JPH01255609A - 金属微粒体の製造装置 - Google Patents
金属微粒体の製造装置Info
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- JPH01255609A JPH01255609A JP63082717A JP8271788A JPH01255609A JP H01255609 A JPH01255609 A JP H01255609A JP 63082717 A JP63082717 A JP 63082717A JP 8271788 A JP8271788 A JP 8271788A JP H01255609 A JPH01255609 A JP H01255609A
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Landscapes
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、溶融させた金属を微小径のノズル孔から糸
引状に押圧・流下せしめ、その糸引状部の先端から滴下
する微小な１滴」を玉状に調えつつ冷却・凝固させるこ
とにより金属微粒体、例えば９０μｍ以下の粒径を持ち
「はんだペースト」用として最適な「ハンダ」微粒体を
製造する金属微粒体の製造装置に関する。
引状に押圧・流下せしめ、その糸引状部の先端から滴下
する微小な１滴」を玉状に調えつつ冷却・凝固させるこ
とにより金属微粒体、例えば９０μｍ以下の粒径を持ち
「はんだペースト」用として最適な「ハンダ」微粒体を
製造する金属微粒体の製造装置に関する。
〈従来の技術〉
従来、金属微粒体の製造方法としては、アトマイズ法、
ノズル法などが一般に知られているが、例を「はんだペ
ースト」用の「はんだ」微粒体にとってみると、いずれ
も未だ不十分なものであった。尚、ノズル法の従来技術
としては、特公昭５９−４４３６１号公報に示されるも
のがある。
ノズル法などが一般に知られているが、例を「はんだペ
ースト」用の「はんだ」微粒体にとってみると、いずれ
も未だ不十分なものであった。尚、ノズル法の従来技術
としては、特公昭５９−４４３６１号公報に示されるも
のがある。
〈発明が解決しようとする課題〉
すなわち、通常のノズル法は、一般に「はんだペースト
」用として適する例えば９０μｍ以下の粒径を持つもの
を得られ難いし、上記特公昭５９−４４３６１号公報に
示されるノズル法のものには、以下に述べるアトマイズ
法におけると同様の問題がある。
」用として適する例えば９０μｍ以下の粒径を持つもの
を得られ難いし、上記特公昭５９−４４３６１号公報に
示されるノズル法のものには、以下に述べるアトマイズ
法におけると同様の問題がある。
アトマイズ法は、その原理からして、どうしても得られ
る微粒体の粒度分布（ロジン・ランマー分布；Ｒ−Ｒ分
布）が広がり過ぎ、「ファイン」といわれる極微小粒径
のもの発生比率が大きくなってしまう。この「ファイン
」は、たとえ如何に篩にかけたとしても標準的微粒体に
物理的に付着した分については篩い分けることが不可能
であるため、製品としての「はんだパウダー」にこの「
ファイン」が混入してしまい、その結果、この「はんだ
パウダー」を用いた「はんだペースト」を例えばプリン
ト配線基板に塗布した場合、その比表面積が大きいため
酸化され易い「ファイン」の部分が「ソルダボール」と
なって製品不良となってしまうおそれがあるということ
である。尚、第１０図は「ファイン」を含む微粒体の写
真であるが、標準的微粒体に物理的に付着した極微小粒
径の微粒体が「ファイン」である。また、第１１図には
、「ソルダボール」の−例が写真により示されている。
る微粒体の粒度分布（ロジン・ランマー分布；Ｒ−Ｒ分
布）が広がり過ぎ、「ファイン」といわれる極微小粒径
のもの発生比率が大きくなってしまう。この「ファイン
」は、たとえ如何に篩にかけたとしても標準的微粒体に
物理的に付着した分については篩い分けることが不可能
であるため、製品としての「はんだパウダー」にこの「
ファイン」が混入してしまい、その結果、この「はんだ
