JPH01288666A - スロット付き壁により仕切られた2個のメディアを連絡する装置 - Google Patents
スロット付き壁により仕切られた2個のメディアを連絡する装置Info
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- JPH01288666A JPH01288666A JP1049738A JP4973889A JPH01288666A JP H01288666 A JPH01288666 A JP H01288666A JP 1049738 A JP1049738 A JP 1049738A JP 4973889 A JP4973889 A JP 4973889A JP H01288666 A JPH01288666 A JP H01288666A
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- 238000012856 packing Methods 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
- B25J21/005—Clean rooms
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A44—HABERDASHERY; JEWELLERY
- A44B—BUTTONS, PINS, BUCKLES, SLIDE FASTENERS, OR THE LIKE
- A44B19/00—Slide fasteners
- A44B19/24—Details
- A44B19/26—Sliders
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05G—CONTROL DEVICES OR SYSTEMS INSOFAR AS CHARACTERISED BY MECHANICAL FEATURES ONLY
- G05G25/00—Other details or appurtenances of control mechanisms, e.g. supporting intermediate members elastically
- G05G25/04—Sealing against entry of dust, weather or the like
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-
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- Sealing Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、遠隔操作の掴み腕を通すスロットを備えた壁
により仕切られた2個のメディアの間を連絡する装置に
関する。
により仕切られた2個のメディアの間を連絡する装置に
関する。
超クリーン室、とくに半導体工業のそれにおいては対象
物を自動操作、移動させるには、該室の外部に、運動を
伝える機構やモータを配置することが必要であり、それ
らの振動のため多量の塵埃を生じる。従って、それらは
超クリーン室を仕切る壁の背後に置かれる。壁には腕を
通すためのスロットが設けられる。
物を自動操作、移動させるには、該室の外部に、運動を
伝える機構やモータを配置することが必要であり、それ
らの振動のため多量の塵埃を生じる。従って、それらは
超クリーン室を仕切る壁の背後に置かれる。壁には腕を
通すためのスロットが設けられる。
腕を腕の軸に直角な方向に動かす場合には、スロットは
細長い形状になり、シールの問題が重大になる。
細長い形状になり、シールの問題が重大になる。
外部に向かって空気を流し、不純物や塵埃に対する障壁
を構成するために超クリーン室の圧力を上げておく必要
があるが、一方通風のための費用が大きくならぬように
、連絡面の広さは過剰であつてはならない。
を構成するために超クリーン室の圧力を上げておく必要
があるが、一方通風のための費用が大きくならぬように
、連絡面の広さは過剰であつてはならない。
よく用いられている方法は、スロットの輪郭と腕の輪郭
とを変形可能な膜を用いて結合することである。しかし
、該膜の動きのために塵埃が生じるし、また、腕の運動
も機械的に制限され、長い間には膜の疲労による消耗が
起こる。
とを変形可能な膜を用いて結合することである。しかし
、該膜の動きのために塵埃が生じるし、また、腕の運動
も機械的に制限され、長い間には膜の疲労による消耗が
起こる。
フランス特許22268羽には、スロットを覆うために
2枚の接触するリップにより形成された膜が開示されて
いる。リップの縁は、互いに相手に嵌まるほぞ穴接合、
または異なる極性を持つ磁石によって結合されている。
2枚の接触するリップにより形成された膜が開示されて
いる。リップの縁は、互いに相手に嵌まるほぞ穴接合、
または異なる極性を持つ磁石によって結合されている。
