JPH01233571A - ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装置 - Google Patents
ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装置Info
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- JPH01233571A JPH01233571A JP63059374A JP5937488A JPH01233571A JP H01233571 A JPH01233571 A JP H01233571A JP 63059374 A JP63059374 A JP 63059374A JP 5937488 A JP5937488 A JP 5937488A JP H01233571 A JPH01233571 A JP H01233571A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ピングリッドアレイ型部品のピンの曲りを検出する装置
に関し、 ピン曲りの検出精度の向上を図ることを目的とし、 ピングリッドアレイ′型部品のピンの映像を作成する手
段と、該手段により作成されたピンの映像から上記ピン
の曲りを検出する画像処理手段とよりなるピン曲り検出
装置であって、上記映像作成手段を、−a側は上記各ピ
ンに対向するように配され、他端側は寄せ集められた複
数のファイバよりなり、上記ピングリッドアレイ型部品
のうちピンの無い部分を光学的に削除し、上記ピンより
の光を選択してこれを光学的に寄せ集めるピン映像寄せ
集め手段を、撮像レンズの前側に設けて構成する。
に関し、 ピン曲りの検出精度の向上を図ることを目的とし、 ピングリッドアレイ′型部品のピンの映像を作成する手
段と、該手段により作成されたピンの映像から上記ピン
の曲りを検出する画像処理手段とよりなるピン曲り検出
装置であって、上記映像作成手段を、−a側は上記各ピ
ンに対向するように配され、他端側は寄せ集められた複
数のファイバよりなり、上記ピングリッドアレイ型部品
のうちピンの無い部分を光学的に削除し、上記ピンより
の光を選択してこれを光学的に寄せ集めるピン映像寄せ
集め手段を、撮像レンズの前側に設けて構成する。
本発明はピングリッドアレイ型部品のピンの曲りを検出
する装置に関する。
する装置に関する。
第14図に示すように、ピングリッドアレイ型部品(以
下PGAという)1は、パッケージ本体2の下面に多数
のピン3が格子状に並んで突出した構成であり、各ピン
3をプリント基数上の対応するパッドに載せ、半田例け
することで実装される。
下PGAという)1は、パッケージ本体2の下面に多数
のピン3が格子状に並んで突出した構成であり、各ピン
3をプリント基数上の対応するパッドに載せ、半田例け
することで実装される。
ピン3に曲りがあると、ピンとパッドの接合不良となる
ため、自動実装に際して各ピンについて曲がりの検出を
行なっている。
ため、自動実装に際して各ピンについて曲がりの検出を
行なっている。
近年、PGAのピン数が増加に伴うピンのピッチの狭小
化に伴って、ピンに許容される曲りの程度は厳しくなっ
てきている。これに伴って、ピン曲りの検出も^精度化
が要求されてきている。
化に伴って、ピンに許容される曲りの程度は厳しくなっ
てきている。これに伴って、ピン曲りの検出も^精度化
が要求されてきている。
本出願人は先に特願昭62−112053号、発明の名
称「ピン曲り検出1ノ式」において、PGAのピン曲り
を検出する方式を出願した。
称「ピン曲り検出1ノ式」において、PGAのピン曲り
を検出する方式を出願した。
この方式は、第14図に示すように、PGA1のピン3
の映像を作成するピン映像作成装置10と、これにより
作成された映@11からピンの曲りを検出する画像処理
装置12とからなる構成である。
の映像を作成するピン映像作成装置10と、これにより
作成された映@11からピンの曲りを検出する画像処理
装置12とからなる構成である。
ピン映像作成装置10は、PGA1のピン群を撮像レン
ズ13により固体撮像素子(以下CCOという)14上
に結像させる構成である。
ズ13により固体撮像素子(以下CCOという)14上
に結像させる構成である。
15は画面である。
ピンの曲がりを精度良く検出するためには、ピンの映像
11が拡大されていることが必要である。
11が拡大されていることが必要である。
上記の装置10では、PGA1の裏面をそのま)1[1
している。このため、CCD14のサイズが限られてい
る現実において、映像11の倍率を大きくすることは出
