JPH01281709A - コアロス減少のため電気用鋼において耐熱性の細分化磁区を得る方法 - Google Patents

コアロス減少のため電気用鋼において耐熱性の細分化磁区を得る方法

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JPH01281709A
JPH01281709A JP1051830A JP5183089A JPH01281709A JP H01281709 A JPH01281709 A JP H01281709A JP 1051830 A JP1051830 A JP 1051830A JP 5183089 A JP5183089 A JP 5183089A JP H01281709 A JPH01281709 A JP H01281709A
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ジェームズ・アレン・サルスギヴァー
Randal K Knipe
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)産業上の利用分野 本発明は、電気用のシート状またはストリップ状製品の
表面を加工して、コアロス性を減少させるように磁区の
大きさを変える方法に関る、ものである。特に本発明は
、電子ビーム処理によって電気用鋼の表面に局部歪を付
与し、耐熱性のある磁区微細化を得る方法に関る、もの
である。
(2)従来の技術及び発明が解決しようとる、課題結晶
粒配向珪素鋼の製造において、ミラー指数(110)[
001]のゴス二次再結晶組織によって、磁気特性特に
透磁率及びコアロスが非配向珪素鋼より−も改善される
ことが知られている。ゴス組織とは結晶粒又は結晶がキ
ューブオンエツジ位置に配された体心立方格子をいう、
この種の組織又は結晶粒の方位は、立方格子の1稜が圧
延方向と平行でかつ圧延面内にあり、(110)面がシ
ート面内にある。よく知られたように、この配位を有る
、鋼は圧延方向には比較的高い透磁率を持ち、圧延と直
角方向には比較的低い透磁率を持つ特性がある。
結晶粒配向珪素鋼の製造は通常次のような工程で行われ
る=2〜4.5$Siの組成の湯を用意し、これを鋳造
し、鋼を熱間圧延し、2段以上の冷間圧延を行うときは
中間焼鈍を行って通常最終寸法7又は9ミルにそして1
4ミル以下に冷間圧延し、鋼を脱炭し、鋼にたとえば酸
化マグネシウム皮膜のような耐火性酸化物を主成分とる
、皮膜を付し、そして望ましく二次再結晶させかつ窒素
や硫黄などの不純物を除去る、ため高温で最終組織焼鈍
を行う、キューブオンエツジ配向の形成はこの二次再結
晶過程で行われるもので、キューブオンエツジに配向し
た二次結晶粒は、種々の望ましくない方位を持った一次
結晶粒から選択的に成長る、。
結晶粒配向珪素鋼は、一般に環カドランス、配電トラン
ス、発電機などの電気機器に用いられている。この種の
用途における珪素鋼はその磁区構造及び抵抗によって、
与えられる交番磁界に対して「コアロス」と呼ばれるあ
る程度のエネルギー損失を生じる。従って、このような
用途に用いられる鋼はコアロス値の小さいことが望まれ
る。
ここで用いる「シート」及び「ストリップ」の語は、特
に断わりのない限り同義とる、。
過去の多くの研究者によって、キューブオンエツジ結晶
粒配向珪素鋼は通常基本的に二つに分類されることが明
らかにされている。一つは普通形結晶粒配向珪素鋼で、
もう一つは高透磁串形結晶粒配向珪素鋼である。V通形
結晶粒配向珪素鋼は、公称9ミルの材料で、磁界強度1
0エルステツド(Oe)において透磁率1850未満、
磁束密度1.5テスラ(T)、周波数60ヘルツ(Hz
)においてコアロス0.400ワツト/ボンド(wpp
)を超えるのが一般的特性である。高透磁串形結晶粒配
向珪素鋼は、より高い透磁率とより低いコアロスを持ち
、この形の珪素鋼は、成分の変更によって、又は工程の
変更と組み合わせて得ることが出来る。たとえば、高透
磁串形珪素鋼は窒化物、硫化物及び/又はほう化物を含
有る、ことがあり、これらは最終鋼製品の特性を左右る
、インヒビターである析出物及び介在物として寄与る、
。更に、このような高透磁串形珪素鋼は通常最終寸法ま
での冷間加工を受け、結晶粒配向を好適に行うために8
0%を超えるような高い減面率の冷間加工が行われる。
非晶質材料や特に結晶粒配向珪素鋼のような電気用鋼の
磁区サイズすなわちコアロス値は、表面に局部歪を与え
るような何らかの工程を経ることによって小さくなるこ
とが知られている。このような工程は一般に「ケガキ(
scribing)J又は「磁区@細化」(domai
n  refiniB)と呼ばれることがあり、最終の
