JPH01239033A - グレーデットインデックス型光ファイバー母材の製造方法 - Google Patents
グレーデットインデックス型光ファイバー母材の製造方法Info
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- JPH01239033A JPH01239033A JP6515488A JP6515488A JPH01239033A JP H01239033 A JPH01239033 A JP H01239033A JP 6515488 A JP6515488 A JP 6515488A JP 6515488 A JP6515488 A JP 6515488A JP H01239033 A JPH01239033 A JP H01239033A
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- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は光ファイバー母材の製造方法、特には伝送特性
のすぐれたグレーデツトインデックス型の光ファイバー
を連続的に安定して製造する方法に関するものである。
のすぐれたグレーデツトインデックス型の光ファイバー
を連続的に安定して製造する方法に関するものである。
（従来の技術）
光ファイバー母材を、四塩化けい素などのガラス材料中
にキャリヤーガスをバブリングしてこれをガス化し、こ
のガスをバーナーに導入し酸水素火炎で火炎加水分解反
応させ、生成するガラス微粒子を回転している出発基材
上に堆積させて多孔質ガラス母材をその軸方向に成長さ
せたのち、これを加熱溶融して透明ガラス化することに
よって光ファイバーが得られることはすでによく知られ
ているところである。
にキャリヤーガスをバブリングしてこれをガス化し、こ
のガスをバーナーに導入し酸水素火炎で火炎加水分解反
応させ、生成するガラス微粒子を回転している出発基材
上に堆積させて多孔質ガラス母材をその軸方向に成長さ
せたのち、これを加熱溶融して透明ガラス化することに
よって光ファイバーが得られることはすでによく知られ
ているところである。
しかして、近年グレーデフ１〜インデツクス型光ファイ
バーについてはコア内部の屈折率分布形状を最適化すれ
ばその伝送帯域特性を理論値に達するほどの値とするこ
とができるようになってきているが、長尺ファイバーに
おいては光ファイバー母材製造中の変動によって長平方
向の伝送帯域が不均一になることがしばしばあり、また
長期間にわたって伝送帯域のすぐれた光ファイバー母材
を安定に製造することができず、低特性品が多発すると
いう不利がある。
バーについてはコア内部の屈折率分布形状を最適化すれ
ばその伝送帯域特性を理論値に達するほどの値とするこ
とができるようになってきているが、長尺ファイバーに
おいては光ファイバー母材製造中の変動によって長平方
向の伝送帯域が不均一になることがしばしばあり、また
長期間にわたって伝送帯域のすぐれた光ファイバー母材
を安定に製造することができず、低特性品が多発すると
いう不利がある。
このため、光ファイバー母材の屈折率分布、換言すれば
温度分布をその長平方向に均一とするために、ガラス微
粒子を堆積させるときの堆積位置をレーザーを用いて検
出し、その位置が一定となるように引上速度を制御し、
堆積面形状を一定に保つ方法（特開昭６０−８１０３５
号公報参照）、またこの堆積位置をテレビジョンカメラ
を用いて検出し、多孔質母材の底面形状を所望の値に保
つようにする方法（特開昭５９−１３７３３１号公報参
照）、成長母材の重量を連続的に測定し、その成長速度
を一定に保つ方法（特開昭５９−４．５９３６号公報参
照）などが提案されている。しかし堆積面形状や底面形
状を一定に保つ方法はガラス微粒子堆積時に何らかの原
因で堆積面の温度分布が変わり、堆積面の形状が変化す
ることがあるために、これらは制御が複雑であるし、底
面形状や温度分布を完全に一定にすることが困難である
ため、引上速度が変化してしまう。また重量測定により
成長速度を一定に保つ方法は温度変化による密度変化が
避けられないために、この場合も引上速度が変化してし
まう。そのためにいずれの場合も目的となる結果を得る
ことが難しいという欠点がある。
温度分布をその長平方向に均一とするために、ガラス微
粒子を堆積させるときの堆積位置をレーザーを用いて検
出し、その位置が一定となるように引上速度を制御し、
堆積面形状を一定に保つ方法（特開昭６０−８１０３５
号公報参照）、またこの堆積位置をテレビジョンカメラ
を用いて検出し、多孔質母材の底面形状を所望の値に保
つようにする方法（特開昭５９−１３７３３１号公報参
照）、成長母材の重量を連続的に測定し、その成長速度
を一定に保つ方法（特開昭５９−４．５９３６号公報参