来ず、ピン曲りの検出精度を向上することは困難である
。
している。このため、CCD14のサイズが限られてい
る現実において、映像11の倍率を大きくすることは出
来ず、ピン曲りの検出精度を向上することは困難である
。
本発明はピン曲りの検出精度の向上を図ることのできる
ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装四を提供す
ることを目的する。
ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装四を提供す
ることを目的する。
本発明は、第1図に示すように、PGA1のピン3−+
〜3−nの映像を作成するピン映像作成装置20と、こ
のgii20により作成されたピンの映像21からピン
3−1〜3−nの曲りを検出する画像処理装置22とよ
りなる。
〜3−nの映像を作成するピン映像作成装置20と、こ
のgii20により作成されたピンの映像21からピン
3−1〜3−nの曲りを検出する画像処理装置22とよ
りなる。
装置20は、Ii像レンズ23と、固体11i1を機素
子(以下CODという)24と、撮像レンズ23の前側
に配されたピン映像寄せ集め装置25とよりなる。
子(以下CODという)24と、撮像レンズ23の前側
に配されたピン映像寄せ集め装置25とよりなる。
この装置25は、複数のファイバ32の一端側を各ピン
3の配列と同じ配列で固定し、他端側を寄せ集めて所定
の配列で並べて固定してなる構成であり、射出側である
寄せ集め側25aが撮像レンズ23に対向し、入射側で
あるピン対応配列側265bが前方に向く向きで設けで
ある。
3の配列と同じ配列で固定し、他端側を寄せ集めて所定
の配列で並べて固定してなる構成であり、射出側である
寄せ集め側25aが撮像レンズ23に対向し、入射側で
あるピン対応配列側265bが前方に向く向きで設けで
ある。
ピン映像寄せ集め装置25は、PGA1のうちピン3−
+〜3−1の部分よりの光を受は入れ、この光を光学的
に寄せ集めて射出する。
+〜3−1の部分よりの光を受は入れ、この光を光学的
に寄せ集めて射出する。
レンズ23は寄せ集め側25aより射出した光束を、C
0D24に結像させる。
0D24に結像させる。
C0D24よりは、符号26で示す画面が19られる。
21はピンの映像である。
ピン映像寄せ集め装置25を介することにより、第2図
に示すPGA1の底面のうちピン3−1〜3−y+が植
設されていない部分、即ち多数のピン3−1〜3−1に
より囲まれた破線で囲んで示す中央部分27及び隣り合
うピン3−1〜3nの間の部分28は光学的に削除され
、各ピン3−1〜3−1の部分だけが選択されてC0D
24上に結像される。
に示すPGA1の底面のうちピン3−1〜3−y+が植
設されていない部分、即ち多数のピン3−1〜3−1に
より囲まれた破線で囲んで示す中央部分27及び隣り合
うピン3−1〜3nの間の部分28は光学的に削除され
、各ピン3−1〜3−1の部分だけが選択されてC0D
24上に結像される。
このため、画面26はピンの映像21だけが画面全体に
広がったものとなり、各ピンの映!&21は、従来の場
合に比べて数倍拡大されたものとなる。
広がったものとなり、各ピンの映!&21は、従来の場
合に比べて数倍拡大されたものとなる。
画像処理装置22には、この拡大された映像の情報が入
力する。
力する。
この結東、ピン曲りが従来に比べて粘度良く検出される
。
。
第3図は本発明のピン曲り検出装置の構成図である。
第4図は第3図中のピン映像作成装置20の構成を示す
。第4図は図示の便宜上第3図の状態とは上下反転して
示しである。
。第4図は図示の便宜上第3図の状態とは上下反転して
示しである。
ピン映像寄せ集め装M25は、第5図に示す入射側プレ
ート30と、第6図に示す射出側プレート31と、第7
図に示すファイバ32とよりなる構成である。
ート30と、第6図に示す射出側プレート31と、第7
図に示すファイバ32とよりなる構成である。
入射側プレート30には、ファイバ固定孔33がPGA
1の各ピン3に対応する配置で形成しである。
1の各ピン3に対応する配置で形成しである。
射出側プレート31には、上記のファイバ固定孔33と
同数のファイバ固定孔34が密接して且つ所定の配列で
形成しである。
同数のファイバ固定孔34が密接して且つ所定の配列で
形成しである。
各ファイバ32は、一端を孔33に嵌合固定され、他端
を孔34に嵌合固定されている。32−1〜32−2は
夫々端面である。これにより、−端をプレート30に固
定されたファイバ32の他端側は寄せ集められ密接した
所定の配列となっている。この他端側の中心の座標が後
