JPH01258489A - プリント板処理装置 - Google Patents
プリント板処理装置Info
- Publication number
- JPH01258489A JPH01258489A JP8505388A JP8505388A JPH01258489A JP H01258489 A JPH01258489 A JP H01258489A JP 8505388 A JP8505388 A JP 8505388A JP 8505388 A JP8505388 A JP 8505388A JP H01258489 A JPH01258489 A JP H01258489A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed board
- etchant
- etching
- etching solution
- air
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 abstract description 2
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- 235000005733 Raphanus sativus var niger Nutrition 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
- H05K3/068—Apparatus for etching printed circuits
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔並粟上の利用分野〕
本発明はプリント板処理装置に係り、とくに回路形成工
程におけるエツチング処理に好適なプリント板処理装置
に関する。
程におけるエツチング処理に好適なプリント板処理装置
に関する。
従来のプリント板のエツチング処理装置においては、た
とえば第３図に示すように、スプレー式の水平搬送タイ
プすなわち、矢印６の方向に水平移動するプリント板１
の上面に間隔をおいて配置されたスプレー２からエツチ
ング液ＩＪｔ射する方式が使用されている。
とえば第３図に示すように、スプレー式の水平搬送タイ
プすなわち、矢印６の方向に水平移動するプリント板１
の上面に間隔をおいて配置されたスプレー２からエツチ
ング液ＩＪｔ射する方式が使用されている。
〔発明が解決しようとするｙｌ、ｆｆｌ〕上記従来技術
は、プリント板の上面中央部における液はけが恕いので
、第６図に示すようにプリント板１の上面中央部４にエ
ツチング液がたまりやすく、エツチング速就が遅くなる
傾向にあった。
は、プリント板の上面中央部における液はけが恕いので
、第６図に示すようにプリント板１の上面中央部４にエ
ツチング液がたまりやすく、エツチング速就が遅くなる
傾向にあった。
そのため、プリント板１の上面中央部４はその周辺部に
比較してパターン寸法が太る順向にあって今後さらに細
線化されるパターン形式においては、短絡９寸法のほら
つきの問題がめった。
比較してパターン寸法が太る順向にあって今後さらに細
線化されるパターン形式においては、短絡９寸法のほら
つきの問題がめった。
またプリント板の表面処理方法としては、従来たとえば
特開昭６１−７８１２３号公報に記載されたものがある
が、これはウェハの表面に供給する表面処理液の温度と
ウェハの表面に供給する洗浄液の温度を富にほぼ同一に
保つことにより洗浄液の温度ムラをなくすものであって
、処理中の液だまり防止に関するものではない。
特開昭６１−７８１２３号公報に記載されたものがある
が、これはウェハの表面に供給する表面処理液の温度と
ウェハの表面に供給する洗浄液の温度を富にほぼ同一に
保つことにより洗浄液の温度ムラをなくすものであって
、処理中の液だまり防止に関するものではない。
本発明の目的は、上記従来技術の問題点を解決し、プリ
ント板上面のエツチング処理の均一化を可能とするプリ
ント板処理装置を提供することにある。
ント板上面のエツチング処理の均一化を可能とするプリ
ント板処理装置を提供することにある。
上記目的は、プリント板に回路形成を行うプリント板処
理装置において、水平方向ＫＮ動するプリント板に向っ
てエツチング液を噴出する複数個のエツチング液供給手
段と、これら複数個のエツチング液供給手段間に配置さ
れ、プリント板に回ってエアを供給してエツチング液の
液はけ合する複数個のエア供給手段とを備えることによ
って達成される。
理装置において、水平方向ＫＮ動するプリント板に向っ
てエツチング液を噴出する複数個のエツチング液供給手
段と、これら複数個のエツチング液供給手段間に配置さ
れ、プリント板に回ってエアを供給してエツチング液の
液はけ合する複数個のエア供給手段とを備えることによ
って達成される。
本発明は、エツチング中のプリント板上面のエツチング
液をエア供給手段から噴出されたエアによって液はけを
するので、基板全面が同一条件でエツチングされてばら
つきを減少することができる。
液をエア供給手段から噴出されたエアによって液はけを
するので、基板全面が同一条件でエツチングされてばら
つきを減少することができる。
以下、本発明の一実施例であるプリント板処理装ｒＩＬ
を示す第１図および第２図について説明する。
を示す第１図および第２図について説明する。
第１図に示すように、矢即６の方向に水平移動するプリ
ント板１の上面に同ってエツチング液を噴出する複数個
のエツチング液用ノズル２を間隔全おいて設置し、これ