高温焼鈍工程の後に行われる。鱗が最終組織焼鈍の後に
ケガキが行われると、最終組織焼鈍されたシート内に磁
壁間隔が減少る、ような局部歪み状態が誘起される。こ
の乱れは一般的には比較的狭い直線状、すなわちケガキ
線状を呈し、通常一定間隔に形成される。このケガキ線
は、圧延方向を実質的に横切る方向であり、−殻内には
鋼の一表面にだけ形成される。
非晶質及び結晶粒配向珪素鋼の使用に際しては。
最終用途や製造工程によってはケガキを行った後に応力
除去焼鈍(SRA)に耐えることを要求されることもあ
る。しかし、たとえばコア積層式トランスの製造におい
て、特に米国における出カドランスでは、磁区細分化珪
素鋼板が求められているが、これはSRAを受けない、
いいかえれば、ケガキを付された鋼に対して耐熱性のあ
る磁区細分化は必ずしも必要でない。
米国で広く用いられている他のトランスの製造において
は、鋼は切断され、各種の曲げ加工や成形処理が行われ
るがその結果鋼内に応力が生じる。
この場会には、応力を解放る、ためにSRAを行うこと
が必要であり、また−殻内である。SRAを行うと、熱
ケガキのような方法によって得られたコアロスに対る、
効果が失われることが見いだされている。この種の最終
用途に対しては、ケガキによって得られたコアロス値の
改善を維持る、ために、製品が耐熱性のある磁区細分化
(HRDR)のものであることが要求され、要望される
先行特許において、電子ビーム技術は珪素鋼のケガキに
有効であることが示されている。
Takashinaらによる米国特許3.990,92
3(1976゜11.9)によれば、電子ビームは一次
再結晶珪素鋼の二次再結晶粒成長を抑制又は阻止る、の
に用いられる。S choenらによる米国特許4,5
54,029(1985,11,19)では、絶縁皮膜
の損傷が問題にならなければ、電子ビーム抵抗加熱は、
最終焼鈍を受ける電気用鋼に適用できることが示されて
いる。
この場合、電気用鋼のケガキに電子ビームを現実に適用
る、ことについては何も示唆されていない。
本発明の出願人による並行出願において、電子ビーム処
理によって、皮膜に損傷を与えずかつ形状に変化も与え
ずに、磁区サイズを変化させてコアロスを改善る、方法
及びそのための装置について開示している。
いま必要とされているのは、電気用シート製品を処理し
て、耐熱性があり、かつトランスの製造で適用されるS
RAに耐えるような磁区微細化を与えるための方法及び
装置である。更には、その方法及び装置は、高透磁率形
及び普通形の結晶配向珪素鋼並びに非晶質電気用材料の
処理に適したものでなければならない。
(3)  課題を解決る、ための手段 a、総論 本発明では、最終焼鈍された磁区構造を持つ電気用シー
ト又はストリップのコアロスを改善る、方法が提供され
る。その方法は、当該シートの少なくとも一表面に対し
て電子ビームにて処理し、シート製造方向を実質的に横
切る方向の非処理域によって隔てられる、処理領域とし
ての狭く実質的に平行な帯を形成る、ものである。また
当該電子ビーム処理は、各処理域に耐熱性のある磁壁間
隔の微細化を与えるに足りるエネルギー密度を持つもの
である。処理されたシートは引続き焼鈍され、張力皮膜
を付与され、又はコアロス減少のための何らかの処理が
組み合わせて行われる。
b、詳論 本発明において、広義には、普通形及び高透磁串形結晶
粒配向珪素鋼並びに非晶質材料の磁区特性を改善る、方
法を提供した。好適には、本方法はコアロス改善の目的
で磁壁間隔に永久的細分化を与えることが有効な種類の
鋼に対して有用である。ケガキ線の幅及び処理域間の幅
あるいは処理方向を、珪素鋼ストリップの圧延方向や非
晶質材料の鋳造方向を実質的に横切る方向とる、ことは
、従来の技術である。しかし、本発明の提供る、従来技
術に無い特徴は、磁壁間隔を変化させる処理の条件にあ
る。その条件によれば、処理された鋼の磁気的性質は改
善され、その特性はSRAにも耐えるような耐熱性があ
る。
溶接や切断に用いられる電子ビーム発生装置では、加工
材上に焦点を結ぶビーム及びスポットの大きさや幅を制
御る、ために、少なくとも部分真空内で発生され使用さ
れなければならない0本発明の開発に当たっては、この
ような市販装置を改良して使用した。特に、電気用シー
ト上に必要なパターンを形成できるように、高周波電子
ビーム偏向コイルに改良を加えた。開発研究過程では、
電子ビームが鋼シート上を走査る、速度は、電子ビーム
偏向コイルを駆動る、波形発生装置(ウェーブチクで市
販)を用いて走査周波数を設定る、ことによって制御し
た。
本発明で有効に活用される電子ビームは、連続ビームエ
ネルギーを得るためには直流電流(DC)、パルス状又
は非連続ビームエネルギーを得るためには変調電流が用
