JPH01233371A - レーザドップラ速度計 - Google Patents

レーザドップラ速度計

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JPH01233371A
JPH01233371A JP6005788A JP6005788A JPH01233371A JP H01233371 A JPH01233371 A JP H01233371A JP 6005788 A JP6005788 A JP 6005788A JP 6005788 A JP6005788 A JP 6005788A JP H01233371 A JPH01233371 A JP H01233371A
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角 正雄
Shigenobu Shinohara
篠原 茂信
Hiroaki Ikeda
池田 弘明
Junji Watanabe
渡辺 淳治
Ichiro Yamamoto
一郎 山本
Toshihisa Yamashita
山下 寿久
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザドツプラ速度計に係り、とくに照射光
としてレーザ光を用いるとともに、その反射光に生じる
ドツプラ効果を利用して被測定物の速度計測を行う方式
のレーザドツプラ速度針に関する。 〔従来の技術〕 レーザドツプラ速度計は、コヒーレント光を移動物体に
照射するとともに、その散乱光のドツプラ周波数偏移を
測定し、これによって被測定物の移動速度を被接触にて
検出するものである。このレーザドツプラ速度計は、近
時においては例えば、特開昭60−243583号公報
、実開昭62−42267号公報及び実開昭60−13
5682号公報等にみられる如く、各方面で比較的多く
の研究・開発が進められている。 このレーザドンプラ方式による速度測定においては、所
謂散乱光と参照光を重ね合せるとともに、これにより生
じるビート周波数を測定して被測定物の移動速度を算定
するという手法が採られている。そして、この散乱光と
参照光の重ね合せの方法により、参照光法および自己比
較法等、種りの光学系の構成が考えられている。 この内、参照光は、その光学系が第29図(1)に示す
ように配設されている。この第29図(1)においては
、レーザ光源100から出力されるレーザビームA、を
被測定対象物である移動物体に照射するとともに、その
一部を参照光Bとして、ドツプラ周波数偏移を受けない
ような光路を通して光検出機200へ導くようになって
いる。そして、この光検出器200にて、参照光を散乱
光A′と重ね合せるとともに、これによって生じる速度
情報を含んだビートが検出され出力されるようになって
いる。 自己比較法は、参照光自体もドツプラ周波数偏移を受け
るもので、−入射法と二人耐性の二つに分けられている
。 一入耐性における自己比較法は、その光学系が第29図
(2)に示すように配設されている。この第29図(2
)に示す手法においては、移動物体Mにレーザ光が当る
までは入射光が一つであるが、その移動物体M上で散乱
される散乱光の周波数偏移がその散乱方向により異るこ
とを利用し、異った方向に散乱する二つの散乱光をレン
ズで光検出器200上に集光し、互いに他を参照光とし
てビートが形成されるようになっている。 さらに、二人耐性における自己比較法は、その光学系が
第29図(3)に示すように配設されている。この第2
9図(3)に示す手法は、差動形レーザドツプラ速度計
ともいい、レーザ光源より出力された光はビームスプリ
ッタで二分割された後、レンズ等によって測定面上にて
交差させるという手法が採られている。そして、この交
差せしめた部分での散乱光を集光レンズ等で光検出器上
に集光しビートを形成せしめるという構成となっている
。 〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、かかる従来例にあっては、レーザ送信手
段とレーザ光受信手段とが必要不可欠のものとなってい
ることから、装置全体が大型化し同時に高価なものとな
り、且つ操作性が悪いという不都合が生じている。さら
に特開昭60−243583号公報および実開昭62−
42267号公報記載のものにあっては、参照光と散乱
光とを所定箇所にて集合せしめるという手法を採ってい
ることから、これら二つのレーザビームを形成するため
の光学系が複雑となり、その最適測定条件の設定に多く
の時間と労力を要し、しかも光学系の固定装備を堅牢に
しなければならないことから装置全体が大型化するとい
う不都合が生じていた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、かかる従来例の有する不都合を改善し
、とくに単一のレーザ光源を用いて回転もしくは移動物
体の速度を高精度に測定し演算処理することのできる比
較的小型化されたレーザドンブラ速度計を提供すること
にある。 〔課題を解決するための手段〕 そこで、本発明では、コヒーレント光を出力するレーザ
光源と、このレーザ光源から出力されるレーザ出力光を
集光するとともに被測定物からの反射散乱光を前記レー
ザ光源側へ送り込む集光手°段と、前記反射散乱光によ
り形成されるドツプラビート信号を前記レーザ光源から
分離抽出するビート検出手段と、このビート検出手段に
より検出されるドツプラビート信号に基づいて被測定物
の移動もしくは回転速度を演算する速度演算手段とを設
け、前記速度演算手段を、前記ビート検出手段から出力
されるドツプラビート信号を所定のタイミング信号に変
換する波形変換回路部と、この波形変換回路部から出力
されるタイミング信号を信号処理して演算用速度信号を
出力する信号処理回路部と、この信号処理回路部の出力
に基づいて被測定物の速度を算定する演算回路部とによ
り構成するとし、これによって前述した目的を達成しよ
うとするものである。 〔第1実施例] 以下、本発明の第1実施例を第1図ないし第6図に基づ
いて説明する。 第1図の実施例は、コヒーレント光を出力するレーザ光
源lと、このレーザ光a1から出力されるレーザ出力光
1aを集光するとともに被測定物からの反射散乱光1b
をレーザ光源1側へ送り込む集光手段2と、反射散乱光
1bにより形成されるドツプラビート信号り、をレーザ
光i1!1から分離抽出するビート検出手段3と、この
ビート検出手段3により検出されるドツプラビート信号
D1に基づいて被測定物4の移動もしくは回転速度を演
算する速度演算手段5及び方向判別手段6とを備えてい
る。 この内、レーザ光源lはレーザ駆動回路7に駆動されて
作動するようになっている。このレーザ光源1は、本実
施例においては半導体レーザが使用されている。このレ
ーザ光源1は、被測定物4を照射するコヒーレント光1
aを誘導放出により出力する。この場合、被測定物4に
よって散乱されドフブラ周波数偏移f、を受けた反射戻
り光lbが半導体レーザに戻ると、ドララブ偏移を受け
ていないコヒーレント光との間で自己混合作用が共振器
内部に起きてドップラビートが発生する。 そして、半導体レーザ駆動電流には、ビート周波数に対
応した鋸歯状波信号が重畳される。 集光手段2として、本実施例では光学レンズが使用され
ている。この集光手段は、レーザ光源lと被測定物4と
の間に置かれ、被測定物4上での照射、散乱条件がi通
となるように焦点位置が調節できる保持機構上(第1図
では省略)に設置されている。この集光手段4はレーザ
光−tAlから出射されたレーザ照射光1aを集光して
被測定物4に効率よく照射する機能を持っている。同時
に被測定物4によって散乱された反射戻り光を集光し、
半導体レーザ光源1の端面aに入射させる機能を持って
いる。 ビート検出手段3としては、本実施例では信号検出増幅
器が使用されている。この信号検出増幅器は、レーザ駆
動回路7の出力端に併設され、レーザ光源を駆動する駆
動を流中より当該駆動電流にM畳された鋸歯状波に近似
したドツプラビート信号を抽出し出力する機能を備えて
いる。第2図(1) (2)にドツプラビート信号の例
を示す、ここで、第2図(1)は被測定物4が近づいて
(る場合を示し、同図(2)は被測定物4が遠ざかる場
合を示す。 また、速度演算手段5は、第3図に示すように、ビート
検出手段3から出力されるドツプラビート信号を所定の
タイミング信号に変換する波形変換回路部lOと、この
波形変換回路部10から出力されるタイミング信号を信
号処理して演算用速度信号を出力する信号処理回路部1
1と、この信号処理回路部11の出力に基づいて被測定
物4の速度Vを算定する演算回路部12とにより構成さ
れている。 この内、波形変換回路部lOは、ドツプラビート信号を
所定レベルまで増幅するレベル調整回路10Aと、この
レベル調整回路10Aの出力信号を微分する微分回路I
CIBと、この微分回路10Bから出力されるタイミン
グ信号の立上りに同期してタイミング信号の二周期分を
一周期とする整形クロックを出力する波形変換回路10
Cとにより構成されている。また、信号処理回路部11
は、周波数の大小に対応した電圧を出力するF−V変換
回路11Aと、このF−V変換回路11Aの出力をアナ
ログ−デジタル変換するA−D変換回路11Bとにより
構成されている。 次に、上記実施例における速度演算手段5の動作を第4
図に基づいて説明する。 ビート検出手段3によって検出されたドツプラビート信
号り、は、波形変換口B10の微分回路10Bの作用に
よって鋸歯状波の立ち上がりおよび立ち下がりのタイミ
ング信号Aが抽出される。波形整形回路10Cでは、こ
のタイミング信号A、。の立ち上がりに同期した整形ク
ロックE3toを作成するのであるが、この整形クロッ
クB1゜は、元の信号である鋸歯状波り、の周波数Fに
対応した周波数を持つことになる(本実施例では整形ク
ロックB1゜の周波数が鋸歯状波の周波数の1/2とな
っている)、従って、この整形クロックBIのの周波数
をF−V変換によって電圧値に線形変換し、その後、A
−D変換によりデジタル的に周波数情報を得ることによ
り鋸歯状波のビート周波数14をも得られる。被測定物
4の速度■は、この周波数r4に基づいて次式によって
求められる。 ’a = (2・IVI ・cosθ)/λ但し、λは
波長を示し、θは被測定物4の進行方向に対するレーザ
照射光の照射角度を示す、かかる演算は演算回路部12
で行われる。これによって被測定物4の移動速度■が捲
く容易に算定されるようになっている。 上記実施例においては整形クロックBをタイミング信号
の立ち上がりに同期して作成したが、これは立ち下がり
に同期したものでもよく、周波数もパルス輻りを一様に
保ったものであれば1/2としなくとも同様の結果が得
られる。 また、タイミング信号の抽出においても、微分回路10
Bを使用するほか、例えば第5図に示すように、コンパ
レータを使用しても同様な作用効果を得ることができる
。第6図は、この場合の第5図各部の出力波形を示す。 即ち、第5図において、波形変換回路部13は、ドツプ
ラビート信号り、を所定レベルまで増幅するレベル調整
回路13Aと、このレベル調整回路13への出力信号に
基づいて所定レベルのタイミング信号A1.を出力する
コンパレータ13Bと、このコンパレータ13Bから出
力されるタイミング信号に同期して同一周期の整形クロ
ックBljを出力する波形整形回路13Cとにより構成
されている。13aは基準レベル信号出力回路を示す、
このようにしても、前述した第3図の場合とほぼ同様の
作用効果を得ることができる。 〔第2実施例〕 次に、第2実施例を第7図ないし第8図に基づいて説明
する。 この第2実施例は、鋸歯状波の一周期に既知の周期を持
つクロックが幾つ存在するのかを計数して鋸歯状波の周
期を求め、更に計算によって速度を得ようとするもので
ある。 この第7図に示す第2実施例においては、波形変換回路
部15が、前述したドツプラ信号を所定レベルまで増幅
するレベル調整回路15Aと、このレベル調整回路15
Aの出力信号り、を微分する微分回路15Bと、この微
分回路15Bから出力されるタイミング信号A15に同
期して当該タイミング信号の二周期分を一周期とするゲ
ート制御n信号を出力するゲート制′48回路15Cと
により構成されている。 また、信号処理回路16が、ゲート制御n信号G l 
&に制御′Bされてオン−オフ動作するゲート回路16
Aと、このゲート回路16Aに基準クロックE0を送り
込む基準クロック出力回路16Bと、ゲート回路i6A
を通過した基準クロックE1mを計数するカウンタ16
Cとにより構成されている。その他の構成は前述した第
1実施例と同一となっている。 次に、この第7図における速度演算手段の動作について
説明する。 この第7図に示す第2実施例は波形変換回路部15に入
力された鋸歯状波は、微分回路15Bの作用により鋸歯
状波の立ち上がりおよび立ち下がりのタイミング信号A
4を抽出する。ゲート制御回路15Cでは、このタイミ
ング信号A I &の立ち下がりに同期したゲート制御
n信号G +hによってゲートを開閉する。これによっ
て、基準クロック出力回路16Bで作られた基準クロッ
クE l&はゲートの開いている時だけ基準クロックE
 I 4の通過する計数クロックとなってカウンタ16
Cに入力することになる。ゲートの開いている時間は鋸
歯状波の一周朋に対応することを考慮すると、カウンタ
16cで計数した計数値より鋸歯状波の周期Tが次式で
求められることになる。 T−nXL  (n:計数値、L:基準り07りの周期
) 被測定物4の速度〜rはこの周期Tから前述した如く計
算で求めるのである。尚、上記第7図の実施例において
、ゲート制御2!信号G 14はタイミング信号A14
の立ち上がりに同期して作成しても同様の結果が得られ
る。 このようにしても前述した第1実施例と同様の作用効果
を有するほか、基準クロックE1mの数を増すことによ
り測定精度を向上させることができるという利点がある
。 (第3実施例) 次に、第3実施例を第9図ないし第10図に基づいて説
明する。 この実施例は、鋸歯状波の電圧値の時間的変化を所定の
基準電圧をもつコンパレータと既知の周期をもつクロッ
クとにより求め、これに基づいて速度を演算するもので
ある。 即ち、この第9図に示す実施例は、波形変換回路部17
が、ドツプラビート信号を所定レベルまで増幅するレベ
ル調整回路17Aと、このレベル調整回路17Aの出力
信号り、に基づいて所定レベルのタイミング信号A7.
