JPH01295139A - パターン検査方法 - Google Patents
パターン検査方法Info
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- JPH01295139A JPH01295139A JP63126635A JP12663588A JPH01295139A JP H01295139 A JPH01295139 A JP H01295139A JP 63126635 A JP63126635 A JP 63126635A JP 12663588 A JP12663588 A JP 12663588A JP H01295139 A JPH01295139 A JP H01295139A
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- Japan
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- pattern
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95607—Inspecting patterns on the surface of objects using a comparative method
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、プリント回路基板上に印刷された配線パタ
ーンの欠陥を検査する方法に関する。
ーンの欠陥を検査する方法に関する。
〈従来の技術〉
プリント回路基板の配線パターンを検査する方法として
は、配線パターンの幅及びパターン間の距離が設計時の
一定の規格に合致しないものを欠陥品として判定する特
徴抽出法と、基準となる配線パターンと同一箇所を順次
比較して検査を行なう比較法とがある。
は、配線パターンの幅及びパターン間の距離が設計時の
一定の規格に合致しないものを欠陥品として判定する特
徴抽出法と、基準となる配線パターンと同一箇所を順次
比較して検査を行なう比較法とがある。
〈発明が解決しようとする課題〉
上記従来技術は、プリント回路基板の材質がガラスエポ
キシ等の硬質基板や、パターン幅が２００μｍ程度でパ
ターンの構成が簡単なプリント回路基板に対しては有効
であるが、近年の高密度化に伴って基板の材質としてポ
リイミドやポリエミテル等を用いたフレキシブル基板や
パターン幅が５０μｍ程度と微細で複雑なパターンのも
のにおいては、上記従来方法では正確な検査が行えない
。
キシ等の硬質基板や、パターン幅が２００μｍ程度でパ
ターンの構成が簡単なプリント回路基板に対しては有効
であるが、近年の高密度化に伴って基板の材質としてポ
リイミドやポリエミテル等を用いたフレキシブル基板や
パターン幅が５０μｍ程度と微細で複雑なパターンのも
のにおいては、上記従来方法では正確な検査が行えない
。
すなわち、パターン幅が５０μｍ程度と細く且つパター
ン構成が複雑であるため、上記特徴抽出法では、設計上
の規格データの量が膨大となり、また欠けや断線などの
欠陥を欠陥と判断しない等の問題がある。
ン構成が複雑であるため、上記特徴抽出法では、設計上
の規格データの量が膨大となり、また欠けや断線などの
欠陥を欠陥と判断しない等の問題がある。
また、上記比較法においては、検査対象及び基準となる
２枚のフレキシブル基板を高精度に位置決めする必要が
あることから、装置が高価となる。
２枚のフレキシブル基板を高精度に位置決めする必要が
あることから、装置が高価となる。
また、温度や湿度等の環境の変化により、フレキシブル
基板に伸び縮みが発生するため、２枚のフレキシブル基
板の相対的なパターンの比較が困難となる等の問題があ
る。
基板に伸び縮みが発生するため、２枚のフレキシブル基
板の相対的なパターンの比較が困難となる等の問題があ
る。
〈課題を解決するための手段〉
上記問題点を解決するために、この発明は、配線パター
ンを撮像する検査カメラからの情報に基づいて配線パタ
ーンエツジを検出し、この検出された配線パターンエツ
ジに沿って検査カメラを移動させたときの検査カメラの