いられる。特に注記しなければ、以下の例ではDC電子
ビームを用いている。また、単一電子ビームによって例
が示されているが、単−処理域又は照射域の形成に複数
電子ビームを用いることも、同時に複数の処理域を形成
る、ために複数電子ビームを用いることも可能である。
電子ビームの他の条件についても、磁区細分化のために
適正な範囲に調整る、必要がある。電子ビーム電流は0
.5〜100ミリアンペア(mA)の範囲を取り得るが
、ここで適用した装置及び条件に対してはより狭い適正
範囲が選ばれる0発生電子ビームの電圧は20〜200
キロボルト(kV)の範囲、好ましくは60〜150k
Vの範囲がよい。
これらの電流電圧範囲に対して、後に行われるSRAに
耐えるコアロス値改善を得るような磁区微細化及び永久
欠陥を与えるために、ストリップ上の電子ビーム走査速
度も適正に選定せねばならない、走査速度は、10,0
00ips以下の範囲を取り得ることが見いだされた。
しかし、電流、電圧、走査速度、及びストリップ速度は
、望まれるケガキ効果と得るためには相互に関係る、こ
とを理解しておくべきで、これら条件の適正値は装置の
仕様や製造上の要求事項によって決められるべきもので
ある。たとえば、電子ビーム電流はストリップ速度や電
子ビーム走査速度を補償る、ように調整される。実用上
は、ストリップ速度に基づいて、与えられたストリップ
幅に対る、走査速度が決定され、これから、本発明によ
る満足なストリップ処理のために適正な電気的諸条件が
設定されることになる。
ストリップ上の電子ビーム焦点の大きさ及び付与エネル
ギーも、磁区細分化の効果を決める重要な要素である。
市販の電子ビーム発生装置では、通常的10−’Tor
r以下の高真空下で径4〜16ミルのビームを発生でき
る0通常の電子ビームは楕円形又は円形のスポット焦点
を結ぶが、他の焦点形状の方が適切なことも期待できる
。ビーム焦点のスポットサイズによって、狭い照射又は
処理領域の幅が決まる。特に注記しない限り、この開発
研究で用いた電子ビーム焦点のスポットサイズは、直径
又は幅において5ミルである。
本発明における重要な電子ビーム処理条件は、電気用材
料に与えられるエネルギーである。特に、シート材料の
処理の程度を決めるのはビーム力ではなく、エネルギー
密度であることが見いだされた。エネルギー密度は、電
子ビーム電流、電圧、走査速度、スポットサイズ、及び
処理域に用いられるビーム数の関数である。エネルギー
密度は、単位面積当たりのエネルギーと定義され、単位
はジュール/平方インチ(J/in’)で表される0面
エネルギー密度は約150J/in’以上であるべきで
、150〜4000J / 1n2(230〜620J
 / cm2)の範囲を取り得る0本発明の開発におい
ては、電子ビームスポットサイズは5ミルで一定とした
。線エネルギー密度は、ビーム力(単位J/5ee)を
ビーム走査速度(単位1ps)で割ることによって単純
に計算される。0.5〜10nAのように低いビーム電
流では、線エネルギー密度は約0.フ5J/in以上と
る、べきで、0.75〜20J / 1n(0,3〜7
.9J/c輪)の範囲を取り得る。広義には、エネルギ
ー密度の上限はシートに重要な損傷が生じたり、溶は落
ちしたする、値である。
各条件の範囲内で採用される値は、磁区細分化電気用鋼
の種類と最終用途に依存る、。たとえば、最終用途が配
電用又は巻線トランスの場合、製造過程で生じる機械的
応力を除去る、ためにSRAが行われるので、耐熱性の
ある磁区微細化が必要である。したがって、鋼に対る、
加工や傷がSRAに耐えるように条件を選択せねばなら
ない。
本発明における電子ビーム処理条件は、普通形結晶粒配
向珪素鋼と高透磁率形とで、また非晶質金属との間で若
干具なる。これら磁気材料は、ミルガラス、塗布された
皮膜、又はこれらを組み合わせたもののような絶縁皮膜
を有る、。電子ビーム処理条件を決めるために考慮る、
べきもう一つの要因は、最終焼鈍された電気用鋼の皮膜
が処理の結果損傷を受けるか否かである。一般にいえば
、後に再被覆工程が必要とならないように、応力を生じ
た範囲で皮膜が損傷を受けたり除去されたりしないこと
が有利であるり、望ましいことである。
しかし、電子ビーム処理によって永久的iff熱性磁区
微細化が得られるならば、再被覆工程の追加は許容され
得るものである。
以下に詳細を記す本発明は、結晶粒配向珪素鋼全般に対
して有効であるが、本発明の開発過程では、代表して2
種類の珪素鋼試料を用いた。これら珪素鋼の初期公称成
分は次の通りである。
鋼  CN      Mn5SiCuBFe1 .0
30 50PPM   、07 .0223.15.2
2−−Bal。
2 .030 50PPM未満 、038.0173.
