JPH01270574A

JPH01270574A - セラミックス接合部品および接合方法

Info

Publication number: JPH01270574A
Application number: JP9729488A
Authority: JP
Inventors: Takeo Oki; 猛雄沖; Yoichi Fukuda; 洋一福田; Eiichi Hisada; 久田　栄一; Misao Iwata; 美佐男岩田; Kenji Oshima; 健司大島; Tetsushi Aoki; 青木　哲史; Motoi Iijima; 基飯島
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 1988-04-20
Filing date: 1988-04-20
Publication date: 1989-10-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、セラミック部材どうし、またはセラミック部
材と金属部材とを接合してなるセラミソクス接合部品、
ならびＧこセラミック部材とセラミックもしく＋ｊ金属
部刊との接合方法に関する。

より詳しくは、本発明は、セラミック部材の濡れ性、拡
散なとの表面特性を改善するために、溶融塩浴を使用し
た浸漬法により予めセラミック材の接合面に炭化物なと
の非酸化物層を形成することを利用した、特に用酸化物
系のセラミック部４Ａに適用できる簡便なセラミックー
セラミックまた６Ｊセラミツクー金属の接合方法、およ
びそれにより得られるセ・ラミノクス接合部品に関する
。本発明のセラミックス接合部品＋Ｊ（ｆれた耐熱性を
示し、セラミックー金属の接合では約１０００°Ｃ、セ
ラミックーセラミックの接合では約１５００℃までの使
用温度に耐える。

（従来の技術）窒化物、炭化物、ポウ化物、カーホンなどの非酸化物セ
ラミックス（例、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、六方
窒化ホウ素、立方窒化ホウ素、炭化ケイ素、ポＩυ化ジ
ルコニウム、カーボンなど）は、）′ルミナ、ソルコニ
ア、・＼リリアなとの酸化吻系セラミックスと比較して
、強度、硬度、熱ｊ（ｊ撃性などの特性か優れているた
め、最近では構造材料としての用途が広がりつつある。

その場合、金属何科と組合わ−け、それぞれの長所を生
かしたいわゆる複合構造体として使用することも多い。

しかし、セラミックス、中でも非酸化物系セラミックス
は、一般に共有結合性が強く、構造的に安定な為、溶融
物に対する親和性（濡れ性）か悪く、また各種物質との
反応性も低いために、ろう接や接着剤による接着といっ
た慣用の接合手段で、セラミ・ノクス同士または他の物
質と接合することは極めて困難であった。１、冒こカー
ボン、六方窒化ホウ素に関しては接合る」全く不可能で
あった。そこで、特に非酸化物系セラミックスの接合に
は、高温で加圧するボッＩ−プレス法や固相拡散接合法
か従来試みられてきたが、加圧装置を備えたり、テ殊な
装置が必要であったり、ｊｉｉ純な形状の部材にしか適
用できないといった欠点があり、製造操イ１も夕頁眉ｔ
になる。

一般にセラミックスとセラミックスまたは金属との接合
法としては、ろう接、接着、圧着を始めとして各種の接
合方法が提案されているか、非酸化物系セラミックスに
も適用可７ｉヒな満足できる方法は未だに存在しないと
い、っても過言ではない。

例えば、セラミックスと金属との代表的な接合法として
、予めセラミックスの表面を各種の金属で金属化（ツク
ライジング）した後、金属とろう接（ろうイζＪりまた
はハンダイ（］け）する方法か知られている。この方法
は、メタライス剤として主にＭｏやＭｏ−Ｍｎを使用す
るため、一般に旧−ｒｎ法と呼ばれている。しかし、こ
の方法では、セラミック表面のろう接合部との濡れ性か
ツタライス処理時の雰囲気に大きく依存するノこめ、雰
囲気ガス（−・般にＪＪ１１湿水素雰囲気）の組成お」
、び圧力の厳密なコントロールが必要であり、また表面
に気孔などの欠陥が生し易く、接合部の気密性や接合強
度が低モするといった欠点がある。さらに、通常はツク
ライズ処理後に、Ｎｉメツキを施してから金属とろう接
するという工程を経るため、工程も複雑であ　っ　人二
　。