述する主記憶装置22−3に設定される。
を孔34に嵌合固定されている。32−1〜32−2は
夫々端面である。これにより、−端をプレート30に固
定されたファイバ32の他端側は寄せ集められ密接した
所定の配列となっている。この他端側の中心の座標が後
述する主記憶装置22−3に設定される。
この装置25は、第3図に示すように、射出側プレート
31をレンズ23に対向させてレンズ23の前側の位置
に設けである。
31をレンズ23に対向させてレンズ23の前側の位置
に設けである。
各ファイバ32の各端はプレート30.31の孔に嵌合
固定されているため、その両端側はその光軸がレンズ2
3の光軸と平行となっている。またファイバ32はこれ
に入った光がそのま1の位置関係でファイバ32より出
る構成となっている。
固定されているため、その両端側はその光軸がレンズ2
3の光軸と平行となっている。またファイバ32はこれ
に入った光がそのま1の位置関係でファイバ32より出
る構成となっている。
次にピン曲りの検出動作について説明する。
第3図に示すように、真空吸着ヘッド40によって、P
GA1は真空吸着され保持される。この真空吸着ヘッド
40は、ヘッド可動部41によってX、Y、Z、θ方向
に移動可能である。この真空吸着ヘッド40とヘッド可
動部41は駆動制御装置42によって駆動される。なお
、この駆動制御装置42はシステム制御装置43によっ
て制御される。
GA1は真空吸着され保持される。この真空吸着ヘッド
40は、ヘッド可動部41によってX、Y、Z、θ方向
に移動可能である。この真空吸着ヘッド40とヘッド可
動部41は駆動制御装置42によって駆動される。なお
、この駆動制御装置42はシステム制御装置43によっ
て制御される。
上記したPGA1のピン3−+〜3−1の先端は光学系
44よりのレーザスリットビーム45により両側から照
射されている(第4図参照)。ピン3−1〜3−1の先
端画像は、ピン映像作成装置20により作成される。
44よりのレーザスリットビーム45により両側から照
射されている(第4図参照)。ピン3−1〜3−1の先
端画像は、ピン映像作成装置20により作成される。
各ピン3−1〜3−nよりの光は、装置25の対応する
ファイバ32に入射し、ファイバ32内を伝播して寄せ
集められファイバ32の端より射出する。装置25はP
GA1の底面のうちピンが無い部分を光学的に削除して
ピン3−1〜3−nを光学的に密集させるように機能す
る。
ファイバ32に入射し、ファイバ32内を伝播して寄せ
集められファイバ32の端より射出する。装置25はP
GA1の底面のうちピンが無い部分を光学的に削除して
ピン3−1〜3−nを光学的に密集させるように機能す
る。
装置25より射出した光束は、レンズ23を通してC0
D24上に結像される。
D24上に結像される。
これにより、第1図に示すようにピンの映像21だけが
拡大された状態で存在する画面26が作成される。
拡大された状態で存在する画面26が作成される。
作成された画像は、画像処理装置22で処理される。画
像処理装置22は、画像メモリ22−+。
像処理装置22は、画像メモリ22−+。
A/D変換器22−2、主記憶装置22−s、及び処理
部22−4よりなりシステム制御装置43の指示によっ
て制御されて、大略、画像メモリ22−1に基準ピンサ
ーチ用ウィンドウを設け、この基準ピンサーチ用ウィン
ドウを分割して、分割したウィンドウで基準ピン3−1
の位置を設定し、この基準ピン位置3−+に基づいて検
査ウィンドウを設定するように動作する。先端が照射さ
れ明るいピン先端の画像は画像メモリ22−1に格納さ
れ、検査ウィンドウによってピン先端の重心位置を求め
、重心位置を求めた当該検査ウィンドウの中心位置と上
記した重心位置との差からピン曲りを定置的に検出する
。
部22−4よりなりシステム制御装置43の指示によっ
て制御されて、大略、画像メモリ22−1に基準ピンサ
ーチ用ウィンドウを設け、この基準ピンサーチ用ウィン
ドウを分割して、分割したウィンドウで基準ピン3−1
の位置を設定し、この基準ピン位置3−+に基づいて検
査ウィンドウを設定するように動作する。先端が照射さ
れ明るいピン先端の画像は画像メモリ22−1に格納さ
れ、検査ウィンドウによってピン先端の重心位置を求め
、重心位置を求めた当該検査ウィンドウの中心位置と上
記した重心位置との差からピン曲りを定置的に検出する
。
以下、本発明の画像処理装置の動作を第8図のフローヂ
ャートを参照しなから説明する。画像処理装置22は、
装置20から入力される画像データをA/D変換器22
−2でディジタルデータに変換して、このディジタルデ
ータを画像メモリ22−1に格納する。第8図(a)に