15.30110PP Bal。
特に注記しない限り、成分は重量パーセントで示す。
鋼1は普通形結晶粒配向珪素鋼で、l142は高透磁串
形結晶粒配向珪素鋼である。鋼1及び2の製造において
は、鋳造し、熱間圧延し、焼ならし、2段以上の冷間圧
延をる、ときは中間焼鈍を付して最終寸法までの冷間圧
延し、脱炭し、MgOで′fl!、覆し、そしてキュー
ブオンエツジ配向の望ましい二次再結晶を得るために最
終組織焼鈍された。
脱炭工程と高温の最終組織焼鈍との間に、酸化マグネシ
ウムを初期成分とる、耐火性酸化物皮膜が施され、この
皮膜は焼鈍によって鋼表面にフォルステライト皮膜を形
成る、。これらの珪素鋼は、初めは上記の公称成分を持
っているが、最終組織焼鈍の後はC,N及びSはo、o
ots以下のトレースまで減少る、。
本発明の理解を容易にる、ため、次に実施例を示す。
実施例1 本発明における磁区細分化の効果を明示る、ため、N2
と類似成分の各種試料が溶解され、鋳造され、熱間圧延
され、必要に応じ中間焼鈍を付して最終寸法9ミルまで
の冷間圧延され、脱炭され、電子ビーム処理の前に磁気
的測定を行い、基準パックとして用いた。鋼の一つの面
に電子ビーム処理を施し、圧延方向を実質的に横切る方
向の非処理域で隔てられる狭くかつ実質的に平行な処理
帯域形成した。エプスタインパック4O−33Aのスト
リップ幅は約1.2インチで、固定電子ビーlいの下で
3.3ipsの速度で移動させ、SRA、張力被覆、及
びSRAを行った。
電子ビームはレイボルドヘレウス製の装置で発生させた
。この装置は、鋼を10−’Torrより高度の真空に
おいて処理できるよう約5ミルの焦点スポットサイズの
ビームを発生る、ものであった。
処理域の平行帯の間隔は約61であった。
周波数60Hz、磁束密度1.3,1.5及び1.7T
におけるコアロス、磁界強度100eにおける透磁率、
並びに磁束密度200ガウスにおける磁気誘導の各磁気
特性を、既知の方法でエプスタインパックについて測定
した。また各試料は、1470゜F(800℃)で2時
間、保護雰囲気中でSRAを行った。
第1表は上記の電子ビーム、線エネルギー密度、電流、
電圧及び走査速度の実験条件による、鋼2の結晶粒配向
珪素鋼における磁気的性質に及ぼす磁区微細化の効果を
示す。
40−33^ (基準値)−−−−−−:l] 処理後  1  60  3.3    17.5  
    6SR^    −3 T−Coatecl−−−−−− 2nd  SRA−−−−一− 3rd  SRA−−m=−− T−Coated:張力付与被覆 NI:改善されず ヨ1 124  435  613  −−  −−  −−
    1896   11.600+16  767
  966   N1  81  81     81
4     286117  430  598  2
.2  1.1  2.4    1897   7.
410+14  425 594  3.1  2.3
  3.1    1891   9.620+09 
417 582  4.6 4.1  5.1   1
893   9,390?10  419 586  
4.3  3.7  4.4   1895   9,
480パック40−33 Aに磁区微細化は得られたが
、電子ビー11条件が厳しかったためエプスタインスト
リップは曲げられ、表面の皮膜に深い溝を生じた。この
溝は手ざわりが狙いほどで、満足な最終製品とる、には
追加工程が必要だろう。
大きな変形と皮膜損傷のため、パック4〇−33Aは平
坦化る、ため1475゜Fで焼鈍を行ったが、基準値よ
り低いコアロスを示した。パック4O−33Aのストリ
ップは次いで既知の張力皮膜を施した。そのままの状態
では、張力被7W後のコアロスは基準値より僅か低かっ
た。マグネタイト懸濁液及び及び可視性永久磁石を用い
る既知の方法で磁区イメージを求め、磁区微細化の効果
を判定した。第2図は7.5×の顕微鏡写真であり、磁
区微細化はSRA及び張力被覆後も残存る、ことが示さ
れている。パックは更に2回の焼鈍を行い、各回ごとに
コアロス特性を測定した。結果は表に示したように、基
準バックに比ベコアロスは磁束密度1.5丁で4z、1
.7丁で5z改善されている。このデータは、磁区微細
化の安定性と耐熱性を立証る、ものである。以上のよう
な好ましい結果は、処理されたままの状態では磁気的に
劣化しているものには、少なくとも1回の追加工程が必
要なことを示している。
第1図は、パック4O−33Aストリツプの処理部の部
分断面をナイタル腐食後走査形電子顕微鏡(SEM)で
観察した写真である。理論にこだわる意図はないが、本
発明による耐熱性磁区微細化の形成機構については、次
のように考えられる。
すなわち、高エネルギー電子ビーム処理は金属ストリッ
プ内に空洞を作り、電子ビームが走査されるにつれてこ
の空洞は溶融金属で埋められる。溶融部が凝固る、と、
原質部と処理部との境界は第1図に示したような状態と
なる。空孔又は「コールドシャット(cold−shu
ts)」(再凝固した金属と金属ストリップとの固着不
十分によって生じる空隙)のような欠陥が界面に生じる
ようである。金属ストリップ表面にフォルステライトの
ベース皮膜、ミルガラス、又は絶縁皮膜のような皮膜が
あると、皮膜物質の一部が空洞の中へ溶は込むであろう
、再凝固した金属が空洞壁に密着すれば、ストリップと
再凝固域との境界は、続く高温焼鈍によって全部又は一
部が消滅る、であろう、しかし、空孔及びコールドシャ
