JPH0129786Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、ボンデイングツールを高温にして
ボンデイングする時に使用する該ツールの改良に
関する。

半導体ダイボンデイング工程においてトレイ上
のダイを吸着して、これをリードフレーム等のワ
ークに運び、該ワークのランド上に熱圧着させる
ために広くヒータ付きのボンデイングツールが用
いられているが、このようなボンデイングツール
としては、従来、例えば第１図及び第２図に示す
ようなものがある。第１図に示すボンデイングツ
ールはツールホルダ１にミニヒータ４用のヒート
ブロツク２が一体に設けてあり、このヒートブロ
ツク２にはミニヒータ４用のねじ穴を設けこれに
コイル状に巻いたミニヒータ４をねじ込む方式の
ものである。３は先端にチツプ吸着面５を備え、
ツールホルダ１に設けた挿入孔に挿入されるツー
ル本体であり、６はツールホルダ１の半径方向の
めねじにねじ込まれツール本体３を押えている止
ねじである。

しかしながら、第１図のものにあつてはツール
ホルダ１にミニヒータ４取付用のヒートブロツク
２を設けたため、装置の高速化に必要とされるツ
ールホルダ１の軽量化に沿わず、また、ツール本
体３から離れた所にミニヒータ４が設けられる形
態となつているため、ツール本体３先端部の加熱
不足が発生するという欠点がある。

更に、ミニヒータ４をヒートブロツク２にねじ
込んでいるため、ミニヒータ４が金属学的に成長
或は腐食した際にミニヒータ４をヒートブロツク
２から外すことが困難となる。即ち、ミニヒータ
が金属学的に成長或は腐食した場合にミニヒータ
４がヒートブロツク２のめねじにくいつきミニヒ
ータ４をねじ戻す際ミニヒータ４が折れてヒート
ブロツク２のめねじ中に残つてしまい取出せなく
なる場合があるばかりでなく、新しいミニヒータ
４であつてもミニヒータ４のコイル部分とヒート
ブロツク２のめねじとの摩擦により該コイル部分
が拡径して該めねじにくい込み抜けなくなるよう
なことがある（ばねクラツチと同現象）。

そのためミニヒータが断線したときの交換が容
易にできないという問題点があつた。

第１図のものの改良として、第３図に示すボン
デイングツールがある。即ち、ツール本体３の軸
部にねじ７を設け、このねじ７に第２図に示すミ
ニヒータ４を螺入するようにしたのである。第３
図のものにあつては、軽量化と加熱不足解消とい
う点では改良されたものの、依然としてねじ込み
式なのでミニヒータ４の取付けに当つては専用ド
ライバー等を使つてねじ込まなければならず、ミ
ニヒータ４の金属学的成長或は腐食でミニヒータ
４をねじ７からねじ戻すのが困難となることもあ
り、ミニヒータ４の交換は容易なものとならなか
つた。又はミニヒータ４はねじ７にねじ込むため
高さ方向の位置が明らかでなく一定せず吸着面５
の加熱量がツールによりばらつく。そしてミニヒ
ータ４の導線がボンダー本体に干渉するため強制
的に曲げる必要がある等の問題点があつた。

上記各従来例はヒータとツールが剛に取り付け
られ、その関係位置はヒータ線を曲げるしかない
のでツールに応力を生じさせるおそれがある。

この考案は上記のようなボンデイングツールの
問題点に着目してなされたもので、ツール本体の
軸部に軸端外周から出張つているストツパを設
け、これをミニヒータを挿入したときの上部の当
り面とし、ツール軸の端部に係止部及びこれに係
合する係止部材を設け、直接ツール本体の軸部に
ミニヒータを回動自在に嵌装することにより上記
問題点を解決することを目的としている。

