JPH0124634Y2 - - Google Patents

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JPH0124634Y2
JPH0124634Y2 JP1984139337U JP13933784U JPH0124634Y2 JP H0124634 Y2 JPH0124634 Y2 JP H0124634Y2 JP 1984139337 U JP1984139337 U JP 1984139337U JP 13933784 U JP13933784 U JP 13933784U JP H0124634 Y2 JPH0124634 Y2 JP H0124634Y2
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lead
component
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guide
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Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はフラツトパツケージ形電子部品の検査
装置、特にテストヘツドにおける電気的接触に関
するものである。
[Detailed Description of the Invention] <Industrial Application Field> The present invention relates to an inspection device for flat package type electronic components, and in particular to electrical contact in a test head.

〈従来の技術〉 従来、フラツトパツケージ形半導体集積回路部
品(以下IC部品という)、例えばSOP、ミニモー
ルド、2方向フラツト、4方向フラツト等の測定
を行なうには、開閉形ソケツトを使用していた。
この開閉用ソケツトの側面図を第2図aに、接触
部分の平面図を第2図bに示す。即ち、ソケツト
本体1′にIC部品5を挿入し、上蓋2を閉じて固
定用レバー3によりIC部品5のリード片5aを
接触子4に一定の圧力で押さえつけ、電気的接触
の確保をさせ、ソケツト本体1′の接触子4を通
じて電子測定機器に接続し、部品の良、否を判定
するのが通常である。
<Conventional technology> Conventionally, open/close sockets have been used to measure flat package semiconductor integrated circuit components (hereinafter referred to as IC components), such as SOPs, mini molds, 2-way flats, 4-way flats, etc. Ta.
A side view of this opening/closing socket is shown in FIG. 2a, and a plan view of the contact portion is shown in FIG. 2b. That is, the IC component 5 is inserted into the socket body 1', the top cover 2 is closed, and the lead piece 5a of the IC component 5 is pressed against the contact 4 with a constant pressure by the fixing lever 3 to ensure electrical contact. Normally, the socket body 1' is connected to an electronic measuring device through the contact 4 to determine whether the parts are good or not.

また、この他の技術として本出願人による実願
昭58−113721「半導体検査装置」がある。この技
術は、ソケツト本体1上にIC部品のリード片を
ガイドするための傾斜部を有するガイド板を取付
け又は接着する構成である。
Further, as another technique, there is Utility Application No. 58-113721 "Semiconductor Inspection Apparatus" filed by the present applicant. In this technique, a guide plate having an inclined portion for guiding lead pieces of an IC component is attached or bonded onto the socket body 1.

〈考案が解決しようとする問題点〉 而して、上述の従来の技術の前者においては、
フラツト形のIC部品5は端子数が多く小形であ
るため、そのリード片5aの幅及びピツチが小さ
く、そのうえ足が長いものもあり、上記IC部品
5の前記ソケツト本体1′への挿入時に、上記リ
ード片5a(特に同一方向に並設されるリード片
群の両端に位置するリード片)がリードガイド縁
6にぶつかるため、リード曲りが発生しやすい傾
向がある。
<Problems to be solved by the invention> Therefore, in the former of the above-mentioned conventional techniques,
Since the flat type IC component 5 has a large number of terminals and is small, the width and pitch of the lead pieces 5a are small, and some have long legs.When the IC component 5 is inserted into the socket body 1', Since the lead pieces 5a (particularly the lead pieces located at both ends of a group of lead pieces arranged in parallel in the same direction) collide with the lead guide edge 6, lead bending tends to occur.