ット欠陥は磁壁の核となるべく残留している。他の現象
から想定される耐熱性磁区微細化のfinとして、引張
応力と電子ビームによって誘起される欠陥との相互作用
によるものである可能性が高い、このような欠陥や焼鈍
によって除去されない残留応力は、張力が与えられたと
きに磁壁の核を形成る、に十分である。焼鈍によって減
少しない表面応力を与えることは、張力/欠陥相互作用
によって誘起される「耐熱性」局部応力を与えることに
なるだろう。
実施例2 更に他の例として、S RA tlkにも有効な耐熱性
のある磁区微細化を明示る、ための試験を行った。
試料は第■表及び第■表に示したもので、実施例1に記
載したw42の代表成分を持つ公称9ミルの各種珪素鋼
から採取し、実施例1と同様のSRAを行ったものであ
る。第■表において、エプスタインパック4O−37A
、4O−34A、及び4O−35Aの基準パックは、最
終組織焼鈍されフォルステライトベース皮膜を施したス
トリップで作られている。その他のエプスタインパック
は、最終組織焼鈍されフォルステライトベース皮膜及び
応力又は張力皮膜と与えられたストリップで基準バック
が作られている。第■表において、全ての単シートパネ
ルは最終組織焼鈍されフォルステライトベース皮膜及び
応力又は張力皮膜を有したものである。全試料の電子ビ
ーム処理は、試料を圧延方向に移動る、台に固定し、ビ
ームを横方向に走査して行った0表に示されているよう
に、ある試料は1.2インチ幅のストリップによるエプ
スタインパックで、他の試料は4×22インチ単シート
パネルである。
上記の、電子ビーム条件で磁区微細化をる、ためのSR
A条件下では、ある試料についてはSRA後にコアロス
特性が改善された旨第■表に示されている。エプスタイ
ンバック40−8及び4O−37Aは、実施例1におけ
るパック4〇−33Aと同一条件で電子ビーム処理を行
った。これらの試料は同様の挙動を示している。150
kVで処理したストリップは、線エネルギー密度が低い
のにかかわらず60kVで処理したものよりも激しく曲
がっている。磁区イメージによれば、150kVで処理
した試料は応力域がより偏在している。一般に、処理の
ままの条件では磁気的性質は劣化しているが、1回のS
RAの後はコアロスが2〜7%減少している。パック4
O−34Aを除いては、最初のSRAの後に既知の張力
皮膜を施した。パック40−8及び4O−37Aでは、
コアロスは張力皮膜後僅かに低下している。これらのパ
ックでは、2回目のSRAはコアロスを改善しないが、
耐熱性磁区微細化が得られるような欠陥の永続性が明ら
かにされている。
笛」ji T−Coated 2nd  SRA 40−37^ SRA T−Coated T−Coated 2nd SRA 40−34^ 2nd SRA 40−35^ SRA T−Coated T−Coated:張力付与被覆 第Jj覧 69^BC (基準値)  −−−−−− 処理後  4  150 2080   0.29SR
^ 64^BC く基準値>−−−−−−− 処理後  5  150 2080   0.36SR
^ 75^BC (基準値)  −−−−−−−− 処理後  6  150 2080   0.43SR
^ 0ABC (基準値)  −−−−−− 処理後  5  150 2080   0.36SR
^ 54^BC (基準値>  −−−−−− 処理後  5  150 2080   0.36SR
^ 第■表の試験に先だっで、電子ビーム電流2〜10mA
の範囲にわたって走査速度1000及び2000ips
、線エネルギー密度0.14〜1.47J/inでの予
備実験を行った。比較の結果、ビーム電圧150kVで
は0.3J/inが磁区微細化を始める臨界値であるこ
とが確認された。どの試料も皮膜の破壊や損傷は観察さ
れず、ストリップに僅かに曲がり又は変形があっただけ
である。処理したままの条件ではすべての試料において
明確なコアロス現象が認められたが、S RA t*の
耐熱性磁区微細化はどの試料にも認められず、HRDR
効果を得るためにはより高いエネルギー密度の必要なこ
とが確認された。
実施例3 #12の代表的成分を持つ公称9ミルの珪素鋼を用いて
、実施例2と同じ方法で各種の試料を作成した。試料は
、フォルステライトベース皮膜を有し最終組織焼鈍を行
ったもので、それぞれ受入のままで磁気的試験を行い、
基準値とした。全試料ともエプスタイン単ストリップと
し、1.2X12インチのストリップを第■表に示した
条件で処理を行い、6Ml11間隔の平行な処理帯域を
形成して作製1゜たものである、すべての電子ビーム磁
区微細化処理は、電圧150kV、電流3又は4mA、
走査速度35又は70ipsの電子ビームを用いて、表
に示した各種のエネルギー密度のもとで行った。全スト
リップとも初めに実施例1と同様にSRAによって加熱
平坦化し、既知の応力被覆方法で張力皮膜を付与し、次
いで保護雰囲気下で1475゜pX2hrの2回目のS
RAを行った。磁気的性質は、表に示すように各ステッ
プ終了ごとに測定した。
+T−coated、     1885   855
0   301 405 5642nd  SRA  
    1885   8790   290 390
 545#51as−recd    1915   
9500   326 440 635scr、+sR
^     1911   9180   288 3
87 534+丁−coated       189
1    9220    307  408  56