大気中での加熱処理により接合を行うことができ、雰囲
気二１ントロールか必要ない銅メタライジング法も開発
されているが、この方法で得られたセラミックス接合体
の最高使用温度は約６００°Ｃにずぎす、セラミックス
および金属の耐熱温度からみて使用温度を少なくとも１
０００°Ｃ程度まで高めることが望ましい。

（発明か解決しようとする課題）本発明のＩ］的は、各種セラミック材料、特に非酸化物
系セラミック材料に対して、従来行われてきたツタライ
ジング処理を利用せずに、簡便な装置および操作で容易
にセラミックーセラミックまたはセラミックー金属の接
合を行うことのできる接合ツノ法を提供することである
。

本発明の別の目的は、セラミックー金属の接合では約１
０００’ｃ、セラミンク同士の接合では約１５００℃ま
での使用温度に耐える優れた耐熱性を示し、接合強度も
良好なセラミックーセラミンクもしくはセラミックー金
属接合複合部品を提供することである。

（課題を解決するだめの手段）本件特許出願人の一人は、先に金属材料表面の硬質化被
覆法として、目的金属を添加した溶融塩化物浴を用いる
浸漬処理法を提案した（特開昭６１−８７８７３号公報
）。この方法によれば、金属材料の表面に目的金属の炭
化物、ホウ化物などの非酸化物被膜が形成され、金属材
料表面が硬質化されるのである。

この熔融塩浴による浸漬法をさらに発展さゼるべく研究
を続りた結果、この浸漬法をセラミック材料の表面に適
用させると、目的に応して目的金属の炭化物、ポウ化物
、窒化物およびケイ化物の１種もしくは２種以上からな
る非酸化物被膜をセラミック材料表面に形成させること
ができ、それにより、接合に使用する溶融金属に対する
セラミックスの表面濡れ性の著しい改善及び浸漬法によ
りセラミック上に形成さ・ｌた上記非酸化物被膜中の目
的金属の拡散により、ろう接、インサート利を介した接
合、あるいは拡散接合などの従来の接合手段によりセラ
ミックス同士またはセラミックスと金属とを容易に接合
することができることを見出し、本発明を完成させた。

ここに、本発明の要旨とするとごろは、セラミック部材
とセラミック部材もしくは金属部材とを接合してなるセ
ラミックス接合部品であって、前記少なくとも一つのセ
ラミック部材の接合面が、ン容融塩浴を使用した浸漬法
により予め形成された金属炭化物、ホウ化物、窒化物お
よびケイ化物から選ばれた少なくとも１種の非酸化物よ
りなる表面層を有していることを特徴とする、上記セラ
ミックス接合部品である。

別の態様において、本発明の要旨は、セラミック部材と
セラミック部材もしくは金属部材とを接合する方法であ
って、接合前に前記少なくとも一つのセラミック部材を
溶融塩浴による浸漬法により処理して、その接合面に金
属炭化物、ホウ化物、窒化物およびケイ化物から選ばれ
た少なくとも１種の非酸化物よりなる表面層を形成させ
、その後、このセラミック部材をろう接法、金属イン゛
リ−−１・材を介した加熱接合法、あるいは固相拡散に
よる直接接合法により、セラミック部材もしくは金属部
材と接合する方法にある。

本明細書において、「浸漬法」とは、目的金属を含有す
る溶融塩浴に被処理セラミック部材を浸漬し、その表面
に金属炭化物、ホウ化物、窒化物およびケイ化物の少な
くとも１種の非酸化物からなる表面層または表面被膜（
本明細書では、これらを総称して表面層という）を形成
する処理を意味する。この浸漬処理により、セラミック
部材の表面における府金属との親和性が窩まるごとによ
り、接合に使用する熔融金属による濡れ性が著しく改善
されると同時に接合時にセラミック部材の表面層からこ
の層に含まれる目的金属の拡散が生じ、接合を可能にす
る。しかも、表面の非酸化物層の組成を変化さセること
により、使用する接合法に適合するように濡れ性及び拡
散を容易に調節することができる。

