KR100345722B1 - 저자왜 방향성 전기강판의 제조방법 및 이에 사용되는제조장치 - Google Patents

저자왜 방향성 전기강판의 제조방법 및 이에 사용되는제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기기기의 철심 등으로 사용되는 방향성 전기강판의 제조방법에 관한 것으로, 그 목적은 자왜와 철손을 동시에 개선할 수 있는 방향성 전기강판의 제조방법 및 이에 이용되는 제조장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 방향성전기강판의 표면에 장력코팅층을 형성한 다음, 이 코팅층을 경화로에서 경화한 직후에 200∼600℃의 온도로 유지되는 강판에 자장을 부여한 다음에 자구미세화처리를 하는 것을 포함하여 이루어지는 자왜가 적고 자성이 우수한 방향성 전기강판의 제조방법; 그리고,
인입되는 방향성전기강판을 가열하는 가열로,
상기 가열로의 후방(강판의 이송방향으로 보아)에 설치되어 연속이송되는 강판에 자장을 형성하는 제 1자장 부여부;
상기 제 1자장 부여부 후방에 설치되어 자장열처리한 강판의 자구를 미세화처리하는 자구미세화처리부;를 포함하여 이루어지는 방향성전기강판의 제조장치에 관한 것을 그 기술적요지로 한다.

Description

저자왜 방향성 전기강판의 제조방법 및 이에 사용되는 제조장치{Method for manufacturing a grain oriented electrical steel sheet having a low magnetostriction and manufacturing apparaturs used therein}
본 발명은 전기기기의 철심 등으로 사용되는 방향성 전기강판의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자왜와 철손을 동시에 개선할 수 있는 방향성 전기강판의 제조방법 및 이에 사용되는 제조장치에 관한 것이다.
방향성 전기강판은 압연방향으로 (110)[001] 방위의 집합조직을 갖는 것으로, 그 제조방법이 미국특허 1,965,559에 고스(N.P. Goss)에 의해 처음으로 제시된 이래, 많은 연구자들에 의해 새로운 제조방법의 발명과 특성향상이 이루어져 왔다.
현재 공업적으로 주로 이용되고 있는 일반 방향성 전기강판(Conventional grain oriented sliicon steel)의 제조방법은 리틀맨( M.F.Littmann)에 의해 일본특허 공보(소)30-5651호에 제시되어 있다. 이 방법에 의하면 규소강을 열간압연, 예비소둔, 산세, 중간소둔을 포함한 2회의 냉간압연, 탈탄소둔, MgO도포 및 억제제로 MnS를 이용하여 2차 재결정 조직을 얻고 있다. 이와 같이 일련의 공정으로 제조되는 방향성 전기강판은 특성향상을 위해 여러 가지 작업조건들이 변경되어 왔으나, 주된 것은 변화없이 사용되고 있다.
방향성 전기강판의 제조기술은 다양한데, 어떠한 처리공정을 거치든 간에 최종적으로 장력코팅된 방향성전기강판의 철손을 더욱 개선하고자 할때에는 자구미세화처리를 적용하고 있다. 자구미세화처리는 자구의 폭을 줄여서 철손의 개선을 도모하는 것이다. 즉, 최종열처리가 끝난 방향성전기강판내부의 자구의 배열은 대부분이 압연방향과 거의 일치하는 180°자구를 가진다. 방향성전기강판의 철손은 180°자구의 폭과 관계가 깊다. 자벽이 정해진 시간내(60Hz로 동작하는 철심의 경우 자벽의 왕복운동 시간은 1/60초)에 왕복하는 자벽의 거리가 길어지므로 인하여자벽의 이동속도가 커지게 되어 결과적으로 철손이 커지게 된다. 따라서, 철손을 줄이기 위하여는 180°자구의 폭을 줄여야 하는데, 자구의 폭은 강판의 기지금속내에 잔류응력 또는 잔류결함을 부여하는 자구미세화처리하면 줄어드는 것으로 알려져 있다.
따라서, 강판의 기지금속내에 날카로운 쐐기를 이용하거나 산을 이용하여 홈을 파내는 방법, 또는 레이저나 플라즈마, 전자빔, 광에너지를 이용하여 잔류응력 또는 잔류결함을 부여하는 자구미세화처리방법에 제시되어 있는데, 이를 간략히 정리하면 다음의 (1)∼(5)와 같다.