照）などが提案されている。しかし堆積面形状や底面形
状を一定に保つ方法はガラス微粒子堆積時に何らかの原
因で堆積面の温度分布が変わり、堆積面の形状が変化す
ることがあるために、これらは制御が複雑であるし、底
面形状や温度分布を完全に一定にすることが困難である
ため、引上速度が変化してしまう。また重量測定により
成長速度を一定に保つ方法は温度変化による密度変化が
避けられないために、この場合も引上速度が変化してし
まう。そのためにいずれの場合も目的となる結果を得る
ことが難しいという欠点がある。
（発明の構成）
本発明はこのような不利を解決した光ファイバー母材の
製造方法に関するものであり、これは四塩化けい素とド
ーパントの気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに導
入して火炎加水分解させ、生成するガラス微粒子を回転
している基材上に堆積させ、この基材を引き上げること
によってその軸方向に多孔質ガラス体を成長させ、この
多孔質ガラス母材を透明ガラス化して光ファイバー母材
を製造する方法において、軸方向に成長する多孔質母材
の堆積位置を検出してそれが一定となるように引上速度
を制御すると共に、酸水素火炎バーナーに供給するガラ
ス原料ガスの量を上記引上速度が指定した適切な値で一
定となるように制御することを特徴とするものである。
製造方法に関するものであり、これは四塩化けい素とド
ーパントの気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに導
入して火炎加水分解させ、生成するガラス微粒子を回転
している基材上に堆積させ、この基材を引き上げること
によってその軸方向に多孔質ガラス体を成長させ、この
多孔質ガラス母材を透明ガラス化して光ファイバー母材
を製造する方法において、軸方向に成長する多孔質母材
の堆積位置を検出してそれが一定となるように引上速度
を制御すると共に、酸水素火炎バーナーに供給するガラ
ス原料ガスの量を上記引上速度が指定した適切な値で一
定となるように制御することを特徴とするものである。
これを説明すると、本発明者らは伝送特性のすぐれたグ
レーデツトインデックス型の光ファイバーを連続的に安
定して製造する方法について種々検討した結果、伝送特
性のすぐれたグレーデツトインデックス型の光ファイバ
ーを得るためには構造、形状の均一な多孔質ガラス母材
を得ることが必要であり、このためには公知の気相軸付
は法（ＶＡＤ法）における多孔質ガラス母材の成長時に
おけるガラス母材の引上げ速度とガラス母材を成長させ
る基材上に供給される気体ガ）ス原料の供給量を制御す
ればよいということを見出し、これには軸方向に成長す
る多孔質母材の堆積位置を検出してこのデータにもとづ
いて多孔質母材の引上げ速度を制御すると共に酸水素火
炎バーナーに供給するガラス原料ガスの量をこの引上速
度にもとづいて算出した適切な値とするようにすればよ
いということを確認して本発明を完成させた。
レーデツトインデックス型の光ファイバーを連続的に安
定して製造する方法について種々検討した結果、伝送特
性のすぐれたグレーデツトインデックス型の光ファイバ
ーを得るためには構造、形状の均一な多孔質ガラス母材
を得ることが必要であり、このためには公知の気相軸付
は法（ＶＡＤ法）における多孔質ガラス母材の成長時に
おけるガラス母材の引上げ速度とガラス母材を成長させ
る基材上に供給される気体ガ）ス原料の供給量を制御す
ればよいということを見出し、これには軸方向に成長す
る多孔質母材の堆積位置を検出してこのデータにもとづ
いて多孔質母材の引上げ速度を制御すると共に酸水素火
炎バーナーに供給するガラス原料ガスの量をこの引上速
度にもとづいて算出した適切な値とするようにすればよ
いということを確認して本発明を完成させた。
以下これをさらに詳細に説明する。
本発明の方法の実施は基本的には公知の気相軸付は法（
ＶＡＤ法）によって行なえばよい。したがって、これは
第１図に示したように四塩化けい素供給用バブラー１と
ドーパント供給バブラー２にガラス原料キャリヤーガス
３をマスフローコントローラー４，５を通して送り込む
ことによって四塩化けい素とこれに添加すべき計算量の
ドーパントとをガス化させてこれらを混合し、これを燃
焼ガス供給管６から送られる計算量の酸素ガス、水素ガ
スと共に酸水素火炎バーナー７に送り、この火炎を排気
口８を有する反応容器９に収納した石莢、炭素または炭
化けい素などのような耐熱性の出発基材１０にあて＼こ
Ｓに多孔質ガラスを堆積させ、これを回転引上げ装置１
１を用いて垂直方向に引上ることによって多孔質母材１
２を形成させればよい。
ＶＡＤ法）によって行なえばよい。したがって、これは
第１図に示したように四塩化けい素供給用バブラー１と
ドーパント供給バブラー２にガラス原料キャリヤーガス
３をマスフローコントローラー４，５を通して送り込む