ら複数個のエツチング液用ノズル２の間にプリント板１
の上面に同って近接して配置された該数１固のエア用ブ
ロー３とを設置している。
ント板１の上面に同ってエツチング液を噴出する複数個
のエツチング液用ノズル２を間隔全おいて設置し、これ
ら複数個のエツチング液用ノズル２の間にプリント板１
の上面に同って近接して配置された該数１固のエア用ブ
ロー３とを設置している。
つぎにその動作についてＩ［５！明する。
第１図に示すように、エツチング液用ノズル２より水平
移動するプリント板１の上面に噴出されたエツチング液
５は、プリント板１の表面の銅箔（図示せず）を溶かし
て第２図に示すように、プリント板１の上面にエツチン
グａＷ！す７となってｍ留する。これをエア用ブロー３
より噴出され１こエアによりて液かけされ、つき°のエ
ツチング液用ノズル２より噴出されたエツチング液によ
って再びエツチングされる。
移動するプリント板１の上面に噴出されたエツチング液
５は、プリント板１の表面の銅箔（図示せず）を溶かし
て第２図に示すように、プリント板１の上面にエツチン
グａＷ！す７となってｍ留する。これをエア用ブロー３
より噴出され１こエアによりて液かけされ、つき°のエ
ツチング液用ノズル２より噴出されたエツチング液によ
って再びエツチングされる。
したがってエツチング液留り７によるエツチングむらを
減少することができる。
減少することができる。
本発明によればエツチング液留りによるエツチングむら
を減少してパターン寸法のばらつきを減少することがで
きるので、短絡を減少して回路形成品質を向上すること
ができる。
を減少してパターン寸法のばらつきを減少することがで
きるので、短絡を減少して回路形成品質を向上すること
ができる。
第１図は本発明の一笑り例であるプリント板処理装置Ｉ
Ｌを示す糾祝図、第２図は動作を説明するための説明図
、第３図は従来のプリント板処理装置を示す糾伏図であ
る。 １・・・プリント板、２・・・エツチング液用ノズル、
６・・・エア用ブロー、４・・・上面中央部、５・・・
エツチング液、６・・・プリント板の移動方向、７・・
・エツチング液留り。 代坤△ｆＰ程士小用＃男ｒ−。 第１０ 第２閃 禎ｊ閃
Ｌを示す糾祝図、第２図は動作を説明するための説明図
、第３図は従来のプリント板処理装置を示す糾伏図であ
る。 １・・・プリント板、２・・・エツチング液用ノズル、
６・・・エア用ブロー、４・・・上面中央部、５・・・
エツチング液、６・・・プリント板の移動方向、７・・
・エツチング液留り。 代坤△ｆＰ程士小用＃男ｒ−。 第１０ 第２閃 禎ｊ閃
Claims (1)
- １．プリント板に回路形成を行うプリント板処理装置に
おいて、水平方向に移動するプリント板に向って上方か
らエッチング液を供給する複数個のエッチング液供給手
段と、これら複数個のエッチング液供給手段間に配置さ
れ、プリント板に向ってエアを供給してエッチング液の
液はけをする複数個のエア供給手段とを備えていること
を特徴とするプリント板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8505388A JPH01258489A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | プリント板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8505388A JPH01258489A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | プリント板処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258489A true JPH01258489A (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=13847912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8505388A Pending JPH01258489A (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | プリント板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01258489A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109310010A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-02-05 | 广州博昊信息科技有限公司 | 一种具有自动清理防误碰功能的智能蚀刻机 |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP8505388A patent/JPH01258489A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109310010A (zh) * | 2018-10-29 | 2019-02-05 | 广州博昊信息科技有限公司 | 一种具有自动清理防误碰功能的智能蚀刻机 |
| CN109310010B (zh) * | 2018-10-29 | 2019-12-20 | 南京溧航仿生产业研究院有限公司 | 一种具有自动清理及防误碰功能的智能蚀刻机 |
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