パウダー」を用いた「はんだペースト」を例えばプリン
ト配線基板に塗布した場合、その比表面積が大きいため
酸化され易い「ファイン」の部分が「ソルダボール」と
なって製品不良となってしまうおそれがあるということ
である。尚、第１０図は「ファイン」を含む微粒体の写
真であるが、標準的微粒体に物理的に付着した極微小粒
径の微粒体が「ファイン」である。また、第１１図には
、「ソルダボール」の−例が写真により示されている。
このような従来の事情に鑑み、本発明者は、例えば９０
μｍ以下の粒径を持つ微粒体を粒径分布の広がりを少な
くして、つまり「ファイン」の発生がないようにして製
造できる金属微粒体の製造装置を提供せんとするもので
ある。
μｍ以下の粒径を持つ微粒体を粒径分布の広がりを少な
くして、つまり「ファイン」の発生がないようにして製
造できる金属微粒体の製造装置を提供せんとするもので
ある。
〈課題を解決するための手段〉
具体的には、溶融金属を、プレート体に複数の微小なノ
ズル孔が穿設されてなるノズルプレートのノズル孔より
不活性ガス雰囲気中で加圧しっつ糸引状に流下せしめ且
つ、その糸引状部の先端から微小な滴状体として滴下せ
しめ、そしてこの微小な滴状体を不活性ガスによる大気
圧下において落下状態で冷却しつつ滴状より玉状に全体
形状を調えて凝固せしめる金属微粒体の製造装置であり
、そのノズルプレートの各ノズル孔が、ノズル孔の径に
より与えられる一定の値より大きく且つプレート体の周
囲より中心点に向かう線分上に並ぶ場合については製造
さるべき金属微粒体の粒径により与えられる一定の値よ
り大きな相互の間隔を持つ配列状態とされているか、ま
たは、ノズル孔の径により与えられる一定の値より大き
な相互の間隔を以て一直線上に配列されている金属微粒
体の製造装置を提供するものである。
ズル孔が穿設されてなるノズルプレートのノズル孔より
不活性ガス雰囲気中で加圧しっつ糸引状に流下せしめ且
つ、その糸引状部の先端から微小な滴状体として滴下せ
しめ、そしてこの微小な滴状体を不活性ガスによる大気
圧下において落下状態で冷却しつつ滴状より玉状に全体
形状を調えて凝固せしめる金属微粒体の製造装置であり
、そのノズルプレートの各ノズル孔が、ノズル孔の径に
より与えられる一定の値より大きく且つプレート体の周
囲より中心点に向かう線分上に並ぶ場合については製造
さるべき金属微粒体の粒径により与えられる一定の値よ
り大きな相互の間隔を持つ配列状態とされているか、ま
たは、ノズル孔の径により与えられる一定の値より大き
な相互の間隔を以て一直線上に配列されている金属微粒
体の製造装置を提供するものである。
尚、以下の説明においては、各発明を特に区別しないも
のとする。
のとする。
〈作 用〉
すなわち、溶融金属を微小なノズル孔より糸引状に押圧
・流下せしめその糸引状部の先端から微小な滴状体とし
て滴下せしめ、この微小な滴状体を落下状態で冷却しつ
つ滴状より玉状に全体形状を調えて凝固せしめるものと
しているので、得られる金属微粒体の粒径について、特
に「ファイン」のような一定以下の粒径のものの発生を
避は得、また、ノズル孔の配列状態を上記のようなもの
とした結果、どのような現象によるものであるかは判然
としないが、このような配列のもの以外ではどうしても
避は難い、滴状体の滴下途中における相互凝集によるラ
ンダムな成長を防止でき、その結果、必要な粒径に関し
従来のものに比べ非常に狭い粒度分布を示す金属微粒体
からなるパウダーが得られた。
・流下せしめその糸引状部の先端から微小な滴状体とし
て滴下せしめ、この微小な滴状体を落下状態で冷却しつ
つ滴状より玉状に全体形状を調えて凝固せしめるものと
しているので、得られる金属微粒体の粒径について、特
に「ファイン」のような一定以下の粒径のものの発生を
避は得、また、ノズル孔の配列状態を上記のようなもの
とした結果、どのような現象によるものであるかは判然
としないが、このような配列のもの以外ではどうしても
避は難い、滴状体の滴下途中における相互凝集によるラ
ンダムな成長を防止でき、その結果、必要な粒径に関し
従来のものに比べ非常に狭い粒度分布を示す金属微粒体