スライダは縁の間を滑り縁を局部的に押し退けて互いに
分離させる。実際、2重のエフレア閉鎖である。このよ
うな装置は、塵埃を生じる顕著な機械的接触を有してい
るので本発明の技術分野では使用出来ない。
分離させる。実際、2重のエフレア閉鎖である。このよ
うな装置は、塵埃を生じる顕著な機械的接触を有してい
るので本発明の技術分野では使用出来ない。
従って本発明は、スロットを閉じ、腕が存在する場所に
おいてだけ局部的に腕に接触しないようにスロットを開
かせ、装置の変形を制限している装置に関している。
おいてだけ局部的に腕に接触しないようにスロットを開
かせ、装置の変形を制限している装置に関している。
本目的は、スロットを覆い、スロット付き壁に固定され
た2枚のリップにより構成されたシール結合を用いて達
成される。各リップの縁には磁石が取り付けられ、該縁
は互いに向き合っていて、磁石は縁を結合しスロットを
閉じるような誘引作用を有している。本発明の特徴とす
るところは、腕もまた磁石を備え、リップを局部的に分
離させるために、磁石をリップから離していることであ
る。従って、リップと腕とが機械的に接触することはな
く、また、かくて形成された制限された開口は、加圧さ
れた空気が超クリーン室から出ていくための1憂れな出
口となっている。
た2枚のリップにより構成されたシール結合を用いて達
成される。各リップの縁には磁石が取り付けられ、該縁
は互いに向き合っていて、磁石は縁を結合しスロットを
閉じるような誘引作用を有している。本発明の特徴とす
るところは、腕もまた磁石を備え、リップを局部的に分
離させるために、磁石をリップから離していることであ
る。従って、リップと腕とが機械的に接触することはな
く、また、かくて形成された制限された開口は、加圧さ
れた空気が超クリーン室から出ていくための1憂れな出
口となっている。
腕の断面は、リップの分離の際リップの変形が少なくて
済むように、リップの方向に最大長さを有する紺長い形
状であるのがよい。
済むように、リップの方向に最大長さを有する紺長い形
状であるのがよい。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明するが、実
施例は発明を制限するものではない。
施例は発明を制限するものではない。
第1図において、壁1は2個の空間、すなわち非クリー
ン室2と超クリーン室3とを仕切っている。
ン室2と超クリーン室3とを仕切っている。
壁1は腕5を通すスロット4を有し、腕は室2と3との
双方に延びている。腕5は、超クリーン室にある端部に
、超クリーン室内の対象物を掴んだり動かしたりする掴
み具または類似のものを備えている。腕5の他の端部は
、スロット4に平行なスライド8上を滑動する。
双方に延びている。腕5は、超クリーン室にある端部に
、超クリーン室内の対象物を掴んだり動かしたりする掴
み具または類似のものを備えている。腕5の他の端部は
、スロット4に平行なスライド8上を滑動する。
スロット4の上側輪郭11と上側輪郭12とは、共に金
属帯またはプラスチック板で作られた柔軟なリップを備
えている。上側リップ、下側リップが13.14として
表示されており、それらのスロット4に平行な縁が15
.16として表示されている。各線15.16は磁石1
7,18を備え、上側リップ13の磁石17は下側磁石
リップ14の磁石18を引っ張っている。かくて、通常
はリップ13.14が、第2図に示すように縁15,1
6の接触によりスロット4を閉じている。
属帯またはプラスチック板で作られた柔軟なリップを備
えている。上側リップ、下側リップが13.14として
表示されており、それらのスロット4に平行な縁が15
.16として表示されている。各線15.16は磁石1
7,18を備え、上側リップ13の磁石17は下側磁石
リップ14の磁石18を引っ張っている。かくて、通常
はリップ13.14が、第2図に示すように縁15,1
6の接触によりスロット4を閉じている。
腕5はリップ13と14との間を通りリップを局部的に
分離している。腕はその上下面に磁石21.22を備え
ている。上面の磁石21は磁石17を上側リップ13か
ら離そうとし、下面の磁石22は磁石18を下側リップ
14から離そうとしている。かくて、リップ13,14
は腕5の周りで腕の周りに制限された隙間23を置いて
開く。腕5がスライド8に沿って動くと、リップ13.
14が順次一方側において開き、他方側において閉じて
行く。かくて、腕5上の磁石21.22が、腕の摩擦を
生じさせる腕とリップ13.14との間の接触を無くす
。僅かな馬力の送風機を用いて、超クリーン室に必要な
りリーン度を維持するために、隙間23は小さくされる
。
分離している。腕はその上下面に磁石21.22を備え
ている。上面の磁石21は磁石17を上側リップ13か
ら離そうとし、下面の磁石22は磁石18を下側リップ
14から離そうとしている。かくて、リップ13,14
は腕5の周りで腕の周りに制限された隙間23を置いて
開く。腕5がスライド8に沿って動くと、リップ13.
