JPH0128673Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は半導体の化学処理用あるいは洗浄処理
用の薬液が収容されている処理槽の蓋を自動的に
開閉する装置の改良に関するものである。

（従来の技術） 第３図には半導体等のワークを処理する処理工
程の一例が示されている。図において、工程ライ
ンには前処理槽１と、処理槽としての薬液槽２
と、後処理槽３とが連続的に配置され、前記前処
理槽１には水等の前処理液が収容され、また、薬
液槽２には有機溶剤等の薬液が収容されており、
さらに、後処理槽３には水等の後処理液が収容さ
れている。これら前処理槽１、薬液槽２および後
処理槽３の上方にはワーク搬送路４が設けられて
おり、ワークはこのワーク搬送路４に沿つて間欠
移送され、各槽の位置で収容液に浸され、順次、
前処理、薬液処理および後処理が行われるのであ
る。

ところで、前記薬液処理においては、人体に有
害な薬液を使用しなければならない場合があり、
その害をできるだけ防止するために、薬液槽２に
開閉蓋を設け、薬液にワークを浸すときと薬液か
らワークを引き上げるとき以外は開閉蓋を閉じて
おくことによつて、薬液からの有害蒸発物の飛散
が防止されている。

この種の開閉蓋付きの薬液槽として従来から第
４図および第５図に示すものが広く使用されてい
る。第４図に示す薬液槽２は槽容器の一端側にピ
ン６によつて開閉蓋５を回動自在に設けたもの
で、いわゆる片開き用開閉蓋付きの薬液槽２であ
る。

これに対し、第５図に示すものは開閉蓋５をス
ライド自在に設けた、いわゆるスライド開閉蓋付
きの薬液槽２である。これらの各薬液槽２の開閉
蓋５はいずれも図示されていない蓋開閉用の駆動
機構に連係されており、制御回路（図示せず）に
よる指令によつて前記駆動機構を動作すること
で、各開閉蓋５はワークの上昇および降下に際
し、自動的に開閉制御されるものであつた。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、前記第４図に示す薬液槽２にお
いては、開閉蓋５が片開きのため、該開閉蓋５の
回動半径が大きくなり、該開閉蓋５とワーク搬送
路４との接触を避けるために、ワーク搬送路４を
高い位置に設ける必要があつた。そのため、ワー
ク搬送路４から各槽の処理液へワークを出入する
ためのストロークＳが大きくなり、ワーク処理の
時間節減を図れないという問題があつた。

また、第５図に示す薬液槽２を使用する場合に
は、開閉蓋５を引き込むためのスペースＬを必要
とするため、作業空間の有効利用が図れないとい
う問題があり、また、引き込んだ開閉蓋５の下面
に付着した薬液が落下するのを受け止める受け皿
を用意しなければならないという面倒がある。

本考案は上記従来の問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的は、ワーク処理の時
間節減および作業空間の有効利用をともに図るこ
とができ、かつ、薬液落下用の受け皿を用意する
面倒がない処理槽の蓋開閉装置を提供することに
ある。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記目的を達成するために次のように
構成されている。すなわち、本考案は、処理槽の
上面を開閉する開閉蓋と；この開閉蓋を開閉駆動
する駆動機構と；この駆動機構の動作を制御する
制御回路と；を具備する処理槽の蓋開閉装置にお
いて、前記開閉蓋は、処理槽の一端側に回動自在
に設けられ処理槽上面のほぼ半分を覆う第１の蓋
と；処理槽の他端側に回動自在に設けられ先端部
が前記第１の蓋の上側から重なり合つて処理槽上
面の他の半分を覆う第２の蓋と；からなる両開き
の蓋によつて構成されている処理槽の蓋開閉装置
である。

（作用） 上記構成からなる本考案において、ワーク（半
導体）の薬液処理に際し、処理槽の開閉蓋の開閉
動作は次のようにして行われる。

まず、ワークが周知の搬送手段によつて処理槽
（薬液が収容されている槽）上に搬送されて来た
とき、制御回路から開指令が出力される。この開
指令を受けて駆動機構が開蓋動作を行う結果、第
１の蓋および第２の蓋はそれぞれ開蓋する向きに
回動し、開閉蓋は両開きの状態になる。

この状態で、ワークが薬液中に浸されるが、こ
のワークの浸漬完了時に制御回路から閉指令が出
力される。駆動機構はこの閉指令を受けて第１の
蓋および第２の蓋を開時と逆向きに回動する結
果、前記第１の蓋および第２の蓋はともに閉じら
れる。

