JPH01219585A - Ｘ線照射装置におけるミラー軸ずれ情報取得装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、Ｘ線源から発生したＸ線を軸対称全反射Ｊ４
２ＸＰ　ミラーにより細く集束して対象に照射するＸ線
照射装置に関し、特に該Ｘ線ミラーの軸ずれに関する情
報を取得することのできる装置に関するものである。

［従来技術］ 第４図は、対象上の限られた狭い領域に高い強度のＸ線
を照射することのできるＸ線照射装置の一例を示す。図
において１はＸ線源、２は照射対象、３は軸対称全反射
型Ｘ線ミラー、４は不要なＸ線を除くための絞りである
。

図に示されているように、Ｘ線ミラー３の内面の全反射
面で反射されたＸ線は、対象２上の一点０に集束されて
照射されるため、この照射点ＯにおけるＸ線強度を、ミ
ラーを配置しない場合に比べ桁違いに高めることができ
る。

［発明が解決しようとする課題］ 上記装置では、照射点を微細化し照射点におけるＸ線強
度を高めるために、前記Ｘ線源１がＸ線ミラー３の軸上
に来るように正確に軸を合わせる必要があるが、Ｘ線は
直接観察が不可能なため、従来は、大まかな軸合わせし
かできなかった。

本発明は上述した点に鑑みてなされたものであり、軸合
ずれに関する情報を取得し、それに基づいて正確な軸合
わせを行うことのできる装置を提供することを目的とし
ている。

［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、本発明は、Ｘ線源から発生し
たＸ線を軸対称全反射型Ｘ線ミラーにより細く集束して
対象に照射するＸ線照射装置において、該ミラーと該ミ
ラーによるＸ線集束点との間のＸ線光路上に該光路にほ
ぼ直交するように配置される２次元Ｘ線検出器と、該ミ
ラーによる反射を受けずに該ミラーを通過して該２次元
検出器に入射したＸ線Ｘａを検出した信号に基づき、該
検出器の検出面上に形成されるＸ線Ｘａによる円形像の
重心位置を求める手段と、該ミラーにより反射されて該
２次元検出器に入射したｘｇＸｂを検出した信号に基づ
き、該検出器の検出面上に形成されるＸ線Ｘｂによる円
形像の重心位置を求める手段と、上記２つの重心位置の
差を求める手段とを備えたことを特徴としている。

以下、図面を用いて本発明を詳説する。

［実施例］ 第１図は本発明の一実施例の構成を示す概略図であり、
５はＸ線ミラー３と該ミラー３による焦点Ｏの間に設置
された２次元Ｘ線検出器例えばＸ線ビジコン、６はＸ線
ビジコンからの検出信号を処理する処理回路、７は処理
結果を表示するための表示器、８はＸ線ミラー３を支持
すると共に、軸合わせのために該ミラーを駆動する駆動
機構である。

上記構成において、ビジコン６のＸ線入射面には、予め
ミラー３を取り除いて絞り４を通過したＸ線を入射させ
て得た絞り４の像に基づき、第２図（ａ）に示すように
絞り４の像の中心を原点ＯとするＸ−Ｙ直交軸が設定さ
れている。

第１図から分かるように、Ｘ線源１から発生しビジコン
６へ入射するＸ線は、ミラー３の中心部を通過した発散
Ｘ線Ｘａと、ミラー３により反射されて焦点０へ向かう
ｘｍＸｂに分けられる。

第２図（ｂ）は、ビジコン６の入射面に形成されるＸ線
像を示し、斜線を施した円形像ＺａがＸａによるもの、
環状の像ｚｂがＸｂによるものであり、軸が完全にあっ
ているときは、両像はこの図のように同心円を成す。

ところが、軸をわずかずつずらして行くと、像Ｚａはほ
とんど変化しないのに対し、像ｚｂは第２図（ｂ）のよ
うに内側にループが出来、ずれが大きくなるとそのルー
プも大きくなるという、ずれに対応した変化を示す。

そこで、本発明においては、像Ｚａの重心と像ｚｂの重
心を求め、更に両者の重心位置の差を求め、これを軸ず
れに関する情報としている。

それぞれの重心を別個に求めるために、像Ｚａに関する
信号と像ｚｂに関する信号を区別することは、信号強度
の違いに基づいて容易に行うことができる。

即ち、Ｘａは発散Ｘ線なのに対し、Ｘｂは集束Ｘ線なの
で、Ｘｂの方が強度が高いからである。

従って、処理回路６において適当なスレッショルドレベ
ルを２段階に（１つはノイズと信号を区別するため、も
う１つはＸａによる信号とＸｂによる信号を区別するた
め）設定することにより、Ｚａに関するＸａによる信号
と像ｚｂに関するＸｂによる信号を区別して取り出すこ
とができる。

ｚｂの内側のループが大きくなって行くと、第３図（ａ
）、（ｂ）に示したように、ループ内を除いた斜線部分
の面積は徐々に小さくなり、それに伴い、斜線部分の重
心は、例えばＰｉ、Ｐ２のように像Ｚａの重心Ｐｏ　　
（一定）から徐々にずれる。処理回路６においては、こ
の様な重心を求める演算を行って像Ｚａの重心位置と像
ｚｂの重心位置を求め、両者の重心位置の差を更に求め
ている。この差の値が表示器７へ送られて表示されるた
め、オペレータは、表示値を読むことにより、どの程度
軸がずれているかを把握することが可能である。そして
、それに基づいてずれが少なくなる方向へ駆動機構８を
操作することにより、軸ずれを補正することができる。

尚、本発明では、このように軸ずれに関する情報が得ら
れるため、この情報を用いて例えば最適化制御などの自
動制御を行うことにより軸合わせを行うことも可能であ
る。

上記実施例では単に図形的な重心位置を求めたが、例え
ば、更にＸ線強度（線ｆｆ１）による重み付けを考慮し
て重心位置を求めるようにすることも考えられる。

［効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば、軸対称全反射型Ｘ
線ミラーを用いたＸ線照射装置において、軸ずれに関す
る情報を取得することが可能になるため、正確な軸合わ
せを行うことが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図及び第
３図はその動作を説明するための図、第４図はＸ線照射
装置を説明するための概略図である。 １：Ｘ線源 ３：軸対称全反射型Ｘ線ミラー ４：絞り　　　　５：Ｘ線ビジコン ６：処理回路　　７：表示器 ８：駆動機構

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）Ｘ線源から発生したＸ線を軸対称全反射型Ｘ線ミ
   ラーにより細く集束して対象に照射するＸ線照射装置に
   おいて、該ミラーと該ミラーによるＸ線集束点との間の
   Ｘ線光路上に該光路にほぼ直交するように配置される２
   次元Ｘ線検出器と、該ミラーによる反射を受けずに該ミ
   ラーを通過して該２次元検出器に入射したＸ線Ｘａを検
   出した信号に基づき、該検出器の検出面上に形成される
   Ｘ線Ｘａによる円形像の重心位置を求める手段と、該ミ
   ラーにより反射されて該２次元検出器に入射したＸ線Ｘ
   ｂを検出した信号に基づき、該検出器の検出面上に形成
   されるＸ線Ｘｂによる円形像の重心位置を求める手段と
   、上記２つの重心位置の差を求める手段とを備えたこと
   を特徴とするミラー軸ずれ情報取得装置