(1) 방향성전기강판의 표면에 날카로운 도구를 이용하여 스크래치(scratch)를 만들어 철손을 개선하는 방법이 미국특허공보 647575호에 제시되어 있다.
(2) 또한, 미국특허공보 4203784에는 롤러를 이용하여 선형스트레인(linear strain)을 강판표면에 도입하는 방법이 제시되어 있다.
(3) 미국특허공보 4293350, 403714와 EPO100638A2 및 일본특개소 60-46325에는 레이저빔을 강판의 표면에 조사(irradiation)하여 철손을 낮게하는 방법이 제시되어 있다. 구체적으로 상기 4293350에서는 Q-mode에서의 Nd-YAG레이저를 이용하는 방법이 제시되어 있는데, 이 경우에는 표면의 코팅층이 상하므로 레이저가 조사되는 부위에 녹을 방지하기 위하여 반드시 재코팅을 실시해야 한다. 이에 반해, 상기 403714와 EP 0100638A2에서는 CW-mode에서의 Nd-YAG레이저에 의한 자구미세화기술이 제시되어 있는데, 이 경우에는 코팅층이 상하지 않기 때문에 재코팅이 필요가 없다.
(4) 또한 일본특개소 61-73886에는 진동체를 이용하여 강판의 표면에 성형의 스트레인을 도입하는 방법이 제시되어 있다.
(5) 또한, 일본특개소 61-117285에는 Xe-lamp를 이용한 광에너지를 강판의 피막두께 t에 대하여 log W ≤ 0.7t + 0.25의 관계를 만족하는 파워밀도로 조사하여 철손을 낮추는 방법을 제시한다.
이들 자구미세화처리기술은 모두 강판의 압연방향을 따라 3 ~ 10mm 간격으로 압연방향과 대체로 직각이 되게 스트레인 또는 스트레스를 부여하는 것이다.그런데, 상기 자구미세화 기술들은 철손을 낮추는 긍정적인 효과는 있으나, 모두가 스트레인 또는 스트레스를 부여하는 미소부위에 90°또는 보조자구들이 생겨나므로 인하여 자왜(magnetostriction)가 증가되는 문제를 동반하다.
자왜가 크면 변압기에서 발생하는 소음이 커지므로 극력억제하는 것이 필요하다. 자구미세화방법에 있어서 동반되는 자왜문제는 미국특허공보 4293350에서 일부 언급하고 있는데, 그 내용은 미국특허공보 3647575에서 제시하는 방법을 따라 방향성전기강판의 자구를 미세화 시킬 경우에 자왜가 매우 커지게 되는 것을 지적한다. 즉, 방향성전기강판의 기지금속내에 잔류응력 또는 잔류결함을 만드는 방법으로 자구미세화처리하면, 이 미소부분의 영역에서는 전기강판이 본래 가졌던 고스집합조직((110)<001>)이 파괴되어 90°자구 또는 기타보조자구가 반드시 생겨난다.90°또는 180°자구를 제외한 기타의 자구는 자왜를 유발하거나 증가시키는 역할을 하게 하므로 자구미세화가 실시된 강판에서의 자왜는 자구미세화 이전에 비해 증가하게 된다. 따라서, 자구미세화방법을 통하여 철손은 낮출 수 있지만 변압기에서 소음의 원인이 되는 자왜가 커진다는 것은 피할 수 없는 사실이다.
보다 구체적으로 자왜에 대하여 설명하면 다음과 같다. 방향성전기강판은 전압과 전류를 원하는 양 또는 상(phase)으로 변환시켜주기 위해 수십에서 수백장까지 적층된 철심으로 변압기 또는 변류기에 들어가 있다. 그 철심주위는 코일이 감싸고 있으며, 이 코일에 전류를 흘려 철심을 동작시키면 철심내부에서 자속방향의 변화로 인해 철심의 길이변화가 일어나게 된다. 이러한 현상을 '자왜'라 하며, 그 길이변화는 공급되는 전압 또는 전류의 주파수에 배수로 발생된다. 이와 같이 생기는 길이변화로 인해 철심의 끝단이 공기를 때리게 되며, 이 소리는 사람의 귀로 들을 수 있을 정도이다.