次に、この状態から一定時間経過したときに、
制御回路から開指令が出力され、前記の場合と同
様に第１の蓋および第２の蓋が開かれ、薬液中の
ワークが引き上げられる。そして、この引き上げ
完了と同時に、制御回路から蓋の閉指令が出力さ
れ、前記の場合と同様に、第１の蓋および第２の
蓋の閉動作が行われ、第１の蓋および第２の蓋は
初期の動作状態に戻る。以下、これらの一連の動
作を繰り返すことにより、ワークの薬液処理が
次々に行われることとなるのである。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。第１図には本考案に係る一実施例の構成が
示されており、第２図には第１図における薬液槽
２の断面図が示されている。

第１図において、薬液槽（処理槽）２の左側壁
上端部には紙面側と裏面側に互いに対向させて一
対の軸受板７および同７′が固定されており、同
様に、右側壁上端部には一対の軸受板８および同
８′（８′は図示せず）が固定されている。

そして、各一対の軸受板７および同７′と、同
８および同８′との間には対応する回動軸９およ
び同１０が回動自在に架設されている。

そして、回動軸９には一対の蓋固定金具１１が
固定され、さらに、この蓋固定金具１１には薬液
槽２の上面のほぼ半分を覆う第１の蓋１３が固定
されている。同様に、回動軸１０には蓋固定金具
１２を介して前記薬液槽２の上面の残りの半分を
覆う第２の蓋１４が固定されている。

これら第１の蓋１３および第２の蓋１４の先端
対向面にはそれぞれ段差面が設けられ、この段差
面同志が嵌まり合うことで、該第１の蓋１３と第
２の蓋１４とは段差なく重なり合うようになつて
いる。一方、第１図および第２図に示すように、
前記各回動軸９および同１０の一端側にはアーム
１５が嵌合固定されており、該アーム１５にはピ
ン１６を介して対応するエアシリンダ１７ａおよ
び同１７ｂのロツド１８が回動自在に固定されて
いる。そしてエアシリンダ１７ａおよび同１７ｂ
の基部側は固定ピン１９を介して薬液槽２の側壁
に回動自在に固定されている。

エアシリンダ１７ａおよび同１７ｂにはエアー
供給源２１から対応する電磁弁２２ａ又は同２２
ｂを介して供給されるエアーのエア通路２４ａお
よび同２４ｂが設けられており、周知のように、
このエア通路２４ａおよび同２４ｂを切り替える
ことにより、ロツド１８を上下所望の向きに移動
できるようになつている。

本実施例では、ロツド１８が上昇することによ
り、回動軸９は時計方向へ、回動軸１０は反時計
方向へそれぞれ回動し、第１の蓋１３および第２
の蓋１４の閉蓋動作が行われ、また、ロツド１８
の下降により回動軸９および同１０はロツド上昇
時と逆の方向に回動し、第１の蓋１３および第２
の蓋１４の開蓋動作が行われる。

本実施例において、ロツド１８を含むエアシリ
ンダ１７ａおよび同１７ｂと、ピン１６と、アー
ム１５と、回動軸９および同１０と、蓋固定金具
１１および同１２と、固定ピン１９とはロツド１
８の直進運動を第１の蓋１３および第２の蓋１４
の回動運動に変換伝達するエアシリンダ機構２０
を構成するものである。

ところで、第１図に示すエアー供給源２１から
エアシリンダ１７ａおよび同１７ｂの動作口へ供
給するエアーの切り換え、すなわち、エアシリン
ダ１７ａおよび同１７ｂの動作切り換えは、電磁
弁２２ａおよび同２２ｂにより対応するエアシリ
ンダ１７ａおよび同１７ｂの各動作口へのエア通
路２４ａおよび同２４ｂを開閉制御することによ
り行われている。そして、この電磁弁２２ａおよ
び同２２ｂの開閉動作は制御回路２３からの指令
によつて行われている。該制御回路２３は、コン
ピユータ回路、シーケンス回路、その他各種態様
の回路によつて構成可能であり、本実施例では構
成の簡単なリレー回路を使用している。

この制御回路２３はワークの下降開始直前に蓋
の開指令を出力し、また、ワークの引き上げ完了
直後に蓋の閉指令を出力する。

本実施例における制御回路２３は、該制御回路
２３から電磁弁２２ａへ加える指令と電磁弁２２
ｂへ加える指令との出力タイミングをわずかにず
らす特徴的なタイミング調整回路を有している。

すなわち、開指令の出力に際しては、電磁弁２
２ａへ加える開指令よりも電磁弁２２ｂへ加える
開指令をわずかに早く出力し、また、閉指令の出
力に際しては、その逆に、電磁弁２２ａへ加える
閉指令を電磁弁２２ｂへ加える閉指令よりもわず
かに早く出力する。したがつて、開蓋時には、第
２の蓋１４が開動作した後に第１の蓋１３が開か
れることとなり、また、閉蓋時には、第１の蓋１
３の閉蓋後に第２の蓋１４が閉じられる。

この結果、蓋の開閉時に第１の蓋１３と第２の
蓋１４とがかみ合うことがなく、極めて円滑に蓋
の開閉動作を行うことができ、また、閉蓋中は、
薬液槽２の良好な気密閉鎖状態を維持することが
できる。

上記のように、本実施例では、薬液槽２の開閉
蓋を第１の蓋１３と第２の蓋１４とによつて両開
き状に構成しているから、従来例の片開きの蓋の
場合に比べ、ワーク搬送路を低い位置に設けるこ
とが可能となる。この結果、ワークの薬液処理の
ための上下移動ストロークＳを小さくすることが
可能となり、これにより、薬液処理の時間節減を
効果的に図ることができる。

なお、上記実施例では、第１の蓋１３と第２の
蓋１４の駆動機構をエアシリンダ機構２０によつ
て構成しているが、これを他の機構、例えば、電
動シリンダ機構によつて構成することも可能であ
る。この場合は、モータの回転によつて進退する
電動ロツドの直進運動を第１の蓋１３および第２
の蓋１４の回動運動に変換伝達するように構成す
ればよい。

（考案の効果） 本考案は以上説明したような構成と作用とを有
しているので、処理槽に片開きの蓋を付けた場合
に比べ、ワーク搬送路を低い位置に設けることが
できる。この結果、薬液処理時におけるワークの
上下ストロークを小さくでき、薬液処理の時間短
縮を図ることが可能である。また、処理槽に両開
きの蓋を設けているから、スライド式の蓋に不可
欠な処理液落下受け用の受け皿を用意する面倒が
なく、また、蓋の引き込み用スペースも不要とな
るのでスペースの有効利用を効果的に図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る一実施例の構成図、第２
図は第１図の薬液槽（処理槽）の断面図、第３図
はワーク処理工程の説明図、第４図は片開き蓋を
備えた薬液槽の説明図、第５図はスライド蓋を備
えた薬液槽の説明図である。 １……前処理槽、２……薬液槽（処理槽）、３
……後処理槽、４……ワーク搬送路、５……開閉
蓋、６……ピン、７，７′，８，８′……軸受板
（８′は図示せず）、９，１０……回動軸、１１，
１２……蓋固定金具、１３……第１の蓋、１４…
…第２の蓋、１５……アーム、１６……ピン、１
７ａ，１７ｂ……エアシリンダ、１８……ロツ
ド、１９……固定ピン、２０……エアシリンダ機
構、２１……エアー供給源、２２ａ，２２ｂ……
電磁弁、２３……制御回路、２４ａ，２４ｂ……
エア通路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 処理槽の上面を開閉する開閉蓋と；この開閉
   蓋を開閉駆動する駆動機構と；この駆動機構の
   動作を制御する制御回路と；を具備する処理槽
   の蓋開閉装置において、前記開閉蓋は、処理槽
   の一端側に回動自在に設けられ処理槽上面のほ
   ぼ半分を覆う第１の蓋と；処理槽の他端側に回
   動自在に設けられ先端部が前記第１の蓋の上側
   から重なり合つて処理槽上面の他の半分を覆う
   第２の蓋と；からなる両開きの蓋によつて構成
   されていることを特徴とする処理槽の蓋開閉装
   置。 (2) 制御回路は、開閉蓋の閉動作時には第１の蓋
   の閉指令出力タイミングを第２の蓋の閉指令出
   力タイミングよりも早め、また、開閉蓋の開動
   作時には第２の蓋の開指令出力タイミングを第
   １の蓋の開指令出力タイミングよりも早めるタ
   イミング調整回路を含むことを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第(1)項記載の処理槽の蓋開
   閉装置。 (3) 駆動機構はエアシリンダのロツドの進退直進
   運動を開閉蓋の開閉回動運動に変換するエアシ
   リンダ機構により構成されていることを特徴と
   する実用新案登録請求の範囲第(1)項又は第(2)項
   記載の処理槽の蓋開閉装置。