移動経路と、標準パターンにおける検査カメラの移動経
路とを比較して配線パターンの欠陥を検査することを特
徴としている。
ンを撮像する検査カメラからの情報に基づいて配線パタ
ーンエツジを検出し、この検出された配線パターンエツ
ジに沿って検査カメラを移動させたときの検査カメラの
移動経路と、標準パターンにおける検査カメラの移動経
路とを比較して配線パターンの欠陥を検査することを特
徴としている。
〈作用〉
本発明によるパターン検査方法においては、検査カメラ
は配線パターンのパターンエツジに沿って移動し、この
ため、パターンの欠陥箇所においてもカメラは忠実にそ
のパターンエツジに沿って・移動する。したがって、カ
メラの移動経路は欠陥のあるパターンエツジを含んでお
り、このカメラの移動経路を標準パターンの移動経路と
比較することにより、欠陥を検出することができる。
は配線パターンのパターンエツジに沿って移動し、この
ため、パターンの欠陥箇所においてもカメラは忠実にそ
のパターンエツジに沿って・移動する。したがって、カ
メラの移動経路は欠陥のあるパターンエツジを含んでお
り、このカメラの移動経路を標準パターンの移動経路と
比較することにより、欠陥を検出することができる。
〈実施例〉
第１図はこの発明のパターン検査方法を実施するための
システムの構成を示している。図において、１は吸着テ
ーブル、２は位置決めピン、３はフレキシブル回路基板
、４は検査カメラ、５はＸＹ子テーブル６はＡ／Ｄ変換
器、７はメモリ、８は制御部、９はドライバ、１０はモ
ータである。
システムの構成を示している。図において、１は吸着テ
ーブル、２は位置決めピン、３はフレキシブル回路基板
、４は検査カメラ、５はＸＹ子テーブル６はＡ／Ｄ変換
器、７はメモリ、８は制御部、９はドライバ、１０はモ
ータである。
吸着テーブル１は、パターン検査の対象となるフレキシ
ブル回路基板３が吸着固定される。この吸着テーブル１
の表面には、フレキシブル回路基板３の位置決めを行う
ための複数本の位置決めピン２と、図示していない複数
個の千鳥状に形成された吸引口が設けられている。検査
カメラ４は、フレキシブル回路基板３の配線パターンを
撮像する。この検査カメラ４は、モータ１０により駆動
されるＸＹ子テーブルに取り付げられている。Ａ／Ｄ変
換器６は、検査カメラ４から出力されたアナログ画像信
号をディジタル画像信号に変換する。
ブル回路基板３が吸着固定される。この吸着テーブル１
の表面には、フレキシブル回路基板３の位置決めを行う
ための複数本の位置決めピン２と、図示していない複数
個の千鳥状に形成された吸引口が設けられている。検査
カメラ４は、フレキシブル回路基板３の配線パターンを
撮像する。この検査カメラ４は、モータ１０により駆動
されるＸＹ子テーブルに取り付げられている。Ａ／Ｄ変
換器６は、検査カメラ４から出力されたアナログ画像信
号をディジタル画像信号に変換する。
メモリ７は、検査カメラ４により撮像された画像情報を
記憶する。制御部８は、検査カメラ４により撮像された
画像情報にもとづいて、後述する方法により検査カメラ
４の移動経路を算出し、この算出結果に対応した移動指
令信号をドライバ９に与える。ドライバ９は、この移動
指令信号社もとづいて、モータ１０を駆動する。ＸＹ子
テーブルは、モータ１０の駆動により、検査カメラ４を
制御部８からの移動指令信号に対応した方向に移動させ
る。
記憶する。制御部８は、検査カメラ４により撮像された
画像情報にもとづいて、後述する方法により検査カメラ
４の移動経路を算出し、この算出結果に対応した移動指
令信号をドライバ９に与える。ドライバ９は、この移動
指令信号社もとづいて、モータ１０を駆動する。ＸＹ子
テーブルは、モータ１０の駆動により、検査カメラ４を
制御部８からの移動指令信号に対応した方向に移動させ
る。
以下、パターン検査の方法について説明する。
まず、検査対象とするフレキシブル回路基板３を吸着テ
ーブル１上に固定する。この場合、フレキシブル回路基
板３に形成されている位置決め穴を吸着テーブル１の位
置決めピン２に嵌め込むとともに、吸着テーブル１の吸
引口から真空吸引することにより、フレキシブル回路基
板３は吸着テーブル１上の所定位置に固定される。
