JPH01271169A - 複合浮動磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
複合浮動磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH01271169A JPH01271169A JP63096201A JP9620188A JPH01271169A JP H01271169 A JPH01271169 A JP H01271169A JP 63096201 A JP63096201 A JP 63096201A JP 9620188 A JP9620188 A JP 9620188A JP H01271169 A JPH01271169 A JP H01271169A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
- B24B37/048—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces of sliders and magnetic heads of hard disc drives or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は磁気記録、再生装置に用いられる、複合浮動磁
気ヘッドの製造に関するものである。
気ヘッドの製造に関するものである。
本発明は２本の空気浮上面を具備する非磁性体からなる
スライダー体の前記空気浮上面に切り欠きを設け磁性体
からなるコアチップを接合部材を用いて前記切り欠きの
中に固定してなる複合浮動磁気ヘッドの、該空気浮上面
の最終ポリッシングにおいて、ポリッシング定盤に遊離
砥粒を固着し希釈液のみでポリッシングした後、柔かい
布上面に遊離砥粒をふりかけ、その布上でポリッシング
することにより、前記空気浮上面と前記接合部材とに３
０ｎｍから１１００ｎのバラツキの少ない段差を形成す
ることを特徴とする、複合浮動磁気ヘッドの製造方法で
磁気記録媒体表面にコンタクト・スタート・ストップ（
以下Ｃ８Ｓと呼ぶ）時に接する空気浮上面の磁気ギャッ
プの形成されている磁性材を固定するための接合部材に
段差をつけることにより媒体の摺動痕及び空気浮上面の
傷を防止させるものである。
スライダー体の前記空気浮上面に切り欠きを設け磁性体
からなるコアチップを接合部材を用いて前記切り欠きの
中に固定してなる複合浮動磁気ヘッドの、該空気浮上面
の最終ポリッシングにおいて、ポリッシング定盤に遊離
砥粒を固着し希釈液のみでポリッシングした後、柔かい
布上面に遊離砥粒をふりかけ、その布上でポリッシング
することにより、前記空気浮上面と前記接合部材とに３
０ｎｍから１１００ｎのバラツキの少ない段差を形成す
ることを特徴とする、複合浮動磁気ヘッドの製造方法で
磁気記録媒体表面にコンタクト・スタート・ストップ（
以下Ｃ８Ｓと呼ぶ）時に接する空気浮上面の磁気ギャッ
プの形成されている磁性材を固定するための接合部材に
段差をつけることにより媒体の摺動痕及び空気浮上面の
傷を防止させるものである。
［従来の技術〕
従来の複合浮動磁気ヘッドの製造方法は第６図に示す如
く、ポリッシング定盤ｌ上に遊離砥粒とポリッシング用
希釈液を混合したポリッシング液２をふりかける、ラッ
プ治具３に複合浮動磁気ヘッド４の浮上面をポリッシン
グ定盤１に接するように取付け、ラップ治具３をガイド
治具５にセットする、ポリッシング低盤１を回転させ（
５０からｉｏｏｒｐｍ）ラップ治具３はポリッシング定
盤ｌの外周速度と内周速の差により回転しポリッシング
される。
く、ポリッシング定盤ｌ上に遊離砥粒とポリッシング用
希釈液を混合したポリッシング液２をふりかける、ラッ
プ治具３に複合浮動磁気ヘッド４の浮上面をポリッシン
グ定盤１に接するように取付け、ラップ治具３をガイド
治具５にセットする、ポリッシング低盤１を回転させ（
５０からｉｏｏｒｐｍ）ラップ治具３はポリッシング定
盤ｌの外周速度と内周速の差により回転しポリッシング
される。
〔発明が解決しようとする課題］
しかし、前述の技術では第７図、第８図の接合部材７コ
アチツプ９空気浮上面８の複合部材で形成されている空
気浮上面８はフェライト９セラミツクスと接合部材４に
融着ガラスが使用されている。その接合部材４はポリッ
シング時に段差が１０ｎｍから２００ｎｍとバラツキの
大きい段差が発生する。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは、磁気記
録媒体の摺動痕及び空気浮上面の傷を防止することによ
りＣ８Ｓの特性の向上と録再特性の維持を図るものであ
る。
アチツプ９空気浮上面８の複合部材で形成されている空
