JPH01289586A

JPH01289586A - レーザートリミング装置

Info

Publication number: JPH01289586A
Application number: JP63114581A
Authority: JP
Inventors: Naoto Sakagami; 坂上　直人
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1988-05-13
Filing date: 1988-05-13
Publication date: 1989-11-21

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野］本発明はレーザー光を利用してゲートアレイチップのプ
ログラミングヒユーズを切断するためのレーザートリミ
ング装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のレーザートリミング装置を第４図の概略
構成図に示す。このレーザートリミング装置は、ステー
ジ２０上に載置されたゲートアレイチップ２に対してレ
ーザー光を微小に結像させる構成とされており、レーザ
ー発振器４と、レーザー光を適当な加工エネルギーまで
減衰させる減衰器５と、ゲートアレイチップ２上でのレ
ーザー照射範囲を制限するための絞り８と、その絞りを
通過したレーザー光をゲートアレイチップ上に結像させ
るための投影レンズ９から構成されている。

そして、予め決められた切断すべきヒユーズの位置情報
に従ってゲートアレイチップ２はステージ２０上で位置
合わせされ、レーザー光が投射されることにより、該当
するプログラムヒユーズが順次切断される。この位置情
報はＣＡＤシステムより、フロッピーディスク、磁気テ
ープ等の情報媒体やローカルエリアネットワークによっ
てレーザートリミング装置に入力される。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、通常のゲートアレイチップではプログラミン
グするために切断すべきプログラミングヒユーズは１チ
ツプ当たり敵方ヒユーズにもなる。

また、集積度が向上されるのに伴ってプログラミングヒ
ユーズ数はさらに増加すると見込まれる。

このような状況において、上述した従来のレーザートリ
ミング装置では、プログラミングヒユーズを１つずつ順
次切断する構成となっているため、１チツプの処理時間
は大量に必要となる。例えば、この従来レーザートリミ
ング装置では数十ヒユーズ／ｓｅｃ程度の切断スピード
であり、１チツプの処理には数十分を必要とする。

処理能力を向上するには切断スピードを高速にすればよ
いが、このような目的に使用されるＱスイッチＹＡＧレ
ーザでは、一般にＱスイッチの周波数を上げると出力波
形のピークが下がりパルス幅も広がる特性があるため、
良好なヒユーズ切断は困難である。

本発明はフログラミングヒユーズの切断処理の能力を向
上させることが可能なレーザートリミング装置を提供す
ることを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のレーザートリミング装置は、レーザー光を出力
するレーザー発振器と、−本のレーザー光を等しいエネ
ルギの複数のレーザー光に分割する分割部と、分割され
た複数のレーザー光を個々に遮蔽可能なシャッターと、
分割された複数のレーザー光を個りに制限する複数の開
口部を有する絞り板と、絞り板を通過した複数のレーザ
ー光を同一平面上に結像させる投影レンズとを有してい
る。

〔作用］上述した構成では、ゲートアレイチップ上の複数箇所に
同時にレーザー光を結像し、これらで複数個のヒユーズ
を同時に切断処理することを可能とし、切断処理の能力
を複数倍に向上できる。

〔実施例〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。

（第１実施例）第１図は本発明の第１実施例の概略構成図である。図に
おいて、１はレーザートリミング装置、２はこのレーザ
ートリミング装置１によって切断されるプログラミング
ヒユーズ３が形成されているゲートアレイチップである
。

前記レーザトリミング装置１は、レーザー光を発生しか
つ出力するレーザー発振器４を有しており、レーザー発
振器４から出力されるレーザー光１１は、減衰器５によ
り加工に最適なエネルギーの３倍のエネルギーまで減衰
される。この減衰されたレーザー光１１Ａは、１／３反
射のハーフミラ−６ａ、１／２反射のハーフミラ−６ｂ
、及び全反射ミラー６ｃ、６ｄで構成される分割部６に
おいて、加工に最適なエネルギーの３本の並行なレーザ
ー光１１ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃに分割される。３本の並行
レーザー光１１ａ、ｌｌｂ、ｌｌｃは各々独自に開閉動
作可能なシャッター７ａ、７ｂ。

７ｃを経て、絞り板８の開口部８ａ、８ｂ、８ｃに入射
される。この開口部８ａ、８ｂ、８ｃを通過した並行レ
ーザー光は投影レンズ９に入射され、ゲートアレイチッ
プ２上の３つの箇所において夫々絞り板８の開口部８ａ
、ｓｂ、８ｃの像１２ａ。

１２ｂ、１２ｃを結像し、ゲートアレイチップ２上の３
点に同時に投射される。

一方、ゲートアレイチップ２上には多数個のプログラミ
ングヒユーズが規則正しく一定間隔で配列されている。

このため、結像された３つの像１２ａ、１２ｂ、１２ｃ
の間隔が、これらプログラミングヒユーズ３の間隔ｌと
一致するように絞り板８と投影レンズ９との距離を調整
し、かつゲートアレイチップ２の３本のプログラミング
ヒユーズ３ａ、３ｂ、３ｃに同時に位置決めし、３本の
プログラミングヒユーズのうち切断すべきプログラミン
グヒユーズに対応する結像のシャッター７ａ、７ｂある
いは７ｃのみを開くことにより、このヒユーズを切断加
工することができる。