を出力するコンパレータ17Bと、このコンパレータ1
7Bから出力されるタイミング信号A、7に同期してゲ
ート制御信号Cat(又はc’ +、)を出力するゲー
ト制御回路17Cとにより構成されている。 その他の構成は、前述した第7図の実施例の場合と同一
となっている。 次に、この第3実施例における速度演算手段の動作につ
いて説明する。 波形変換回路部17に入力された鋸歯状波D1は、コン
パレータ17Bにて第10図に示す基準値Refと比較
されコンパレート信号A5.に変換される。このコンパ
レート信号A 11はゲート制御回路17Cへ送られる
。これによって鋸歯状波の電圧値がRef以上になった
時ゲートが開かれ、同様にRef以下の電圧値となった
時にゲートが閉じられる様なゲート制御信号Catが作
成される。このゲートが開かれてから閉じられるまでに
要するゲート時間T′は、参照電圧Refの設定値によ
って鋸歯状波の周期Tと次式の様な関係を持つ。 T′ ”TX(1(Ref−負ピークイ直)/(正ピー
ク値−負ピーク値)〕 従って、上記ゲート時間T′を、基準クロック発生部か
ら発生する基準クロックE1ッがゲートを通過して得ら
れる計数パルスE I ?をカウンタにより計数するこ
とによって測定すれば、次式から鋸歯状波の周3JlT
を求めることができる。 T−rxXt/ (1−(Ref−負ピークイ直)/(
正ピーク値−負ピーク値)〕 但し、nは計数値、tは基準クロックの周期を示す。 測定対象である速度はこの周期Tから計算で求めるので
ある。尚、上記実施例においてゲート制御の論理はCl
ffに示す様に逆にしてもよく、この場合のゲート時間
T″と鋸歯状波の周期Tとの関係は次式の様になり、 T’ −TX ((Ref−負ピーク値)/(正ピーク
値−負ピーク値)〕 この時の計数パルスE″17をカウンタで計数すること
によって同様の結果が得られる。  T=n’  xt
/ ((Ref−負ピーク値)/(正ピーク値−負ピー
ク値)〕 (n′ :計数値) 〔第4実施例〕 次に、第4実施例を第11図ないし第12図に基づいて
説明する。 この実施例は、前述した第3実施例と同一の考えのちと
にコンパレータを2個使用したものである。この第11
図の実施例においては、波形変換回路部18が、ドツプ
ラビート信号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路
18Aと、このレベル調整回路18Aの出力信号り、に
同期して異ったタイミング信号A1@、AI4を出力す
る並列接続された二つのコンパレータ1BB、18Cと
、この二つのコンパレータ出力A l* 、 A 1 
*を入力するとともにこれら二つのコンパレータ出1.
。 Rcに基づいて所定のゲート制御B信号G11を出力す
るゲート制御回路18Dとにより構成されている点に特
徴を有している。 その他の構成は前述した第2実施例(第7図)と同一と
なっている。 次に、この第4実施例における速度演算手段の動作につ
いて説明する。 まず、各コンパレータ18B、18Cの比較基準電圧R
,,Rcを次の如く設定する。 負ビータ値≦R1≦Rc≦正ピーク値 次に、レベル調整回路18Aの出力は二つに分けられ、
コンパレータ1BB、18Cに各々入力される。 各コンパレータでは、比較基準電圧R,,RCに基づい
て人力信号を比較し、コンパレート信号A+eg + 
Ai+*cを出力する。これら2つの信号をもとにゲー
ト制御回路18Dからゲート制御信号G1゜を出力して
ゲート回路16Aを制御する。ゲートが開いているゲー
ト時間T’AおよびT’ Bは比較基準電圧RAとR1
の設定値によって鋸歯状波の周期Tと次式の様な関係を
持つ。 T−(T’ A+T’  B)  ・ (正ピーク値−
負ピーク値)/ (Rc−R,) 従って上記ゲート時間T’ AおよびT’ Bを、71
クロック発生部から発生する基準パルスE I?がゲー
トを通過して得られる計数パルスE’lff。 E#1.をカウンタによって計数することにより、鋸歯
状波の周期は次のように表すことができる。 T−(nA+nB)  ・L ・ (正ピーク値−負ピーク値)/(R,−R1)(nA、
nB : T’ A、T’ B中の計数イ直)測定対象
である速度は、この周期Tより算定される。 〔第5実施例〕 次に、第5実施例を第13図ないし第14図に基づいて
説明する。 この実施例は、予め設定した一定時間間隔に同周期の鋸
歯状波が存在するのか、を計数してその周波数を求め、
これに基づいて被測定物の速度を得ようとする方法であ
る。 この第13図に示す第5実施例においては、波形変換回
路部19が、ドツプラビート信号を所定レベルまで増幅
するレベル調整回路19Aと、このレベル調整回路19
Aの出力信号を微分する微分回路19Bと、この微分回
路19Bから出力されるタイミング信号に同期して所定
の計数パルス信号を出力する計数パルス発生回路19C
とにより構成されている。 また、信号処理回路20が、前記計数パルス信号を入力
するゲート回路20Aと、このゲート回路20Aに併設
され当該ゲート回路20Aの開閉動作を制で21するサ
ンプリング周期設定回路20Bと、ゲート回路20Aか
ら出力される計数パルスを計数するカウンタ20Cとに
より構成した点に特徴を有している。 その他の構成は前述した第1実施例と同一となっている
。 次に、上記第5実施例における速度演算手段の動作につ
いて説明する。− 波形変換回路部19に入力された鋸歯状波は、微分回路
19Bによって信号の立ち上りおよび立ち下がりのタイ
ミング信号A1.に変換される。計数パルス発生回路1
9Cでは、このタイミング信号A8.をもとに鋸歯状波
の周!1」ITに対応した周期を持つ計数パルスB19
を出力する。また、サンプリング周期設定部で予め一定
時間間隔を定めておき、その時間に対応したゲート信号
G2.によってゲートを開閉する。ゲートが開かれてい
る一定時間内に幾つの計数パルスが含まれているのかを
カウンタにより計数し、鋸歯状波の周波数Fを次式から
求める。 F = n / T″  (n:計数値)測定対象であ
る速度は、この周波数Fから計算によって求める。 上記実施例に於ては微分回路で作成したタイミング信号
によって計数パルスを取得したが、第15図ないし第1
6図に示す様に、コンパレータ21Bを用いてコンパレ
ータ信号A!lを得た後、これによって計数パルスB□
を取得しても同様な結果を得ることができる。 この第15図において、波形変換回路部21は、ドツプ
ラビート信号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路
21Aと、このレベル調整回路21Aの出力信号に同期
して所定のタイミング信号A!1を出力するコンパレー
タ21Bと、このコンパレータ出力A 11に基づいて
所定レベルの計数パルスB!lを出力する計数パルス発
生回路2ICとにより構成されている点に特徴を有して
いる。その他の構成は上述した第13図の実施例と同一
となっている。 〔第6実施例〕 次に、第6実施例を第17図ないし第18図に基づいて
説明する。 この実施例は、位相検出器、ローバスフィルタ及びV 
CO(Voltage Controlled 0sc
illator)から成るP L L (Phase 
Locked Loop)回路によって、入力信号の周
波数変化や断続信号にも追従して速度を求めるものであ
る。 この第17図の実施例において、速度演算手段は、ビー
ト検出手段から出力されるドップラビート信号を所定の
タイミング信号A!ffiに変換する波形変換回路部2
2と、この波形変換回路部22から出力されるタイミン
グ信号A2□を信号処理してfJX用速変速度信号力す
る信号処理回路部23と、この信号処理回路部23の出
力に基づいて被測定物の速度を算定する演算回路部12
とにより構成され、さらに、波形変換回路部22と信号
処理回路部23との間に、前記タイミング信号の繰返周
期を安定せしめる周波数安定化手段24を備えた構成と
なっている。 周波数安定化手段24は、その入力信号に係る電圧値に
対応した発振周波数の信号を出力する電圧制御発振回路
24Aと、この電圧制御発振回路24Aから出力される
所定の信号と入力信号との位相差に応じた電圧を発生せ
しめる位相検出回路24Bと、この位相検出回路24B
の出力電圧を平均化して電圧制御発振回路24Aに対し
入力信号として送り込む低域フィルタ24Cとにより構
成されている。 その他の構成は、前述した第1実施例と同一となってい
る。 次に、上記実施例における速度演算手段の動作を説明す
る。 波形整形回路22に入力された鋸歯状波は、波形整形さ
れて同じ周gTをもったパルス信号A28となって周波
数安定化手段(以下、単にrPLLシステム」という)
に入力される。電圧制御発振器(以下、rvco、とい
う)24Aは自走発振器であり、その発振周波数F、の
出力信号P24は位相検出器24Bに帰還され、ここで
入力のパルス信号の周波数F、と比較される。この位相
検出器24Bの出力が誤差信号であり、この誤差信号を
ローパスフィルタ(以下、rLPFJという)24Cに
通すことにより、入力のパルス信号と■COの位相差Δ
φに比例した平均直流電圧■が得られる(第18図波形
A−,Bo参1[) 、 、:、ニア−記号A、は排他
的論理和による位相検出を行った場合のΔφ−■特性を
示したものであり、記号B、 は同様にしてエツジトリ
ガによる位相検出を行った場合のものである。いずれの
位相検出を行った場合にもこの平均直流電圧はループ6
を形成して■C024Aに戻され、この電圧によってV
CO24Aは入力のパルス信号の周波数とVCO24A
自身の発振周波数との差を少なくする方向へ周波数を変
えるように動作し、これによってVCO24Aからの出
力信号は入力のパルス信号の周波数変化に追随すること
になる。出力信号が入力のパルス信号の周波数変化に追
随するスピードはLPF24Cによって制限を受けるが
、もし、入力に高周波雑音が混入しても瞬間的に断続信
号になったとしてもLPF24Cが一種の短時間記憶能
力を持っているので元の信号をすぐに捕獲できるという
特徴がある。 更に、ここで得られた出力信号をゲートの制御信号とす
ることにより、基準クロック発生部23Bから送出され
た基準クロックEzsから計数クロックE0を作成し、
カウンタ23Cで計数することによって出力信号の周期
、すなわち入力信号の鋸歯状波り、の周期Tを求めるこ
とができる。 T=2Xnxt 但し、nは計数値、Lは基準クロックの周期を示す。 そして、被測定物の速度は、この周期に基づいて算定さ
れる。 この第6実施例においては、VCO24Aからの出力信
号をゲート制御信号として基準クロックE0を計数した
が、本発明では必ずしもこれに限定されるものではない
0例えば、第17図の信号処理回路23の基準クロック
発生回路23Bに代えて第19図に示すようにサンプリ
ング周期設定回路25Bとし、これによって信号処理回
路25を構成するようにしてもよい、この場合は、第5
実施例の場合と同様にゲート回路25Aの出力が一定条
件のもとに計数されるようになっている。 信号処理回路23については、さらに第20図に示すよ
うにF−V変換!’526A及びA−D変換26Bから
成る第1実施例の場合と同様の信号処理回路26を用い
たものであってもよい。 〔第7実施例〕 次に本発明の第7実施例を第21図ないし第23図に基
