JPH01287277A - Ｃｖｄ装置の原料ガス供給部 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はＣＶＤ装置の原料ガス供給部において、毒性ガ
スあるいは燃焼ガス等原料のボンベ、あるいはボトルを
交換する時、安全に自動操作されるＣ　Ｖ　Ｉ）装置ガ
ス供給部に関する。

［従来技術と課題］ ＣＶＤ装置の原料ガス供給部の概略を第４図に示す。

図示のように、各手動弁Ｖ　ｈが各原料ガスのボ／べ、
ボＩ・ルＡ、　Ｂ、　Ｃ，Ｄに具えられている。ボンベ
系原料としては、例えばＡはアルシン（ＡＳＨ３）　Ｉ
Ｂはボスフィン（ＰＨ３）、Ｃはセレン化水素（Ｈ２Ｓ
ｅ）、Ｄはモノンラン（ＳｉＨｎ）等であり、ボトル系
原料は、Ａはトリメチルガリウム（ＴＭＧα）ＩＢは）
・リメチルアルミニウム（ＴＭＡＱ　）、　Ｃは）・リ
メチルイノジウム（ＴＭＩ　ｎ　）　、　Ｉ）はジメヂ
ル亜鉛（ＤＭＺｎ）等である。

各手動弁Ｖｈは、配管Ｐｍと連結され、配管Ｐｍは分岐
され、分岐された配管Ｐｘにそれぞれバルブｖｌ、　Ｖ
２１　Ｖ３１　Ｖ、＋が連結され、バルブＶ４は図示し
ていないが真空ラインの配管に連結され、バルブＶ３は
ベントラインに連５１１１され、バルブＶ２はパージラ
インに連結され、バルブＶ＋は分岐配管Ｐｙによりバル
ブＶ５と連結され、バルブＶ５に連結された配管Ｐｚは
成長室１に至る。又、分岐配管Ｐｙはバルブｖ６と連結
され、バルブＶ６はベントライノＶＬと連結されている
。なお、各原料ボンベＡ、　Ｂ。

Ｃ，Ｄとつながる配管Ｐｚはそれぞれが共通になるよう
にして、前記成長室１のノスル２に至り、バルブ■６に
つながるそれぞれの配管Ｐｗは共通となるようにベン］
・ラインＶＬに連結されている。

薄膜の成長は、プログラムに従って原料ガスを変更して
、成長室１内の基板」−で行われる。

前記真空引ライン、ベントライン、パージライ／は配管
内の残存ガスを配管内より追い出したり、配管内をｉＦ
Ｊ　／Ｉ化するために用いられる。

危険性のある原料ガスボンベ、あるいはボＩ・ルを交換
する場合、原料供給ライン、真空引ライン、ベントライ
ン、パージラインを自動プログラムに従い、順次バルブ
１ゲ作のみて開閉しているが、バルブｌＦｉ作のみでは
、真空引、ベント等の確認が不１分となり、事故の原因
となる。実際、危険性ガスによる事故はボンベ、あるい
はボトル交換作業時に、多く、中でもボンベ、あるいは
ボトルの口金部を取り外したときに集中している。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、ボンベ、あるいはボトルの取り替え時に、」
二連のような問題が全く生しないように構成したもので
あり、原料ガスのボンベの口金接続部に連結される配管
が分岐され、それぞれ成長室への原料ガス供給ライン、
パージライン、ベントライン、真空ラインにつながる間
に設けられたバルブによって区画され、この区画された
配管に減圧域から加圧域まで計測可能な圧力計器を取り
付け、この圧力計器よりの圧力電気信号をバルブ切換え
操作の要件とすることによって、事故の発生を未然に防
止できるように構成するものである。

以下第１図に示す実施例により本発明を説明する。

図は１１ス）の原料ガスボンベについての構成について
示している。３は原料ガスボンベを示し、４はその手動
弁を示し、５は配管６との口金接続部を示す。口金接続
部５より延びる配管６を分岐し、バルブ■１を介し成長
室への供給ライン■、バルブＶ２を介しパージライン■
、バルブＶ３を介しベントライン■、バルブＶ４を介し
真空ライン■にそれぞれつながり、またこのように１」
全接続部５、バルブＶ＋　−Ｖ４で区画された配管６に
減圧域から加圧域まで計測可能な圧力計器７が取り付Ｉ
Ｊられる。圧力計器７の一例は第２図に示される構成の
ものである。図において１０はダイヤフラムであり、１
１は半導体歪ゲージであり、圧力に応答してダイヤフラ
ム１０の曲面はその曲率を変え、これに固着されている
半導体歪ゲージ１１は電気信号を発生する。このような
歪ゲージによるもののほか、ブルドン管式のものも用い
ることができるが、デッドスペースのないものが好まし
い。