ことによって四塩化けい素とこれに添加すべき計算量の
ドーパントとをガス化させてこれらを混合し、これを燃
焼ガス供給管６から送られる計算量の酸素ガス、水素ガ
スと共に酸水素火炎バーナー７に送り、この火炎を排気
口８を有する反応容器９に収納した石莢、炭素または炭
化けい素などのような耐熱性の出発基材１０にあて＼こ
Ｓに多孔質ガラスを堆積させ、これを回転引上げ装置１
１を用いて垂直方向に引上ることによって多孔質母材１
２を形成させればよい。
本発明の方法ではこのようにして成長させられる多孔質
母材１２の屈折率分布を均一としてこれから作られる光
ファイバーの伝送帯域特性を均一のものとするというも
のである。本発明は多孔質母材の堆積位置と同母材の引
上速度を規定する第１の制御系と該引上速度と原料ガス
量を規定する第２の制御系からなり、この２つの制御系
を組み合わせて原料ガスの量を堆積位置と引上速度が一
定となる様にコントロールするものである。
母材１２の屈折率分布を均一としてこれから作られる光
ファイバーの伝送帯域特性を均一のものとするというも
のである。本発明は多孔質母材の堆積位置と同母材の引
上速度を規定する第１の制御系と該引上速度と原料ガス
量を規定する第２の制御系からなり、この２つの制御系
を組み合わせて原料ガスの量を堆積位置と引上速度が一
定となる様にコントロールするものである。
具体的に第１図について説明すると第１の制御系は多孔
質母材１２の堆積位置の検出と回転引上装置１］を規定
する引上制御装置５で、第２の制御系は回転引上装置１
１とマスフローコントローラー３．４を規定するマスコ
ントローラ−制御装置１６である。
質母材１２の堆積位置の検出と回転引上装置１］を規定
する引上制御装置５で、第２の制御系は回転引上装置１
１とマスフローコントローラー３．４を規定するマスコ
ントローラ−制御装置１６である。
まず第１の制御系においてテレビジョンカメラ１４によ
って多孔質母材１２の堆積位置の基線１７からの変位が
検出されると引上制御装置１５に伝達され、回転引上装
置１１を規定して引上速度を変化させて堆積位置を戻す
作用をする。一方、第２の制御系により変化さ九た引上
げ速度がマスフローコントローラ制御装置１６に伝達さ
れ、この引上げ速度があらかじめ設定された適切な値に
成るようにマスフローコントローラ５，６を調節してガ
ス量を規定し、酸水素火炎バーナー７から放出される原
料ガス量はこの引上げ速度に見合う量に制御されること
になる。また、ニジで原料ガスの四塩化けい素とドーパ
ントとの比率は一定になるようにすることが必要であり
、これによれば屈折率分布が均一で形状も均一とされた
多孔質母材を容易に得ることができるという有利性が与
えられる。
って多孔質母材１２の堆積位置の基線１７からの変位が
検出されると引上制御装置１５に伝達され、回転引上装
置１１を規定して引上速度を変化させて堆積位置を戻す
作用をする。一方、第２の制御系により変化さ九た引上
げ速度がマスフローコントローラ制御装置１６に伝達さ
れ、この引上げ速度があらかじめ設定された適切な値に
成るようにマスフローコントローラ５，６を調節してガ
ス量を規定し、酸水素火炎バーナー７から放出される原
料ガス量はこの引上げ速度に見合う量に制御されること
になる。また、ニジで原料ガスの四塩化けい素とドーパ
ントとの比率は一定になるようにすることが必要であり
、これによれば屈折率分布が均一で形状も均一とされた
多孔質母材を容易に得ることができるという有利性が与
えられる。
なお、この本発明の方法によって例えば外径８０ｍｍ、
長さ８００ｍｍのグレーデツトインデックス型光ファイ
バー母材を製造する場合には、上記した方法によって多
孔質母材の引上げ速度を５１゜５〜５１．７ｍｍ／時の
範囲で、また四塩化けい素のガス量を０．３７〜０．３
９Ｑ／時、ドーパントの量を０．０３５〜０．０３７Ｑ
／時の範囲で制御すればよいが、これによれば外径７９
〜８１ｍｍ、長さ８００ｍｍのグレーデッＩくインデッ
クス型の光ファイバー母材をその伝送帯域が長さ方向で
約１゜５００±１００ＭＩＩｚ−１ｍであるものとして
安定に得ることができ、例えば２ケ月間の連続運転で伝
送帯域の低いものは一本もなく、これを５０本も安定に
得ることができるという有利性かえられる。
長さ８００ｍｍのグレーデツトインデックス型光ファイ
バー母材を製造する場合には、上記した方法によって多
孔質母材の引上げ速度を５１゜５〜５１．７ｍｍ／時の
範囲で、また四塩化けい素のガス量を０．３７〜０．３
９Ｑ／時、ドーパントの量を０．０３５〜０．０３７Ｑ
／時の範囲で制御すればよいが、これによれば外径７９
〜８１ｍｍ、長さ８００ｍｍのグレーデッＩくインデッ
クス型の光ファイバー母材をその伝送帯域が長さ方向で
約１゜５００±１００ＭＩＩｚ−１ｍであるものとして
安定に得ることができ、例えば２ケ月間の連続運転で伝