일반적으로 강판의 자왜크기는 "길이변화량÷원래시편길이"로 표시되며, 통상의 일반 방향성 전기강판의 경우 1.7Tesla에서 1.0x10-6정도 된다. 이 양은 시편에 응력이 전혀 가해지지 않은 상태에서의 자왜크기이다. 만일, 시편에 강판의 길이방향으로 압축응력을 가하게 되면 이 값은 크게 달라진다. 즉, 실제 전기강판을 변압기의 철심으로 이용하는 경우, 강판을 적층하고 강판사이의 틈을 없애기 위하여 볼트를 죄거나 용접을 하므로 강판에 압축응력이 가해져 자왜크기는 커진다. 또한, 자왜크기에 대한 값은 측정기기와 시편의 형상에 따라 조금씩 차이가 난다. 이는 자왜값이 미소한 응력에도 민감하며, 그 양이 매우 적어 시편과 자왜측정장치 사이에 마찰이 측정기기마다 서로 다르기 때문이다. 이러한 이유로 자왜크기는 보고되는 문헌의 측정치마다 차이를 나타낸다. 일반 방향성 전기강판의 경우, 자왜크기가 무응력하 1.7Tesla에서는 상술한 바와 같이 1.0x10-6정도되며, 3MPa의 압축응력하에서는 5x10-6정도 된다.
그런데, 이 수준의 자왜크기를 가진 일반방향성 전기강판으로 변압기를 만드는 경우 자왜에 의한 소음문제가 심각하게 대두되고 있다. 따라서, 자왜크기를 최대한 낮추어서 소음을 줄이기 위해 가능한 낮은 자속밀도에서 사용하고 있으며, 이런 점을 고려하여 통상의 변압기의 설계자속밀도는 1.70-1.75Tesla 수준이다. 그러나, 이러한 방법은 변압기의 효율을 떨어뜨리는 문제가 생기므로, 방향성 전기강판의 자왜를 지금보다도 더 낮출수 있는 방법이 강구된다면, 더 높은 자속밀도에서 변압기를 사용할 수 있게 되고, 그러면 이에 비례하여 변압기의 효율을 높이거나 크기를 줄일수 있으므로 자왜크기가 작은 방향성전기강판의 필요성이 커지고 있다.
본 발명자들은 자왜크기를 줄일 수 있는 자장열처리(또는 '자속열처리'라고 도함)방법과 이에 사용되는 자장열처리장치를 한국특허출원번호 97-36499호, 97-68576호에 특허출원하여 공개특허공보99-12920호, 99-49605호에 개시한 바 있다.상기 공개특허공보 99-12920호에는 자장열처리를 직류자장을 부여하여 행하는 기술과 솔레노이드를 가열로 외부에 설치하여 재료내부의 자속양을 용이하게 조절할 수 있는 자장열처리장치가 개시되어 있다. 또한, 상기 공개특허공보 99-49605호에는 자장열처리를 직류자장과 펄스자장을 동시에 부여하여 행하는 기술과 이에 사용되는 장치가 개시되어 있다.
그런데, 상기 자장열처리장치는 방향성전기강판을 일정크기로 절단하여 자장열처리를 하므로 대량양산에 적합하지 못하다. 또한, 실제생산라인에서 온라인으로 자장열처리하지 않고 있어 산업상 효용가치가 낮다. 특히, 자장열처리방법은 자구미세화처리하지 않은 방향성 전기강판 즉, 최종소둔한 강판 또는 장력코팅한 강판에 적합한 자장열처리조건을 제시하고 있다. 이는 본 발명의 기술분야에서 자구미세화처리와 자장열처리를 병행하지 않는 고정관념에서 비롯된 것으로, 자구미세화처리와 자장열처리를 동시에 행할때 철손의 변화와 자왜의 변화가 어떠한 관련성을 갖는지에 대하여 연구가 미처 접근하지 못한데서 비롯된 것이다.
본 발명은 방향성전기강판을 자구미세화처리할 때 자왜가 증가하는 종래 기술의 한계를 극복하기 위한 일련의 연구과정에서 안출된 것으로, 자구미세화처리와 자장열처리의 상호관련성을 야금학적으로 검토하여 그 조건을 유기적으로 제어함으로써 자왜는 기본적으로 감소시키면서 철손과 자속밀도를 더욱 증가시킬 수 있는방향성전기강판의 제조방법을 제공하는데도 그 목적이 있다.