からなるパウダーが得られた。
く実 施 例〉
以下、この発明の実施例を第１図〜第９図を参照して説
明する。
明する。
この実施例は、「はんだ」微粒体の製造用である「はん
だ」微粒体製造装置１に関するものである。
だ」微粒体製造装置１に関するものである。
「はんだ」微粒体製造装置１は、第１図で示すように主
に圧力容器２と、ケース体３と、パウダー取出し器４と
が順次上より下へ向けて連接されてなり、この内の圧力
容器２の底部にノズルプレート５が装着されている。
に圧力容器２と、ケース体３と、パウダー取出し器４と
が順次上より下へ向けて連接されてなり、この内の圧力
容器２の底部にノズルプレート５が装着されている。
ノズルプレート５は、プレート体１０に複数の微小なノ
ズル孔１１が穿設されてなる。これらのノズル孔１１の
配列状態は、その相互の間隔Ｗがノズル孔１１の径Ｒに
より与えられる一定の値、具体的には略ＲＸ１００、以
上とされ且つ、プレート体５の周囲より中心点に向かう
線分り上に並ぶ場合については製造さるべき金属微粒体
の粒径との相関で与えられる一定の値より大きい間隔と
なるようにされている。すなわち、一般的には、ノズル
孔１１の径Ｒにより与えられる一定の値以上の間隔であ
ることのみが必要条件とされるが、線分り上に並ぶ場合
については金属微粒体の粒径との相関で与えられる一定
の値より小さい間隔では互に並ぶことのないような配列
状態とされている。このような配列状態の具体的例とし
ては、第３図に示される如き円形配列乃至第５図に示さ
れる如き二重円形配列が、後述する滴状体Ｃの滴下途中
における相互凝集によるランダムな成長の防止という点
に加えて各ノズル孔１１から押し出される各溶融はんだ
Ａ乃至各溶融はんだＢの温度がより均一になるというこ
とから、もっとも好ましいものであるが、第６図に示さ
れる如き四角状配列乃至この四角状配列から対抗する二
側を除いた残りの二側による線状配列を採用することも
可能である。もっとも、第７図に示される一直線上の配
列は、前記ノズル孔１１の径Ｒにより与えられる条件の
みを充足させれば足り前記金属微粒体の粒径との相関で
与えられる条件は不要なものでこの配列状態を採用する
ことも可能である。また、各ノズル孔１１は、いずれも
第４図に示される如く、その上端部にテーパ状の誘導部
１２を有している。このようにテーパ状の誘導部１２を
設けることは、後述する溶融はんだＡの流下をよりスム
ースにするという利点がある。ノズル孔１１の径Ｒは、
製造さるべき「はんだ」微粒体Ｐａの粒径の約１／３と
するのが最適であるという知見がこの実験を通して得ら
れている。尚、この実施例においてはノズル孔１１の径
を１８μｍとし、平均約５５〜６５μｍの粒径を持つ「
はんだ」微粒体Ｐａが得られるようにしている。
ズル孔１１が穿設されてなる。これらのノズル孔１１の
配列状態は、その相互の間隔Ｗがノズル孔１１の径Ｒに
より与えられる一定の値、具体的には略ＲＸ１００、以
上とされ且つ、プレート体５の周囲より中心点に向かう
線分り上に並ぶ場合については製造さるべき金属微粒体
の粒径との相関で与えられる一定の値より大きい間隔と
なるようにされている。すなわち、一般的には、ノズル
孔１１の径Ｒにより与えられる一定の値以上の間隔であ
ることのみが必要条件とされるが、線分り上に並ぶ場合
については金属微粒体の粒径との相関で与えられる一定
の値より小さい間隔では互に並ぶことのないような配列
状態とされている。このような配列状態の具体的例とし
ては、第３図に示される如き円形配列乃至第５図に示さ
れる如き二重円形配列が、後述する滴状体Ｃの滴下途中
における相互凝集によるランダムな成長の防止という点
に加えて各ノズル孔１１から押し出される各溶融はんだ
Ａ乃至各溶融はんだＢの温度がより均一になるというこ
とから、もっとも好ましいものであるが、第６図に示さ
れる如き四角状配列乃至この四角状配列から対抗する二
側を除いた残りの二側による線状配列を採用することも
可能である。もっとも、第７図に示される一直線上の配
列は、前記ノズル孔１１の径Ｒにより与えられる条件の
みを充足させれば足り前記金属微粒体の粒径との相関で