送帯域の低いものは一本もなく、これを５０本も安定に
得ることができるという有利性かえられる。
つぎに本発明方法の実施例を示す。
実施例
第１図に示したような装置を使用し、内容積１゜３Ｑの
反応容器中に石英ガラス製の直径１６ｍｍ、長さ２００
ｍｍの出発基材を回転引上げ装置に）萄吊しておき、こ
れに酸水素火炎バーナーから５ｉＣ１４ガス０．３８Ｑ
／分、ドーパントとしてのＧｅ Ｃ］、 ４ガス０．０
３６Ｑ／分、酸素ガス１０゜ＯＱ１分、水素ガス６．８
Ｑ／分からなる混合ガスを送入してこの酸水素火炎を出
発基材に当て−こトに多孔質ガラスを堆積させ、出発基
材を５１゜５ｍｍ／時で引上げて多孔質ガラス母材を作
った。
反応容器中に石英ガラス製の直径１６ｍｍ、長さ２００
ｍｍの出発基材を回転引上げ装置に）萄吊しておき、こ
れに酸水素火炎バーナーから５ｉＣ１４ガス０．３８Ｑ
／分、ドーパントとしてのＧｅ Ｃ］、 ４ガス０．０
３６Ｑ／分、酸素ガス１０゜ＯＱ１分、水素ガス６．８
Ｑ／分からなる混合ガスを送入してこの酸水素火炎を出
発基材に当て−こトに多孔質ガラスを堆積させ、出発基
材を５１゜５ｍｍ／時で引上げて多孔質ガラス母材を作
った。
この際、多孔質母材１２の堆積位置の変位をテレビジョ
ンカメラで検知し、引上速度を変化させて変位を矯正す
る。ついで変化した引上速度を５１．５ｍｍ／時に戻す
ように５ｉＣ１４量を０．３７−０．３９Ｕ／分、Ｇｅ
Ｃ１，量を０．０３５〜０゜０３７Ｑ／分の範囲内でマ
スフローコントローラー１０を用いて制御するようにし
て２ケ月間連続運転したところ、外径８０ｍｍ、長さ８
００ｍｍのグレーデッドインデックス型の光ファイバー
母材５０本が得られたが、これらはいずれもその伝送帯
域（１，３７ｘｍ）が１，２３０−１，８８０Ｍｔｌｚ
４ｍで安定しており、伝送帯域の低いものはなく、これ
らは第１表に示したとおりの結果を示した。
ンカメラで検知し、引上速度を変化させて変位を矯正す
る。ついで変化した引上速度を５１．５ｍｍ／時に戻す
ように５ｉＣ１４量を０．３７−０．３９Ｕ／分、Ｇｅ
Ｃ１，量を０．０３５〜０゜０３７Ｑ／分の範囲内でマ
スフローコントローラー１０を用いて制御するようにし
て２ケ月間連続運転したところ、外径８０ｍｍ、長さ８
００ｍｍのグレーデッドインデックス型の光ファイバー
母材５０本が得られたが、これらはいずれもその伝送帯
域（１，３７ｘｍ）が１，２３０−１，８８０Ｍｔｌｚ
４ｍで安定しており、伝送帯域の低いものはなく、これ
らは第１表に示したとおりの結果を示した。
しかし、比較のために第１図においてマスフローコント
ローラ制御装置】６を除いた装置を用いたほかは上記と
同様に処理して光ファイバー母材を作ったところ、この
場合には第１表に併記したとおりの結果が得られ、伝送
帯域が低く、バラツキの大きいものであった。
ローラ制御装置】６を除いた装置を用いたほかは上記と
同様に処理して光ファイバー母材を作ったところ、この
場合には第１表に併記したとおりの結果が得られ、伝送
帯域が低く、バラツキの大きいものであった。
第 １ 表
第１図は本発明の方法による光ファイバー母材の製造方
法に使用される製造装置の縦断面図を示したものである
。 １．２・・・原料ガス供給装置、 ３・・・原料ガス搬送口、 ４．５・・・マスフローコントローラー、６・・・燃焼
ガス、 ７・・・バーナー、 ８・・・排気口、 ９・・・反応
容器、１０・・・出発基材、 １１・・・回転引上装置
、１２・・・多孔質母材、 １３・・・テレビジョンデイスプレィ、１４・・・テレ
ビジョンカメラ。 １５・・・引上制御装置、 １６・・・マスフローコントローラー制御装置、１７・
・・基線 第１図 手続補正書（白色 １、事件の表示 昭和６３年特許願第 ６５１５４号 名称 （２０６）信越化学工業株式会社４、代理人 明細書における「発明の詳細な説明の欄」６、補正の内
容 １）明細書第７頁１５行の「引上制御装置５」を「引上
制御装置１５」と補正し、同頁１６行〜１７行の「マス
フローコントローラー３．４」を「マスフローコントロ
ーラー４．５」と補正スル。 ２） 明細ＩＦ第１ｔ７行の「マスフローコントロー
ラ５．６」を「マスフローコントローラー４．５」と補
正する。 ３） 明細書第９頁１行のｒｏ、３７〜０．３９ｕ／時
」をｒｏ、３７〜０．３９Ｑ／分」と補正し、同頁２行
＋７１ ｒｏ、０３５〜０．０３７ Ｑ ／時」をｒＱ
。 ０３５〜０．０３７氾／分」と補正する。 ４） 明細書第１０頁７行〜８行の「マスフローコント
ローラー１０」を「マスフローコントローラー４．５」
と補正する。 以上
法に使用される製造装置の縦断面図を示したものである
。 １．２・・・原料ガス供給装置、 ３・・・原料ガス搬送口、 ４．５・・・マスフローコントローラー、６・・・燃焼
ガス、 ７・・・バーナー、 ８・・・排気口、 ９・・・反応
容器、１０・・・出発基材、 １１・・・回転引上装置
