JPH01220150A - 情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、レーザビームを用いて情報の記録・再生を
行なう情報記録媒体の製造方法に関する。

（従来の技術） レーザビームを用いて光学的に情報の記録・再生を行う
のに、基板上に形成された記録膜に、記録すべき情報に
対応させたパルス変調レーザビームを照射して局部的に
相変化を行わしめる情報記録媒体が知られている。

このような情報記録媒体は■記録密度が極めて高く大容
量化が可能であること、■情報の記録や再生を非接触で
行なうので記録媒体の摩耗がないこと、■高速アクセス
が可能であること、などの利点があり、いわゆる光ディ
スクや光カードに応用されている。情報記録媒体は、光
ビームの照射により光学的性質が変化する記録膜を、透
明な基板上に形成したもので、再生方法はレーザビーム
を記録膜に向は照射し、その反射光を検出して記録情報
を読み出すのが一般的である。

記録膜に関しては、カルコゲン化合物、有機色素あるい
は希土類−遷移金属等の材料が知られている。しかし、
これらの記録膜材料は、媒体寿命が充分でなく、更に長
寿命で耐環境性に優れ、良好な記録・再生特性を示すも
のの実現が要望されている。

（発明が解決しようとする課題） この発明は、長寿命で耐環境性に優れしかも高感度を持
ち信頼性の高い情報記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、レーザビームの照射により情報の記録・再
生を行なう記録膜を有する情報記録媒体の製造方法にお
いて、真空容器内にＡＣｊＴｅ共晶合金ターゲットを備
え、記録膜は基板上に有機成分からなるガス雰囲気中で
の反応性スパッタリングにより形成したことを特徴とす
る。

（作　用） この発明による情報記録媒体の製造方法により、記録膜
中にＡＣＩＴｅ共晶微粒子と有機成分とが混在し酸化が
抑制されるとともに、記録時のレーザビーム照射により
有機成分中のアルキル分が蒸発することにより、耐環境
性の優れた情報記録媒体を提供し得るものである。

（実施例） 以下、この発明による情報記録媒体の製造方法の実施例
を図面を参照し詳細に説明する。

第１図はこの発明を実施するためのスパッタリング装置
の構成図である。即ち、真空容器■には、混合ガス等が
供給されるガス導入口■及び図示しない真空ポンプに接
続された排気口（３）が設けられている。容器■内には
金属ターゲット及び電極←）が設けられ、端子■を介し
て図示しない直流（ＤＣ）電源に接続される。また、容
器（ト）内の前記電極０）に対向する位置に基板（６）
が設置される対向電極■が設けられている。

基板０は１３０ｍφ、厚さ１．２．のポリカーボネイト
、ポリメチルメタアクリレートあるいはエポキシ等の透
明樹脂材料からなり、基板表面には図示しないが８００
オングストロ一ム程度の深さに記録・再生用案内溝（グ
ループ）が予め形成されている。

記録膜の形成手順は、まず真空容器α）の内部を排気口
■を通して２　Ｘ　１Ｏ−６Ｔｏｒｒ程度まで排気した
後、ガス導入口■より炭化水素（ＣＨ４）ガス及びＡｒ
ガスとの混合ガスを導入する。ＣＨ４ガスとＡｒガスの
混合容積量は夫々１０３ＣＣ）ｌとし、容積比を例えば
に１の割合とする。そこで、容器内ガス圧力を５　ｘ　
１Ｏ−３Ｔｏｒｒとした後に、ターゲットＧ）と対向電
極■との間に例えば０．５ＡのＤＣ電力を供給し反応性
スパッタリングを行う。この結果、基板（へ）上に記録
膜が堆積形成されて情報記録媒体が作製される。なお、
基板０は１８ｐｐｍの速度で回転させ、堆積膜の均一化
を計っている。

［実施例−１１ 金属ターゲット（イ）にＡＣＩＴｅ共晶合金を使用する
。ＡｇＴｅ共晶合金はＡｑが２３〜３６８１％で残りは
Ｔｅからなる。基板０上に記録膜を堆積させるのに、ま
ずＣＨ４ガスとＡｒガスとの容積比が１：１からなる総
量２０３ＣＣＭの混合ガスを導入する。

このようにして、スパッタリングを行った結果、４０秒
間で５０ｎｍの厚さの記録膜を得ることができた。

なお、この間、容器内のスパッタリング圧力は５ｘ１０
−３Ｔｏｒｒに維持する。

この結果、第２図にその記録媒体の断面模式を示すよう
に、スパッタリング混合ガス組成とターゲットとの関係
から、基板０上に堆積形成される記録膜（６１）はＡＣ
ｌＴｅ共晶微粒子（６１１）と有機成分（６１２）とが
混在したものとなる。

そこで、この記録膜を加熱すると、第２図に示すように
、１５０℃付近で有機成分（６１２）中のアルキル分が
蒸発し、膜（６１）中のＡｑＴ、ｅ共晶微粒子（６１１
）は非晶質から結晶質（６１３）に相変化する。

この記録媒体に波長８００ｎｍの半導体レーザを１ＪＪ
Ｉｎφに絞り込んだパルス波を照射し、その反射光量の
変化をレーザビーム強度を変えながら観察した結果、３
ＭＨ２の変調波で記録膜表面上で３ｍｗで当たったとき
、反射光量が変化した。この変化する反射光量の差異は
非晶質と結晶質と光の反射率が相違することによるもの
でおるが、これを２値記録出力として４５ｄＢ以上のＳ
／Ｎ比がとれることが分った。記録膜が非晶質のとき、
可視光領域での反射率は約３０％程度であるが、結晶質
に変ることにより、相移転により反射率が高くなるもの
である。また、記録膜内のアルキル分を蒸発させるので
、Ｓ／Ｎ比との相関から、膜厚は１０〜１００ｎｍであ
ればよいことが分った。

情報が記録された箇所は、ＡｑＴｅ共晶微粒子と有機成
分とが混在しているので酸化されにくく、高温高湿度槽
での環境テストの結果、記録膜の劣化は認められず、長
寿命で安定した記録媒体が得られた。

［実施例−２］ スパッタリング混合ガス中のＣＨ４をパラフィン系炭化
水素Ｃ２Ｈｅに代えたところ、アルキル分の蒸発温度は
約１６０’Ｃとなった他は、実施例−１と同様な特性が
得られた。また、炭化水素ガスとしてＣＨ４やＣ２Ｈ６
に限らず、他のパラフィン系（ＣｎＨ２ｎ＋２．ｎ＝　
１〜４）、オレフィン系（ＣｎＨ２ｎ、ｎ＝２．３）あ
るい（ｃＬ７ｔチＬ’ンＭ（ＣｎＨ２ｎ−２，ｎ＝２．
３）　でも同様な効果カ得られる。

［発明の効果］ 以上説明のように、この発明の製造方法によれば、特に
耐環境性に優れ長寿命で、記録・再生特性の優れた情報
記録媒体を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る情報記録媒体の製造に使用する
反応性スパッタリング装置の構造を示す獄要図、第２図
この発明による製造方法によって作製された情報記録媒
体の断面模式図である。 α）・・・真空容器 ■・・・ガス導入口 （イ）・・・金属ターゲット （へ）・・・基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザビームの照射により情報の記録・再生を行なう記
   録膜を有する情報記録媒体の製造方法において、真空容
   器内にＡｇＴｅ共晶合金ターゲットを備え、記録膜は基
   板上に有機成分からなるガス雰囲気中での反応性スパッ
   タリングにより形成したことを特徴とする情報記録媒体
   の製造方法。