与えられる条件は不要なものでこの配列状態を採用する
ことも可能である。また、各ノズル孔１１は、いずれも
第４図に示される如く、その上端部にテーパ状の誘導部
１２を有している。このようにテーパ状の誘導部１２を
設けることは、後述する溶融はんだＡの流下をよりスム
ースにするという利点がある。ノズル孔１１の径Ｒは、
製造さるべき「はんだ」微粒体Ｐａの粒径の約１／３と
するのが最適であるという知見がこの実験を通して得ら
れている。尚、この実施例においてはノズル孔１１の径
を１８μｍとし、平均約５５〜６５μｍの粒径を持つ「
はんだ」微粒体Ｐａが得られるようにしている。
圧力容器２は溶融はんだＡを収めて２５０°Ｃ位で加熱
保温するもので、その中央に熱電対１３が、また周囲に
はバンドヒータ１４が配され且つ、上述のようにその底
部にはノズルプレート５が装着されている。そして、こ
の圧力容器２は、密閉状とされており、しかも不活性ガ
スの導入手段１５が接続され、圧力容器２内を不活性ガ
スの雰囲気に保ちつつ、溶融はんだＡに所定の押圧力Ｐ
を付与するようにされている。尚、１６はフィルターで
、溶融はんだＡ中に混入している固形状の酸化物を除去
するために、ノズルプレート５の上に設けられている。
保温するもので、その中央に熱電対１３が、また周囲に
はバンドヒータ１４が配され且つ、上述のようにその底
部にはノズルプレート５が装着されている。そして、こ
の圧力容器２は、密閉状とされており、しかも不活性ガ
スの導入手段１５が接続され、圧力容器２内を不活性ガ
スの雰囲気に保ちつつ、溶融はんだＡに所定の押圧力Ｐ
を付与するようにされている。尚、１６はフィルターで
、溶融はんだＡ中に混入している固形状の酸化物を除去
するために、ノズルプレート５の上に設けられている。
このフィルター１６の材質としては、ガラス繊維濾紙、
シリカ繊維濾紙、石英繊維濾紙などが好適で、共に５０
０°Ｃ以上の耐熱性を備えている。
シリカ繊維濾紙、石英繊維濾紙などが好適で、共に５０
０°Ｃ以上の耐熱性を備えている。
ケース体３は、ノズルプレート５の出口側にあって、ノ
ズルプレート５のノズル孔１１を介して所定の押圧力Ｐ
で糸引状に流下せしめられた溶融はんだＡ、具体的には
その糸引状部Ｂの先端から滴下する滴状体Ｃを不活性ガ
スによる大気圧下において落下状態で冷却しつつ滴状よ
り玉状に全体形状を調えて凝固せしめ、微粒体Ｐａとす
るための処理空間１７を区画形成するもので、全体が筒
状に形成されている。尚、ここで、溶融はんだＡが各ノ
ズル孔１１から一斉に糸引状に流下する様はいわゆるシ
ャワーの様によく似た状態を呈するものである。そして
、ケース体３の途中には、二重壁構造で冷却水の導入路
１８と導出路１９を接続した水冷ジャケット２０が冷却
手段として設けである。ケース体３の高さは、処理空間
１７のサイズに影古するもので、糸引状の溶融はんだＢ
の先端から滴下する滴状体Ｃが落下しつつ凝固して意図
する「はんだ」微粒体Ｐａとなるのに最適な高さが選ば
れている。
ズルプレート５のノズル孔１１を介して所定の押圧力Ｐ
で糸引状に流下せしめられた溶融はんだＡ、具体的には
その糸引状部Ｂの先端から滴下する滴状体Ｃを不活性ガ
スによる大気圧下において落下状態で冷却しつつ滴状よ
り玉状に全体形状を調えて凝固せしめ、微粒体Ｐａとす
るための処理空間１７を区画形成するもので、全体が筒
状に形成されている。尚、ここで、溶融はんだＡが各ノ
ズル孔１１から一斉に糸引状に流下する様はいわゆるシ
ャワーの様によく似た状態を呈するものである。そして
、ケース体３の途中には、二重壁構造で冷却水の導入路
１８と導出路１９を接続した水冷ジャケット２０が冷却
手段として設けである。ケース体３の高さは、処理空間
１７のサイズに影古するもので、糸引状の溶融はんだＢ
の先端から滴下する滴状体Ｃが落下しつつ凝固して意図
する「はんだ」微粒体Ｐａとなるのに最適な高さが選ば
れている。
パウダー取出し器４は、微粒体Ｐａを自動的に数種の粒
径範囲に分粒しながらパウダーとして取り出すためのも
ので、ケース体３の底部に臨まされている。
径範囲に分粒しながらパウダーとして取り出すためのも