（作用）以下、本発明についてより具体的に説明する。

本発明において使用するセラミ・ツク部材および金属部
）Ａの種類は特に制限はないが、本発明では浸漬法によ
りセラミック表面に非酸化物系表面層を形成することに
より優れた濡れ性および接合・密着性を得るものである
ので、セラミック部十オとしても非酸化物系セラミック
ス、例えば、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、六方窒化
ホウ素などの窒化物；炭化ケイ素などの炭化物；ホウ化
ジルコニウムなどのホウ化物又はカーボン含有材料を使
用することが好ましい。アルミナなどの酸化物系セラミ
ックスを利用する場合には、適宜方法によりその表面を
非酸化物系のセラミックスで予め被覆しておくことが好
ましい。

金属部材としては、本発明の接合方法では耐熱性に優れ
た接合部が形成されることから、耐熱鋼などの耐熱性に
優れた金属もしくは合金を使用することが特に好ましい
。

本発明によれば、少なくとも一つのセラミック部材を浸
漬法により予め処理して、その接合面に非酸化物表面層
を形成しておく。セラミ・ツク−セラミック接合の場合
には、両方のセラミック部材を浸漬法により処理するこ
とが好ましいが、採用する接合法によっては、一方のセ
ラミック部材のめに浸漬処理を施してもよい。セラミッ
クー金属接合の場合、浸漬処理はセラミック部材のみに
施してもよいが、場合によっては相手材の金属部材も浸
漬処理して、その接合面に非酸化物表面層を形成してお
いてもよい。両方の部材を浸漬法で処理する場ｈ、形成
された非酸化物表面層は、互いに同一組成のものでも、
あるい６Ｊ異なる組成のものでもよい。

本発明において実施する溶融塩浴を使用した浸漬法によ
る処理は、使用するセラミック部十オの表面に所望の金
属炭化物、ホウ化物、窒化物およびケイ化物から選ばれ
た少なくとも１種の非酸化物よりなる表面層を形成する
ごとかできる方法であれば特に制限されないが、代表的
な方法としては前述の特開昭６］−８７８７３−’３公
報と同様に、フッ化物を含有する溶融ハロゲン化物浴に
目的金属を添加した浴による浸漬処理を採用しうる。

フッ化物含有溶融ハロゲンガス浴は、一般に、アルカリ
金属およびアルカリ土類金属のハ１−１ケン化物（塩化
物、臭化物もしくはモＪつ化物、好ましくは塩化物）の
少なくとも１種と、アルカリ金属およびアルカリ土類金
属のフッ化物の少なくとも１種からなる。溶融ハロゲン
化物としてはＮａＣＱ、ＬｉｃＱ、　Ｋ　ＣＱ、　Ｃａ
ＣＱｚ　、ＢａＣＱｚ等の１種もしくは２種以上が使用
でき、フッ化物としてはＮａＦ、ＫＦ、ＬｉＦ、ＣａＦ
ｚ　、ＢａＦ２等の１種もしくは２種板−ＪＺが使用で
きる。アルカリ金属塩化物−アルカリ土類金属塩化物−
アルカリ金属フッ化物からなる浴組成が特に好ましい。

使用しうる浴の代表例は、ＫＣＱ−ＲａＣＱ２を基本組
成とし、これにフ・ッ化物、例えばＮａＦを添加したも
のである。

使用する浴の具体的な組成は、当業者により適宜決定す
ることができるが、Ｋ　ＣＱ　　ＢａＣ（１！ｚ　　Ｎ
ａＦ系の場合、ＫＣＱは５〜９５モル％、ＢａｃＱｚ　
４；Ｉ：　５〜９５モル％、そしてＮａＦは５〜５０モ
ル％の範囲内である。フッ化物が５０モル％を超えると
、浴温度が高くなりすぎるばかりでなく、腐食の問題が
生しる。