このため、IC組立工程上で発生した第3図に
示すような若干のリード曲り品5b(破線で示す)
をソケツト本体1′に挿入する場合、ソケツト本
体1′のリードガイド縁6に一致せず、ソケツト
本体1′のモールド部表面7に重つてしまい、押
えきれずに接触不良及びリード曲り拡大が発生す
る。そこで手操作によりガイド縁6に押し込む
か、または、リード曲り品5bを修正して対処し
ていたが、特にIC部品の自動挿抜装置(オート
ハンドラ)においては、上記の方法は不可能であ
り、接触が不充分となるという問題点があつた。
For this reason, some lead bends 5b (indicated by broken lines) as shown in Fig. 3 occurred during the IC assembly process.
When inserting the lead into the socket body 1', it does not align with the lead guide edge 6 of the socket body 1', and it overlaps with the molded part surface 7 of the socket body 1', resulting in poor contact and lead bending. do. This has been dealt with by manually pushing the lead into the guide edge 6 or by correcting the bent lead 5b, but the above method is impossible, especially in automatic IC component insertion/extraction equipment (autohandler). There was a problem with insufficient contact.

また、前記リード曲りが無くとも、前記ソケツ
ト本体1に対する前記IC部品5の挿入位置の位
置合わせが不完全であると、前記リード片5aは
前記ガイド縁6に入らず前記ソケツト本体1の上
面7の四隅に乗つかつてしまい不完全接触とな
り、このとき上から前記IC部品5又は前記リー
ド片5aを押圧したりすると前記リード曲りが発
生してしまう問題点があつた。
Further, even if the lead is not bent, if the insertion position of the IC component 5 is not fully aligned with respect to the socket body 1, the lead piece 5a will not enter the guide edge 6 and will not fit into the upper surface 7 of the socket body 1. If the IC component 5 or the lead piece 5a is pressed from above at this time, the lead may be bent.

而して、前述の実願昭58−113721「半導体検査
装置」は、上記問題点を解決する技術であるが、
前記ガイド板を前記ソケツト本体上に取付け又は
接着する構成であるため該ソケツト本体を改造又
は新たに製造することなく既存のソケツト本体を
そのまま用いて実施できる利点がある反面、該ガ
イド板の装着は高度の精度が要求されるので、顕
微鏡を用いて装着する等かなり困難な作業となつ
ているという問題点があつた。
Therefore, the above-mentioned Utility Application No. 58-113721 "Semiconductor inspection equipment" is a technology that solves the above problems,
Since the guide plate is attached or glued onto the socket body, there is an advantage that the existing socket body can be used as is without modifying or manufacturing a new socket body. Since a high degree of precision is required, there was a problem in that the work was quite difficult, such as mounting using a microscope.

〈問題点を解決するための手段〉 この考案は、これらの問題点を解決するため、
ソケツト本体上面にIC部品のリード片をガイド
するための傾斜部を有するガイド部を一体成形
し、その傾斜部に沿つてIC部品を下降又は落下
させる機構及びリード押え機構を有するものであ
る。
<Means for solving the problems> In order to solve these problems, this invention
A guide part having an inclined part for guiding the lead piece of the IC component is integrally molded on the upper surface of the socket main body, and a mechanism for lowering or dropping the IC part along the inclined part and a lead holding mechanism are provided.

〈作用〉 被検査品であるIC部品は、位置規正されたう
えで、ソケツト本体上方に搬送され、下降せしめ
られる。これにより、上記IC部品はソケツト本
体上の所定の位置に挿入せしめられることとな
る。この状態でリード押え機構により前記IC部
品のリード片を上方から押圧して、該リード片と
接触子との電気的接触を確保せしめる。
<Operation> After the IC component to be inspected is positioned, it is transported above the socket body and lowered. This allows the IC component to be inserted into a predetermined position on the socket body. In this state, the lead pressing mechanism presses the lead piece of the IC component from above to ensure electrical contact between the lead piece and the contact.

もし、前記IC部品がリード曲り品である場合、
該IC部品が下降せしめられるに従い、曲つたリ
ード片はガイド部の傾斜部に当接しかつ該傾斜部
に沿つて下降し、最終的には所定の位置に収ま
り、前記リード押さえ機構の押圧により前記接触
との正しい接触が得られる。
If the IC component is a bent lead product,
As the IC component is lowered, the bent lead piece comes into contact with the inclined part of the guide part and descends along the inclined part, and is finally settled in a predetermined position, and is pressed by the lead holding mechanism. You get the right contact with the contact.

また、前記IC部品の下降は、該IC部品の前記
ソケツト本体からの高さが設定された一定の値に
達するまで、上記IC部品を下降させる機構の拘
束による下降で、上記一定の値に達すると上記
IC部品を上記機構から開放せしめ自重による落
下とする構成をとることもできる。
Further, the lowering of the IC component is performed by restraint of a mechanism that lowers the IC component until the height of the IC component from the socket body reaches a set constant value, and the IC component is lowered by the restraint of the mechanism that lowers the IC component, until the height of the IC component from the socket body reaches the fixed value. Then the above
It is also possible to adopt a configuration in which the IC component is released from the above mechanism and falls under its own weight.

このような構成をとつた場合、位置規正時の誤
差、搬送又は落下の際に生じる位置ずれ等によ
り、前記ソケツト本体上に落下したときの前記
IC部品の位置が多少ずれてしまう場合でも、そ
のずれがリード片群の端部のリード片が前記傾斜
部に当接する範囲であれば、自重による落下で所
定の位置に収まる。
If such a configuration is adopted, the above-mentioned socket may be damaged when dropped onto the socket body due to an error during position adjustment, a positional shift occurring during transportation or dropping, etc.
Even if the position of the IC component is slightly shifted, as long as the shift is within a range where the lead pieces at the ends of the lead piece group come into contact with the slope, the IC component will fall to the predetermined position due to its own weight.

このとき、前記IC部品がリード曲り品である
場合、曲つたリード片が前記傾斜部に当接して、
上記IC部品は前記ソケツト本体上の所定の位置
に達し得ないことが生ずるが、この状態で、前記
リード押え機構により前記リード片を上方から押
圧すると、前記IC部品は下降し、それにつれて
前記曲つたリード片は前記傾斜部上を摺動して、
最終的には所定の位置に収まる。
At this time, if the IC component is a bent lead product, the bent lead piece comes into contact with the inclined part,
The IC component may not be able to reach a predetermined position on the socket body, but if the lead presser mechanism presses the lead piece from above in this state, the IC component will descend and the curved The ivy reed piece slides on the inclined part,
Eventually it will fall into place.

〈実施例〉 第1図はこの考案の一実施例を示す図で、第1
図aはソケツト本体上にIC部品を挿入せしめた
状態を示し、第1図bは該ソケツト本体のAA′断
面を示し、第1図cはガイド部を示す。
<Example> Figure 1 shows an example of this invention.
Figure 1a shows the IC component inserted into the socket body, Figure 1b shows the AA' section of the socket body, and Figure 1c shows the guide portion.

図において、1はモールドによつて成型された
ソケツト本体、4は埋め込まれた金属接触子で、
上下方向にばね性を有する。8はソケツト本体1
の上面7の四隅にて上方に突出して一体成形され
たガイド部で、第1図cに示すようにIC部品5
のリード片5aを挿入する側に傾斜部8aが設け
られてある。8bは前記IC部品5の本体の角に
引つかからないよう設けた逃げである。なお、該
傾斜部8aの傾斜50゜〜85゜程度で、上記ガイド部
8の高さは2.5〜5mm程度が適当である。9は上
からIC部品5を吸着し、昇降する搬送具(吸着
コレツト)で、該コレツト9により位置規正され
ると共に前記ソケツト本体1の上方に搬送された
IC部品5は、コレツト9の下降によりリード片
5aの全てが接触子4の上端に接触する位置まで
下げられ、4方向のリード押え10によつて規定
の圧力でリード片5aを押下し、リード片5aの
一端子当り約0.2Kgの圧力を与え、接触子4との
電気的接触を行ない、試験機への入出力とするも
のである。
In the figure, 1 is a socket body formed by a mold, 4 is an embedded metal contact,
It has spring properties in the vertical direction. 8 is the socket body 1
It is a guide part that is integrally molded and protrudes upward at the four corners of the upper surface 7, and is used to guide the IC component 5 as shown in FIG.
An inclined portion 8a is provided on the side into which the lead piece 5a is inserted. Reference numeral 8b denotes a relief provided so that the IC component 5 does not get caught at the corner of the main body. The slope of the inclined portion 8a is approximately 50° to 85°, and the height of the guide portion 8 is approximately 2.5 to 5 mm. Reference numeral 9 denotes a conveying tool (suction collet) that picks up the IC component 5 from above and moves up and down.
The IC component 5 is lowered by lowering the collet 9 to a position where all of the lead pieces 5a contact the upper ends of the contacts 4, and the lead pieces 5a are pressed down with a specified pressure by the lead pressers 10 in four directions, and the leads are removed. Approximately 0.2 kg of pressure is applied to each terminal of the piece 5a to make electrical contact with the contactor 4, which is used as input/output to the test machine.

そこで第3図に示す4方向にリード片5aの突
出したフラツトパツケージIC部品5、または、
2方向リード形フラツトパツケージICで、破線
のようにリード片5aが外側に曲つたリード片5
bの場合でも、コレツト9による下降途中でガイ
ド部8の傾斜部8aに接触し、さらに下降して定
位置になつても傾斜部8aに接触し、さらに下降
して定位置になつても傾斜部8aの途中で止まつ
ているリード片5bは、リード押え10の下降に
より傾斜部8aに沿つてソケツト本体1のICリ
ードガイド縁6から垂直に定位置まで下降し、正
しい接触を得られるものである。
Therefore, a flat package IC component 5 with lead pieces 5a protruding in four directions as shown in FIG.
This is a two-way lead type flat package IC, and the lead piece 5a is bent outward as shown by the broken line.
Even in case b, the collet 9 contacts the inclined part 8a of the guide part 8 during its descent, and even if it descends further and reaches the home position, it contacts the inclined part 8a, and even if it descends further and reaches the home position, the slope remains. The lead piece 5b, which is stopped in the middle of the part 8a, is vertically lowered from the IC lead guide edge 6 of the socket body 1 along the inclined part 8a along the inclined part 8a by lowering the lead holder 10, and is able to make proper contact. be.

なお、リード押え10の横幅はソケツト接触子
4の4方向または2方向に対し一端部のリード片
5aから他端のリード片5aまでの幅寸法より
0.2mm程度小さくするものである。但し第1図b
では2方向のみ図示し、他の2方向は省略してあ
る。
Note that the width of the lead holder 10 is determined from the width dimension from the lead piece 5a at one end to the lead piece 5a at the other end in four or two directions of the socket contactor 4.
This is to reduce the size by about 0.2mm. However, Figure 1b
In this figure, only two directions are shown, and the other two directions are omitted.

また、吸着コレツト9とリード押え10を兼用
した例として第4図に示す中空にバキユームをつ
けIC部品5を吸着して押圧する吸引押え具11
でも可能である。
In addition, as an example in which the suction collet 9 and the lead presser 10 are combined, the suction presser 11 shown in FIG. 4 attaches a vacuum in the hollow and sucks and presses the IC component 5.
But it is possible.

以上、この実施例はリード曲り対策として説明
したが、第1図において、吸着コレツト9により
下降途中、リード片5aとソケツト本体1との上
部間隙寸法Lの位置にて吸着を解除することによ
り、IC部品5を自然落下させ、リード押え10
により所定の接触を得ることができる。この方法
はリード曲りに対しても有効だが、IC部品5を
±0.1mm程度の充分な位置規正できないで吸着し
た場合または吸着により位置ズレを起こした場合
等接触子の真上にリード片5aが下降しないとき
でも、ガイド部8の傾斜部8a上に落し込むこと
により位置規正をすることができる。このため前
段での位置規制を簡易形で代行できる長所があ
る。
This embodiment has been described above as a countermeasure against lead bending, but as shown in FIG. 1, by releasing the suction at the position of the upper gap L between the lead piece 5a and the socket body 1 during the descent by the suction collet 9, Let the IC part 5 fall naturally, and then
A predetermined contact can be obtained. This method is also effective for bending the lead, but if the IC component 5 is suctioned without sufficient position adjustment of about ±0.1 mm or the position is misaligned due to suction, the lead piece 5a may be placed directly above the contact. Even when the guide part 8 is not lowered, the position can be adjusted by dropping it onto the inclined part 8a of the guide part 8. Therefore, there is an advantage that the position regulation at the previous stage can be performed in a simplified form.

なお間隙Lは0.2〜1.0mm程度が適当であり、実
際にはガイド部8の上面より低い位置が上限であ
る。
Note that the gap L is suitably about 0.2 to 1.0 mm, and in reality, the upper limit is a position lower than the upper surface of the guide portion 8.

また、この実施例においては、ガイド部8の傾
斜部8aはリードガイド縁6の上端から連続して
傾斜面を形成した例を示したが、上記リードガイ
ド縁6の上端辺から連続して垂直に前記ガイド部
8の側面を形成し、該側面の上端辺から連続して
傾斜面を形成する態様も考えられる。
In addition, in this embodiment, the sloped part 8a of the guide part 8 has been shown as an example in which a sloped surface is formed continuously from the upper end of the lead guide edge 6, but the sloped part 8a of the guide part 8 is continuously formed vertically from the upper end of the lead guide edge 6. It is also conceivable that the side surface of the guide portion 8 is formed at , and an inclined surface is formed continuously from the upper end side of the side surface.

さらに、傾斜面は平面に限るものではなく、適
当な曲面であつてもよい。
Furthermore, the inclined surface is not limited to a flat surface, but may be a suitable curved surface.

また、前記吸着用コレツト9とリード押え10
とを兼用した例として、第4図に示す中空にバキ
ユームをつけIC部品5を吸着して押圧する吸引
押え具11でも可能である。
In addition, the suction collet 9 and the lead presser 10
As an example that can also be used as a suction presser 11 shown in FIG. 4, a vacuum is attached to a hollow space and the IC component 5 is sucked and pressed.

また、前述の実施例においては4方向フラツト
パツケージ形のIC部品に基いて説明したが、こ
の考案はそれに限定されるものではなく、SOP、
ミニモールド、2方向フラツト形等のIC部品に
ついても適用できる。例えば、該2方向フラツト
形のIC部品について適用するときは、傾斜部は
4個所設けるのみの構成になるが、動作は前述の
実施例と同様である。
Furthermore, although the above embodiment has been explained based on a four-way flat package type IC component, this invention is not limited thereto;
It can also be applied to mini-mold, two-way flat type, etc. IC parts. For example, when the present invention is applied to the two-way flat type IC component, only four inclined portions are provided, but the operation is the same as that of the previous embodiment.

〈考案の効果〉 以上詳細に説明したように、この考案は、ソケ
ツト本体にガイド部を一体成形し、該ガイド部の
傾斜部を利用して、IC部品がリード曲り品であ
る場合、又は該IC部品の位置規正が充分でなか
つた場合でも該IC部品を所定の位置に設置して
ソケツトの接触子に接触させることができるた
め、オートハンドラにおける自動挿入についてパ
ターン認識を用いることなく実施することができ
るという効果があると共に、手操作による場合に
おいて前記IC部品の位置規正の許容範囲が緩和
されるので、操作性が向上するという効果があ
る。
<Effects of the invention> As explained in detail above, this invention integrally molds the guide part on the socket body, and utilizes the sloped part of the guide part to prevent the IC component from bending or bending the lead. Even if the position of the IC component is not properly regulated, the IC component can be placed in a predetermined position and brought into contact with the contacts of the socket, so automatic insertion in the autohandler can be performed without using pattern recognition. In addition, since the permissible range of the position adjustment of the IC component is relaxed in the case of manual operation, there is an effect that the operability is improved.