圧力と電気信号の関係はリニア特性を具えるものが望ま
しく、その好ましい特性は低圧力、大気圧、高圧力、す
なわち減圧域から加圧域に対し第３図に示すように明確
に区分される電気信号を発生するものが必要である。第
１図で８は制御器（旧算機）を示す。圧力４器７よりの
圧力電気信号は制御器８に入力し、制御器８よりは後述
のようにプログラムに従い、バルブＶ＋　−Ｖ４にバル
ブ開閉信号を出力してバルブＶ１〜Ｖ４を開閉する。

［動作］ 原料ガスボンベ３内のガスを消尽し、新ボンベに交換す
る場合、次のような手順で行なわれる。

圧力計器７からそれぞれの圧力に対応した電気信号が得
られ、この信号を制御器８にとりこみ、確認したうえで
、次ステツプへ進ませる。従って閉ループ制御となり確
実な制御ができる。

る。

（へ）場合によって、に）、（ホ）を数回繰返す。

これにより、配管６内の残存ガスを十分に１ノ１し、ｔ
ｎ浄にする。

（ト）そこで、口金接続部５を外し、ボ／べ３を取り替
える。

前記（イ）〜に）の各状態に移る際、例えば（ロ）にお
しλてはバルブＶ３を開くというステ、プになっていて
も、圧力８１器７から前ステップの高圧力（Ｊｊ’　”
ｒカ’制御器８にフィードバックされこれを確認しない
かぎり、このステップは動作せす、また（ハ）において
はバルブＶ３を閉じ、Ｖ４を開くというステップになっ
ていても、圧力計器７からの大気圧（１ｉシ；か制御器
８にフィードバックされ、これを確認しないかぎり、こ
のステップは動作せす、次のステップには進めないプロ
グラム構成となっている。

ボンベ等の手動弁を除き、このガス供給部のバルブの切
換えは前記手順によって自動的に行われる。

「発明の効果コ 以」二説明したように、本発明においては、従来のよう
に、バルブ切換えの各ステップ間に適当な時間を設定し
てプログラムによって順に各ラインに入っているバルブ
の開閉を行うのではなく、圧力計器を原料ガスボンベの
口金接続部の近傍、つまり、口金接続部とこれと近接す
る成長室への供給ライン、パージライン、ベントライン
、ｉ’ｃ空ラインを開閉するバルブによって区画された
配管に取すイ−１けた圧力計器よりの高圧力、大気圧、
低圧力電気的圧力信号を得ることができ、これらの信号
により切り換えの都度、そのバルブ切り換えステップを
進行させてよいか確認してそのステップを進行させるの
で、極めて安全に原料ガスボンベ、ボトルの取り換えを
行うことができ、特に原料ガスが打ｉ＋１ガスである場
合効果は大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す。 第２図は、前記実施例で用いられる圧力、ｉｌ器の−・
例を示す。 第３図は、前記圧力計器の出力信号特性を示す。 第４図は、ＣＶＤ装置における原料ガス供給部の概略説
明図である。 ３・・・原料ガスボンベ、４・・・原料ガスボンベの手
動弁、５・・・口金接続部、６・・・配管、７・・・圧
力４器。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＣＶＤ装置の原料ガス供給部に連結される原料ガ
   スボンベあるいはボトルの口金接続部に連結される配管
   が分岐され、それぞれ成長室への原料ガス供給ライン、
   パージライン、ベントライン、真空ラインにつながる間
   に設けられたそれぞれのバルブによって区画され、この
   区画された配管に減圧域より加圧域まで計測可能な圧力
   計器を取り付け、該計器より前記配管内圧力に従い圧力
   電気信号を発生することを特徴とするＣＶＤ装置の原料
   ガス供給部。
2. （２）請求項（１）の原料ガス供給部に取り付けられた
   圧力計器よりの圧力電気信号を制御器に入力し、真空引
   、ベント、パージステップの圧力確認を行うことを特徴
   とするＣＶＤ装置の原料ガス供給部。