このフッ化物含有溶融ハロゲン化物浴には、セラミック
部月の表面に形成される非酸化物の金属供給源となる金
属成分を添加する。この金属成分は、目的とする金属（
以下「目的金属」という）の単体金属もしくは該単体金
属を含む合金（例、フェロアロイ）として、例えば粉末
状で添加することができる。この単体金属もしくは合金
に加えて、あるいはこれに代えて、目的金属の酸化物、
ハロゲン化物などの化合物を使用することもできる。化
合物の種類は、これを添加したフッ化物含有溶融ハロゲ
ン化物浴中での浸漬処理により所望の非酸化物表面層が
支障なく形成される限り、特に制限されない。

この目的金属の種類も特に制限されず、セラミック部材
　（および場合により金属部材）の表面特性、特に濡れ
性及び該金属の拡散がｌ改善された表面層を形成するも
のであればよい。したがって、目的金属は、採用する接
合法およびこの接合時に使用するろう月もしくはイン４
Ｊ”　−１−祠の種類及び接合する材質に応じて、最適
の表面特性（濡れ性など）及び金属拡散が得られるよう
に適当に選択することができる。この目的に−・般に好
ましい金属は遷移金属であり、例えば、Ｃｒ、Ｖ、Ｂ、
Ｗ、Ｍｏ、、Ｔｉ、、Ｚｒ、　Ｉｆｆ、、Ｎｂ、　Ｔａ
、　Ｓｉ等か例示される。

目的金属の単体、合金もしくは化合物の添加量について
も特に制限はなく、組成およびＩ’ｔｃＺｙの均一な非
酸化物表面層が形成されるように適宜選択すればよい。

例えば、目的金属の酸化物を添加する場合、浸漬浴への
添加量は２重量％以上とすることが好ましい。少な過ぎ
ると十分な厚さの表面層を得ることができない。実用上
の下限は１重量％である。一方、多ずぎると非酸化物表
面層の厚さか不均一になったりする。実用」−７重量％
までの添加は許容される。好ましい添加量は５〜７重量
％である。

目的金属のハロゲン化物を添加する場合には、４０重量
％までの量で配合できるが、それを超えると装置等の機
器の腐食が著しくなったり、ハロゲンガスの発生が多く
なって環境上の問題も出てくる。

目的金属は、本発明の浸漬法により炭化物などの非酸化
物としてセラミック表面上に析出させるので、目的金属
を酸化物などの酸化性化合物の形態で使用する場合には
、この化合物を還元するために還元剤を添加する。還元
剤としては、Ｍｎ、　ＡＱ、Ｃａ、　Ｓｉ、　Ｔｉ、　
Ｚｒなどまたはこれらの合金、例えばＦｅ−Ｍｎ、、　
Ｆｅ−八Ｑ、、　Ｆｅ−Ｔｉ、　Ｆｅ−ＺｒＸ　Ｆｅ−
３ｉ、　　Ｃａ　−３ｉ、　ＣａＣａ−５ｉ−など、ク
ロムまたは第Ｖａ族元素よりも酸素との親和力の大きい
ものが用いられる。

これらの還元剤の溶融塩浴におりる配合割合は２〜２０
重量％程度が適当である。２重量％に満たないと還元効
果が不十分であり、２０重重量を超えるとむしろ炭化物
の形成が妨げられるようになるからである。

目的金属あるいはそれを含む合金、例えばフェロアロイ
を還元剤として利用することは、それにより非酸化物形
成反応が一層促進されるため好ましい。

浸漬法における浸漬時間、温度は、生成させようとする
金属非酸化物の種類によって変動するが、一般には７０
０〜］１００’Ｃの温度でほぼ数時間〜２０時間程度処
理すれば十分である。

