JPH01286419A - 円弧照明装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体や液晶表示装置基板の製造等に用いら
れる走査型投影露光装置等の円弧照明装置に関するもの
である。

従来の技術 以下図面を参照しながら、従来の円弧照明装置の一例に
ついて説明する。第４図において、１は光源である水銀
灯、２は楕円面反射鏡、３は円弧形光ファイバー、４は
その入射端、６は射出端である。前記円弧形光ファイバ
ー３は、入射端４において円形に束ねられており、射出
端６では円弧状に配列されている。６は投影レンズ、７
はマスクである。

以上のように構成された円弧照明装置について、以下そ
の動作を説明する。

まず、水銀灯１の光は楕円面反射鏡２によって円弧形光
ファイバー３の入射端４に集光する。集光した光は射出
端６より円弧スリット照明光として射出し、投影レンズ
６を経てマスク７に投影される。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、光源の光の集光ム
ラが入射端４の各部位に生ずると、照明ムラとなって円
弧スリット照明光に現われてし１うという重大な問題点
を有していた。

本発明は上記問題点に鑑み、光源の光の集光ムラによる
照明ムラが生じても、基板の露光結果においては均一な
円弧スリット照明光として作用する円弧照明装置を提供
するものである。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の円弧照明装置は、
光源と、集光光学系と、回転可能な第１光ファイバー束
と、前記光フアイバー束を回転させるための駆動系と、
入射端が円環形で出射端が円弧形を成している固定され
た第２光ファイバー束とを備えたことを特徴とする。

尚好適には、円弧状照明光をマスク上に投影するための
投影光学系が設けられる。

作　　用 本発明は上記した構成によって、光源の光が集光光学系
により第１光ファイバー束の入射端に集光し、この第１
光ファイバー束が駆動系によって回転することにより円
環軌跡を描く出射端が円環状照明光を作り出し、その円
環状照明光が第２光ファイバー束の円環状入射端に入り
、円弧状に整形された出射端より円弧スリット照明光と
なって投影光学系を経てマスク上に照射される。従って
第１光ファイバー束が回転することにより、集光光学系
によって生じる第１光ファイバー束の入射端での各部位
における集光ムラが基板の露光結果のうえでは解消され
、均一な円弧スリット照明として作用することとなる。

実施例 第１図は本発明の第１実施例における円弧照明装置の構
成図である。

第１図において、８は光源の水銀灯、９は熱線透過型楕
円面反射鏡である。１０は第１光ファイバー束で回転可
能に取り付けられている。１１は第１光ファイバー束１
ｏの入射端、１２は射出端であシ、入射端１１及び射出
端１２は各々円形に束ねられている。１３は第２光ファ
イバー束、１４は第２光ファイバー束１３の入射端であ
シ円環状に整形されている。１６は第２光ファイバー束
１３の射出端であり、円弧状に整形されている。前記第
１光ファイバー束１ｏの入射端１１は前記第２光ファイ
バー束１３の入射端１４と同軸とに位置し、前記第１光
ファイバー束１ｏの射出端１２は前記第２光ファイバー
束１３の入射端１４と同一円周上に位置している。１６
は投影レンズ、１７はマスクである。１８は前記第１光
ファイバー束１３を回転させる駆動モータ、１９及び２
ｏはプーリーであシ、２１はベルトである。２８はマス
ク上に投影された円弧スリット照明光である。

以上のように構成された円弧照明装置について、以下で
その動作を説明する。

光源である水銀灯８の光は集光光学系である楕円面反射
鏡９により第１光ファイバー束１ｏの入射端１１に集光
し、光フアイバー束１０を通り射出端１２より出る。第
１光ファイバー束１ｏを駆動モータ１８により高速で回
転させることにより射出端１２は第２光ファイバー束１
３の入射端１４の円環と同軸、同径の円環軌跡を描くた
め、入射端１４には円環照明が入射することになる。第
２光ファイバー束１３の入射端１４よシ入射した円環光
は第２光ファイバー束１３を通り、円弧状に整形された
射出端１５より出て、投影レンズ１６を経てマスク１７
に円弧スリット照明として照射される。この時、第１光
ファイバー束１ｏを高速で回転させることによシ入射端
１１における集光ムラが生じても、露光時間の間に平均
化され、基板の露光結果のうえでは影響がなくなシ均一
な円弧スリット照明光２８として作用する。