나아가, 상기 본 발명은 실제 생산라인에서 온라인상태로 연속하여 자장열처리와 자구미세화처리를 행할 수 있는 자장열처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 본 발명의 자장처리 및 자구미세화처리를 동시에 행하는 방향성전기강판의 제조장치의 개략도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
1..... 방향성전기강판
10..... 가열로 20..... 제 1자장 부여부
30..... 자구미세화처리부 40..... 제 2자장 부여부
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 방향성전기강판의 제조방법은, Si이 첨가된 방향성전기강판의 표면에 장력코팅층을 형성한 다음, 이 코팅층을 경화로에서 경화한 직후에 강판의 온도를 200∼600℃의 온도로 유지하여 자장을 부여한 다음에 자구미세화처리를 하는 것을 포함하여 구성된다.
또한, 본 발명의 자장열처리장치는, 인입되는 방향성전기강판을 열처리하는 가열로; 상기 가열로의 후방(강판의 이송방향으로 보아)에 설치되어 연속이송되는 강판에 자장을 형성하는 제 1자장 부여부; 상기 제 1자장 부여부 후방에 설치되어 자장열처리한 강판의 자구를 미세화처리하는 자구미세화처리부;를 포함하여 구성된다.
이하, 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명은 자장열처리와 자구미세화처리를 동시에 행하여 자왜는 줄이면서자기적특성을 보다 개선시킨다는데 그 특징이 있는 것으로, 자장열처리는 별도의 열처리 없이 방향성 전기강판에 장력코팅층을 형성하고 경화열처리하는 과정에서 남아 있는 강판의 열을 이용하여 자장만 부여하는 것이다. 이러한 본 발명의 제조방법과 이에 사용되는 자장열처리장치를 구분하여 설명한다.
[방향성 전기강판의 제조방법]
통상적으로 방향성전기강판은 최종소둔한 강판의 표면에 장력코팅층을 형성한 다음에 경화로에서 경화한다. 본 발명에서는 상기 경화로에서 나오는 강판이 자장처리에 적합한 온도가 되었을 때 자장을 부여하여 별도의 자장처리를 위한 가열공정을 행하지 않는다.
자장처리는 강판에 자장을 걸어서 자기장모멘트가 한 방향으로 정렬되도록 함으로써 자왜를 줄이는 것으로, 본 발명에서는 경화처리한 강판의 온도가 200∼600℃가 되었을 때 자장을 부여한다. 강판의 온도를 200∼600℃로 제한하는 것은 자구재배열과 강판의 온도는 밀접한 관련이 있기 때문이다. 자장처리는 이미 결정구조에 따라 만들어져 있는 자구를 회전시켜 자구를 자왜가 적은 방향으로 재배열시키기 위하여 실시하는 것으로, 자구를 재배열하기 위해서는 결정내의 자기이방성에너지를 낮게 하는 것이 유리하다. 전기강판의 자기이방성에너지는 온도가 높을수록 급격히 낮아지기 때문에 높은 온도에서 자장처리하는 것이 좋다. 그러나, 강판의 온도가 자기변태점(약 720℃)에 가까이 갈수록 전기강판의 투자율이 낮아지고 자속이 약해지므로 온도가 너무 높은 것도 좋지 않다.
상기와 같은 온도를 가질 때 강판에 직류자장과 펄스자장을 단독 또는 복합으로 행할 수 있으며, 바람직하게는 복합으로 행하는 것이다. 이는 자구의 방향을 모두 임의의 한 방향으로 변화시키려면 많은 에너지가 필요로 하는데, 직류자장과 펄스자장을 동시에(복합으로) 행할 때 효과적이다. 상기 직류자장은 강판의 자속이 포화되도록 하면(직류포화자장) 강판내부의 자기모멘트를 거의 완전히 한 방향으로 정렬시킬 수 있어 바람직하다. 또한, 펄스자장은 5∼30ms동안 150∼600 Oe로 1∼4Hz로 발생시키는 것이 바람직하다.
상기와 같이 자장처리한 직후에 자구미세화처리를 한다. 자구미세화처리는 통상의 홈을 파내는 방법, 또는 레이저나 플라즈마, 전자빔, 광에너지 등 통상의 방법을 이용하여 잔류응력 또는 잔류결함을 부여할 수 있다.
[방향성전기강판의 제조장치]
도 1에 그 개략도가 나타난 바와 같이, 본 발명의 장치에서,
가열로(10)는 인입되는 강판을 자장열처리온도로 가열한다. 이 가열로는 통상의 방향성전기강판의 제조설비에서 경화로를 대체하여 온라인상태로 최종소둔한 강판을 장력코팅처리한 다음 연속하여 자속열처리와 자구미세화처리한다.