ので、ケース体３の底部に臨まされている。
以上のように、この実施例では、溶融はんだＡを１８μ
ｍという微小なノズル孔１１より糸引状に押圧・流下せ
しめその糸引状部Ｂの先端から微小な滴状体Ｃとして滴
下せしめ、この微小な滴状体Ｃを落下状態で冷却しつつ
滴状より玉状に全体形状を調えて凝固せしめるものとし
ているので、得られる「はんだ」微粒体Ｐａの粒径につ
いて、特に「ファイン」のような一定以下の粒径のもの
の派生を避は得て、また同時に、ノズル孔１１の配列状
態を上記のようなものとした結果、どのような現象によ
るものであるかは判然としないが、このような配列のも
の以外ではどうしても避は難い、滴状体Ｃの滴下途中に
おける相互凝集によるランダムな成長を防止できるよう
になり、その結果、必要な粒径に関し、従来のものがｎ
＝１程度のＲ−Ｒ分布を示すのに対し、ｎ＝６〜８とい
う非常に狭い粒度分布を示す「はんだ」微粒体Ｐａのパ
ウダーが得られた。これらの状態を顕微鏡写真で示す。
ｍという微小なノズル孔１１より糸引状に押圧・流下せ
しめその糸引状部Ｂの先端から微小な滴状体Ｃとして滴
下せしめ、この微小な滴状体Ｃを落下状態で冷却しつつ
滴状より玉状に全体形状を調えて凝固せしめるものとし
ているので、得られる「はんだ」微粒体Ｐａの粒径につ
いて、特に「ファイン」のような一定以下の粒径のもの
の派生を避は得て、また同時に、ノズル孔１１の配列状
態を上記のようなものとした結果、どのような現象によ
るものであるかは判然としないが、このような配列のも
の以外ではどうしても避は難い、滴状体Ｃの滴下途中に
おける相互凝集によるランダムな成長を防止できるよう
になり、その結果、必要な粒径に関し、従来のものがｎ
＝１程度のＲ−Ｒ分布を示すのに対し、ｎ＝６〜８とい
う非常に狭い粒度分布を示す「はんだ」微粒体Ｐａのパ
ウダーが得られた。これらの状態を顕微鏡写真で示す。
第８図は×１００倍率のもので、その粒径の均一性を理
解できる。また、第９図は×５００倍率のもので、パウ
ダーに「ファイン」が含まれていないことが判る。
解できる。また、第９図は×５００倍率のもので、パウ
ダーに「ファイン」が含まれていないことが判る。
〈発明の効果〉
この発明に係る金属微粒体の製造方法及びそれに用いる
ノズルプレートによると、以上説明してきた如く、溶融
金属を微小なノズル孔より糸引状に押圧・流下せしめそ
の糸引状部の先端から微小な滴状体として滴下せしめ、
この微小な滴状体を落下状態で冷却しつつ滴状より玉状
に全体形状を調えて凝固せしめるものとしているので、
得られる金属微粒体の粒径について、特に「ファイン」
のような一定以下の粒径のものの派生を避は得、また、
ノズル孔の配列状態を一定のものとしているので、その
結果、どのような現象によるものであるかは判然としな
いが、このような配列のもの以外ではどうしても避は難
い、滴状体の滴下途中における相互凝集によるランダム
な成長を防止できるようになり、その結果、必要な粒径
に関し従来のものに比べ非常に狭い粒度分布を示す金属
微粒体からなるパウダーを得られることになる。
ノズルプレートによると、以上説明してきた如く、溶融
金属を微小なノズル孔より糸引状に押圧・流下せしめそ
の糸引状部の先端から微小な滴状体として滴下せしめ、
この微小な滴状体を落下状態で冷却しつつ滴状より玉状
に全体形状を調えて凝固せしめるものとしているので、
得られる金属微粒体の粒径について、特に「ファイン」
のような一定以下の粒径のものの派生を避は得、また、
ノズル孔の配列状態を一定のものとしているので、その
結果、どのような現象によるものであるかは判然としな
いが、このような配列のもの以外ではどうしても避は難
い、滴状体の滴下途中における相互凝集によるランダム
な成長を防止できるようになり、その結果、必要な粒径
に関し従来のものに比べ非常に狭い粒度分布を示す金属
微粒体からなるパウダーを得られることになる。
第１図は、「はんだ」微粒体製造装置を示す要部破断の
概略側面図、 第２図は、圧力容器の底部を示す部分側断面図、／ 第３図は、ノズルプレートの概略斜視図、第４図は、ノ