このような浸漬法による処理により、セラミック部材の
表面に、炭化物、ホウ化物、窒化物およびケイ化物から
選ばれた少なくとも１種の非酸化物、例えば、炭化物、
ポウ化物、窒化物、ケイ化物、炭化物−ポウ化物、炭化
物−ケイ化物、窒化物−ホウ化物、窒化物−ケイ化物、
炭化物−ホウ化物−ケイ化物、窒化物−ホウ化物−ケイ
化物、またはホウ化物−ケイ化物よりなる表面層が形成
される。一般に、この非酸化物表面層は、浴に添加され
た金属成分がセラミック部材中に拡散することにより形
成されると考えられ、生成する非酸化物の金属成分は、
」−記のように溶融塩浴への添加金属成分に由来し、非
金属成分はセラミック部材に由来することになるので、
生成する非酸化物は浴への添加金属種の種類とセラミッ
ク部材の種類により変動する。

例えば、セラミック部材として窒化ケイ素などの窒化物
を使用した場合、溶融塩浴にＴｉを添加すると、セラミ
ック部材表面にはＴｉ−Ｈの表面層が形成される。Ｔｉ
以外の遷移金属を添加した場合にも同様に金属窒化物が
形成される。セラミック部材が窒化ホウ素の場合には、
（Ｔｉ−Ｎ）−（Ｔｉ−Ｂ）が表面層表して生成する。

同様に、セラミック部材が炭化ケイ素などの炭化物の場
合、溶融塩浴にＣｒもしくは■成分を添加すると、Ｃｒ
−８もしくはｖ−Ｃからなる表面層が生成する。炭化ケ
イ素質セラミック部材の場合、条件によっては金属ケイ
化物も生成しうる。

浸漬法によりセラミック部材の接合面に形成された金属
窒化物や炭化物からなる表面層は、−船釣な硬ろうやハ
ンダとの濡れ性がよく、また表面層から目的金属が容易
に拡散するので、この部材をろう接により金属もしくは
セラミックと接合づ−ると、気密性および接合強度に優
れた接合が可能となる。接合は、ろう接収外の他の方法
、例えば、金属インサート材を使用する方法（活性化金
属法等）、あるいは介在層を使用しない固相拡散法によ
る直接接合により行うことも可能である。本発明によれ
ば、浸漬法により非酸化物表面層を形成することで、使
用する接合法に最適となるようにセラミック部材の表面
特性を容易に調整することができるので、各種の周知の
接合法を利用することが可能となる。このように、接合
自体は常法により実施することができるので、接合法の
詳しい説明は省略する。

第１図〜第３図に、本発明による接合方法の例を、接合
直前の状態で示す。これらは例示にすぎず、その他の各
種の態様を当業者であれば想到することができよう。図
中、１はセラミック部材、２は浸漬法で形成された非酸
化物表面層、３は金属部材、４はろう材、５はインサー
ト材をそれぞれ示す。

第１図は、ろう接の例であって、セラミック部材１の接
合面に浸漬法により非酸化物表面層２を形成し、硬ろう
やハンダなどのろう材４を使用して金属部材３と加熱・
接合する。相手材は、浸漬法で処理したセラミック部材
または金属部材とすることもできる。

第２図は、インサート材を使用した接合例であリ、図示
例ではそれぞれ浸漬法により形成した非酸化物表面層２
を有ｊるセラミック部材と金属部］Ａを、インジー１〜
材５　（例、Ｔｉ、　Ｚｒ、　Ｔｉ１１２．　Ｚｒ１ｈ
等）を介して加熱下に接合する。金属部＋Ａをセラミッ
ク部＋２に代えるか、あるいは金属部材の浸漬処理を省
略する。二とも可能である。浸漬法により形成された表
面層は、このようなインリ゛−Ｌ祠の溶融物に対しても
改善された濡れ性を示すので、インサー１−４４により
ろう接と同様に容易に接合が行われる。

第３図は、固相拡１１り法による直接接合の例であり、
浸漬法により形成した非酸化物表面層２をイｊするセラ
ミック部＋Ａｊどうしを加圧、常圧もしくは減圧下に加
熱して、非酸化物層の相互拡１１りによる結合力で接合
を行う。一方のセラミック部］Ａを金属部材に代えるこ
ともてきる。浸漬法により形成された表面層（１，ｌ、
セラミック基体より活性か高く、金属が容易に拡散する
ので、中間層を介在させなくても固相拡散により接合強
度および気密性の高い接合部を形成することができる。