以下、この考案を図面に基づいて説明する。第
４〜６図は、この考案の一実施例を示す図であ
る。まず構成を説明すると、ツール本体３には吸
着面５側の軸部８を拡径して軸方向に直角なスト
ツパー面１０を設ける。軸部８にはコイル状に巻
いてその一端を導出して電源に連結するようにし
たミニヒータ４のコイル部分を回動可能もしくは
ゆるく嵌入してある。ツール本体３の吸着面５近
傍の軸端部には止め輪用の円周溝１１が設けてあ
り、該円周溝１１には例えばＣ型止め輪のような
軸用止輪９が嵌め込まれており、ツール本体３か
らミニヒータ４が脱出しないようにしてある。

ミニヒータ４をツール本体３に取付けるにはツ
ール本体３の軸部８にミニヒータ４を挿入し、軸
用止輪９を円周溝１１に嵌入する。ミニヒータ４
をツール本体３から外すには軸用止輪９を円周溝
１１から外し、ミニヒータ４をツール本体の軸部
８から抜く。

上記においてストツパー面１０の構成は軸部８
に一体に設けたが必ずしも一体でなく、例えば軸
部８に円周溝を設け、円周溝に軸用止輪を嵌入す
るようにしてもよく要するに軸端より外周方向に
出張つていてミニヒータ４のコイル部分の一端を
制止できればよいのである。ミニヒータ４をツー
ル本体３から脱落しないようにするのに軸部に円
周溝１１を係止部とし、軸用止輪９を係止部材と
し係止部と係止部材によつているが係止部と係止
部材は限定されるものではない。

以上説明してきたように、この考案によればそ
の構成を先端にチツプ吸着面を備えたツール本体
の吸着面の軸部に軸部外周から出張つているスト
ツパーを構成するとともにツール本体の軸端部に
係止部を設け前記ストツパーと係止部との間の軸
部に直接ミニヒータを回動自在に嵌装して係止部
材で係止する構成としたため、ツールホルダにヒ
ートブロツクを設ける必要なく又ツールに直接ミ
ニヒータを嵌装するためツール先端部の加熱不足
が解消され、ミニヒータの寿命が切れた場合のそ
の交換も係止部材を取り除くことにより、容易に
できる。又ヒートブロツクの必要がないので自動
化に必要な、ツールホルダの軽量化が図れるとい
う効果が得られる。

第３図において説明したようなミニヒータをツ
ール本体へ直接ねじ込むねじ込み式の場合はミニ
ヒータの導線の位置がねじ込まれた位置により決
まり、この位置によつて、導線が本体に干渉し、
ヒータ部を強制的に曲げなければならなかつたこ
とは既にのべたが本考案によるとミニヒータをツ
ール軸部直接かつ回動自在に嵌装しているためミ
ニヒータの導線の停止位置が自由に変更できる。
又ミニヒータとストツパーに多少間〓を設けた場
合ミニヒータの導線は自在に動くことも可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例の正面図、第２図はミニヒータ
の側面図、第３図は他の従来例を示すツール本体
の正面図、第４図乃至第６図はこの考案の実施例
を示す図面であつて第４図はボンデイングツール
本体の正面図、第５図はボンデイングツール本体
にミニヒータを嵌装しツールホルダに取り付けた
場合の一部断面正面図、第６図は第５図の平面図
である。 １……ツールホルダ、２……ヒートブロツク、
３……ツール本体、４……ミニヒータ、５……吸
着面、６……止ねじ、７……ねじ、８……軸部、
９……軸用止輪、１０……ストツパー面、１１…
…円周溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 先端にチツプ吸着面を備えたツール本体の軸部
   の径を、ミニヒータを該軸部に挿入したときその
   ミニヒータが回動自在となる如き寸法に形成し、
   該軸部に軸部外周から出張つているストツパーを
   設け、そのストツパーをミニヒータを前記軸部に
   挿入したときの上部の当り面となすとともに、ツ
   ール本体のチツプ吸着面側の軸端部には係止部を
   設け、前記ストツパーと係止部との間のツール本
   体の軸部にミニヒータを回動自在に嵌装してミニ
   ヒータの軸方向移動を制止する係止部材を前記係
   止部に係止してなるボンデイングツール。