づいて説明する。 この第7実施例は、検出したアナログ信号であるドツプ
ラビート信号をA−D変換器によってデジタル信号に変
換し、メモリに取り込んだ後、マイクロプロセッサ等の
コンピュータを用いて数(色演算を行い、これによって
被測定物の速度を算定しようとするものである。 すなわち、第21図の実施例において、速度演算手段は
、ドツプラビート信号を所定レベルまで増幅スるレベル
調整回路25と、このレベル調整回路25の出力である
鋸歯状波としてのドツプラビート信号の1周期の1/2
以下のサンプリング周期を備えた低域通過フィルタ26
と、この低域通過フィルタ26にてサンプリングされた
データをサンプリング時間ごとにホールドするサンプリ
ングホールド回路27と、このサンプルホールドされた
信号をデジタル信号に変換するA−D変換回路28と、
このA−D変換回路28の出力を記憶するメモリ29と
、このメモリ29に記憶された情報より当該デジタル信
号の全体的な周期性を求めるとともにこの周期性に基づ
いて前記被測定物の移動測定を算定する演算回路部30
とにより構成されている。 そして、演算回路部30が、メモリ29に記憶されたデ
ジタル信号の周波数スペクトラムを高速フーリエ変換の
手法を用いて求める第1の演算機能と、求められたこの
周波数スペクトラムに基づいて当該各周波数のスペクト
ルの相対的強度を求める第2の演算機能と、この各スペ
クトルの相対的強度の内の最も支配的な周波数を抽出す
るとともにこれによって前記デジタル信号の全体的な周
期性を算定する第3の演′JX機能を備えている点に特
徴を有している。 この演算回路部30による速度の演算は、デジタル値に
変換された離散データから、FFT (FastFou
rier Transfor−高速フーリエ変換)の手
法によって周波数スペクトラムを求め、信号の支配的周
波数を解析することにより速度を検出しようとするもの
で、第22図には周期Tにおけるサンプリング例を示す
。 その他の構成及び作用は、前述した第1実施例と同一と
なっている0、。 次に、第21図の動作を説明する。 ビート検出手段3で検出された鋸歯状波としてのドツプ
ラビート信号は、低域通過フィルタ26を通してサンプ
リング時間Tごとにサンプルホールドされ、A−D変換
回路28を通してデジタル信号に変換される。ここで低
域通過フィルタ26は、サンプリングの定理により2T
より短いm%Aの波形は再現性がないため、また、雑音
を除去するためにT/2以上の周波数信号を除去する能
力を有する。従って、サンプリング周期Tは被測定信号
の周期の1/2以下に設定されている。 こうしてデジタル値に変換された信号は、メモリ29に
蓄えられ、演算回路部30によって前述した如く速度が
計算される。 二こで、演算回路部30については、特に高速フーリエ
変換の手法を利用して速度を算定する場合を例示したが
、以下に示す手法を用いたものであってもよい。 ■データの符号反転回数カウントによる速度算定法(第
23図参照) この算定法においては、演算回路部30が、メモリ29
に記憶されたデジタル信号に対して所定のデータ収集時
間NTを設定する演算範囲設定機能と、このデータ収集
時間内の時系列データが「正から負へ」又は「負から正
へ3時間的に変化した回数Mcを求める変化点計数機能
と、これら二つの機能を作動して得られるデータに基づ
いて「Ω= 2 N T / M I Jの演算を行う
とともにこれによってデジタル信号の全体的な周期性を
算定する周期性演算機能とを備えている点に特徴を有し
ている。この場合、求められた周期Ωの精度は、サンプ
リング間隔Tを短く、データ収集時間を長くとることに
より向上する。 ■データ同符号連続回数カウントによる速度算定法(第
24図参照) この算定法においては、時系列データの符号が連続して
同じであった回数M2をカウントし、その間の時間Mc
Tを2倍することにより、データの周期Ωを求めようと
するものである。 この場合、演算回路部30は、メモリ29に記憶された
デジタル信号に係る時系列データの符号が連続して同じ
であった回数M8を計数する連続同符号計数機能と、こ
の連続同符号が継続する時間McTを計時するとともに
当計計数時間MtTを2倍することにより当該デジタル
信号の繰り返し周期を算定する周期性算定機能とを備え
ている点に特徴を有している。 この場合、求められた周期Ωの精度は、サンプリング間
隔T以下にならないため、Ωを平均化することにより向
上できる。 ■データの単調増加、単mK少回数カウントによる速度
算定法(第21; S 4 ICE、 兄この算定法に
おいては、時系列データの単調増幅する回数Mc、単調
減少する回数M4をカウントし、その和をとることによ
り、データの周期Ωを求めようとするものである。 この場合、演算回路部30は、メモリ29に記憶された
デジタル信号に係る時系列データが単調増加する回数M
cおよび単調減少する回数M4を計数するデータ計数機
能と、このデータ計数時間r (Mc+Ma )  ・
T」を演算するとともにこれによって前記デジタル信号
の全体的な周期性を特定する周期性算定機能とを備えて
いる点に特徴を有している。 ここで、上記各実施例は、ビート検出手段3として信号
検出増幅器を使用した場合を例示したが、第2 図に示
すようにレーザ光源の出力光側とは反対側に配設された
ホトダイオード3Aと信号検出増幅器3Bとを用いたも
のであってもよい。 また、被測定物の移動方向を判別する手法としては種々
の方法を考案し得るが、本発明では、第27図のものが
使用されている。 以下、この方向判別手段6について説明する。 この第27図における方向判別手段6は、ドツプラビー
ト信号を所定のタイミング信号に変換する波形変換回路
部30と、このタイミング信号に基づいて一定の基準に
従いデユーティ比の異なる二つの波形を形成する信号処
理回路部31と、この信号処理回路部31の各出力を各
別に均一化する二つのローパスフィルタ32.33と、
前記各ローパスフィルタ32.33から出力サレルレヘ
ルの異なった二つの信号の内、一方の信号を基準として
他方の信号のレベル差を演算するとともにその値の大小
により前記移動物体の移動方向を判別する比較判定手段
34とにより構成されている。 次に、この第27図において入力信号■は微分回路に入
力され波形の立ち上がり、立ち下がりのタイミング信号
■が抽出される。 この信号は二分され、一方は波形整形回路Aにより立ち
下がりに同期したパルス列■となる。パルス列■の周期
は■と■を比較すると分かるように鋸歯状波の周期Tに
対して2倍であり、周波数では1/2になっている。こ
のため鋸歯状波の周波数に換算した矩形波に対するデユ
ーティ比は50% となり、上り勾配と下り勾配の時間
が等しい参照用三角波と等価と見なすことができる。従
ってパルス列■をLPFによって平均化すると、鋸歯状
波の一周期に対応した電圧値となる■、■は上述したよ
うに上り勾配と下り勾配の傾きが等しい参照用三角波の
平均電圧値である。 また、他方の信号は波形変換回路部により反転された後
、LPFによって平均化され、鋸歯状波の下り勾配の時
間に対応した電圧値となる■。 ■と■の電圧値をコンパレータで比較することに相当し
ており、下り勾配の時間が長い場合には出力はハイレベ
ル、短い場合にはローレベルとなるのでこれによって下
り勾配の時間が鋸歯状波の半周期より長いか短いか判別
でき速度方向の判別ができる。 尚、本実施例は下り勾配に着目したが、上り勾配を使っ
た方向判別も同様にして容易に実現できることはいうま
でもない。 〔発明の効果〕 本発明は以上のように構成され機能するので、これによ
ると、レーザ光源を用いてレーザドツプラビート信号を
確実に受信し得ることがらレーザ受信手段を別に設ける
必要がなくなり、光学系が単純な集光手段でよいことか
ら装置全体の操作が容易となり、同時に装置全体を著し
く小型化することができ、ドツプラビート信号より直接
当該ビートの周期性を簡単な信号処理によって得ること
ができ、従って被測定物の速度を容易に算定することが
できるという従来にない小型化されたレーザドツプラ速
度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図は第1実施例を示す説明図、第5図
ないし第6図は第1実施例の変形例を示す説明図、第7
図ないし第8図は各々第2実施例を示す説明図、第9図
ないし第10図は各々第3実施例を示す説明図、第11
図ないし第12図は各々第4実施例を示す説明図、第1
3図ないし第14図は各々第5実施例を示す説明図、第
15図ないし第16図は第5実施例の変形例を示す説明
図、第17図ないし第20図は各々第6実施例を示す説
明図、第21図ないし第22図は第7実施例を示す説明
図、第23図ないし第25図は各々第7実施例における
演算回路部の具体例を示す説明図、第26図はビート検
出手段の他の例を示す説明図、第27図ないし第28図
は方向判別手段の一例を示す説明図、第29図(])(
2)(3)は各々従来例を示す説明図である。 特許出願人  鈴木自動車工業株式会社代理人 弁理士
   高  橋   勇二面の浄書 第1図 1(レープyt′J1.) (盈A二1+)     <!5虜=π)図面の浄書 第2図 −間 O■   O■ C)06)  ■ ○  0eOO e  OO■ O■ O OO○  ■○ O OOO■  O θ  Oe   ■  O 第18図 1丁−1 (イu;ia) 第21図 第22図 第2図   □7.ユ7、。 ↓I 図面の浄書 第u図 第25図 二面の浄り 第26図 図面の浄書 第’IB図 」L−ユー工り一■=コ」=に二二。 ユニコニ=工二二〇 一一一−−−−−−−−−−−− [有]区面の浄書 第2(? vA (f) C/)B丸部) (−人前九法) 手vt  補 正 書(方式) %式% 1、事件の表示   昭和63年特許願第060.05
7号3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住  所    静岡県浜名郡可美村高塚300番地4
、代理人   〒101電話(03) 862−652
0昭和63年5月11日(発送日;昭和63年5月31
B)6、補正の対象 :、  図  面 7、補正の内容 手vL  補 正 書(自発) 昭和63年10月17日 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住  所    静岡県浜名郡可美村高塚300番地4
、代理人   〒101電話(03) 862−652
06、補正の内容 明   細   書 1、発明の名称 レーザドツプラ速度計 2、特許請求の範囲 (1)、コヒーレント光を出力するレーザ光源と、この
レーザ光源から出力されるレーザ出力光を集光旦被斑足
勤二皿■するとともに被測定物からの反射散乱光を前記
レーザ光源側へ送り込む集光手段と、前記反射散乱光に
より形成されるドツプラビート信号を前記レーザ光源か
ら分離抽出するビート検出手段と、このビート検出手段
により検出されるドツプラビート信号に基づいて被測定
物の移動もしくは回転速度を演算する速度演算手段とを
設け、 前記速度演算手段を、前記ビート検出手段から出力され
るドツプラビート信号を所定のタイミング信号に変換す
る波形変換回路部と、この波形変換回路部から出力され
るタイミング信号を信号処理して演算用速度信号を出力
する信号処理回路部と、この信号処理回路部の出力に基
づいて被測定物の速度を算定する演算回路部とにより構
成したことを特徴とするレーザドツプラ速度計。 (2)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラビート信
号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
ベル調整回路の出力信号を微分する微分回路と、この微
分回路から出力されるタイミング信号の立上りに同期し
て前記タイミング信号の二周期分を一周期とする整形ク
ロフクを出力する波形整形回路とにより構成し、 前記信号処理回路部を、周波数のMffiに対応した電
圧を出力するF−V変換回路と、このF−V変換回路の
出力をアナログ−デジタル変換する八−り変換回路とに
より構成したことを特徴とする請求項l記載のレーザド
ツプラ速度計。 (3)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラビート信
号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
ベル調整回路の出力信号に基づいて所定レベルのタイミ
ング信号を出力するコンバレー9と、このコンパレータ
から出力されるタイミング信号に同期して同一周期の整
形クロックを出力する波形整形回路とにより構成したこ
とを特徴とする請求項2記載のレーザドツプラ速度計。 (4)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラ信号を所
定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレベル調
整回路の出力信号を微分する微分回路と、この微分回路
から出力されるタイミング信号に同期して当該タイミン
グ信号の二周期分を一周期とするゲート制御信号を出力
するゲート制御回路とにより構成し、 前記信号処理回路を、前記ゲート制?11信号に制御さ
れてオン−オフ動作するゲート回路と、このゲート回路
に基準クロックを送り込む基準クロック出力回路と、前
記ゲート回路を通過した基準クロックを計数するカウン
タとにより構成したことを特徴とする請求項1記載のレ
ーザドツプラ速度計。 (5)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラビート信
号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
ベル調整回路の出力信号に基づいて所定レベルのタイミ
ング信号を出力するコンパレータと、このコンパレータ
から出力されるタイミング信号に同期してゲート制御信
号を出力するゲート制御回路とにより構成したことを特
徴とする請求項4記載のレーザドツプラ速度計。 (6)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラビート信
号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
ベル調整回路の出力信号に同期して異ったタイミング信
号を出力する並列接続された二つのコンパレータと、こ
の二つのコンパレータ出力を入力するとともにこれら二
つのコンパレータ出力に基づいて所定のゲート制御信号
を出力するゲート制御回路とにより構成したことを特徴
とする請求項4記載のレーザドツプラ速度計。 (7)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラビート信
号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
ベル調整回路の出力信号を微分する微分回路と、この微
分回路から出力されるタイミング信号に同期して計数パ
ルス信号を出力する計数パルス発生回路とにより構成し
、 前記信号処理回路を、前記計数パルス信号を入力するゲ
ート回路と、このゲート回路に併設され当該ゲート回路
の開閉動作を制御するサンプリング周期設定回路と、前
記ゲート回路から出力される計数パルスを計数するカウ
ンタとにより構成したことを特徴とする請求項1記載の
レーザドツプラ速度計。 (8)、前記波形変換回路部を、前記ドツプラビート信
号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
ベル調整回路の出力信号に同期して所定のタイミング信
号を出力するコンパレータと、このコンパレータ出力に
基づいて所定レベルの計数パルスを出力する計数パルス
発生回路とにより構成したことを特徴とする請求項7記
載のレーザドツプラ速度計。 (9)、コヒーレント光を出力するレーザ光源と、この
レーザ光源から出力されるレーザ出力光を集光−レ1し
肚冗J1会」LLするとともに被測定物からの反射散乱
光を前記レーザ光源側へ送り込む集光手段と、前記反射
散乱光により形成されるドツプラビート信号を前記レー
ザ光源から分離抽出するビート検出手段と、このビート
検出手段により検出されるドツプラビート信号に基づい
て被測定物の移動もしくは回転速度を演算する速度演算
手段とを設け、 前記速度演算手段を、前記ビート検出手段から出力され
るドツプラビート信号を所定のタイミング信号に変換す
る波形変換回路部と、この波形変換回路部から出力され
るタイミング信号を信号処理して演算用速度信号を出力
する信号処理回路部と、この信号処理回路部の出力に基
づいて被測定物の速度を算定する6ili算回路部とに
より構成するとともに、 前記波形変換回路部と信号処理回路部との間に、前記タ
イミング信号の繰返周期を安定せしめる周波数安定化手
段を装備したことを特徴とするレーザドツプラ速度計。 (10) 、前記周波数安定化手段を、その入力信号に
係る電圧値に対応した発振周波数の信号を出力する電圧
制御発振回路と、この電圧制御発振回路から出力される
所定の信号と前記入力信号との位相差に応じた電圧を発
生せしめる位相検出回路と、この位相検出回路の出力電
圧を平均化して前記電圧制’<8発振器回路に対して入
力信号として送り込む低域フィルタとにより構成したこ
とを特徴とする請求項9記載のレーザドツプラ速度計。 (11)、 コヒーレント光を出力するレーザ光源と、
このレーザ光源から出力されるレーザ出力光を集光−し
上1淀」1二」LLするとともに被測定物からの反射散
乱光を前記レーザ光源側へ送り込む集光手段と、前記反
射散乱光により形成されるドップラビート信号を前記レ
ーザ光源から分離抽出するビート検出手段と、このビー
ト検出手段により検出されるドツプラビート信号に基づ
いて被測定物の移動もしくは回転速度を演算する速度演
算手段とを設け、 前記速度演算手段を、前記ドツプラビート信号の1周期
の1/2以下のサンプリング周期を備えた低域通過フィ
ルタと、この低域通過フィルタにてサンプリングされた
データをサンプリング時間ごとにホールドするサンプリ
ングホールド回路と、このサンプルホールドされた信号
をデジタル信号に変換するA−D変換回路と、このA−
D変換回路の出力を記憶するメモリと、このメモリに記
憶された情報より当該デジタル信号の全体的な周期性を
求めるとともにこの周期性に基づいて前記被測定物の移
動速度を算定する演算回路部とにより構成したことを特
徴とするレーザトップ立止度計。 (12) 、前記演算回肚が、前記メモリに記憶された
デジタル信号の周波数スペクトラムを高速フーリエ変換
の手法を用いて求める第1の演算機能と、求められたこ
の周波数スペクトラムに基づいて当該各周波数のスペク
トルの相対的強度を求める第2の演算機能と、この各ス
ペクトルの相対的強度の内の最も支配的な周波数を抽出
するとともにこれによって前記デジタル信号の全体的な
周期性を算定する第3の演算機能を備えていることを特
徴とする請求項11記載のレーザドツプラ速度計。 (13) 、前記演算回路部が、前記メモリに記憶され
たデジタル信号に対して所定のデータ収集時間NTを設
定する演算範囲設定機能と、このデータ収集時間内の時
系列データが「正から負へ」又は「負から正へ」時間的
に変化した回数Mcを求める変化点計数機能と、これら
二つの機能を作動して得られるデータに基づいて「Ω=
2NT/McJの演算を行うとともにこれによって前述
デジタル信号の全体的な周期性を算定する周期性演算機
能とを備えていることを特徴とする請求項11記載のレ
ーザドツプラ速度計。 (14) 、前記演算回路部が、前記メモリに記憶され
たデジタル信号に係る時系列データの符号が連続して同
じであった回数Myを計数する連続同符号計数機能と、
この連続同符号が継続〒る時間M2Tを計時するととも
に当該計数時間h!Tを2倍することにより当該デジタ
ル信号の繰返周期を算定する周期性算定機能とを備えて
いることを特徴とする請求項−L」」巳乾のレーザドツ
プラ速度計。 (15) 、前記演算回路部が、前記メモリに記憶され
たデジタル信号に係る時系列データが単調増加する回数
Meおよび単調減少する回数M4を計数するデータ計数
機能と、このデータ計数時間「(Me +Ma )  
・T」を演算するとともにこれによって前記デジタル信
号の全体的な周期性を特定する周期性算定機能とを備え
ていることを特徴とする請求[vtのレーザドツプラ速
度計。 3、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、レーザドツプラ速度計に係り、とくに照射光
としてレーザ光を用いるとともに、その反射光に生じる
ドツプラ効果を利用して被測定物の速度計測を行う方式
のレーザドツプラ速度計に関す名。 〔従来の技術] レーザドツプラ速度計は、コヒーレント光を移動物体に
照射するとともに、その散乱光のドツプラ周波数偏移を
測定し、これによって被測定物の移動速度を非接触にて
検出するものである。このレーザドツプラ速度計は、近
時においては例えば、特開昭60−243583号公報
、実開昭62−42267号公報及び実開昭60−13
5682号公報等にみられる如く、各方面で比較的多く
の研究・開発が進められている。 このレーザドツプラ方式による速度測定においては、所
謂散乱光と参照光を重ね合せるとともに、これにより生
じるビート周波数を測定して被測定物の移動速度を算定
するという手法が採られている。そして、この散乱光と
参照光の重ね合せの方法により、参照光法および自己比
較法等、種々の光学系の構成が考えられている。 この内、参照光は、その光学系が第29図(1)に示す
ように配設されている。この第29図(1)においては
、レーザ光tA100から出力されるレーザビームA0
を被測定対象物である移動物体に照射するとともに、そ
の一部を参照光Bとして、ド・7プラ周波数偏移を受け
ないような光路を通して光検出機200へ導くようにな
っている。そして、この光検出器200にて、参照光を
散乱光A′と重ね合せるとともに、これによって生じる
速度情報を含んだビートが検出され出力されるようにな
っている。 自己比較法は、参照光自体もドツプラ周波数偏移を受け
るもので、−入射光法と二人射光法の二つに分けられて
いる。 一入耐性における自己比較法は、その光学系が第29図
(2)に示すように配設されている。この第29図(2
)に示す手法においては、移動物体Mにレーザ光が当る
までは入射光が一つであるが、その移動物体M上で散乱
される散乱光の周波数偏移がその散乱方向により異るこ
とを利用し、異った方向に散乱する二つの散乱光をレン
ズで光検出器200上に集光し、互いに他を参照光とし
てビートが形成されるようになっている。 さらに、二人耐性における自己比較法は、その光学系が
第29図(3)に示すように配設されている。この第2
9図(3)に示す手法は、差動形レーザドツプラ速度計
ともいい、レーザ光源より出力された光はビームスブリ
フタで二分割された後、レンズ等によって測定面上にて
交差させるという手法が採られている。そして、この交
差せしめた部分での散乱光を集光レンズ等で光検出器上
に集光しビートを形成せしめるという構成となっている
。 〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、かかる従来例にあっては、レーザ送信手
段とレーザ光受信手段とが必要不可欠のものとなってい
ることから、装置全体が大型化し同時に高価なものとな
り、且つ掻作性が悪いという不都合が生じている。さら
に特開昭60−243583号公報および実開昭62−
42267号公報記載のものにあっては、参照光と散乱
光とを所定箇所にて集合せしめるという手法を採ってい
ることから、これら二つのレーザビームを形成するため
の光学系が複雑となり、その最適測定条件の設定に多く
の時間と労力を要し、しかも光学系の固定装備を堅牢に
しなければならないことから装置全体が大型化するとい
う不都合が生じていた。 〔発明の目的〕 本発明の目的は、かかる従来例の有する不都合を改善し
、とくに単一のレーザ光源を用いて回転もしくは移動物
体の速度を高精度に測定し演算処理することのできる比
較的小型化されたレーザドツプラ速度計を提供すること
にある。 〔課題を解決するための手段〕 そこで、本発明では、コヒーレント光を出力するレーザ
光源と、このレーザ光源から出力されるレーザ出力光を
集光するとともに被測定物からの反射散乱光を前記レー
ザ光源側へ送り込む集光手段と、前記反射散乱光により
形成され、るドツプラビート信号を前記レーザ光源から
分離抽出するビート検出手段と、このビート検出手段に
より検出されるドツプラビート信号に基づいて被測定物
の移動もしくは回転速度を演算する速度演算手段とを設
け、前記速度演算手段を、前記ビート検出手段から出力
されるドツプラビート信号を所定のタイミング信号に変
換する波形変換回路部と、この波形変換回路部から出力
されるタイミング信号を信号処理して演算用速度信号を
出力する信号処理回路部と、この信号処理回路部の出力
に基づいて被測定物の速度を算定する演算回路部とによ
り構成するとし、これによって前述した目的を達成しよ
うとするものである。 〔第1実施例〕 以下、本発明の第1実施例を第1図ないし第6図に基づ
いて説明する。 第1図の実施例は、コヒーレント光を出力するレーザ光
源1と、このレーザ光′tA1がら出力されるレーザ出
力光1aを集光するとともに被測定物からの反射散乱光
1bをレーザ光源l側へ送り込む集光手段2と、反射散
乱光1bにより形成されるドツプラビート信号り、をレ
ーザ光源lがら分離抽出するビート検出手段3と、この
ビート検出手段3により検出されるドツプラビート信号
り。 に基づいて被測定物4の移動もしくは回転速度を演算す
る速度演算手段5及び方向判別手段6とを備えている。 この内、レーザ光源1はレーザ駆動回路7に駆動されて
作動するようになっている。このレーザ光源1は、本実
施例においては半導体レーザが使用されている。このレ
ーザ光源lは、被測定物4を照射するコヒーレント光1
aを誘導放出により出力する。この場合、被測定物4に
よって散乱されドツプラ周波数偏移r、を受けた反射戻
り光lbが半導体レーザに戻ると、ドッラプ偏移を受け
ていないコヒーレント光との間で自己混合作用が共振器
内部に生じドツプラビートが発生する。 そして、半導体レーザ駆動電流には、ビート周波数に対
応した鋸歯状波信号が重畳される。 集光手段2として、本実施例では光学レンズが使用され
ている。この集光手段は、レーザ光B1と被測定物4と
の間に置かれ、被測定物4上での照射、散乱条件が最適
となるように焦点位置が調節できる保持機構上(第1図
では省略)に設置されている。この集光手段2はレーザ
光源1から出射されたレーザ照射光1aを集光して被測
定物4に効率よく照射する機能を持っている。同時に被
測定物4によって散乱された反射戻り光を集光し、半導
体レーザ光源1の端面aに入射させる機能を持っている
。 ビート検出手段3としては、本実施例では信号検出増幅
器が使用されている。この信号検出増幅器は、レーザ駆
動回路7の出力端に併設され、レーザ光源を駆動する駆
動電流中より当該駆動電流に重畳された鋸歯状波に近位
したドツプラビート信号を抽出し出力する機能を備えて
いる。第2図(1) (2)にドツプラビート信号の例
を示す、ここで、第2図(1)は被・測定物4が近づい
てくる場合を示し、同図(2)は被測定物4が遠ざかる
場合を示す。 また、速度演算手段5は、第3図に示すように、ビート
検出手段3から出力されるドツプラビート信号を所定の
タイミング信号に変換する波形変換回路部10と、この
波形変換回路部10から出力されるタイミング信号を信
号処理して演算用速度信号を出力する信号処理回路部1
1と、この信号処理回路部11の出力に基づいて被測定
物4の速度Vを算定する演算回路部12とにより構成さ
れている。 この内、波形変換回路部10は、ドツプラビート信号を
所定レベルまで増幅するレベル調整回路10Aと、この
レベル調整回路10Aの出力信号を微分する微分回路1
0Bと、この微分回路10Bから出力されるタイミング
信号の立上りに同期してタイミング信号の二周期分を一
周期とする整形クロックを出力する波形整形回路10C
とにより構成されている。また、信号処理回路部11は
、周波数の大小に対応した電圧を出力するF−V変換回
路11Aと、このF−V変換回路11Aの出力をアナロ
グ−デジタル変換するA−D変換回路11Bとにより構
成されている。 次に、上記実施例における速度演算手段5の動作を第4
図に基づいて説明する。 ビート検出手段3によって検出されたドツプラビート信
号り、は、波形変換回路部10の微分回路10Bの作用
によって鋸歯状波の立ち上がりおよび立ち下がりのタイ
ミング信号A I6が抽出される。 波形整形回路10Cでは、このタイミング信号A1゜の
立ち上がりに同期した整形クロックB IIIを作成す
るのであるが、この整形クロフクB、、は、元の信号で
ある鋸歯状波りあの周波数Fに対応した周波数を持つこ
とになる(本実施例では整形クロックB、。の周波数が
鋸歯状波の周波数の1/2となっている)、従って、こ
の整形クロックB、。の周波数をF−V変換によって電
圧値に線形変換し、その後、A−D変換によりデジタル
的に周波数情報を得ることにより鋸歯状波のビート周波
数r4をも得られる。被測定物4の速度■は、この周波
数f4に基づいて次式によって求められる。 fa−(21Vl ・ cosθ)/λ但し、λは波長
を示し、θは被測定物4の進行方向に対するレーザ照射
光の照射角度を示す、かかる演算は演算回路部12で行
われる。これによって被測定物4の移動速度Vが掻く容
易に算定されるようになっている。 以上のように、この第1実施例においては、光源として
半導体レーザを使用していることがら光学系を含めて全
体的な小型化が可能となり、また光束を二つに分ける必
要性が全くないことから、光学系保持機構が簡単となり
、更に周波数シフタが不要となり、従ってその駆動回路
も不要となることから装置全体を著しく小型化すること
ができる。 また、半導体レーザの自己混合によるビート信号の周波
数は半導体レーザのAM変調可能な周波数と同程度とな
る。このため、従来の方向判別性能が数10〜数百MH
zであったのに対して0〜2.3 (GHz)となり、
測定値の信号処理の高速化を図ることが可能となってい
る。 更に、光学系が簡単化されていることから、全体的に安
価に入手することが可能となり、且つ軽量化が図られて
いることから可搬性が良好となる。 上記実施例においては整形クロックB l(lをタイミ
ング信号の立ち上がりに同期して作成したが、これは立
ち下がりに同期したものでもよく、周波数もパルス輻り
を一様に保ったものであれば1/2としなくとも同様の
結果が得られる。 また、タイミング信号の抽出においても、微分回路10
Bを使用するほか、例えば第5図に示すように、コンパ
レータを使用しても同様な作用効果を得ることができる
。第6図は、この場合の第5回者部の出力波形を示す。 即ち、第5図において、波形変換回路部13は、ドツプ
ラビート信号り、を所定レベルまで増幅するレベル調整
回路13Aと、このレベル調整回路13Aの出力信号に
基づいて所定レベルのタイミング信号AI3を出力する
コンパレータ13Bと、このコンパレータ13Bから出
力されるタイミング信号に同期して同−周期の整形クロ
ックB12を出力する波形整形回路13Cとにより構成
されている。13aは基準レベル信号出力回路を示す、
このようにしても、前述した第3図の場合とほぼ同様の
作用効果を得ることができる。 〔第2実施例〕 次に、第2実施例を第7図ないし第8図に基づいて説明
する。 この第2実施例は、鋸歯状波の一周期に既知の周期を持
つクロックが幾つ存在するのかを計数して鋸歯状波の周
期を求め、更に計算によって速度を得ようとするもので
ある。 この第7図に示す第2実施例においては、波形変換回路
部15が、前述したドツプラ信号を所定レベルまで増幅
するレベル調整回路15Aと、このレベル調整回路15
Aの出力信号り、を微分する微分回路15Bと、この微
分回路15Bから出力されるタイミング信号A + h
に同期して当該タイミング信号の二周期分を一周期とす
るゲート制御信号を出力するゲート制御回路15Cとに
より構成されている。 また、信号処理回路部16が、ゲート制御信号014に
制mされてオン−オフ動作するゲート回路16Aと、こ
のゲート回路16Aに基準クロックE1mを送り込む基
準クロック出力回路16Bと、ゲート回路16Aを通過
した基準クロックE 16を計数するカウンタ16Cと
により構成されている。その他の構成は前述した第1実
施例と同一となっている。 次に、この第7図における速度演算手段の動作について
説明する。 この第7図に示す第2実施例は波形変換回路部15に入
力された鋸歯状波は、微分回路15Bの作用により鋸歯
状波の立ち上がりおよび立ち下がりのタイミング信号A
7.を抽出する。ゲート制御回路15Cでは、このタイ
ミング信号A I &の立ち下がりに同期したゲート制
御信号Gl&によってゲートを開閉する。これによって
、基準クロック出力回路16Bで作られた基準クロック
EI6はゲートの開いている時だけ基準クロックE I
6の通過する計数クロックとなってカウンタ16Cに入
力することになる。ゲートの開いている時間は鋸歯状波
の一周期に対応することを考慮すると、カウンタ16C
で計数した計数値より鋸歯状波の周3IIITが次式で
求められることになる。 T=nXt   (n:計数値、【:基準クロックの周
期) 被測定物4の速度■はこの周期Tから前述した如く計算
で求めるのである。尚、上記第7図の実施例において、
ゲート制御信号C114はタイミング信号Althの立
ち上がりに同期して作成しても同様の結果が得られる。 このようにしても前述した第1実施例と同様の作用効果
を存するほか、基準クロックE 14の数を増すことに
より測定精度を向上させることができるという利点があ
る。 〔第3実施例〕 次に、第3実施例を第9図ないし第10図に基づいて説
明する。 この実施例は、鋸歯状波の電圧値の時間的変化を所定の
基準電圧をもつコンパレータと既知の周期をもつクロッ
クとにより求め、これに基づいて速度を演算するもので
ある。 即ち、この第9図に示す実施例は、波形変換回路部17
が、ドップラビート信号を所定レベルまで増幅するレベ
ル調整回路17Aと、このレベル調整回路17Aの出力
信号D1に基づいて所定レベルのタイミング信号A、を
出力するコンパレータ17Bと、このコンパレータ17
Bから出力されるタイミング信号A I 、に同期して
ゲート制御信号CI?(又はc’ 、、)を出力するゲ
ート制御回路17Cとにより構成されている。 その他の構成は、前述した第7図の実施例の場合と同一
となっている。 次に、この第3実施例における速度演算手段の動作につ
いて説明する。 波形変換回路部17に入力された鋸歯状波り。 は、コンパレータ17Bにて第10図に示す基準値Re
fと比較されコンパレート信号A + 、に変換される
。このコンパレート信号A1.はゲート制御n回路17
Cへ送られる。これによって鋸歯状波の電圧値がRef
以上になった時ゲートが開かれ、同様にRe4以下の電
圧値となった時にゲートが閉じられる様なゲート制?B
信号CIffが作成される。このゲートが開かれてから
閉じられるまでに要するゲート時間T′は、参照電圧R
efの設定値によって鋸歯状波の周期Tと次式の碌な関
係を持つ。 ” =T×[1(Rer−負ピーク値)/(正ピーク値
−負ピーク値)] 従って、上記ゲート時間T′を、基準クロック発生部1
6Bから発生する基準クロックE l?がゲートを通過
して得られる計数パルスE iffをカウンタにより計
数することによって測定すれば、次式から鋸歯状波の周
!!llTを求めることができる。 ”=nxt/ (1(Ref−負ピーク値)/(正ピー
ク値−負ピーク値)〕 但し、nは計数値、tは基準クロックの周期を示す。 測定対象である速度はこの周期Tがら計算で求めるので
ある。尚、上記実施例においてゲート制?Dの論理はG
′1.に示す様に逆にしてもよく、この場合のゲート時
間T″とrfA歯状波の周期Tとの関係は次式の樟にな
り、 T″−TX((Re4−負ピーク値)/(正ピーク値−
負ピーク(J)) この時の計数パルスE″目をカウンタで計数することに
よって同様の結果が得られる。 T=n’  xt/ ((Ref−負ピークイ直)/(
正ピーク値−負ピーク値)〕 (n′ :計数値) 〔第4実施例〕 次に、第4実施例を第11図ないし第12図に基づいて
説明する。 この実施例は、前述した第3実施例と同一の考えのもと
にコンパレータを2個使用したものである。この第11
図の実施例においては、波形変換回路部18が、ドツプ
ラビート信号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路
18Aと、このレベル調整回路]8Aの出力信号り、に
同期して異ったタイミング信号A+*a、A+scを出
力する並列接続された二つのコンパレータ18B、18
cと、この二つのコンパレータ出力A15m、A+*c
を入力するとともにこれら二つのコンパレータ18C,
18Cの出力A 1 @B A 1 kに基づいて所定
のゲート制御信号C6,を出力するゲート制御回路18
Dとにより構成されている点に特徴を有している。 その他の構成は前述した第2実施例(第7図参照)と同
一となっている。 次に、この第4実施例における速度演算手段の動作につ
いて説明する。 まず、各コンパレータ1BB、18Cの比較基準電圧R
m、Rcを次の如く設定する。 (負ピーク値)≦R1≦シ≦(正ピーク4i)次に、レ
ベル調整回路18Aの出力は二つに分けられ、コンパレ
ータ18B、18Cに各々入力される。 各コンパレータでは、比較基1!電圧R,,R,に基づ
いて入力信号を比較し、コンパレート信号A+s*+A
1゜を出力する。これら2つの信号をもとにゲート制御
回路18Dからゲート制御信号Czsを出力してゲート
回路16Aを制御する。ゲートが問いているゲート時間
T’ AおよびT’ Bは比較基tjA電圧R3とRゎ
の設定値によって鋸歯状波の周!tIITと次式の様な
関係を持つ。 T= (T’ A+T’ B)  ・ 〔(正ピーク値
)−(負ピーク値))/ (Rc −R1)従って上記
ゲート時間T’AおよびT’ Bを、基準クロック発生
部から発生する基準パルスgetがゲートを通過して得
られる計数パルスE r、ッ。 E″11をカウンタによって計数することにより、鋸歯
状波の周期は次のように表すことができる。 T−(nA+nB)  ・t − 〔(正ピーク値)−(負ピーク値)〕/(Rc−R1) (nA、nB :T’ A、T’ B中の計数値)測定
対象である速度は、この周期Tより算定される。 〔第5実施例〕 次に、第5実施例を第13図ないし第14図に基づいて
説明する。 この実施例は、予め設定した一定時間間隔に何周期の鋸
歯状波が存在するのが、を計数してその周波数を求め、
これに基づいて被測定物の速度を得ようとする方法であ
る。 この第13図に示す第5実施例においては、波形変換回
路部19が、ドツプラビート信号を所定レベルまで増幅
するレベル調整回路19Aと、このレベル調整回路19
Aの出力信号を微分する微分回路19Bと、この微分回
路19Bから出力されるタイミング信号に同期して所定
の計数パルス信号を出力する計数パルス発生回路19C
とにより構成されている。 また、信号処理回路部20が、前記計数パルス信号を入
力するゲート回路2OAと、このゲート回路20Aに併
設され当該ゲート回路20Aの開閉動作を制御するサン
プリング周v1設定回路20Bと、ゲート回路2OAか
ら出力される計数パルスを計数するカウンタ20Cとに
より構成した点に特徴を有している。 その他の構成は前述した第1実施例と同一となっている
。 次に、上記第5實施例における速度演算手段の動作につ
いて説明する。 波形変換回路部19に入力された鋸歯状波は、微分回路
19Bによって信号の立ち上りおよび立ち下がりのタイ
ミング信号A8.に変換される。計数パルス発生回路1
9Cでは、このタイミング信号A5.をもとに鋸歯状波
の周期Tに対応した周期を持つ計数パルスB 1.を出
力する。また、サンプリング周期設定回路20Bで予め
一定時間間隔を定めておき、その時間に対応したゲート
信号C2,によってゲートを開閉する。ゲートが開かれ
ている一定時間内に幾つの計数パルスが含まれているの
かをカウンタにより計数し、鋸歯状波の周波数Fを次式
から求める。 F=n/T’     (n:  計数(直)測定対象
である速度は、この周波数Fから計算によって求める。 上記実施例に於ては微分回路で作成したタイミング信号
によって計数パルスを取得したが、第15図ないし第1
6図に示す様に、コンパレータ21Bを用いてコンパレ
ータ信号A□を得た後、これによって計数パルスB z
+を取得しても同様な結果を得ることができる。 この第15図において、波形変換回路部21は、ドツプ
ラビート信号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路
21Aと、このレベル調整回路21Aの出力信号に同期
して所定のタイミング信号A z +を出力するコンパ
レータ21Bと、このコンパレータ出力Azlに基づい
て所定レベルの計数パルス13z+を出力する計数パル
ス発生回路21Cとにより構成されている点に特徴を有
している。その他の構成は上述した第13図の実施例と
同一となっている。 〔第6実施例〕 次に、第6実施例を第17図ないし第20図に基づいて
説明する。 この実施例は、位相検出器、ローパスフィルタ及びV 
CO(Voltage Controlled 0sc
illator)から成るP L L (Phase 
Locked Loop)回路によって、入力信号の周
波数変化や断続信号にも追従して速度を求めるものであ
る。 この第17図の実施例において、速度演算手段は、ビー
ト検出手段3から出力されるドツプラビート信号を所定
のタイミング信号A!2に変換する波形変換回路部22
と、この波形変換回路部22から出力されるタイミング
信号A!、を信号処理して演算用速度信号を出力する信
号処理回路部23と、この信号処理回路部23の出力に
基づいて被測定物の速度を算定する演算回路部12とに
より構成され、さらに、波形変換回路部22と信号処理
回路部23との間に、前記タイミング信号の繰返周期を
安定せしめる周波数安定化手段24を備えた構成となっ
ている。 周波数安定化手段24は、その入力信号に係る電圧値に
対応した発振周波数の信号を出力する電圧制御発振回路
24Aと、この電圧制′4■発振回路24Aから出力さ
れる所定の信号と入力信号との位相差に応じた電圧を発
生せしめる位相検出回路24Bと、この位相検出回路2
4Bの出力電圧を平均化して電圧制御発振回路24Aに
対し入力信号として送り込む低域フィルタ24Cとによ
り構成されている。 その他の構成は、前述した第1実施例と同一となってい
る。 次に、上記実施例における速度演算手段の動作を説明す
る。 波形整形回路22Bに入力された鋸歯状波は、波形整形
されて同じ周期Tをもったパルス信号A!、となって周
波数安定化手段(以下、単にrPLLシステム」という
)24に入力される。電圧制御発振回路定回路 発振器であり、その発振周波数F0の出力信号P、4は
位相検出W24Bに帰還され、ここで入力のパルス信号
の周波数F、と比較される。この位相検出器24Bの出
力が誤差信号であり、この誤差信号を低域フィルタ(以
下、rLPF、という)24cに通すことにより、入力
のパルス信号と■COの位相差Δφに比例した平均直流
電圧■が得られる(第18図波形A、B参照)、ここで
記号Aは排他的論理和による位相検出を行った場合のΔ
φ−■特性を示したものであり、記号Bは同様にしてエ
ツジトリガによる位相検出を行った場合のものである。 いずれの位相検出を行った場合にもこの平均直流電圧■
はループを形成してVCO24Aに戻され、この電圧に
よってVCO24Aは入力のパルス信号の周波数とVC
○24A自身の発振周波数との差を少なくする方向へ周
波数を変えるように動作し、これによってVCO24A
からの出力信号は入力のパルス信号の周波数変化に追随
することになる。出力信号が入力のパルス信号の周波数
変化に追随するスピードはLPF24Cによって制限を
受けるが、もし、入力に高周波雑音が混入しても瞬間的
に断続信号になったとしてもLPF24Cが一種の短時
間記憶能力を持っているので元の信号をすぐにtili
511できるという特徴がある。 更に、ここで得られた出力信号をゲートの制で1信号と
することにより、基準クロック発生部23Bから送出さ
れた基準クロックEatから計数クロックE’!!を作
成し、カウンタ23Cで計数することによって出力信号
の周期、すなわち入力信号の鋸歯状波D5の周VITを
求めることができる。 T−2XnXL 但し、nは計数値、tは基準クロツクの周期を示す。 そして、被測定物の速度は、この周期に基づいて算定さ
れる。 この第6実施例においては、VCO24Aからの出力信
号をゲート制御信号として基準クロツクE2、を計数し
たが、本発明では必ずしもこれに限定されるものではな
い0例えば、第17図の信号処理回路23の基準クロッ
ク発生回路23Bに代えて第19図に示すようにサンプ
リング周期設定回路25Bとし、これによって信号処理
回路25を構成するようにしてもよい、この場合は、第
5実施例の場合と同様にゲート回路25Aの出力が一定
条件のもとに計数されるようになっている。 信号処理回路23については、さらに第20図に示すよ
うにF−V変換器26A及びA=;D変換26Bから成
る第1実施例の場合と同様の信号処理回路26を用いた
ものであってもよい。 (第7実施例) 次に本発明の第7実施例を第21図ないし第22図に基
づいて説明する。 この第7実施例は、検出したアナログ信号であるドツプ
ラビート信号をA−D変換器によってデジタル信号に変
換し、メモリに取り込んだ後、マイクロプロセッサ等の
コンピュータを用いて数(直演算を行い、これによって
被測定物の速度を算定しようとするものである。 すなわち、第21図の実施例において、速度演算手段は
、ドツプラビート信号を所定レベルまで11幅するレベ
ル調整回路25と、このレベル調整回路25の出力であ
る鋸歯状波としてのドツプラビート信号の1周期の1/
2以下のサンプリング周期を備えた低域i!l過フィル
タ26と、この低域通過フィルタ26にてサンプリング
されたデータをサンプリング時間ごとにホールドするサ
ンプルホールド回路27と、このサンプルホールドされ
4゛ た信号をデジタル信号に変換するA−D変換回路2日と
、このA−D変換回路28の出力を記憶するメモリ29
と、このメモリ29に記憶された情報より当該デジタル
信号の全体的な周期性を求めるとともにこの周期性に基
づいて前記被測定物の移動速度を算定する演算回路部3
0とにより構成されている。 そして、演算回路部30が、メモリ29に記憶されたデ
ジタル信号の周波数スペクトラムを高速フーリエ変換の
手法を用いて求める第1の演算機能と、求められたこの
周波数スペクトラムに基づいて当該各周波数のスペクト
ルの相対的強度を求める第2の演算機能と、この各スペ
クトルの相対的強度の内の最も支配的な周波数を抽出す
るとともにこれによって前記デジタル信号の全体的な周
期性を算定する第3の演算機能を備えている点に特徴を
有している。 この演算回路部30による速度の演算は、デジタル値に
変換された離散データから、FFT (FastFou
rier Transform高速フーリーエ変高速フ
ーリー上変換周波数スペクトラムを求め、信号の支配的
周波数を解析することにより速度を検出しようとするも
ので、第22図には周期Tにおけるサンプリング例を示
す。 その他の構成及び作用は、前述した第1実施例と同一と
なっている。 次に、第21図の動作を説明する。 ビート検出手段3で検出された鋸歯状波としてのドツプ
ラビート信号は、低域通過フィルタ26を通してサンプ
リング時間Tごとにサンプルホールドされ、A−D変換
回路28を通してデジタル値に変換される。ここで低域
通過フィルタ26は、サンプリングの定理により2Tよ
り短い周期の波形は再現性がないため、また、雑音を除
去するためにT/2以上の周波数信号を除去する能力を
有する。従って、サンプリング周期Tは被測定信号の周
期の1/2以下に設定されている。 こうしてデジタル値に変換された信号は、メモリ29に
蓄えられ、演算回路部30によって前述した如く速度が
計算される。 ここで、演算回路部30については、特に高速フーリエ
変換の手法を利用して速度を算定する場合を例示したが
、以下に示す手法を用いたものであってもよい。 ■データの符号反転回数カウントによる速度算定法(第
23図参照) この算定法においては、演算回路部30が、メモリ29
に記憶されたデジタル信号に対して所定のデータ収集時
間NTを設定する演算範囲設定機能と、このデータ収集
時間内の時系列データが「正から負へ」又は「負から正
へ」時間的に変化した回数Mcを求める変化点計数機能
と、これら二つの機能を作動して得られるデータに基づ
いて「Ω=2NT/M1」の演算を行うとともにこれに
よってデジタル信号の全体的な周期性を算定する周期性
演算機能とを備えている点に特徴を有している。この場
合、求められた周期Ωの精度は、サンプリング間iTを
短く、データ収集時間を長くとることにより向上する。 ■データ同符号連続回数カウントによる速度算定法(第
24図参照) この算定法においては、時系列データの符号が連続して
同じであった回数Mtをカウントし、その間の時間Mx
Tを2倍することにより、データの周期Ωを求めようと
するものである。 この場合、演算回路部30は、メモリ29に記憶された
デジタル信号に係る時系列データの符号が連続して同じ
であった回数M2を計数する連続同符号計数機能と、こ
の連続同符号が継続する時間McTを計時するとともに
当該計数時間Mc Tを2倍することにより当該デジタ
ル信号の繰り返し周期を算定する周期性算定機能とを備
えている点に特徴を有している。 この場合、求められた周期Ωの精度は、サンプリング間
隔T以下にならないため、Ωを平均化することにより向
上できる。 ■データの単調増加、単IN少回数カウントによる速度
算定法(第25図) この算定法においては、時系列データの単調増加する回
数Mc、単調減少する回数M6をカウントし、その和を
とることにより、データの周期Ωを求めようとするもの
である。 この場合、演算回路部30は、メモリ29に記憶された
デジタル信号に係る時系列データが単調増加する回数M
cおよび単ill少する回数M4を計数するデータ計数
機能と、このデータ計数時間r (Mc+J )  ・
T」を演算するとともにこれによって前記デジタル信号
の全体的な周期性を特定する周期性算定i能とを備えて
いる点に特徴を有している。 ここで、上記各実施例は、ビート検出手段3として信号
検出増幅器を使用した場合を例示したが、第24図に示
すようにレーザ光源の出力光側とは反対側に配設された
ホトダイオード3Aと信号検出増幅器3Bとを用いたも
のであってもよい。 また、被測定物の移動方向を判別する手法としては種々
の方法を考写し得るが、本発明では、第27図のものが
使用されている。 以下、この方向判別手段6について説明する。 この第27図における方向判別手段6は、ドツプラビー
ト信号を所定のタイミング信号に変換する波形変換回路
部30と、このタイミング信号に基づいて一定の基準に
従いデユーティ比の異なる二つの波形を形成する信号処
理回路部31と、この信号処理回路部31の各出力を各
別に均一化する二つのローパスフィルタ32.33と、
前記各ローパスフィルタ32.33から出力されるレベ
ルの異なった二つの信号の内、一方の信号を基準として
他方の信号のレベル差を演算するとともにその値の大小
により前記移動物体の移動方向を判別する比較判定回路
34とにより構成されている。 波形変換回路部30は、ドツプラビート信号を所定レベ
ルまで増幅するしペルffl整11(ALC;オートレ
ベルコントローラ)30Aと、コルペル調整回路30A
の出力信号を微分する微分回路30Bとにより構成され
ている。 信号処理回路部31は、微分回路30Bから出力される
所定のタイミング信号に同期して所定レベルの矩形波を
出力する一方の比較回路31Aと、この一方の比較回路
31Aと同一のタイミング信号を入力するとともに当該
一方の比較回路31Aの出力信号を反転した信号を出力
するインバータ31C及び他方の比較回路31Bとによ
り構成されている。各比較回路31A、31Bには、そ
の入力軸に基準信号発生回路(REF)31a、31b
が各々併設されている。 次に、このように構成された方向判別手段6の動作につ
いて説明する。 まず、ビート検出手段3からの出力信号(鋸歯状波)は
、ALC30Aにより測定可能レベルの波形に増幅され
る(信号■)、この鋸歯状波の上り勾配の時間(ΔTr
)と下り勾配の時間(ΔTf)を比較するために、信号
■が微分される(信号■)、この信号■を一方の比較回
路31AでREF31aの出力レベルと比較すると、信
号■が上す勾配の間(ΔTr)ハイレベルとなる矩形波
(信号■)が得られる。同様に、信号■の反転を他方の
比較回路31BでREF3 l bの出力レベルと比較
すると、下り勾配の間(ΔTf)ハイレベルとなる矩形
波(信号■)が得られる。 ローパスフィルタ(LPF)32とローパスフィルタ(
LPF)33により信号■及び■を平均化すると、ΔT
r、ΔTfに比例した電圧が信号■、■とじて得られる
。信号■、■の大小を比較判定回路34で比較し、出力
がハイレベルかローレベルかにより、鋸歯状波の向き即
ち速度方向を判別することができる。 尚、本実施例は下り勾配に着目したが、上り勾配を使っ
た方向判別も同様にして容易に実現できる。 〔発明の効果〕 本発明は以上のように構成され機能するので、これによ
ると、レーザ光源を用いてレーザドツプラビート信号を
確実に受信し得ることがらレーザ受信手段を別に設ける
必要がなくなり、光学系が単純な集光手段でよいことが
らLit全体の操作が、容易となり、同時に装置全体を
著しく小型化することができ、ドツプラビート信号より
直接当該ビートの周期性を簡単な信号処理によって得る
ことができ、従って被測定物の速度を容易に算定するこ
とができるという従来にない小型化されたレーザドツプ
ラ速度計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図ないし第4図は第1実施例を示す説明図、第5図
ないし第6図は第1実施例の変形例を示す説明図、第7
図ないし第8図は各々第2実施例を示す説明図、第9図
ないし第10図は各々第3実施例を示す説明図、第11
図ないし第12図は各々第4実施例を示す説明図、第1
3図ないし第14図は各々第5実施例を示す説明図、第
15図ないし第16図は第5実施例の変形例を示す説明
図、第17図ないし第20図は各々第6実施例を示す説
明図、第21図ないし第22図は第7実施例を示す説明
図、第23図ないし第25図は各々第7実施例における
演算回路部の具体例を示す説明図、第26図はビート検
出手段の他の例を示す説明図、第27図ないし第28図
は方向判別手段の一例を示す説明図、第29図(1)(
2)(3)は各々従来例を示す説明図である。 1・・・・・・レーザ光源、2・・・・・・集光手段、
3・・・・・・ビート検出手段、5・・・・・・速度演
算手段、to、13゜15.17.18,19,21,
22.30・・・・・・波形変換回路部、11.16,
20,23,25゜26.31・・・・・・信号処理回
路部、12・・・・・・演算回路部。 特許出願人  鈴木自動車工業株式会社代理人 弁理士
   高  橋   勇第 1 図 (六じ1)(ガ尚=力) 第5図 第6図 ゴj     (III嘴叡〕 C)0  0 ■ 第7図 第B図 Y、9 図 第12図 ¥fB 図 (ζ躍)

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)、コヒーレント光を出力するレーザ光源と、この
    レーザ光源から出力されるレーザ出力光を集光するとと
    もに被測定物からの反射散乱光を前記レーザ光源側へ送
    り込む集光手段と、前記反射散乱光により形成されるド
    ップラビート信号を前記レーザ光源から分離抽出するビ
    ート検出手段と、このビート検出手段により検出される
    ドップラビート信号に基づいて被測定物の移動もしくは
    回転速度を演算する速度演算手段とを設け、 前記速度演算手段を、前記ビート検出手段から出力され
    るドップラビート信号を所定のタイミング信号に変換す
    る波形変換回路部と、この波形変換回路部から出力され
    るタイミング信号を信号処理して演算用速度信号を出力
    する信号処理回路部と、この信号処理回路部の出力に基
    づいて被測定物の速度を算定する演算回路部とにより構
    成したことを特徴とするレーザドップラ速度計。
  2. (2)、前記波形変換回路部を、前記ドップラビート信
    号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
    ベル調整回路の出力信号を微分する微分回路と、この微
    分回路から出力されるタイミング信号の立上りに同期し
    て前記タイミング信号の二周期分を一周期とする整形ク
    ロックを出力する波形整形回路とにより構成し、 前記信号処理回路部を、周波数の大小に対応した電圧を
    出力するF−V変換回路と、このF−V変換回路の出力
    をアナログ−デジタル変換するA−D変換回路とにより
    構成したことを特徴とする請求項1記載のレーザドップ
    ラ速度計。
  3. (3)、前記波形変換回路部を、前記ドップラビート信
    号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
    ベル調整回路の出力信号に基づいて所定レベルのタイミ
    ング信号を出力するコンパレータと、このコンパレータ
    から出力されるタイミング信号に同期して同一周期の整
    形クロックを出力する波形整形回路とにより構成したこ
    とを特徴とする請求項2記載のレーザドップラ速度計。
  4. (4)、前記波形変換回路部を、前記ドップラ信号を所
    定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレベル調
    整回路の出力信号を微分する微分回路と、この微分回路
    から出力されるタイミング信号に同期して当該タイミン
    グ信号の二周期分を一周期とするゲート制御信号を出力
    するゲート制御回路とにより構成し、 前記信号処理回路を、前記ゲート制御信号に制御されて
    オン−オフ動作するゲート回路と、このゲート回路に基
    準クロックを送り込む基準クロック出力回路と、前記ゲ
    ート回路を通過した基準クロックを計数するカウンタと
    により構成したことを特徴とする請求項1記載のレーザ
    ドップラ速度計。
  5. (5)、前記波形変換回路部を、前記ドップラビート信
    号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
    ベル調整回路の出力信号に基づいて所定レベルのタイミ
    ング信号を出力するコンパレータと、このコンパレータ
    から出力されるタイミング信号に同期してゲート制御信
    号を出力するゲート制御回路とにより構成したことを特
    徴とする請求項4記載のレーザドップラ速度計。
  6. (6)、前記波形変換回路部を、前記ドップラビート信
    号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
    ベル調整回路の出力信号に同期して異ったタイミング信
    号を出力する並列接続された二つのコンパレータと、こ
    の二つのコンパレータ出力を入力するとともにこれら二
    つのコンパレータ出力に基づいて所定のゲート制御信号
    を出力するゲート制御回路とにより構成したことを特徴
    とする請求項4記載のレーザドップラ速度計。
  7. (7)、前記波形変換回路部を、前記ドップラビート信
    号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
    ベル調整回路の出力信号を微分する微分回路と、この微
    分回路から出力されるタイミング信号に同期して計数パ
    ルス信号を出力する計数パルス発生回路とにより構成し
    、 前記信号処理回路を、前記計数パルス信号を入力するゲ
    ート回路と、このゲート回路に併設され当該ゲート回路
    の開閉動作を制御するサンプリング周期設定回路と、前
    記ゲート回路から出力される計数パルスを計数するカウ
    ンタとにより構成したことを特徴とする請求項1記載の
    レーザドップラ速度計。
  8. (8)、前記波形変換回路部を、前記ドップラビート信
    号を所定レベルまで増幅するレベル調整回路と、このレ
    ベル調整回路の出力信号に同期して所定のタイミング信
    号を出力するコンパレータと、このコンパレータ出力に
    基づいて所定レベルの計数パルスを出力する計数パルス
    発生回路とにより構成したことを特徴とする請求項7記
    載のレーザドップラ速度計。
  9. (9)、コヒーレント光を出力するレーザ光源と、この
    レーザ光源から出力されるレーザ出力光を集光するとと
    もに被測定物からの反射散乱光を前記レーザ光源側へ送
    り込む集光手段と、前記反射散乱光により形成されるド
    ップラビート信号を前記レーザ光源から分離抽出するビ
    ート検出手段と、こめビート検出手段により検出される
    ドップラビート信号に基づいて被測定物の移動もしくは
    回転速度を演算する速度演算手段とを設け、 前記速度演算手段を、前記ビート検出手段から出力され
    るドップラビート信号を所定のタイミング信号に変換す
    る波形変換回路部と、この波形変換回路部から出力され
    るタイミング信号を信号処理して演算用速度信号を出力
    する信号処理回路部と、この信号処理回路部の出力に基
    づいて被測定物の速度を算定する演算回路部とにより構
    成するとともに、 前記波形変換回路部と信号処理回路部との間に、前記タ
    イミング信号の繰返周期を安定せしめる周波数安定化手
    段を装備したことを特徴とするレーザドップラ速度計。
  10. (10)、前記周波数安定化手段を、その入力信号に係
    る電圧値に対応した発振周波数の信号を出力する電圧制
    御発振回路と、この電圧制御発振回路から出力される所
    定の信号と前記入力信号との位相差に応じた電圧を発生
    せしめる位相検出回路と、この位相検出回路の出力電圧
    を平均化して前記電圧制御発振器回路に対して入力信号
    として送り込む低域フィルタとにより構成したことを特
    徴とする請求項9記載のレーザドップラ速度計。
  11. (11)、コヒーレント光を出力するレーザ光源と、こ
    のレーザ光源から出力されるレーザ出力光を集光すると
    ともに被測定物からの反射散乱光を前記レーザ光源側へ
    送り込む集光手段と、前記反射散乱光により形成される
    ドップラビート信号を前記レーザ光源から分離抽出する
    ビート検出手段と、このビート検出手段により検出され
    るドップラビート信号に基づいて被測定物の移動もしく
    は回転速度を演算する速度演算手段とを設け、 前記速度演算手段を、前記ドップラビート信号の1周期
    の1/2以下のサンプリング周期を備えた低域通過フィ
    ルタと、この低域通過フィルタにてサンプリングされた
    データをサンプリング時間ごとにホールドするサンプリ
    ングホールド回路と、このサンプルホールドされた信号
    をデジタル信号に変換するA−D変換回路と、このA−
    D変換回路の出力を記憶するメモリと、このメモリに記
    憶された情報より当該デジタル信号の全体的な周期性を
    求めるとともにこの周期性に基づいて前記被測定物の移
    動速度を算定する演算回路部とにより構成したことを特
    徴とするレーザドップラビート速度計。
  12. (12)、前記演算回路が、前記メモリに記憶されたデ
    ジタル信号の周波数スペクトラムを高速フーリエ変換の
    手法を用いて求める第1の演算機能と、求められたこの
    周波数スペクトラムに基づいて当該各周波数のスペクト
    ルの相対的強度を求める第2の演算機能と、この各スペ
    クトルの相対的強度の内の最も支配的な周波数を抽出す
    るとともにこれによって前記デジタル信号の全体的な周
    期性を算定する第3の演算機能を備えていることを特徴
    とした請求項11記載のレーザドップラ速度計。
  13. (13)、前記演算回路部が、前記メモリに記憶された
    デジタル信号に対して所定のデータ収集時間NTを設定
    する演算範囲設定機能と、このデータ収集時間内の時系
    列データが「正から負へ」又は「負から正へ」時間的に
    変化した回数M_1を求める変化点計数機能と、これら
    二つの機能を作動して得られるデータに基づいて「Ω=
    2NT/M_1」の演算を行うとともにこれによって前
    述デジタル信号の全体的な周期性を算定する周期性演算
    機能とを備えていることを特徴とした請求項11記載の
    レーザドップラ速度計。
  14. (14)、前記演算回路部が、前記メモリに記憶された
    デジタル信号に係る時系列データの符号が連続して同じ
    であった回数M_2を計数する連続同符号計数機能と、
    この連続同符号が継続する時間M_2Tを計時するとと
    もに当該計数時間M_2Tを2倍することにより当該デ
    ジタル信号の繰返周期を算定する周期性算定機能とを備
    えていることを特徴とする請求項12記載のレーザドッ
    プラ速度計。
  15. (15)、前記演算回路部が、前記メモリに記憶された
    デジタル信号に係る時系列データが単調増加する回数M
    _cおよび単調減少する回数M_dを計数するデータ計
    数機能と、このデータ計数時間「(M_c+M_d)・
    T」を演算するとともにこれによって前記デジタル信号
    の全体的な周期性を特定する周期性算定機能とを備えて
    いることを特徴とした請求項12記載のレーザドップラ
    速度計。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US8529460B2 (en) 2008-09-18 2013-09-10 Fuji Xerox Co., Ltd. Measuring apparatus
US8636668B2 (en) 2008-09-18 2014-01-28 Fuji Xerox Co., Ltd. Measuring apparatus
WO2019082688A1 (ja) * 2017-10-27 2019-05-02 ソニー株式会社 計測装置、及び計測方法

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