次に、実ｂｉｌＥ例により本発明をさらに説明する。

実施例中、％（Ｊ特に指定のない限り、重量％である。

（実施例）丈−施−例１− 温度９５０°Ｃのフッ化物含有溶融塩化物浴（浴＆（１
，１成：　ＫＣＱ　４２．２　ｍｏｌχ−１ｉａｃ（！
ｚ　２０．２ｍｏ１％−ＮａＦ３７．６ｍｏｌχ）１０
０重量部に金属供給源としてＴｉＯ□５重量部および還
元剤として合金粉末（フユ、１：ｌチタン）２８重量部
を添加し、−１−分に攪拌した。この）容部塩浴ζこ、
窒化ケイ素焼結体（３０Ｘ　３０　Ｘ　１０＝ｕ）を挿
入し、］時間浸漬処理して、お１ｈ結体の表面にｊゾさ
２．２ノＪ１ｊ１のＴｉ　Ｎの表面層を生成さ−ｌだ。

ごのＴ　ｉ　−Ｎ層に、ろう祠としてＣｕを使用して、
１ｌｌｉ−Ｉ熱釦１の高炭素ステンＩ／ス鋼（３０Ｘ　
３０　Ｘ　］、ＯＯｍｍ）をろ・う接した。加執温度は
１０００℃であった。

ろう接により得られた窒化ケイ素−鋼の複合接合部品を
構造材料として使用したところ、約］０００°Ｃまての
使用に１ｌｌｉ１えるイΔ料であることが認められた。

実用ＪＬ圀六方窒化ホウ素焼結体（３０ｘ　３０　Ｘ　１０ｍｍ）
を実施例１と同様に浸漬法で処理しく８５０°ｃｘｌ峙
間）、厚さ１．８ｐ＋ｎのＴｉ−Ｎからなる表面層を形
成した。相手＋２として高炭素ステンＩ／ス面１熱鋼を
使用し、ろ・う材としてハンタ合金（Ｐｂ−３ｎ合金）
を用いて約４００°Ｃでろう接を行ったとごろ、良好な
接合強度を有するセラミックー金属複合接合部品が得ら
れた。この際のＴｉ−Ｎ層の溶融ハンダ合金による濡れ
の端角は１２０°であった。

実施−例−３− 本実施例は、固相接合法によるセラミックーセラミンク
の接合例を示す。

セラミック部材とし２てカーボン（５０Ｘ　５０　ｘ　
１．Ｏ＋＋ｍ）矛を２枚用意し、それぞれを実施例１と
同様に浸漬法により処理して（８００°ｃｘ１時間）、
表面に厚さ１．２声のＴｉＣ層を形成した。このＴｉＣ
層同士をはり合わせ、１．ＯＸｌ０−’Ｔｏｒｒの真空
中、２　ｋｇｆ／ｍｍ２の圧縮荷重下で］０００°Ｃに
１時間加熱して、ＴｉＣの相互拡散によりセラミックー
セラミンクの複合部品を得た。

■桝−４− 本実施例は、活性化金属法によるセラミックーセラミッ
クの接合例を示す。

実施例１と同様の浸漬処理（９００°ＣＸ２時間）によ
り１．８μ和厚さのＴｉＣ表面層を有する炭化Ｊｙイ素
素焼鉢体３０　Ｘ　３０　Ｘ　１ＯＮｍ）を２枚用意し
、この焼結体の被膜面どうしを、間にインザート材とし
て厚さ１００　ノＪｍのＴｉ箔を活性金属として介在さ
せて重ね合わせ、不活性ガス雰囲気中で９００°Ｃで１
時間加熱したところ、表面層とインサー１−　＋Ａとの
拡散によりセラミックどうしの接合が達成された。この
ようにして得られた接合体の引張強度は１５〜２５ｋｇ
ｆ／ｍｍ２であった・（発明の効果）以」二に、本発明について詳しく説明したが、当業者に
は明らかなよ・うに、本発明の範囲内で各種の変更をな
すことができる。