제 1자장 부여부(20)는 상기 가열로(10)의 후방에 설치되어 연속이동하는 강판을 여자시켜 자장을 형성시킨다. 제 1 자장 부여부(20)는 그 내부에서 이송되는 강판을 여자시키는 헬름홀츠코일(20a)과 이 헬름홀츠코일(20a)에 직류전류를 인가하는 직류전류공급부(22)와 펄스전류를 인가하는 펄스전류공급부(24)가 하나 또는 둘 설치될 수 있다.
상기 제 1자장 부여부(20)의 후방에는 자구미세화처리부(30)가 설치된다. 자구미세화처리부는 상기한 통상의 홈을 파내는 방법, 또는 레이저나 플라즈마, 전자빔, 광에너지 등을 이용하여 잔류응력 또는 잔류결함을 부여할 수 있도록 구성될 수 있다.
상기 제 2자장 부여부(40)는 상기 자구미세화처리부의 후방에 설치되어 자구미세화처리된 강판에 자장을 부여한다. 그 구성은 상기 제 1자장 부여부에 준하여 구성될 수 있다. 즉, 제2자장부여부(40)는 그 내부에서 이송되는 강판을 여자시켜 헬름홀츠코일(20b)와 이 헬름홀츠코일(20b)에 직류전류를 인가하는 직류전류공급부(22)와 펄스전류를 인가하는 펄스전류공급부(24)가 하나 또는 둘 설치될 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다.
[실시예]
중량%로 C:0.048%, Si:3.15%, Mn:0.065%, S:0.024%, Cu:0.17%, N2:0.0050%를 함유하고, 나머지 Fe 및 기타 불가피한 불순물로 이루어진 전기강판 슬라브를 1350℃로 가열한 후, 열간압연하여 판두께가 2.0mm인 열연판을 얻었다. 이 열연판을 950℃에서 5분동안 소둔한 후 공기중에서 냉각하여, 0.75mm의 두께로 1차 냉간압연 하고, 950℃×2분 중간소둔하여, 두께 0.3mm의 2차냉간압연을 하였다. 냉간압연된판은 850℃로 유지된 로에 노점 51℃인 25%H2+75N2의 혼합가스를 2분동안 탈탄을 행하였다. 다음에 강판의 표면에 소둔분리제인 MgO를 도포하여 최종 고온소둔을 행하였다. 고온소둔은 25%H2+75N2분위기에서 15℃/hr의 승온속도로 1200℃까지 가열하고, 1200℃도달 후 100%H2분위기에서 10시간 유지하였다. 이상과 같이 하여 안정된 2차 재결정이 끝난 방향성전기강판을 얻었다.
이후에 강판의 표면에 장력코팅재를 도포하고 800℃에서 경화처리하였다. 이후에 자성을 측정하였다. 계속해서 경화처리하여 가열된 강판이 450℃로 유지된 상태에서 CW-mode의 Nd-YAG레이저를 이용하여 빔(beam)의 폭을 100㎛되게하고 조사에너지를 500Watt정도이고, 조사속도는 150Cm/sec로하여 강판의 길이방향에 대하여 수직하게 조사하였다. 조사도중에 강판의 온도는 450℃~350℃의 범위에 있었으며, 조사선의 간격은 5mm로 하였다. 레이저 조사와 동시에 주위에 감긴 헬름훌츠 코일을 이용하여 자장을 부여하였다.
부여한 자장은 헬름홀쯔 코일에 직류전류와 펄스전류를 동시에 흘리므로 직류와 펄스자장이 합해져 나타난다. 직류파형의 경우 자장세기는 15에르스뎃(Oe)였으며, 펄스자장세기는 350 Oe(에르스뎃)이었다. 레이저를 이용한 자구미세화 전과 후에 대하여 자기적특성을 표 1에 나타내었다.
아래 표 1에서 각 공정에 대한 설명을 하겠다. 먼저①은 레이저 조사전의 강판의 자성이다. ②는 다른 공정은 없이 오직 CW-mode의 Nd-YAG레이저로만 조사한 후의 자성이다. ③은 강판의 온도가 25℃에서 헬름홀츠 코일에 자장을 부여하면서 레이저를 조사한 경우이다. ④는 가열로를 이용하여 강판의 온도를 450℃까지 가열하고 헬름훌츠 코일에 자장을 부여하면서 레이저를 조사한 경우이다. 도 1에서 7은 레이저조사홈이다.