42nd  SRA      1892   918
0   296 401 553#52as−reed
    1899  11360   302 408
 580scr、+sR^      1892   
8590   301 412 580+T−coat
ed      1877   9660   291
 395 5582nclSRA       187
8   9270   287 392 554#57
as−reed    1904  10760   
324 437 598scr、+sR^     1
902   8440   309 418 583−
T−coated     1889   8990 
  309 413 5752nd  SRA    
  1884   8930   297 405 5
57#58as−reed    1918  124
10   298 411 564scr、+sR^ 
    1912   9050   287 385
 535#59as−recct    1914  
12730   316 421 577scr、+s
R^     1904   9680   297 
402 551+T−coated     1885
  11320   300 400 5552nd 
 SRA      1889  10250   3
11 415 566+T−coated     t
sse    9710   301 413 586
2nd SRA      1890   9760 
  297 409 568scr、+sR^    
  1799    5360     37フ  5
27  7882nd  SRA     1852 
  7720    294 416 604+T−c
oated      1817    6830  
   335  458  6フ62nd  SRA 
    1820   6530    328 44
7 665+T−coated     tsss  
 10220    294 395 557scr、
+sR^     1924   9470    2
98 409 569+T−coated     1
904   9880    287 388 535
2nd  SRA     1908   9880 
   276 373 512#16as−reed 
  1898   9350    314 429 
589scr、+sR^     1901   83
30    283 387 546+T−coate
d       1883    7770     
 295  397  5582nd  SRA   
  1887   7940    287 389 
543#32as−reed   1879  113
20    354 471 649ser、+sR^
     1880   9500    323 4
49 638+T−coated     1865 
  9880    323 451 6332ncl
  SRA     1867  10040    
327 451 633scr、+sR^     1
940    9880   331 445 604
+T−coated       1922     
12450     297  402  5482n
d  SRA     1922   11880  
 294 402 544#48as−reed   
1837    7970   349 493 70
8scr、+sRA      1845    80
90   323 448 663+T−coated
     1824    7360   327 4
65 6892nd  SRA      1827 
   7100   334 473 689scr、
+sR^     1858    9160   2
83 383 542+T−coated     1
833    9810   317 426 610
2nd  SRA      1838    920
0   280 377 5391114as−ree
d   1893    9010   344 46
3 649scr、+sR^   1833  778
0  302 417 614+T−coated  
   1813    8460   316 429
 6242nd  SRA      1814   
 7970   309 425 616#23as−
reed   1885   10640   356
 492 688ser、+sR^     1818
    9030   326 458 673+T−
coated     1796   10060  
 325 459 6832ndSRA      1
799    9710   318 448 668
#31as−reed   1870   11190
   321 448 628scr、+sR^   
1880  7480  288 369 570+T
−coated     1813    6840 
  298 413 6162nd  SRA    
 1815    6480   272 373 5
68#41as−reed   1927   117
00   341 451 609scr、+sR^ 
    1859    9780   289 39
5 549+T−coated     1839  
 10820   281 386 5422nd  