ズル孔の拡大断面図、 第５図〜第７図は、各々、ノズル孔の配列状態の例を示
す概略平面図、 第８図は、微粒体の×１００倍の顕微鏡写真、第９図は
、微粒体の×５００倍の顕微鏡写真、第１０図は、従来
のアトマイズ法で作られた微粒体の×５００倍の顕微鏡
写真、そして第１１図は、ソルダボールの顕微鏡写真で
ある。 ５・−−−−−−ノズルプレート １０・−一−−・−プレート体 １１−・−・・−・ノズル孔 Ｂ−・・・−糸引状部 Ｃ−・−−−−一滴状体 Ｐａ−・−−−−−ｒはんだ」微粒体（金属微粒体）第
１図 第２図 賢 甲。 第８図
概略側面図、 第２図は、圧力容器の底部を示す部分側断面図、／ 第３図は、ノズルプレートの概略斜視図、第４図は、ノ
ズル孔の拡大断面図、 第５図〜第７図は、各々、ノズル孔の配列状態の例を示
す概略平面図、 第８図は、微粒体の×１００倍の顕微鏡写真、第９図は
、微粒体の×５００倍の顕微鏡写真、第１０図は、従来
のアトマイズ法で作られた微粒体の×５００倍の顕微鏡
写真、そして第１１図は、ソルダボールの顕微鏡写真で
ある。 ５・−−−−−−ノズルプレート １０・−一−−・−プレート体 １１−・−・・−・ノズル孔 Ｂ−・・・−糸引状部 Ｃ−・−−−−一滴状体 Ｐａ−・−−−−−ｒはんだ」微粒体（金属微粒体）第
１図 第２図 賢 甲。 第８図
Claims (6)
- （１）溶融金属を、プレート体に複数の微小なノズル孔
が穿設されてなるノズルプレートのノズル孔より不活性
ガス雰囲気中で加圧しつつ糸引状に流下せしめ且つ、そ
の糸引状部の先端から微小な滴状体として滴下せしめ、
そしてこの微小な滴状体を不活性ガスによる大気圧下に
おいて落下状態で冷却しつつ滴状より玉状に全体形状を
調えて凝固せしめる金属微粒体の製造装置。 - （２）ノズルプレートの各ノズル孔が、ノズル孔の径に
より与えられる一定の値より大きな相互の間隔を持ち且
つプレート体の周囲より中心点に向かう線分上に並ぶ場
合については製造さるべき金属微粒体の粒径により与え
られる一定の値より大きな相互の間隔を持つ配列状態と
されていることを特徴とする金属微粒体の製造装置。 - （３）ノズルプレートの各ノズル孔が、ノズル孔の径に
より与えられる一定の値より大きな相互の間隔を以て一
直線上に配列されていることを特徴とする請求項１記載
の金属微粒体の製造装置。 - （４）製造さるべき金属微粒体の径が１００μｍ以下で
あり、且つノズル孔の径がこの金属微粒体の径の略１／
３であることを特徴とする請求項１記載の金属微粒体の
製造装置。 - （５）ノズルプレートの各ノズル孔が、一個の円周上に
配列されていることを特徴とする請求項２または請求項
３記載の金属微粒体の製造装置。 - （６）ノズルプレートの各ノズル孔が二個の円周上に配
列され且つ、各円周上のノズル孔がプレート体の周囲よ
り中心点に向かう線分上では並ばないようにされている
ことを特徴とする請求項２または請求項３記載の金属微
粒体の製造装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63082717A JPH01255609A (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | 金属微粒体の製造装置 |
| KR1019880017436A KR930001513B1 (ko) | 1988-01-14 | 1988-12-24 | 금속파우더 및 그 페이스트와, 금속파우더의 제조장치 |
| DE88121809T DE3883964T2 (de) | 1988-01-14 | 1988-12-28 | Metallpulver, dieses Pulver enthaltende Paste und Vorrichtung zur Herstellung dieses Pulvers. |