ーブル１上に固定する。この場合、フレキシブル回路基
板３に形成されている位置決め穴を吸着テーブル１の位
置決めピン２に嵌め込むとともに、吸着テーブル１の吸
引口から真空吸引することにより、フレキシブル回路基
板３は吸着テーブル１上の所定位置に固定される。
いま、検査対象とするフレキシブル回路基板３の配線パ
ターンが第３図に示すように複数箇所に欠陥があるもの
とする。第２図はこの検査対象とするフレキシブル回路
基板３の配線パターンに対応した良品の配線パターンを
示している。この良品の配線パターン１１と比べると、
フレキシブル回路基板３の配線パターン１２には、欠け
Ａ、断線Ｂ、短絡Ｃの欠陥がある。
ターンが第３図に示すように複数箇所に欠陥があるもの
とする。第２図はこの検査対象とするフレキシブル回路
基板３の配線パターンに対応した良品の配線パターンを
示している。この良品の配線パターン１１と比べると、
フレキシブル回路基板３の配線パターン１２には、欠け
Ａ、断線Ｂ、短絡Ｃの欠陥がある。
フレキシブル回路基板３が吸着テーブル１上に位置決め
固定されると、制御部８は、検査カメラ４を予め設定さ
せている検査開始位置Ｋまで移動させ、さらに、検査カ
メラ４の視野エリアの中心位置と検査開始位置にとが一
致するように、ＸＹ子テーブルを移動させながら微調整
を行なう。この微調整が完了すると、検査カメラ４はこ
の位置にの画像を撮り込む。検査カメラ４により撮り込
まれた画像情報は、Ａ／Ｄ変換器６においてディジタル
信号に変換され、メモリ７へ書き込まれる。
固定されると、制御部８は、検査カメラ４を予め設定さ
せている検査開始位置Ｋまで移動させ、さらに、検査カ
メラ４の視野エリアの中心位置と検査開始位置にとが一
致するように、ＸＹ子テーブルを移動させながら微調整
を行なう。この微調整が完了すると、検査カメラ４はこ
の位置にの画像を撮り込む。検査カメラ４により撮り込
まれた画像情報は、Ａ／Ｄ変換器６においてディジタル
信号に変換され、メモリ７へ書き込まれる。
制御部８は、メモリ７に書き込まれた画像の中央部分の
一定範囲の画素を抽出し、配線パターンのエツジを検出
し、この検出結果からこの工・ンジに沿った検査カメラ
４の進行方向を算出する。そして、この算出結果にもと
づいて、検査カメラ４は配線パターンエツジに沿って移
動する。
一定範囲の画素を抽出し、配線パターンのエツジを検出
し、この検出結果からこの工・ンジに沿った検査カメラ
４の進行方向を算出する。そして、この算出結果にもと
づいて、検査カメラ４は配線パターンエツジに沿って移
動する。
一定距離の移動毎に、検査カメラ４は配線パターンを撮
り込み、上記の手順を繰り返すことにより、配線パター
ンエツジに沿って一周し、再び検査開始位置Ｋに戻って
くる。
り込み、上記の手順を繰り返すことにより、配線パター
ンエツジに沿って一周し、再び検査開始位置Ｋに戻って
くる。
第２図に示す良品パターンの場合、検査カメラ４は、Ｋ
−＋Ｌ−ＰＭ−＋Ｎ−＋Ｏ→Ｐ→Ｑ→Ｒ→Ｓ→Ｔ→Ｕ→
Ｖ−＋にの経路で移動する。一方、第３図に示す欠陥の
ある配線パターンの場合、検査カメラ４はに一４Ｄ→Ｅ
→Ｌ→Ｍ→Ｆ→Ｇ→Ｐ→Ｑ→Ｈ→■→Ｔ−＋Ｕ−Ｖ−に
の経路で移動する。したがって、良品パターン１１と欠
陥パターン１２とでは検査カメラ４の移動経路が異なり
、この両者の移動経路を比較することにより、欠陥パタ
ーン１２の欠陥箇所Ａ、Ｂ、Ｃを検出することができる
。
−＋Ｌ−ＰＭ−＋Ｎ−＋Ｏ→Ｐ→Ｑ→Ｒ→Ｓ→Ｔ→Ｕ→
Ｖ−＋にの経路で移動する。一方、第３図に示す欠陥の
ある配線パターンの場合、検査カメラ４はに一４Ｄ→Ｅ
→Ｌ→Ｍ→Ｆ→Ｇ→Ｐ→Ｑ→Ｈ→■→Ｔ−＋Ｕ−Ｖ−に
の経路で移動する。したがって、良品パターン１１と欠
陥パターン１２とでは検査カメラ４の移動経路が異なり
、この両者の移動経路を比較することにより、欠陥パタ
ーン１２の欠陥箇所Ａ、Ｂ、Ｃを検出することができる
。
〈発明の効果〉
以上説明したように、この発明によれば、検査カメラに
よって配線パターンエツジを撮り込みながら検査カメラ
を配線パターンエツジに沿って移動させ、この検査カメ
ラの移動経路と標準パターンに対する移動経路とを比較