示す処理工程である。以後処理工程を括弧付き英字で表
す。
ャートを参照しなから説明する。画像処理装置22は、
装置20から入力される画像データをA/D変換器22
−2でディジタルデータに変換して、このディジタルデ
ータを画像メモリ22−1に格納する。第8図(a)に
示す処理工程である。以後処理工程を括弧付き英字で表
す。
次にこの格納したディジタルデータに基づいて、第9図
に示すような輝度と画素数との濃度分布を作成して、ピ
ン全体の断面積に等しい位置の輝度tを求める(b)。
に示すような輝度と画素数との濃度分布を作成して、ピ
ン全体の断面積に等しい位置の輝度tを求める(b)。
この求めた輝度tをスライスレベルとして、ディジタル
データを画像メモリ22−1上で2値化(論理’1’、
’0’)する(C)。この時、論理′1′は明るい部分
を表し、ピン先端部に相当する。
データを画像メモリ22−1上で2値化(論理’1’、
’0’)する(C)。この時、論理′1′は明るい部分
を表し、ピン先端部に相当する。
次にこの画像メモリ22−1上で基準となるピン位置(
左上コーナーピン)をサーチするために、第10図の最
大のピン位置ずれ弓を考慮した基準ピンサーチ用のウィ
ンドウ22−1−+を画像メモリ22−1内に設定する
(d)。さらに、コープ−にあるピン位置の検出を容易
にするために、この基準ピンウィンドウ22−+−+を
9分割し、この分割したウィンドウで基準ピンウィンド
ウ22−+−1の範囲を#1〜#9の順にスキャンして
基準ピンの位置を求める(e)。
左上コーナーピン)をサーチするために、第10図の最
大のピン位置ずれ弓を考慮した基準ピンサーチ用のウィ
ンドウ22−1−+を画像メモリ22−1内に設定する
(d)。さらに、コープ−にあるピン位置の検出を容易
にするために、この基準ピンウィンドウ22−+−+を
9分割し、この分割したウィンドウで基準ピンウィンド
ウ22−+−1の範囲を#1〜#9の順にスキャンして
基準ピンの位置を求める(e)。
なお、上記した9分割は、基準ピンウィンドウの大きさ
によって16分割でもよいことは言うまでもない。
によって16分割でもよいことは言うまでもない。
上記したように基準ピン位置が求められると、この基準
ピン位置座標から基準ピンに該肖する論理′1′を全て
含む第11図に示す検査ウィンドウ22−1−2を設定
する(f)。この検査ウィンドウ22+2内の論理′1
′の画素に付いてそれぞれ第12図、第13図に示すX
、Y軸方向の投影分布を作成する(Q)。この投影分布
の画素数の1/2になる座標XQ、’lによって基準ピ
ンの重心位置を求める(h)。
ピン位置座標から基準ピンに該肖する論理′1′を全て
含む第11図に示す検査ウィンドウ22−1−2を設定
する(f)。この検査ウィンドウ22+2内の論理′1
′の画素に付いてそれぞれ第12図、第13図に示すX
、Y軸方向の投影分布を作成する(Q)。この投影分布
の画素数の1/2になる座標XQ、’lによって基準ピ
ンの重心位置を求める(h)。
次に、座標XQ、YQを基準として画像メモリ22−1
内のX方向とY方向に向って、ピンのピッチ分移動させ
なから、1列のピンに検査ウィンドウより大きい検出ウ
ィンドウを設定して、(g)、(h)処理と同じように
各ピンの重心位置を求める(i)。なお、検出ウィンド
ウは、ピン曲り、PGA1の傾きを考慮して検査ウィン
ドウより大きくしである。
内のX方向とY方向に向って、ピンのピッチ分移動させ
なから、1列のピンに検査ウィンドウより大きい検出ウ
ィンドウを設定して、(g)、(h)処理と同じように
各ピンの重心位置を求める(i)。なお、検出ウィンド
ウは、ピン曲り、PGA1の傾きを考慮して検査ウィン
ドウより大きくしである。
上記したように各ピンの重心座標を通る直線の式(y
= a X −1−b )を最小二乗法によって求め、
相関係数を求めて置く(j)。この相関係数(又はX、
Y方向の分散)が予め実験により求められた値より小さ
い場合(但し、分散を用いた場合は大きい場合)は、今
調べた列のピンには曲りが発生しているとして不良とす
る。相関係数が大きい場合(分散を用いた場合小さい場
合)次の処理をする(k)。
= a X −1−b )を最小二乗法によって求め、
相関係数を求めて置く(j)。この相関係数(又はX、
Y方向の分散)が予め実験により求められた値より小さ
い場合(但し、分散を用いた場合は大きい場合)は、今
調べた列のピンには曲りが発生しているとして不良とす
る。相関係数が大きい場合(分散を用いた場合小さい場
合)次の処理をする(k)。
次に、求めた直線の傾きaとこれに直交する傾きAを算
出する(1)。基準ピンの重心座標xg。
出する(1)。基準ピンの重心座標xg。