SRA     1842   10330   27
8 378 531m5−recd:受入のまま Ser+SR^=電子ビーム処理+SR^(応力除去焼
鈍)T−coated:張力付与被覆 上記実験条件下における測定結果によれば、電子ビーム
処理及びSRAの後は21試料中18試料についてはコ
アロスが減少し、受入のままの状態に比べて、磁束密度
1.5丁において191までの改善がみられた。張力被
覆の後は、21試料中20試料で1.5丁において15
gまで低下している。2回目のS RA 後の値から明
らかなように、電子ビーム処理と張力皮膜によって永久
的磁区微細化が得られており、全21試料とも1.5T
において受入のままの状態より低いコアロスが得られた
。それらのデータは、張力/欠陥の相互作用が耐熱性磁
区微細化を与えたことを示すものである。
本実施例の実験条件に対して、ベース皮膜ストリップの
電子ビーム処理では、電流4mA、線エネルギー密度8
.6J/inで最大のコアロス減少が測定された。この
条件下で、2回目のS RA f&の透磁率は磁界強度
100eにおいて受入のままの状態に比べて55 94
 G / Oeの減少を示した。電子ビーム処理域の断
面組織をナイタル腐食後解析した結果、溶融域の深さと
幅はビーム電流及び線工木ルギー密度と共に増加してい
る。第V式に示したように、4 +sA 、8.6J/
inで処理したものが溶融域の深さ、幅とも最大であっ
た。透磁率の低下及びコアロスの減少は電子ビームによ
って形成された欠陥の大きさに依存る、ようであり、こ
れら磁気特性の変化は工程の適正化によって管理される
べきものと言うことができる。
第3図はナイタル腐食(銅スペーサ使用)後の鋼2断面
の600 X S E M写真で、処理域における最小
の皮膜損傷と、約12ミクロンと狭い再凝固域を示した
ものである。第3図の試料は、2.25J/in、 1
50 kV 、0.75m^、50ipsの条件で電子
ビーム処理を行い、皮膜損傷臨界値の直上で耐熱性磁区
微細化を得たものである。
実施例4 次に、非連続又は変調電子ビームによる磁区微細化、及
び電子ビーム処FJ後に行われる工程の順序に関る、試
験を行った。ビーム電流は波形発生装置による方形パル
スによって変調した。9ミルの[2から実施例3と同様
にして各種試料を作製したが、パックA及びCは電子ビ
ーム処理前にペース皮膜を、パック2及び3は同じく応
力皮膜を付与したものである。磁気的特性の測定値は、
すべて1.2インチ幅のストリップによる20−ストリ
ップ・エプスタインパックによるものである。
試料の一表面に対して、150kV及び第■表に示した
電流、エネルギー密度で、100Hzパルスの変調ビー
ムエネルギーを用いて電子ビーム処理を行った。電子ビ
ーム処理の後、パックA及びCのストリップは張力皮膜
を既知の応力被覆方法によって付与し、次いで実施例1
と同様に保護雰囲気中で1475”FX21+rのSR
Aを行った。
パック2及び3は、電子ビーム処理の後に同じSRAを
行った。パック2は、表に記したように更に張力皮膜を
付与した。磁気的性質は各ステップ毎に測定した。
第1 60Hz時のコアロス m5−reed:受入のまま ^、C:ベース被覆のままケガキ 2.3:応力付与被覆のままケガキ T−coated:張力付与被覆 scr+sR^=電子ビーム処理+SR^(応力除去焼
鈍)上記の実験条件下において、パルス又は変調電子ビ
ーム処理によれば、10.7J/inという比較的高い
線エネルギー密度でもストリップに最小の曲がりしか生
じないことが見いだされた。パックA。
C12,及び3のストリップはいずれも処理のままの状
態で平坦であり、張力被覆のような次工程があっても、
SRAなとの平坦化ステップは不必要である。
この実施例のデータによれば、電子ビーム処理はベース
皮膜のストリップに対して、より有効なことも示されて
いる。電子ビーム処理の前に応力被覆したパック2及び
3は、今回の条件下ではコアロスの減少は見られなかっ
た。
第■表に示すように、コアロスの減少したシートでは変
調電子ビーム処理によって永久欠陥、すなわち耐熱性磁
区微細化が得られている。更に、パックA及びCのデー
タによれば、ベース皮膜の材料は電子ビーム処理の後に
応力皮膜を施してもよく、その後にSRAを行ってもま
だシート製品のコアロス減少は保たれている0本発明の
耐熱性磁区微細化方法では、後の熱処理又は焼鈍温度は
1800゜F(982℃)がコアロスの減少を得るため
の上限臨界値である。電子ビーム処理単独では低いコア
ロスは得られない、更に、本発明では引き続いて張力被
覆及びSRAを、その順序又は逆の順序で行う具体的方
法を開示した。
本発明の目的に示した通り、本発明は電子ビーム処理に
よって電気用鋼の磁区微細化を得る方法を提供る、もの
であり、特に結晶粒配向珪素鋼を用いてコアロス値改善
の例を示した0本方法によれば、コアロス値の改善は耐
熱性があるもので、SRAを受けても改善効果は維持さ
れ、電気用材料として広い用途に適る、ものが製作でき
る。
好ましくかつ選択した具体例について説明を行ったが、
当該技術分野に精通した者であれば、本発明の目的の範
囲内で変更をなし得ることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、実施例1における鋼2の部分断面の金属組織
を示す顕微鏡写真で、典型的な処理域の状態を示す。 第2図は、実施例1における#12の、本発明に基づく