14が順次一方側において開き、他方側において閉じて
行く。かくて、腕5上の磁石21.22が、腕の摩擦を
生じさせる腕とリップ13.14との間の接触を無くす
。僅かな馬力の送風機を用いて、超クリーン室に必要な
りリーン度を維持するために、隙間23は小さくされる
。
リップ13,14は壁1に沿って延びることなく、壁に
垂直に非クリーン室の方に延びるに従い閉じており、腕
5がリップを離そうとする時のリップ13゜14の変形
を制限している。
垂直に非クリーン室の方に延びるに従い閉じており、腕
5がリップを離そうとする時のリップ13゜14の変形
を制限している。
腕5は、リップ13.14に平行な最大長さを持つ細長
い断面を持つのがよい。このことはまた、腕5を通す時
のリップ13,14の変形を制限するのに寄与している
。
い断面を持つのがよい。このことはまた、腕5を通す時
のリップ13,14の変形を制限するのに寄与している
。
上述の磁石1乙18は柔軟な連続帯である。しかし、柔
軟な帯の代わりに、不連続な磁化されたブロック27.
28を上側縁15、下側縁16に対しそれぞれ用いるこ
とも可能である。これが第3図に図示されている。磁石
2乙28は互いに向き合い、縁15.16を結合するた
め引き合っている。操作は連続な磁石17,18の場合
と同じである。腕5を覆う磁石21゜22も同様に連続
でも不連続でもよい。
軟な帯の代わりに、不連続な磁化されたブロック27.
28を上側縁15、下側縁16に対しそれぞれ用いるこ
とも可能である。これが第3図に図示されている。磁石
2乙28は互いに向き合い、縁15.16を結合するた
め引き合っている。操作は連続な磁石17,18の場合
と同じである。腕5を覆う磁石21゜22も同様に連続
でも不連続でもよい。
最後に、本装置は例えばスライド8が移動する場合のよ
うに、腕5が軸方向に動く場合にも適用させることが出
来る。腕5の軸方向行程に応じて、磁石21.22を長
すL(第1図)だけ延長すれば充分である。
うに、腕5が軸方向に動く場合にも適用させることが出
来る。腕5の軸方向行程に応じて、磁石21.22を長
すL(第1図)だけ延長すれば充分である。
第1図は、本発明の装置の一部断面図、第2図は、本発
明の装置の壁とスロットとを前面から見た図、 第3図は、本発明の他の実施例を示す図である。 図において、1・壁、2・・・類クリーン室、4・・・
スロット、5・・・腕、13.14−リップ、17、1
8.21.22・・・磁石。
明の装置の壁とスロットとを前面から見た図、 第3図は、本発明の他の実施例を示す図である。 図において、1・壁、2・・・類クリーン室、4・・・
スロット、5・・・腕、13.14−リップ、17、1
8.21.22・・・磁石。
Claims (4)
- (1)腕を通すスロットを備えた壁により仕切られた2
個のメディアの間を連絡する装置にして、該スロットが
、壁に固定された2枚のリップで構成されたパッキング
を備え、各リップの縁に磁石が取り付けられ、該縁は互
いに対向し、対向する2個の縁の磁石が、該縁を結合さ
せスロットを閉じさせるような誘引作用を有する装置に
おいて、前記腕が、腕の周りにおいてリップを局部的に
分離させるために、前記磁石を前記縁から移動させる磁
石を備えていることを特徴とする装置。 - (2)前記腕がリップに平行な方向に細長い断面を有し
ている請求項1記載の2個のメディアを連絡する装置。 - (3)前記縁の磁石が連続した柔軟な帯である請求項1
記載の2個のメディアを連絡する装置。 - (4)前記縁の磁石が不連続なブロックである請求項1
記載の2個のメディアを連絡する装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR888802636A FR2628023B1 (fr) | 1988-03-02 | 1988-03-02 | Dispositif de communication entre deux milieux separes par une paroi fendue et traversee par un bras, notamment de telemanipulation |
FR8802636 | 1988-03-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01288666A true JPH01288666A (ja) | 1989-11-20 |
Family
ID=9363832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1049738A Pending JPH01288666A (ja) | 1988-03-02 | 1989-03-01 | スロット付き壁により仕切られた2個のメディアを連絡する装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4953424A (ja) |
EP (1) | EP0331568B1 (ja) |
JP (1) | JPH01288666A (ja) |
DE (1) | DE68900591D1 (ja) |
FR (1) | FR2628023B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002539381A (ja) * | 1999-03-10 | 2002-11-19 | エス.エヌ.エール.ルールマン | 磁気封止ガスケットを形成する予備組立済みアセンブリ、および同アセンブリが組み込まれたベアリング |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4030909C1 (ja) * | 1990-09-29 | 1991-11-28 | Preh-Werke Gmbh & Co Kg, 8740 Bad Neustadt, De | |
DE4408169C2 (de) * | 1994-03-11 | 1999-10-28 | Ind Lackieranlagen Schmidt Gmb | Lackiereinrichtung mit einem horizontal und vertikal verschieblichen Sprühbalken |
AT405119B (de) * | 1996-06-28 | 1999-05-25 | Poschik Roland | Vorrichtung zur betätigung des schiebers eines reissverschlusses, sowie reissverschluss |