Ygを通り、傾きaとAを持つ2本の直線を基準直交軸
(X’ 、Y’軸)として、再度、基準ピンの座標から
X’ 、Y’力方向向ってPGA1のピンのピッチ分だ
け移動させなから、すべてのピンについて検査ウィンド
ウを設定して処理工程(g)、(h)を繰り返し各ピン
の重心位置を求める(m)。
(X’ 、Y’軸)として、再度、基準ピンの座標から
X’ 、Y’力方向向ってPGA1のピンのピッチ分だ
け移動させなから、すべてのピンについて検査ウィンド
ウを設定して処理工程(g)、(h)を繰り返し各ピン
の重心位置を求める(m)。
上記した各ピンの重心位置を求めるために設定した各検
査ウィンドウの中心位置と実際に求めた各ピンの重心位
置の差から全ピンのX、Y方向のピン曲り堡を算出して
、ピン曲りを検査する(n)。
査ウィンドウの中心位置と実際に求めた各ピンの重心位
置の差から全ピンのX、Y方向のピン曲り堡を算出して
、ピン曲りを検査する(n)。
こ)で、前記のようにピンの拡大された映像が入力され
ているため、上記の検査ウィンドウの中心位置とピンの
中心位置との差は従来に比べてピンの映像が拡大されて
いる分大きくなる。
ているため、上記の検査ウィンドウの中心位置とピンの
中心位置との差は従来に比べてピンの映像が拡大されて
いる分大きくなる。
従って、従来と同じサイズのC0D24を使用して、従
来では検出が困難であった僅かのピン曲りも正確に検出
することが可能となる。
来では検出が困難であった僅かのピン曲りも正確に検出
することが可能となる。
以上説明した様に、本発明によれば、PGAのうちピン
の無い部分は光学的に削除し、ピンの部分でけを光学的
に選択してこれを光学的に寄せ集めることにより、限ら
れたりイズの画面内にピンの映像を拡大して作成し、こ
れを画像処理手段に入力する構成としであるため、従来
では検出が困難であったlかのピン曲りも正確に検出す
ることが出来る。
の無い部分は光学的に削除し、ピンの部分でけを光学的
に選択してこれを光学的に寄せ集めることにより、限ら
れたりイズの画面内にピンの映像を拡大して作成し、こ
れを画像処理手段に入力する構成としであるため、従来
では検出が困難であったlかのピン曲りも正確に検出す
ることが出来る。
第1図は本発明の一実施例になるピン曲り検出袋δの概
略構成を示す図、 第2図はPGAの底面図、 第3図は本発明のピン曲り検出装置を示す一実施例のシ
ステム構成図、 第4図はピン映像作成装置の構成図、 第5図は入射側プレートの斜視図、 第6図は射出側プレートの斜視図、 第7図はファイバを示す斜視図、 第8図は本発明の詳細な説明するためのフローチャト、 第9図は本発明のスライスレベルを決定するための濃度
分布図、 第10図は本発明の基準ピンサーチ用ウィンドウを示す
模式図、 第11図は本発明の検査ウィンドウを示す模式第12図
は本発明のピンのX軸方向の重心位置を求めるための分
布図、 第13図は本発明のピンのY軸方向の重心位置を求める
ための分布図、 第14図は従来のピン曲りを検出する装置の概゛略構成
図である。 図において、 1はピングリッドアレイ型部品(PGA)、2はパッケ
ージ本体、 3−+〜3−1はピン、 20はピン映像作成装置、 21はピンの映像、 22は画像処理装置、 22−1は画像メモリ、 22−2はA/D変換器、 22−3は主記憶装置、 22−4は処理部、 23はII像レンズ、 24は固体1N像素子(COD)、 25はピン映像寄せ集め装置、 25aは寄せ集め側、 25bはピン対応配列側、 26は画面、 27は中央部分、 28はピンの間の部分、 30は入射側プレート、 31は射出側プレート、 32はファイバ、 33.34はファイバ固定孔、 40は真空吸着ヘッド、 41はヘッド可動部、 42は駆動制御装置、 43ハシステムM’1EWt’ll、 44は光学系 を示す。 PGAの底面図 ファイバを示す斜視図
第2図 第7図 入射側プレートの斜視図 射出側プレ
ートの斜伏間第5図 第6図 ビ/映f象咋成装置の溝底図 第4図 本発明の動作t−祝明するためのフローチャート本発明
のスライスレベルを決定するための濃度分布図第9図 本発明の基準ピンつ−チ用ウィンドウを示す模式図値1
0 M 本発明の検査ウィンド 本発明のピンのX軸方
向のつを示す模式図 重心を求めるため
の分布図第11図 jll 12図 本発明のピンY軸方向の重心 位置を求めるための分布図 第13図
略構成を示す図、 第2図はPGAの底面図、 第3図は本発明のピン曲り検出装置を示す一実施例のシ
ステム構成図、 第4図はピン映像作成装置の構成図、 第5図は入射側プレートの斜視図、 第6図は射出側プレートの斜視図、 第7図はファイバを示す斜視図、 第8図は本発明の詳細な説明するためのフローチャト、 第9図は本発明のスライスレベルを決定するための濃度