本発明により、溶融塩浴にセラミック部材を浸漬処理す
るという簡便な操作で、セラミック部祠の表面’１．’
ｌ性が改善され、例えば接合に使用するろう祠もしくは
インリ′−１−祠に対して良好な濡れ性を示すように容
易Ｑこ調整することができる。しかも、この浸漬法は大
気中で実施でき、また表面特性は主にセラミックｇＢ刊
の材質および使用する熔融塩浴組成（特に、添加金属元
素）に依存して変動するので、従来のツタライジング法
と違って、雰囲気の厳密な制御は不要であり、単純な操
作で所望の濡れ性及び拡散を得るように表面特性を調整
できる。こうして浸漬法により処理したセラミック部材
は、その後に常法に従って、ろう接、活性化金属法、固
相拡散法などで相手材（セラミックもしく副金属部材）
と容易に接合することができ、それにより気密性が高く
、接合強度の良好な接合部が形成される。また、本発明
の方法により形成された接合部は耐熱性も良好で、セラ
ミックー金属の接合で約１０００°Ｃ、セラミックーセ
ラミックの接合では約１５００°Ｃ程度までの使用に耐
える。

したがって、本発明の接合方法は、例えば、自動車用セ
ラミック製ターボヂャージャーの羽根車と金属軸との接
合などの耐熱性が要求される接合用途にも十分に応用で
きる。その他の応用例として、ハンダへの濡れ性が著し
く改善されることからセラミックス電子部品（基板など
）の製造などの耐熱性があまり必要でない用途にも適用
できる。

本発明の接合方法は、接合自体は各種の従来法を利用し
て実施でき、また浸漬法による処理も各種のセラミック
部材に対して実施できるので、応用範囲は非常に広く、
上記以外にも多様な用途に対して応用することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は、本発明によるセラミ・ノクス接合部
品の各種態様を接合直前の状態で示す説明図である。１；セラミック部材　　２；非酸化物表面層３：金属部
材　　　　　４：ろう十Ａ５；インザート材出願人　沖　　猛　３１ｔ（外１名）代理人　弁理士　広　瀬　章　− 、ＣＪ　　　　ＣＱ　　　　寸一

Claims

【特許請求の範囲】

（１）セラミック部材とセラミック部材もしくは金属部
材とを接合してなるセラミックス接合部品であって、前
記少なくとも一つのセラミック部材の接合面が、溶融塩
浴を使用した浸漬法により予め形成された金属炭化物、
ホウ化物、窒化物およびケイ化物から選ばれた少なくと
も１種の非酸化物よりなる表面層を有していることを特
徴とする、上記セラミックス接合部品。
（２）セラミック部材とセラミック部材もしくは金属部
材とを接合する方法であって、接合前に前記少なくとも
一つのセラミック部材を溶融塩浴による浸漬法により処
理して、その接合面に金属炭化物、ホウ化物、窒化物お
よびケイ化物から選ばれた少なくとも１種の非酸化物よ
りなる表面層を形成させ、その後、このセラミック部材
をろう接法、金属インサート材を介した加熱接合法、あ
るいは固相拡散による直接接合法により、セラミック部
材もしくは金属部材と接合する方法。
（３）前記溶融塩浴がフッ化物含有溶融ハロゲン化物浴
である請求項（２）記載の方法。
（４）前記フッ化物含有溶融ハロゲン化物浴が、目的金
属の酸化物および単体金属もしくは合金を添加して調製
したことを特徴とする請求項（３）記載の方法。
（５）前記フッ化物含有溶融ハロゲン化物浴のハロゲン
化物が、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のハロゲ
ン化物の少なくとも一種からなる請求項（３）または（
４）記載の方法。
（６）前記フッ化物含有溶融ハロゲン化物浴のフッ化物
が、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のフッ化物の
少なくとも一種からなる請求項（３）ないし（５）のい
ずれかに記載の方法。