| EP88121809A EP0325798B1 (en) | 1988-01-14 | 1988-12-28 | A metallic powder and a paste made from it, and a metallic powder manufacture device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63082717A JPH01255609A (ja) | 1988-04-04 | 1988-04-04 | 金属微粒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01255609A true JPH01255609A (ja) | 1989-10-12 |
Family
ID=13782162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63082717A Pending JPH01255609A (ja) | 1988-01-14 | 1988-04-04 | 金属微粒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01255609A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100719452B1 (ko) * | 2005-06-07 | 2007-05-17 | (주)덕산테코피아 | 무연솔더크림용 금속분말 제조방법과 장치 및 그 금속분말 |
| JP2008156719A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Digital Powder Systems Inc | 単分散粒子製造装置、単分散粒子製造装置用オリフィスプレート、及び単分散粒子集合体 |
| JP2019532185A (ja) * | 2016-08-24 | 2019-11-07 | ５エヌ プラス インコーポレイテッド | 低融点金属または合金粉末アトマイズ製造プロセス |
| US11607732B2 (en) | 2018-02-15 | 2023-03-21 | 5N Plus Inc. | High melting point metal or alloy powders atomization manufacturing processes |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5263852A (en) * | 1975-11-21 | 1977-05-26 | Ube Industries | Method of making granular magnesium |
-
1988
- 1988-04-04 JP JP63082717A patent/JPH01255609A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5263852A (en) * | 1975-11-21 | 1977-05-26 | Ube Industries | Method of making granular magnesium |
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| JP2021101043A (ja) * | 2016-08-24 | 2021-07-08 | ５エヌ プラス インコーポレイテッド | 低融点金属または合金粉末アトマイズ製造プロセス |
| US11453056B2 (en) | 2016-08-24 | 2022-09-27 | 5N Plus Inc. | Low melting point metal or alloy powders atomization manufacturing processes |
| US11607732B2 (en) | 2018-02-15 | 2023-03-21 | 5N Plus Inc. | High melting point metal or alloy powders atomization manufacturing processes |
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