したがって、従来のレーザートリミング装置では、ある
プログラミングヒユーズから次の切断対象プログラミン
グヒユーズにインデックスする回数は切断対象プログラ
ミングヒユーズの数だけ必要であり、処理時間のうち大
きな部分を占めているが、この実施例のレーザートリミ
ング装置では同時に３個のプログラミングヒユーズの処
理を行うことができるため、インデックスの回数は少な
くとも１７３以下に低減でき、かつ他の処理時間の殆ど
であるプログラミングヒユーズの切断時間も減少でき、
結果として処理能力を大幅に向上させ、迅速な処理が実
現できる。

ここで、シャッター７ａ、７ｂ、７ｃによりレーザー光
を遮蔽することにより、ゲートアレイチップ２上の３点
のうち、任意の１点、あるいは２点を加工することも可
能である。また、絞り板８と投影レンズ９との距離を変
更し、投影レンズ９とゲートアレイチップ２との距離を
調整することにより、ゲートアレイチップ２上に結像さ
せる３点の像のうち、左右の像１２ａ、１２ｃを中心像
１２ｂを中心として左右に等しい距離移動できることは
明らかである。

（第２実施例）第２図は本発明の第２実施例の概略構成図であり、第１
図と同一部分には同一符号を付しである。

この実施例では分割部６を、１ｉ４反射のハーフミラ−
６ｅ、１ｉ３反射のハーフミラ−６ｆ、１ｉ２反射のハ
ーフミラ−６ｇ、及び全反射ミラー６ｈ。

６ｉ、６ｊ、６にで構成しており、減衰器５を通過した
レーザー光１１Ａを４本のレーザ光ｌｉｄ。

ｌｉｅ、Ｉｆｆ、ｌ１ｇに分割している。そして、これ
らレーザー光を、夫々シャッタ７ｄ、７ｅ。

７ｆ、７ｇを通し、かつ絞り板８の開口部８ｄ。

８ｅ、８ｆ、８ｇを通した上で、第３図に示すように、
投影レンズ９でゲートアレイチップ２上に像１２ｄ、１
２ｅ、１２ｆ、１２ｇとして結像することにより４本の
プログラミングヒユーズ３ｄ。

３ｅ、３１．３ｇを同時に切断加工可能となっている。

この第２実施例では、４個の像１２ｄ、１２ｅ。

１２ｆ、１２ｇは第３図のように方形の各頂点に位置さ
せている。この場合、全反射ミラー６ｈ。

６ｉ、６ｊを一体的にＸ方向に移動可能とし、かつ全反
射ミラーｓｊ、６ｋを一体的にＸ方向に移動可能とする
ことにより、Ｘ方向の結像の間隔とＸ方向の結像の間隔
を調整することができる。この場合、絞り板８の４つの
開口部８ｄ、８ｅ。

８ｆ、８ｇも追従して位置変化可能に構成することによ
り、Ｘ方向とＸ方向の間隔が異なる配列の４本のプログ
ラミングヒユーズを同時に切断処理することが可能とな
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明のレーザートリミング装置
は、−本のレーザー光を等しいエネルギの複数のレーザ
ー光に分割し、かつこれらを個々に遮蔽しながらゲート
アレイチップ上に結像するように構成しているので、複
数個のヒユーズを同時に切断処理することが可能となり
、従来の装置と比較して処理能力を格段に向上できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のレーザートリミング装置の第１実施例
の概略構成図、第２図は本発明のレーザートリミング装
置の第２実施例の概略構成図、第３図は第２実施例の結
像の概略平面図、第４図は従来のレーザートリミング装
置の概略構成図である。１・′・・レーザートリミング装置、２・・・ゲートア
レイチップ、３，３ａ〜３ｇ・・・プログラミングヒユ
ーズ、４・・・レーザー発振器、５・・・減衰器、６・
・・分割部、６ａ・・・１７３反射ミラー、６ｂ・・・
１７２反射ミラー、６ｃ、６ｄ−・・全反射ミラー、６
ｅ・・・１７４反射ミラー、６ｆ・・・１７３反射ミラ
ー、６ｇ・・・１７２反射ミラー、６ｈ、６ｉ、６ｊ、
６ｋ・・・全反射ミラー、７ａ〜７ｇ・・・シャッター
、８・・・絞り板、８ａ〜８ｇ・・・開口部、９・・・
投影レンズ、１１．１１Ａ。１１ａ〜ｌ１ｇ・・・レーザー光、１２ａ〜１２ｇ・・
・像、！・・・ヒユーズ設置間隔、２０・・・ステージ
。第１図第２図１２ｄ／’＼１２゜１；一−丁ｄ第ど３図こ１２ｄ” ４図」寧ヨ干￥謬又ｔレズ与

Claims

【特許請求の範囲】

１、レーザー光を出力するレーザー発振器と、この出力
された一本のレーザー光を等しいエネルギーの複数本の
レーザー光に分割する分割部と、分割された複数本のレ
ーザー光を個々に遮蔽可能なシャッターと、前記分割さ
れた複数本のレーザー光を個々に制限する複数の開口部
を有する絞り板と、この絞り板を通過した複数本のレー
ザー光を同一平面上に結像させる投影レンズとを有する
ことを特徴とするレーザートリミング装置。