자왜는 최저값에서 최고값까지의 폭을 나타낸다. 크기는 대략 10-6정도를 가진다. 1.5, 1.7 및 1.85Tesla에서 자왜를 2종류로 측정하였다. 한가지는 재료에 전혀 응력을 가하지 않은 상태로 측정한 것이며 다른 한가지는 재료에 2MPa의 압축응력을 가한 측정한 것이다. 이는 실제 변압기 제작시 강판에 이 정도의 압축응력이 걸리기 때문이다
공정 1000A/m에서의자속밀도 1.7Tesla에서의철손 1.5Tesla에서의 투자율 자왜(peak to peak 값)×10-6
1.5Tesla 1.7Tesla 1.85Tesla
B10 W17/50 μ1.5 σ= 0 σ= -2 σ= 0 σ= -2 σ= 0 σ= -2
1.905 1.023 43500 0.7 0.7 0.85 0.95 0.8 0.85 비교재
1.903 0.972 33000 1.0 2.6 1.3 4.4 1.7 5.6 비교재
1.904 0.966 39900 0.85 2.0 1.1 4.0 1.5 5.2 발명재
1.905 0.960 43000 0.6 1.4 0.7 2.6 0.8 4.2 발명재
표 1에서 보는 바와 같이, 먼저 레이저를 이용한 자구미세화시 헤름홀츠 코일에 자장을 걸어주는 것이 자장을 걸지 않은 것에 비하여 자성이 개선 된 것을 볼 수 있다. 강판의 온도를 450℃로 가열한 상태에서 레이저를 이용한 자구미세화 그리고 동시에 자장을 부여하는 경우에는 자성이 매우 향상된 것을 볼 수 있다. 특히 자왜와 투자율에 있어서 개선폭이 큰 것을 볼 수 있다.
이러한 효과들은 모두 레이저가 조사되면서 동시에 부여한 자장의 영향으로 미소부분의 자구들이 자성에 유리한 방향으로 재배열되기 때문이며, 동시에 강판이 450℃이므로 레이저가 조사된 미소부위외의 다른 부분에 존재하던 90°및 보조자구도 개선되었기 때문으로 보인다.
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 자구미세화처리하는 방향성전기강판의 자왜를 효과적으로 줄이면서 자기적특성도 개선할 수 있고, 또한, 실제 생산라인에서 방향성전기강판을 자장열처리할 수 있는 유용한 효과가 있는 것이다.

Claims (5)

  1. Si이 첨가된 방향성전기강판의 표면에 장력코팅층을 형성한 다음, 이 코팅층을 경화로에서 경화하는 방향성 전기강판의 제조방법에 있어서,
    상기 경화로에서 경화한 직후에 200∼600℃의 온도로 유지되는 강판에 직류자장과 펄스자장의 단독 또는 복합으로 자장을 부여한 다음에 자구미세화처리를 하는 것을 포함하여 이루어지는 자왜가 적고 자성이 우수한 방향성 전기강판의 제조방법.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 직류자장은 직류포화자장임을 특징으로 하는 자왜가 적고 자성이 우수한 방향성 전기강판의 제조방법.
  3. 인입되는 방향성전기강판을 가열하는 가열로(10),
    상기 가열로(10)의 후방(강판의 이송방향으로 보아)에 설치되어 연속이송되는 강판에 자장을 형성하는 제 1자장 부여부(20);
    상기 제 1자장 부여부(20) 후방에 설치되어 자장열처리한 강판의 자구를 미세화처리하는 자구미세화처리부(30);를 포함하여 이루어지는 방향성 전기강판의 제조장치.
  4. 제 3항에 있어서, 상기 자구미세화처리부의 후방에는 제 2자장 부여부(40)가 추가로 설치됨을 특징으로 하는 제조장치.
  5. 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 제 1, 2자장 부여부(20,40)는,
    강판을 여자시키는 헬름홀츠코일(20a, 20b)과
    상기 헬름홀츠코일에 직류전류를 인가하는 직류전류공급부(22);
    상기 헬름홀츠코일에 펄스전류를 인가하는 펄스전류공급부(24);를
    포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 제조장치.
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