気浮上面８はフェライト９セラミツクスと接合部材４に
融着ガラスが使用されている。その接合部材４はポリッ
シング時に段差が１０ｎｍから２００ｎｍとバラツキの
大きい段差が発生する。そこで本発明はこのような問題
点を解決するもので、その目的とするところは、磁気記
録媒体の摺動痕及び空気浮上面の傷を防止することによ
りＣ８Ｓの特性の向上と録再特性の維持を図るものであ
る。
［課題を解決するための手段］
本発明による、２本の空気浮上面を具備する非磁性体か
らなるスライダー体の前記空気浮上面に切り欠きを設け
磁性体からなるコアチップを接合部材を用いて前切り欠
きの中に固定しなる複合浮動磁気ヘッドの該空気浮上面
の最終ポリッシングにおいて、ポリッシング定盤に遊離
砥粒を固着し希釈液のみでポリッシングした後、柔かい
布上面に遊離砥粒をふりかけその布上でポリッシングす
ることにより、前記空気浮上面と前記接合部材とに３０
ｎｍから１００ｎｍのバラツキの少ない段差を形成する
ことを特徴とする。
らなるスライダー体の前記空気浮上面に切り欠きを設け
磁性体からなるコアチップを接合部材を用いて前切り欠
きの中に固定しなる複合浮動磁気ヘッドの該空気浮上面
の最終ポリッシングにおいて、ポリッシング定盤に遊離
砥粒を固着し希釈液のみでポリッシングした後、柔かい
布上面に遊離砥粒をふりかけその布上でポリッシングす
ることにより、前記空気浮上面と前記接合部材とに３０
ｎｍから１００ｎｍのバラツキの少ない段差を形成する
ことを特徴とする。
第２図は、本発明の実施例を示す要部の断面図である。
ポリッシング定盤上１に（錫定盤、スパイラル溝付）ダ
イヤモンドホイル１０（レジンボンド結合剤、 ８００
０’ ）をガイド治具５に取付け、ポリッシング定盤１
を純水１１で噴霧しながら回転させポリッシング定盤ｌ
上面を平坦出しを行う、上面はポリッシング砥粒が固着
しやすくなる０時間はダイヤモンドホイル１０でポリッ
シング定盤１の上面が全面にダイヤモンドホイルｌＯの
接触面が均一に当たるまで行なう、通常はｌＯ分〜２０
分行なう６部屋は温度管理されていることが望ましい、
ポリッシング定盤ｌ上面が乾かさない。また定盤の熱歪
による変形を起さないよう純水１１の噴霧を３０秒間隔
で行う０回転数は６０〜７０ｒｐｍが最適である。ポリ
ッシングの定盤の平坦出しが終了したら、ダイヤモンド
ホイルｌＯを取り外す、第３図はポリッシング定盤要部
の断面図である。ポリッシング定盤ｌ上面を純水１１と
ブラシ１２により汚れを洗い流す、ポリッシング定盤ｌ
上面の水気を除去する。第４図はポリッシング定盤の部
分斜視図である、ポリッシング定盤ｌ上面にダイヤモン
ドパウダーとポリッシング希釈液を混合したポリッシン
グ液２（砥粒坏μからＡμを使用、砥粒と希釈液は１％
溶液を使用する）をポリッシング定盤ｌ上面中央部にふ
りかけ、ドライ高圧エアー１３でポリッシング定盤ｌ上
面全面のポリッシング液２を引き伸ばす、ポリッシング
定盤１を回転させながら行う、ポリッシング液２がポリ
ッシング定盤ｌ上に薄い膜状に引き伸ばすことが大切で
ある。ポリッシング定盤ｌに砥粒の入らないポリッシン
グ希釈液６をふりかける、量はポリッシング定盤ｌ上面
からあふれるくらいにふりかける。第１図はポリッシン
グ機械定盤断面図であるガイド治具５に複合浮動磁気ヘ
ッド４付のランプ治具３をセットする、浮上面を５分〜
１５分間ポリッシング定盤ｌを回転させながら、ポリッ
シングする回転数は６０ｒｐｍ前後がよい、このポリッ
シング方法で複合浮動磁気ヘッド４の空気浮上のコアチ
ップ接合部材の段差は２Ｏｎｍ以内に加工することがで
きる。この段差の少ない加工が次の加工の柔かい布（メ
リンス状）のポリッシングでバラツキの少ない加工を可
能にした。第５図は布上ポリッシングの斜視図である、
フラット上面の平坦度の良いポリッシング定盤１上面に
柔かい布１４（メリンス状バット）を凸凹が発生しない
ように貼つけ、柔かい布１４上面にポリッシング液２（
ダイヤモンドパウダー属μ砥粒入り１％溶液）をふりか
ける、量は柔かい布１４上面全面に行う、複合浮動磁気
ヘッド付のラップ治具３を柔かい布１４上面に空気浮上
面が接するように載せる。荷重は単位面積当り２００
ｇｅｍ２の重さにしである。ラップ治具３を円弧状に（
直径１８ｃｍ外周円弧状軌跡）柔かい布１４上面を１０
回転移動させる。複合浮動磁気ヘッドの空気浮上面のチ
ップ接合部材の材質により円弧状移動回数は異なる。こ
のような加工により接合部材の段差４０ｒ＋＋ｎから１
００ｒｖ＋とバラツキの少ない段差を形成することがで
きる。
イヤモンドホイル１０（レジンボンド結合剤、 ８００
０’ ）をガイド治具５に取付け、ポリッシング定盤１
を純水１１で噴霧しながら回転させポリッシング定盤ｌ