、１２・・・多孔質母材、 １３・・・テレビジョンデイスプレィ、１４・・・テレ
ビジョンカメラ。 １５・・・引上制御装置、 １６・・・マスフローコントローラー制御装置、１７・
・・基線 第１図 手続補正書（白色 １、事件の表示 昭和６３年特許願第 ６５１５４号 名称 （２０６）信越化学工業株式会社４、代理人 明細書における「発明の詳細な説明の欄」６、補正の内
容 １）明細書第７頁１５行の「引上制御装置５」を「引上
制御装置１５」と補正し、同頁１６行〜１７行の「マス
フローコントローラー３．４」を「マスフローコントロ
ーラー４．５」と補正スル。 ２） 明細ＩＦ第１ｔ７行の「マスフローコントロー
ラ５．６」を「マスフローコントローラー４．５」と補
正する。 ３） 明細書第９頁１行のｒｏ、３７〜０．３９ｕ／時
」をｒｏ、３７〜０．３９Ｑ／分」と補正し、同頁２行
＋７１ ｒｏ、０３５〜０．０３７ Ｑ ／時」をｒＱ
。 ０３５〜０．０３７氾／分」と補正する。 ４） 明細書第１０頁７行〜８行の「マスフローコント
ローラー１０」を「マスフローコントローラー４．５」
と補正する。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、四塩化けい素とドーパントの気体状ガラス原料を酸
水素火炎バーナーに導入して火炎加水分解させ、生成す
るガラス微粒子を回転している基材上に堆積させ、この
基材を引上げることによってその軸方向に多孔質ガラス
体を成長させ、この多孔質ガラス母材を透明ガラス化し
て光ファイバー母材を製造する方法において、軸方向に
成長する多孔質母材の堆積位置を検出してそれが一定と
なるように引上速度を制御すると共に、酸水素火炎バー
ナーに供給するガラス原料ガスの量を上記引上速度が指
定した適切な値で一定となるように制御することを特徴
とする光ファイバー母材の製造方法。 ２、該多孔質母材の堆積位置と引上速度を規定する第１
の制御系と、該引上速度と原料ガス量を規定する第２の
制御系とにより制御することを特徴とする請求項１に記
載の光ファイバー母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065154A JP2517052B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | グレ―デットインデックス型光ファイバ―母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63065154A JP2517052B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | グレ―デットインデックス型光ファイバ―母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01239033A true JPH01239033A (ja) | 1989-09-25 |
| JP2517052B2 JP2517052B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=13278679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63065154A Expired - Lifetime JP2517052B2 (ja) | 1988-03-18 | 1988-03-18 | グレ―デットインデックス型光ファイバ―母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2517052B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10245242A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
| EP2145864A2 (en) | 2008-07-18 | 2010-01-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Quartz glass manufacturing method and quartz glass manufacturing apparatus |
| WO2010007799A1 (ja) | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造方法および光ファイバ用母材の製造装置 |