JPH11325070A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-26 | Nippon Thompson Co Ltd | スライド装置のシール構造 |
JP2004312881A (ja) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Smc Corp | アクチュエータ |
US7572361B2 (en) * | 2004-05-19 | 2009-08-11 | Chevron U.S.A. Inc. | Lubricant blends with low brookfield viscosities |
DE102015213008A1 (de) * | 2015-07-10 | 2017-01-12 | Eos Gmbh Electro Optical Systems | Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts |
US20230221750A1 (en) * | 2022-01-11 | 2023-07-13 | Jonathan Seger | Machinery Control Cover |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US2627097A (en) * | 1951-05-25 | 1953-02-03 | Ellis Robert | Flexible magnetic closure |
US2809411A (en) * | 1954-12-27 | 1957-10-15 | Leo Markoff Moghadam | Magnetic fastener |
US3285093A (en) * | 1964-06-15 | 1966-11-15 | Gen Motors Corp | Cover seal for shift console |
US3428272A (en) * | 1967-01-18 | 1969-02-18 | United Aircraft Corp | Modular seal for aircraft launching cylinder |
US3748923A (en) * | 1971-08-11 | 1973-07-31 | Caterpillar Tractor Co | Environmental seal for a transmission shift lever |
FR2226888A1 (en) * | 1973-04-17 | 1974-11-15 | Field Automation Sarl | Flexible snap action joint with sliding access chamber - for entry to controlled atmos along sealed joint path |
DE2807819A1 (de) * | 1978-02-23 | 1979-08-30 | Int Harvester Co | Vorrichtung zum verschliessen von schlitzfoermigen oeffnungen zum hindurchfuehren von in einer ebene schwenkbar gelagerten, hand- oder fussbetaetigten bedienungshebeln mit einem jeder oeffnung zugeordneten dichtungselement |
JPS55159216A (en) * | 1979-05-31 | 1980-12-11 | Nissan Motor Co Ltd | Dust boot for control lever for speed changing gear |
US4351199A (en) * | 1980-07-14 | 1982-09-28 | J. I. Case Company | Cover plate arrangement |
DE3211271A1 (de) * | 1982-03-26 | 1983-09-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Schieberregler |
DE3642680A1 (de) * | 1986-12-13 | 1988-06-23 | Deere & Co | Vorrichtung zum verschliessen eines spaltes |
-
1988
- 1988-03-02 FR FR888802636A patent/FR2628023B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-02-22 US US07/313,715 patent/US4953424A/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-02-27 EP EP89400540A patent/EP0331568B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1989-02-27 DE DE8989400540T patent/DE68900591D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-01 JP JP1049738A patent/JPH01288666A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002539381A (ja) * | 1999-03-10 | 2002-11-19 | エス.エヌ.エール.ルールマン | 磁気封止ガスケットを形成する予備組立済みアセンブリ、および同アセンブリが組み込まれたベアリング |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE68900591D1 (de) | 1992-02-06 |
EP0331568A1 (fr) | 1989-09-06 |
US4953424A (en) | 1990-09-04 |
FR2628023A1 (fr) | 1989-09-08 |
FR2628023B1 (fr) | 1994-08-05 |
EP0331568B1 (fr) | 1991-12-27 |
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