することにより欠陥を検出するようにしているので、比
較の対象とする標準パターンに関して必要とするデータ
が検査開始位置と終了位置並びにその間の移動経路だけ
でよいことから、データ量を減らすことができ、そのた
めの記憶容量が少なくてすむ。また、フレキシブル回路
基板の伸び縮みによる位置ずれを考慮する必要がないの
で、基板の高精度位置決めが不要となり、検査装置を安
価にすることができる。
よって配線パターンエツジを撮り込みながら検査カメラ
を配線パターンエツジに沿って移動させ、この検査カメ
ラの移動経路と標準パターンに対する移動経路とを比較
することにより欠陥を検出するようにしているので、比
較の対象とする標準パターンに関して必要とするデータ
が検査開始位置と終了位置並びにその間の移動経路だけ
でよいことから、データ量を減らすことができ、そのた
めの記憶容量が少なくてすむ。また、フレキシブル回路
基板の伸び縮みによる位置ずれを考慮する必要がないの
で、基板の高精度位置決めが不要となり、検査装置を安
価にすることができる。
第１図は本発明実施例の構成を示すブロック図、第２図
は良品パターンを示す図、 第３図は欠陥パターンを示す図である。 １・・・吸着テーブル ３・・・フレキシブル回路基板 ４・・・検査カメラ ５・・・ＸＹ子テーブ ル・・・メモリ ８・・・制御部 ０フ 鳴
は良品パターンを示す図、 第３図は欠陥パターンを示す図である。 １・・・吸着テーブル ３・・・フレキシブル回路基板 ４・・・検査カメラ ５・・・ＸＹ子テーブ ル・・・メモリ ８・・・制御部 ０フ 鳴
Claims (1)
- 配線パターンを撮像する検査カメラからの情報に基づ
いて配線パターンエッジを検出し、この検出された配線
パターンエッジに沿って検査カメラを移動させたときの
検査カメラの移動経路と、標準パターンにおける検査カ
メラの移動経路とを比較して配線パターンの欠陥を検査
するパターン検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63126635A JPH01295139A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | パターン検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63126635A JPH01295139A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | パターン検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01295139A true JPH01295139A (ja) | 1989-11-28 |
Family
ID=14940074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63126635A Pending JPH01295139A (ja) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | パターン検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01295139A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100575039B1 (ko) * | 2003-06-23 | 2006-04-28 | 미츠이 긴조쿠 고교 가부시키가이샤 | 플렉시블 프린트 배선판의 제조 방법 |
-
1988
- 1988-05-23 JP JP63126635A patent/JPH01295139A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100575039B1 (ko) * | 2003-06-23 | 2006-04-28 | 미츠이 긴조쿠 고교 가부시키가이샤 | 플렉시블 프린트 배선판의 제조 방법 |
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