以上のように本実施例によれば、集光光学系による集光
ムラが解消され、均一な円弧スリット照明光として作用
するという優れた効果を有する。

第２図は本発明の第２の実施例の構成図である。

２２は回転可能に取付られた第１光ファイバー束で、２
３はその入射端が円形に束ねられている。

２４は前記第１光ファイバー束２２の射出端で、第２光
ファイバー束１３の入射端１４と同一円周上に４つに分
岐しておりそれぞれ円形に束ねられている。他の構成部
分は本発明の第１の実施例と全く同一である。

上記構成により、第１実施例と全く同等の効果を有する
他、第１光ファイバー束２２の射出端２４が複数に分岐
しているだめ、回転バランスが容易に調整でき、高速回
転にさせても回転駆動系（駆動モータ１８．プーリー１
９及び２０、ベルト２１）に負担をかけないという、本
実施例特有のすぐれた効果を奏する。

次に本発明の第３実施例について第３図を参照しながら
説明する。２６は回転可能に取付られた第１光ファイバ
ー束で、２６はその入射端で円形に束ねられている。２
７は前記第１光フアイノ（−束２５の射出端で円環形に
整形され第２光ファイ−である。

上記構成によυ、第１及び第２実施例と全く同等の効果
を有する他、第１光ファイバー束２５の射出端２７が円
環形に整形されているため、第１及び第２実施例に比べ
低速回転でも均一な円環光が得られるという、本実施例
特有の優れた効果を奏する。

なお、第１．第２．第３実施例において、第１光ファイ
バー東１０，２２．２５の入射端１１゜２３．２６の形
状を円形としたが、他の形でも同様の効果が得られる。

また、第２実施例において、第１光ファイバー束２２の
射出端２４の分岐の数は４としているが、これは他の複
数でも同様の効果が得られる。

また、第１．第２．第３実施例において、集光光学系と
して楕円面反射鏡９を用いているが、これは他の光学部
品例えば集光レンズでも良い。要は第１光ファイバー東
１０，２２．２５の入射端１１．２３．２８に光源８の
光が集光すれば良い。

発明の効果 以上のように本発明によれば、集光光学系による集光ム
ラが解消され、円弧スリット照明光が均一となる円弧照
明装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例における円弧照明装置の構
成図、第２図は本発明の第２実施例における円弧照明装
置の構成図、第３図は本発明の第３実施例における円弧
照明装置の構成図、第４図は従来の円弧照明装置の構成
図である。 ８・・・・・・水銀灯、９・・・・・・楕円面反射鏡、
１０，２２゜２６・・・・・・第１光ファイバー束、１
１，２３．２６・・・・・・入射端、１２，２４．２７
・・・・・・射出端、１３・・・・・・第２光ファイバ
ー束、１４・・・・・・入射端、１５・・・・・・射出
端、１６・・・・・・投影レンズ、１７・・・・・・マ
スク、１８・・・・・・モータ。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名２４
−一一釘巴橘 第　　３　　図　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　２５−＝不）九フＴ１八′−１２Ｃ−人對蕗 第４図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）光源と、集光光学系と、１束ねの入射端と他端に
   射出端を有する第１光ファイバー束と、円環状に整形さ
   れた入射端と円弧状に整形された射出端を有する第２光
   ファイバー束と、第１光ファイバー束をその射出端が第
   ２光ファイバー束の入射端に沿って移動するように回転
   させる駆動系とを備えたことを特徴とする円弧照明装置
   。
2. （２）第１光ファイバー束の射出端が１つまたは複数に
   分岐し、１つの円周上に配列された請求項１記載の円弧
   照明装置。
3. （３）第１光ファイバー束の射出端が円環状に整形され
   た請求項１記載の円弧照明装置。
4. （４）第２光ファイバー束の射出端と、照明されるべき
   マスクとの間に投影レンズを備えた請求項１、２又は３
   記載の円弧照明装置。