分布図、 第10図は本発明の基準ピンサーチ用ウィンドウを示す
模式図、 第11図は本発明の検査ウィンドウを示す模式第12図
は本発明のピンのX軸方向の重心位置を求めるための分
布図、 第13図は本発明のピンのY軸方向の重心位置を求める
ための分布図、 第14図は従来のピン曲りを検出する装置の概゛略構成
図である。 図において、 1はピングリッドアレイ型部品(PGA)、2はパッケ
ージ本体、 3−+〜3−1はピン、 20はピン映像作成装置、 21はピンの映像、 22は画像処理装置、 22−1は画像メモリ、 22−2はA/D変換器、 22−3は主記憶装置、 22−4は処理部、 23はII像レンズ、 24は固体1N像素子(COD)、 25はピン映像寄せ集め装置、 25aは寄せ集め側、 25bはピン対応配列側、 26は画面、 27は中央部分、 28はピンの間の部分、 30は入射側プレート、 31は射出側プレート、 32はファイバ、 33.34はファイバ固定孔、 40は真空吸着ヘッド、 41はヘッド可動部、 42は駆動制御装置、 43ハシステムM’1EWt’ll、 44は光学系 を示す。 PGAの底面図 ファイバを示す斜視図
第2図 第7図 入射側プレートの斜視図 射出側プレ
ートの斜伏間第5図 第6図 ビ/映f象咋成装置の溝底図 第4図 本発明の動作t−祝明するためのフローチャート本発明
のスライスレベルを決定するための濃度分布図第9図 本発明の基準ピンつ−チ用ウィンドウを示す模式図値1
0 M 本発明の検査ウィンド 本発明のピンのX軸方
向のつを示す模式図 重心を求めるため
の分布図第11図 jll 12図 本発明のピンY軸方向の重心 位置を求めるための分布図 第13図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ピングリッドアレイ型部品(1)のピン(3−1〜3−
_n)の映像(21)を作成する手段(20)と、 該手段により作成されたピンの映像(21)から上記ピ
ンの曲りを検出する画像処理手段(22)とよりなるピ
ン曲り検出装置であつて、 上記映像作成手段(20)を、 一端側は上記各ピンに対向するように配され、他端側は
寄せ集められた複数のファイバ(32)よりなり、上記
ピングリッドアレイ型部品のうちピンの無い部分(27
,28)を光学的に削除し、上記ピンよりの光を選択し
てこれを光学的に寄せ集めるピン映像寄せ集め手段(2
5)を、撮像レンズ(23)の前側に設けた構成として
なることを特徴とするピングリッドアレイ型部品のピン
曲り検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63059374A JPH01233571A (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63059374A JPH01233571A (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01233571A true JPH01233571A (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=13111439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63059374A Pending JPH01233571A (ja) | 1988-03-15 | 1988-03-15 | ピングリッドアレイ型部品のピン曲り検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01233571A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013033068A (ja) * | 2007-04-27 | 2013-02-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 表面検査装置 |
-
1988
- 1988-03-15 JP JP63059374A patent/JPH01233571A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013033068A (ja) * | 2007-04-27 | 2013-02-14 | Shibaura Mechatronics Corp | 表面検査装置 |
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