上面を平坦出しを行う、上面はポリッシング砥粒が固着
しやすくなる０時間はダイヤモンドホイル１０でポリッ
シング定盤１の上面が全面にダイヤモンドホイルｌＯの
接触面が均一に当たるまで行なう、通常はｌＯ分〜２０
分行なう６部屋は温度管理されていることが望ましい、
ポリッシング定盤ｌ上面が乾かさない。また定盤の熱歪
による変形を起さないよう純水１１の噴霧を３０秒間隔
で行う０回転数は６０〜７０ｒｐｍが最適である。ポリ
ッシングの定盤の平坦出しが終了したら、ダイヤモンド
ホイルｌＯを取り外す、第３図はポリッシング定盤要部
の断面図である。ポリッシング定盤ｌ上面を純水１１と
ブラシ１２により汚れを洗い流す、ポリッシング定盤ｌ
上面の水気を除去する。第４図はポリッシング定盤の部
分斜視図である、ポリッシング定盤ｌ上面にダイヤモン
ドパウダーとポリッシング希釈液を混合したポリッシン
グ液２（砥粒坏μからＡμを使用、砥粒と希釈液は１％
溶液を使用する）をポリッシング定盤ｌ上面中央部にふ
りかけ、ドライ高圧エアー１３でポリッシング定盤ｌ上
面全面のポリッシング液２を引き伸ばす、ポリッシング
定盤１を回転させながら行う、ポリッシング液２がポリ
ッシング定盤ｌ上に薄い膜状に引き伸ばすことが大切で
ある。ポリッシング定盤ｌに砥粒の入らないポリッシン
グ希釈液６をふりかける、量はポリッシング定盤ｌ上面
からあふれるくらいにふりかける。第１図はポリッシン
グ機械定盤断面図であるガイド治具５に複合浮動磁気ヘ
ッド４付のランプ治具３をセットする、浮上面を５分〜
１５分間ポリッシング定盤ｌを回転させながら、ポリッ
シングする回転数は６０ｒｐｍ前後がよい、このポリッ
シング方法で複合浮動磁気ヘッド４の空気浮上のコアチ
ップ接合部材の段差は２Ｏｎｍ以内に加工することがで
きる。この段差の少ない加工が次の加工の柔かい布（メ
リンス状）のポリッシングでバラツキの少ない加工を可
能にした。第５図は布上ポリッシングの斜視図である、
フラット上面の平坦度の良いポリッシング定盤１上面に
柔かい布１４（メリンス状バット）を凸凹が発生しない
ように貼つけ、柔かい布１４上面にポリッシング液２（
ダイヤモンドパウダー属μ砥粒入り１％溶液）をふりか
ける、量は柔かい布１４上面全面に行う、複合浮動磁気
ヘッド付のラップ治具３を柔かい布１４上面に空気浮上
面が接するように載せる。荷重は単位面積当り２００
ｇｅｍ２の重さにしである。ラップ治具３を円弧状に（
直径１８ｃｍ外周円弧状軌跡）柔かい布１４上面を１０
回転移動させる。複合浮動磁気ヘッドの空気浮上面のチ
ップ接合部材の材質により円弧状移動回数は異なる。こ
のような加工により接合部材の段差４０ｒ＋＋ｎから１
００ｒｖ＋とバラツキの少ない段差を形成することがで
きる。
［発明の効果］
以上に述べたように、本発明によれば、遊離砥粒を固着
させ、希釈液のみでポリッシングし空気浮上面のコアチ
ップを接合する接合部材の段差を小さくし平坦度を確保
し柔かい布上面でポリッシングすることにより接合部材
の段差を４０ｎｍか６１００ｎｍに確保することができ
た。この段差がＣ８Ｓ時の媒体の摺動痕及び空気浮上面
の傷を防止する効果を有する。
させ、希釈液のみでポリッシングし空気浮上面のコアチ
ップを接合する接合部材の段差を小さくし平坦度を確保
し柔かい布上面でポリッシングすることにより接合部材
の段差を４０ｎｍか６１００ｎｍに確保することができ
た。この段差がＣ８Ｓ時の媒体の摺動痕及び空気浮上面
の傷を防止する効果を有する。
第１図、第２図、第３図は、本発明による主要部の断面
図。 第４図は、本発明による、一実施例の斜視図。 第５図は、本発明による一実施例の主要部の斜視図。 第６図は、従来の加工方法による主要部の斜視図。 第７図は、複合浮動磁気ヘッドの斜視図。 第８図は、接合部材を具備する空気浮上面の一部を示す
正面図。 ｌ・・・ポリッシング定盤 ２・・・ポリッシング液 ３・・・ラップ治具 ４・・・複合浮動磁気ヘッド ５・・・ガイド治具 ６・・・希釈液 ７・・・接合部材 ８・・・空気浮上面 ９・・・コアチップ １０・・・ダイヤモンドホイル １１・・・純水 １２・・・ブラシ １３・・・ドライ高圧エアー １４・・・柔かい布（メリンス状バット）以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第 ２ 図 ？ ｊ ４ 図 茅 Ｓ図 １７ Ｇ 図
図。 第４図は、本発明による、一実施例の斜視図。 第５図は、本発明による一実施例の主要部の斜視図。 第６図は、従来の加工方法による主要部の斜視図。 第７図は、複合浮動磁気ヘッドの斜視図。 第８図は、接合部材を具備する空気浮上面の一部を示す
正面図。 ｌ・・・ポリッシング定盤 ２・・・ポリッシング液 ３・・・ラップ治具 ４・・・複合浮動磁気ヘッド ５・・・ガイド治具 ６・・・希釈液 ７・・・接合部材 ８・・・空気浮上面 ９・・・コアチップ １０・・・ダイヤモンドホイル １１・・・純水 １２・・・ブラシ １３・・・ドライ高圧エアー １４・・・柔かい布（メリンス状バット）以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）第 ２ 図 ？ ｊ ４ 図 茅 Ｓ図 １７ Ｇ 図
Claims (1)
- ２本の空気浮上面を具備する非磁性体からなるスライダ
ー体の前記空気浮上面に切り欠きを設け磁性体からなる
コアチップを接合部材を用いて前記切り欠きの中に固定
してなる複合浮動磁気ヘッドの該空気浮上面の最終ポリ
ッシングにおいて、ポリッシング定盤に遊離砥粒を固着
し希釈液（砥粒の入らない）のみでポリッシングした後
、柔かい布上面に遊離砥粒をふりかけその布上でポリッ
シングすることにより、前記空気浮上面と前記接合部材
とに３０ｎｍから１００ｎｍのバラツキの少ない段差を
形成することを特徴とする、複合浮動磁気ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63096201A JPH01271169A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 複合浮動磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63096201A JPH01271169A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 複合浮動磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01271169A true JPH01271169A (ja) | 1989-10-30 |
Family
ID=14158668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63096201A Pending JPH01271169A (ja) | 1988-04-19 | 1988-04-19 | 複合浮動磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01271169A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996036965A1 (fr) * | 1995-05-17 | 1996-11-21 | Hitachi, Ltd. | Tête magnetique et son procede de production |
-
1988
- 1988-04-19 JP JP63096201A patent/JPH01271169A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996036965A1 (fr) * | 1995-05-17 | 1996-11-21 | Hitachi, Ltd. | Tête magnetique et son procede de production |
| EP0880128A1 (en) * | 1995-05-17 | 1998-11-25 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head and process for producing the head |
| EP0880128A4 (ja) * | 1995-05-17 | 1998-11-25 | ||
| US6278582B1 (en) | 1995-05-17 | 2001-08-21 | Hiatchi, Ltd | Magnetic head and magnetic head manufacturing method |
| US6504680B2 (en) | 1995-05-17 | 2003-01-07 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head and magnetic head manufacturing method |
| US6690544B2 (en) | 1995-05-17 | 2004-02-10 | Hitachi, Ltd. | Magnetic head and magnetic head manufacturing method |
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