| US9758422B2 (en) | 2014-12-22 | 2017-09-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber base material manufacturing apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6126533A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-05 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ母材の製造方法 |
| JPS6220139A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Hitachi Ltd | 光デイスク装置 |
-
1988
- 1988-03-18 JP JP63065154A patent/JP2517052B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6126533A (ja) * | 1984-07-12 | 1986-02-05 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ母材の製造方法 |
| JPS6220139A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Hitachi Ltd | 光デイスク装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10245242A (ja) * | 1997-03-06 | 1998-09-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光ファイバ用多孔質ガラス母材製造装置 |
| EP2145864A2 (en) | 2008-07-18 | 2010-01-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Quartz glass manufacturing method and quartz glass manufacturing apparatus |
| WO2010007799A1 (ja) | 2008-07-18 | 2010-01-21 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用母材の製造方法および光ファイバ用母材の製造装置 |
| JP2010042983A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-25 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 光ファイバ用母材の製造方法および光ファイバ用母材の製造装置 |
| EP2145864A3 (en) * | 2008-07-18 | 2012-03-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Quartz glass manufacturing method and quartz glass manufacturing apparatus |
| US9527764B2 (en) | 2008-07-18 | 2016-12-27 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Quartz glass manufacturing method using hydrogen obtained by vaporizing liquid hydrogen |
| US10501361B2 (en) | 2008-07-18 | 2019-12-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber preform manufacturing method and optical fiber preform manufacturing device |
| US9758422B2 (en) | 2014-12-22 | 2017-09-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber base material manufacturing apparatus |
| US10377659B2 (en) | 2014-12-22 | 2019-08-13 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Optical fiber base material manufacturing apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2517052B2 (ja) | 1996-07-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |