JPH01231337A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、プローブカードに関する。

（従来の技術） 一般に、プローブカードは、プローブ装置に配置され、
半導体ウェハ上に形成された多数の半導体チップの試験
測定を行うために多数の電極パッドに接触するプローブ
針を含む装置である。

第２図は、このような従来のプローブカードの一例を示
すもので、例えばプリント配線基板等からなる基体１の
ほぼ中央には、例えば円形の開口部２が形成されており
、この開口部２の周囲には、下方へ向けて斜めに複数の
探針３が植設されている。また、これらの探針３は、基
体１に形成された図示しない導体パターンによって、基
体１の周縁部に形成された図示しないリード電極に接続
されている。そして、プローブカードはプローブ装置の
ウェハ載置台４の上方に固定され、ウェハ載置台４をＸ
ＳＹおよびＺ方向に駆動することにより、探針３をウェ
ハ載置台４上に配置された半導体ウェハ５の電極パッド
に次々と接触させて半導体ウェハ５に多数形成された半
導体チップの試験１１１Ｊ定を行う。

また、本発明者等は、はぼ垂直に複数の探針を植設した
プローブカードを特願昭８１−２９１１５７号等で提案
している。

すなわち、このプローブカードでは、第３図に示すよう
に例えばプリント配線基板等からなる基体１０上に所定
間隔を設けて支持部材１１が固定されており、この支持
部材１１に一方の端部を固定された複数の探針１２が、
基体１０のガイド穴１３を貫通してほぼ垂直に配置され
ている。そして、探針１２は、リード線１４および基体
１０上に形成された図示しない導体パターンにより基体
１０の端部に配置された図示しないリード電極に接続さ
れている。このようなプローブカードにおいても、プロ
ーブカードはプローブ装置のウェハ裁置台４の上方に固
定され、ウェハ載置台４をＸ１ＹおよびＺ方向に駆動す
ることにより、探針１２を半導体ウェハ５の電極パッド
に次々と接触させて半導体チップの試験測定を行う。

（発明が解決しようとする課題） 上述のように従来は、プローブカードをプローブ装置に
固定し、プローブ装置のウェハ載置台をＸＳＹおよびＺ
方向に駆動してプローブカードの探針と半導体ウェハの
電極パッドとを接触させている。

しかしながら、ウェハ載置台をＸ、ＹおよびＺ方向に駆
動する場合、重量の重いウェハ載置台を数ミクロン−数
十ミクロン程度の誤差以内に正確に駆動することが困難
であるとともに、プローブ装置の機構が複雑化、大型化
するという問題がある。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、従来に較べてより正確にプローブカードの探針と半導
体ウェハの電極パッドとを接触させ、確実に電気的な導
通を得ることができるとともに、プローブ装置の機構を
簡素化することのできるプローブカードを提供しようと
するものである。

［発明の構成コ （課題を解決するための手段） すなわち本発明のプローブカードは、プローブ装置に固
定される基体と、複数の探針を植設された探針支持部材
と、前記基体と前記探針支持部材との間に介在し前記探
針支持部材とともに前記探針を被測定物の電極パッドの
方向に駆動する駆動機構とを備えたことを特徴とする。

（作　用） 上記構成の本発明のプローブカードは、基体と探針支持
部材との間に介在し探針支持部材とともに探針を被測定
物の電極パッドの方向に駆動する駆動機構を備えている
。なお、このような駆動機構としては、例えば圧電セラ
ミックス板を積層して一体化した積層圧電型のアクチュ
エータ等を用いることができる。

したがって、プローブ装置のウェハ載置台をＺ方向に駆
動する駆動機構を簡素化することができるとともに、ウ
ェハ載置台に較べて軽量な探針支持部材および探針を駆
動するので、従来に較べて駆動精度を向上させることが
でき、例えばオーバードライブ量の制御等を従来に較べ
てより正確に行うことができ、プローブカードの探針と
半導体ウェハの電極パッドとを正確に接触させ、確実に
電気的な導通を得ることができる。

（実施例） 以下本発明のプローブカードの実施例を図面を参照して
説明する。

例えばプリント配線基板等からなる基体２０のほぼ中央
部には、例えば円形の開口部２１が形成されており、こ
の開口部２１の上方には、支柱２２により基体２０と所
定間隔を設けて支持板２３が固定されている。

この支持板２３の下側には、例えば圧電セラミックス板
を積層して一体化した積層圧電型のアクチュエータ等か
らなる駆動機構２４が固定されている。この駆動機構２
４は、図示矢印Ｚ方向に例えば数十〜数百μｍ駆動可能
に構成されており、この駆動機構２４の駆動部には、弾
性部材例えば複数のコイルスプリング２５を介して複数
の探針２６が下向きにほぼ垂直に植設された板状の探針
支持部材２７が接続されている。

また、この探針支持部材２７・の下方には、探針支持部
材２７と平行する如く、複数のガイド穴２８が穿設され
たガイド板２９が設けられており、上記探針２６は、こ
れらのガイド穴２８を貫通する如く配置されている。

そして、探針２６の上端には、それぞれリード線３０が
接続されており、これらのリード線３０は、基体２０上
に形成された図示しない導体パターンに接続され、この
導体パターンを介して基体２０の周縁部等に配置された
図示しないリード電極に電気的に接続されている。

上記構成のこの実施例のプローブカードは、基体２０周
縁部をプローブ装置の固定治具（図示せず）に固定する
ことによりプローブ装置のウェハ載置台３１の上方に配
置される。そして、ウェハ載置台３１をＸおよびＹ方向
に駆動するとともに、駆動機構２４をプローブ装置から
の駆動信号によって駆動することにより、探針支持部材
２７および探針２６をＺ方向に駆動させて、探針２６先
端をウェハ載置台３１上に配置された半導体ウェハ３２
の電極パッドに次々と接触させて半導体ウェハ３２上に
多数形成された半導体チップの試験測定を行う。

なお、通常プローブカードの探針２６の先端位置には、
ばら付きがあり、また半導体ウェハ３２の電極パッド表
面には酸化膜が形成されている。

このため、プローブ装置による試験測定を行う際には、
探針２６の先端が電極パッド表面に接触した状態から、
さらにオーバードライブ量と称される量、例えば数十μ
ｍ程度駆動して探針２６と電極パッドとを抑圧状態とす
る必要がある。このようなオーバードライブ量は、探針
２６と電極パッドとを正確に接触させるためには、高精
度で制御する必要がある。したがって、このオーバード
ライブ量のみを駆動機構２４によって制御するよう構成
してもよい。

すなわち、上記説明のこの実施例のプローブカードでは
、プローブ装置のウェハ載置台３１をＺ方向に駆動する
機構を削減あるいは簡素化することがきるとともに、ウ
ェハ載置台３１に較べて軽量な部材を駆動するので、従
来に較べて駆動精度を向上させることができ、プローブ
カードの探針２６と半導体ウェハ３２の電極パッドとを
正確に接触させ、確実に電気的な導通を得ることができ
る。

［発明の効果］ 上述のように、本発明のプローブカードによれば、従来
に較べてより正確にプローブカードの探針と半導体ウェ
ハの電極パッドとを接触させ、確実に電気的な導通を得
ることができるとともに、プローブ装置の機構を簡素化
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のプローブカードの構成を示
す図、第２図および第３図は従来のプローブカードの構
成を示す図である。 ２０・・・・・・基体、２１・・・・・・開口部、２２
・・・・・・支柱、２３・・・・・・支持板、２４・・
・・・・駆動機構、２５・・・・・・コイルスプリング
、２６・・・・・・探針、２７・・・・・・探針支持部
材、２８・・・・・・ガイド穴、２９・・・・・・ガイ
ド板、３０・・・・・・リード線、３１・・・・・・ウ
ェハ載置台、３２・・・・・・半導体ウェハ。 出願人　　東京エレクトロン株式会社 代理人　弁理士　　須　山　佐　− ９で　１　、二

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）プローブ装置に固定される基体と、複数の探針を
   植設された探針支持部材と、前記基体と前記探針支持部
   材との間に介在し前記探針支持部材とともに前記探針を
   被測定物の電極パッドの方向に駆動する駆動機構とを備
   えたことを特徴とするプローブカード。