｎ４の強さが測定さ
れてレーザの安定化の目的に用いられる。調整器がピエ
ゾエレメントを用いて共振器長さを、モードｎ４の周波
数がラムディップの周波数と一致するように調整する。

モードｎ４の強さはこの場合に最小となる。

前述の機械的チョッパー装置について要約すると、両方
のレーザビームを相互に交換するための装置として機械
的なチョッパー装置２５が設けられており、このチョッ
パー装置が交番的に光を２つの異なる個所Ｐｉ，Ｐ２へ
伝送させる。

さらに同じレーザの両方の光の間の位相ドリ７トを補償
するために、受信用検出器２８．５４に第２のＩＩ械的
チョッパー装置４ｌが設けられており、該チョッパー装
置が測定物３３において散乱されたまたは反射された光
４２と、放射された光４３の一部を第３の検出器３４へ
伝送させる。

前述の第２実施例の別の構或は第ｌ図の実施例に相応す
る。

発明の効果 本発明により、反射性の測定物に対する感度４ も散乱性の測定物に対する感度も同じ値にされさらに相
対誤差の著しく小さい距離測定器が提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は２つの類似の２モードレーザを有する本発明に
よる測定装置のブロック図、第２ａ図は第１のレーザの
増幅度の、周波数の関数としてのダイヤグラム図、第２
ｂ図は第２のレーザの増幅度の、周波数の関数としての
ダイヤグラム図、第３ａ図は２つの異なるレーザを有す
る第２の実施例に対する第ｌレーザの増幅度の、周波数
の関数としてのダイヤグラム図、第３ｂ図は第３ａ図に
よる実施例に対する第２のレーザーの増幅度の周波数の
関数としてのダイヤグラム図を示す。 １．２・・・２モードレーザ、３，４・・・ビーム分割
器、５，６・・・ウオラストンプリズム、７，８・・・
ツウイン・フォトダイオード、９．ｔｏ・・・調整器、
１１．１２・・・レーザ光源、１３．１４・・・偏光器
、１５．１６・・・振幅変調された光波、１７．２２，
２６．２７．４０・・・ビーム分割器、１８，１９，２
３．２４・・・部分ビーム、２５，４ｌ・・・機械的チ
ョッパー装置、２８．２９．３４・・・フォトダイオー
ド、３５；・・λ／４プレート３６．３７・・・電子混
合器、３８・・・ディジタル位相測定器、３９・・・ス
イッチ、４２・・・ビーム路４３・・・部分ビーム

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定物へ光ビームを放射するための光源と、該測定
   物において反射されたないし後方散乱された光と放射さ
   れた光との間の位相偏差を測定するための装置とを有す
   る光学的距離測定装置において、光源が２つのそれぞれ
   周波数安定化された多モード形式の、該モード間の周波
   数間隔Δｆ＿１とΔｆ＿２を有するレーザ（１、２）か
   ら構成されており、さらに両方の周波数間隔の比Δｆ＿
   １／Δｆ＿２が整数とは数値１よりも小さい値だけ異な
   るように選定されていることを特徴とする光学的距離測
   定装置。 ２、両方のレーザ（１、２）がそれぞれ２モード形式で
   あるようにした請求項１記載の光学的距離測定装置。 ３、両方のレーザの各周波数間隔の比Δｆ＿１／Δｆ＿
   ２が数値１とは１％よりも小さい値だけ異なるようにし
   た請求項２記載の光学的距離測定装置。 ４、レーザのそれぞれ２つのモードを干渉可能に重畳す
   るための手段（１３、１４）を設け、さらに第１のレー
   ザの部分ビームを受光するための第１検出器（２９）を
   設け、さらに第２のレーザの部分ビームを受光するため
   の第２検出器（２８）を設け、さらにレーザから測定物
   （３３）へ放射されて該測定物（３３）において散乱さ
   れたまたは反射された光の少なくとも一部を受信するた
   めの第３検出器（３４）を設け、さらに両方のレーザビ
   ームを交換するための装置（２５）を設け、この場合、
   位相偏差を測定するための装置（３６、３７、３８）が
   、同じレーザの部分ビームを受信する両方の検出器（２
   ８、３４）の出力信号をそれぞれ、別のレーザの部分ビ
   ームを受信する検出器（２９）の出力信号と電子的に混
   合するようにした請求項１から３までのいずれか１項記
   載の光学的距離測定装置５、測定物（３３）において散
   乱されたまたは反射された光（４２）と放射された光（
   ３０）との間の位相偏差を測定するために、ディジタル
   形式の位相測定器（３８）が設けられており、該位相測
   定器の計数周波数が両方のレーザ（１、２）のうちの一
   方のレーザの２つのモードの周波数間隔により与えられ
   るようにした請求項１から４までのいずれか１項記載の
   光学的距離測定装置。