磁区構造に係る金属組織を示す顕微鏡写真である。 第3図は、鋼2の断面の金属組織を示す顕微鏡写真で、
皮膜の損傷及び再凝固域を示す。 (外4名) 尾l又 泉2凹 埋     (i 理 第3凹

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.電気用シート製品のコアロス特性を改善するための
    、以下の内容を有する方法: シートの製造方向を実質的に横切る非処理領域によって
    隔てられた、狭く実質的に平行な処理領域の帯をつくる
    ために、シートの少なくとも一つの面が電子ビーム処理
    され; この電子ビーム処理は、コアロスを減少するのに適した
    シートにおいて磁区壁の間隔が耐熱的に微細化(ref
    inement)されるよう各処理領域に永久的な欠陥
    を生じさせるのに十分なエネルギー密度を与えるもので
    ある。
  2. 2.エネルギー密度が150ジュール毎平方インチ以上
    である、特許請求の範囲第1項記載の方法。
  3. 3.エネルギー密度が150〜4000ジュール毎平方
    インチである、特許請求の範囲第2項記載の方法。
  4. 4.線エネルギー密度が5ミル径の電子ビームスポット
    サイズにおいて約0.75ジュール毎インチ以上である
    、特許請求の範囲第2項記載の方法。
  5. 5.線エネルギー密度が0.75〜20ジュール毎イン
    チである、特許請求の範囲第2項記載の方法。
  6. 6.電子ビームが0.5〜100ミリアンペアの電流、
    及び20〜200キロボルトの電圧で発生させられる、
    特許請求の範囲第2項記載の方法。
  7. 7.コアロスの減少したシート製品を得るために、処理
    されたシートを引き続いて焼鈍する、特許請求の範囲第
    1項記載の方法。
  8. 8.コアロスの減少したシート製品を得るために、シー
    トを引続き1800゜F以下の温度で焼鈍する、特許請
    求の範囲第7項記載の方法。
  9. 9.電子ビーム処理の後、シート製品の少なくとも一表
    面に対して再被覆を行う、特許請求の範囲第1項記載の
    方法。
  10. 10.再被覆が、コアロス減少のために、処理されたシ
    ートの少なくとも一表面に張力皮膜を付与するものであ
    る、特許請求の範囲第9項記載の方法。
  11. 11.コアロス減少のために、引続いてシートに焼鈍及
    び張力皮膜付与の両処理を施す、特許請求の範囲第1項
    記載の方法。
  12. 12.耐熱性磁区細分化を行うために、さらに連続性電
    子ビームエネルギーを付与する、特許請求の範囲第1項
    記載の方法。
  13. 13.耐熱性磁区細分化を行うために、さらに非連続性
    電子ビームエネルギーを付与する、特許請求の範囲第1
    項記載の方法。
  14. 14.シートが普通形キューブオンエッジ結晶粒配向珪
    素鋼、高透磁率形キューブオンエッジ結晶粒配向珪素鋼
    、及び非晶質磁性鋼のいずれかである、特許請求の範囲
    第1項記載の方法。
  15. 15.シートの最終寸法が約14ミル以下である、特許
    請求の範囲第1項記載の方法。
  16. 16.電子ビーム処理の行われるストリップの近辺にお
    いて少なくとも部分真空を与える工程を含む、特許請求
    の範囲第1項記載の方法。
  17. 17.シートの圧延方向に対して実質的に直角方向に、
    毎秒10,000インチ以下の速度で、電子ビームに偏
    向を与えるステップを含む、特許請求の範囲第1項記載
    の方法。
  18. 18.特許請求の範囲第1項記載の方法によって製作さ
    れた電気用シート製品。
  19. 19.電気用シート製品のコアロス特性を改善するため
    の、以下の内容を有する方法: 磁気特性を得るためにシートが焼鈍され; シートの製造方向を実質的に横切る非処理領域によって
    隔てられた狭い処理領域の帯をつくるために、シートの
    少なくとも一つの面が少なくとも部分真空付近で電子ビ
    ーム処理され; この電子ビーム処理は、約150ジュール毎平方インチ
    以上の充分なエネルギー密度を与え、そしてコアロスを
    減少するのに適したシートにおいて磁区壁の間隔が耐熱
    的に微細化させるよう各処理領域に永久的な欠陥を生じ
    させるため、シートの圧延方向を実質的に横切る方向に
    電子ビームとシートとの間に10,000インチ毎秒迄
    の相対運動を与えるものであり;そして しかる後シートは、コアロスの減少した製品とすべく焼
    鈍される。
  20. 20.シート製品の少なくとも一表面に再被覆する工程
    を追加する、特許請求の範囲第19項記載の方法。
  21. 21.半仕上製品で下記内容を有するもの:少なくとも
    一表面に、電子ビーム照射によって形成した永久欠陥で
    ある狭い領域を持つもので、ここに前記欠陥は、磁壁間
    隔の耐熱性微細化のためにシート圧延方向を実質的に横
    切る方向に形成されたもので、前記シートは後続する焼
    鈍においてコアロスを減少させるのに適したものである
  22. 22.電子ビーム処理を受けた表面を覆う皮膜を有する
    、特許請求の範囲第21項記載のシート状半製品。
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