さらに、前記ガイド部はソケツト本体に一体成
形する構成であるので、ガイド板を取付ける構成
における該ガイド板の装着作業の困難性という問
題は解決されている。
Furthermore, since the guide portion is formed integrally with the socket main body, the problem of difficulty in mounting the guide plate in the structure in which the guide plate is attached is solved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はこの考案の一実施例を示す図で、aは
平面図、bはAA′断面図、cは部分斜視図であ
る。第2図は従来の構成例を示す図で、aは側面
図、bは平面図である。第3図は4方向フラツト
パツケージ形ICの平面図(リード曲との例を示
す図)である。第4図は吸着及び押え兼用形吸着
押え具の一例を示す図である。 1:ソケツト本体、5:IC部品、5a:リー
ド片、8:ガイド部、8a:傾斜部、9:吸着コ
レツト、10:リード押え。
FIG. 1 shows an embodiment of this invention, in which a is a plan view, b is a sectional view along AA', and c is a partial perspective view. FIG. 2 is a diagram showing an example of a conventional configuration, in which a is a side view and b is a plan view. FIG. 3 is a plan view of a four-way flat package type IC (a diagram showing an example of lead music). FIG. 4 is a diagram showing an example of a suction and presser type suction and presser. 1: Socket body, 5: IC component, 5a: Lead piece, 8: Guide part, 8a: Inclined part, 9: Suction collet, 10: Lead holder.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】 ソケツト本体1上面に、IC部品5の複数のリ
ード片5aをガイドする複数の傾斜部8aからな
るガイド部8を有するとともに該ソケツト本体1
の上部に該IC部品5を下降または落下させ装填
する機構9とリード片押え機構10を具備したフ
ラツトパツケージ形のIC部品5の検査装置にお
いて、 前記ガイド部8はソケツト本体1に1体に成型
され且つ傾斜部8aは前記リード片5aの突出方
向に平行な面で形成され、また、対向し合う傾斜
部8aの最短距離が該対向し合う傾斜部8aにガ
イドされる複数の前記リード片5aで形成される
幅と一致するように構成されたものであることを
特徴とする半導体検査装置。
[Claims for Utility Model Registration] The socket body 1 has a guide portion 8 on the upper surface thereof, which is composed of a plurality of inclined portions 8a for guiding a plurality of lead pieces 5a of the IC component 5, and the socket body 1
In the flat package type IC component 5 inspection device, which is equipped with a mechanism 9 for lowering or dropping and loading the IC component 5 on the upper part of the socket, and a lead piece holding mechanism 10, the guide section 8 is integrated into the socket body 1. The molded inclined portion 8a is formed of a surface parallel to the protruding direction of the lead piece 5a, and the shortest distance between the opposing inclined portions 8a is the plurality of lead pieces guided by the opposing inclined portions 8a. 5a.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0639348Y2 (en) * 1988-12-19 1994-10-12 ローム株式会社 Grasping and conveying device for inspection of integrated circuits

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5435165B2 (en) * 1973-03-03 1979-10-31
JPS5631478B2 (en) * 1976-11-15 1981-07-21
JPS5917870B2 (en) * 1976-02-19 1984-04-24 株式会社東芝 Pulse laser device
JPS5942982B2 (en) * 1979-02-19 1984-10-18 松下電器産業株式会社 Electrode formation method for compound semiconductor device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5389271U (en) * 1976-12-23 1978-07-21
JPS5748311Y2 (en) * 1977-08-12 1982-10-22
JPS5631478U (en) * 1979-08-17 1981-03-27
JPS5662690U (en) * 1979-10-19 1981-05-27
JPS5917870U (en) * 1982-07-24 1984-02-03 利昌工業株式会社 Flat semiconductor package test substrate
JPS5942982U (en) * 1982-09-14 1984-03-21 利昌工業株式会社 Semiconductor package test substrate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5435165B2 (en) * 1973-03-03 1979-10-31
JPS5917870B2 (en) * 1976-02-19 1984-04-24 株式会社東芝 Pulse laser device
JPS5631478B2 (en) * 1976-11-15 1981-07-21
JPS5942982B2 (en) * 1979-02-19 1984-10-18 松下電器産業株式会社 Electrode formation method for compound semiconductor device

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JPS6156580U (en) 1986-04-16

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