JPH01213565A - Ｃｏ↓２ガスセンサの電極形成方法 - Google Patents
Ｃｏ↓２ガスセンサの電極形成方法Info
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- JPH01213565A JPH01213565A JP63040461A JP4046188A JPH01213565A JP H01213565 A JPH01213565 A JP H01213565A JP 63040461 A JP63040461 A JP 63040461A JP 4046188 A JP4046188 A JP 4046188A JP H01213565 A JPH01213565 A JP H01213565A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は固体電解質を用いた空気中のＣＯ２ガス濃度を
測定するためのＣＯ□ガスセンサの電極形成方法に関す
る。本発明の電極形成方法を施すＣＯ２ガスセンサは、
環境制御、農畜産、醗酵工業プロセスをはじめとする多
数の分野のＣＯ２ガス濃度測定、あるいはＣＯ２濃度制
御に使用することができる。
測定するためのＣＯ□ガスセンサの電極形成方法に関す
る。本発明の電極形成方法を施すＣＯ２ガスセンサは、
環境制御、農畜産、醗酵工業プロセスをはじめとする多
数の分野のＣＯ２ガス濃度測定、あるいはＣＯ２濃度制
御に使用することができる。
［従来の技術］
固体電解質の上に一対の電極を形成し、一方にはアルカ
リ金属炭酸塩層を設ける事によりＣＯ□感応性電極とし
、他方をＣＯ２不感応性電極としたＣＯ２検出部を有し
、小型のヒーターにより自己加熱することの可能な実用
的なＣＯ，センサがある。そのＣＯ２検出の原理につい
て以下に示す。
リ金属炭酸塩層を設ける事によりＣＯ□感応性電極とし
、他方をＣＯ２不感応性電極としたＣＯ２検出部を有し
、小型のヒーターにより自己加熱することの可能な実用
的なＣＯ，センサがある。そのＣＯ２検出の原理につい
て以下に示す。
そのＣＯ２検出の原理については、Ｎａ”イオン導電性
固体電解質β−Ａ１．０．を用いたＣＯ２検出を例に示
す。すなわち、このＣＯ２検出原理は、−種の電池を応
用したもので、その電池式はｃｏ、（ＰＣＯ２）、０２
（ＰＯ２）、Ｐｔ１Ｎａ２Ｃ○２１１β−Ａ １□０３
１Ｐ ｔ 、０２（ＰＯ２） −−−（１）である。こ
の電池のそれぞれの界面（Ｃ０２感応性電極とＣＯ□不
感応性電極）においては、それぞれなる平衡反応が達成
されており、全電池反応としては。
固体電解質β−Ａ１．０．を用いたＣＯ２検出を例に示
す。すなわち、このＣＯ２検出原理は、−種の電池を応
用したもので、その電池式はｃｏ、（ＰＣＯ２）、０２
（ＰＯ２）、Ｐｔ１Ｎａ２Ｃ○２１１β−Ａ １□０３
１Ｐ ｔ 、０２（ＰＯ２） −−−（１）である。こ
の電池のそれぞれの界面（Ｃ０２感応性電極とＣＯ□不
感応性電極）においては、それぞれなる平衡反応が達成
されており、全電池反応としては。
Ｎａ２ＣＯ，＝Ｎａ２０＋Ｃ○２・−（３）ａＮａ２Ｃ
ｏ、（Ｎａ２Ｃ○、の活量）＝１とすれば。
ｏ、（Ｎａ２Ｃ○、の活量）＝１とすれば。
その起電力Ｅは、
Ｅ＝Ｅ、 −（ＲＴ／２Ｆ）ｉｎ（ａＮａ２（）ＰＣＯ
２）・・・（４） ここでＥ。は定数、Ｒは気体定数、Ｔは絶対温度、Ｆは
ファラデ一定数、ａＮａ２０はＮ ａ２０の活量、ＰＣ
Ｏ２はＣＯ，ガス分圧を示す。ａＮａ２０は、β−Ａ１
２０．の組成によって決定するもので定数とみなされる
。従って、Ｔ一定という条件のもとて起電力はＰＣＯ２
のみの関数となり、この電池の起電力よりＰＣＯ２を求
めることができる６以上のことは、すでに公知（先山ら
第１０同面体イオニクス討論会講演要旨集６９（１９８
３））となっている。この原理を用いたＣＯ２検出部を
、自己加熱用ヒーターにより、電極反応が充分速く進む
温度まで昇温することができ、Ｃｏ２検出を容易に行な
うことができるデバイスは未だ普及していない。この原
理を実現するデバイスとしては、平衡反応式（２）を円
滑に進行させることが必要である。それにはＣＯ２検出
部の温度を充分な高温に保つと同時に、電極が多孔質で
ありＮａ２Ｃ○３層が電極一固体電解質界面４に充分に
形成され、Ｃｏ２ガス及び０２ガスが円滑に電極−同体
電解質界面４まで至達できること、さらには電極が固体
電解質及びＮ ａ ２ＣＯ３の成分と化合物を作らない
ことが必要である。従来、ＣＯ２検出部の電極には市販
のｐｔペーストが使用されているが、Ｎａとの化合物を
形成するため、経時変化が生じ、長時間の安定性に欠け
ることが明らかになった。また、市販のＡｕペーストを
用いる場合、Ａｕペーストはガスセンサにおける多孔質
電極用として製造されておらず、焼き付は後の膜の緻密
さ、滑らかさなどに重点がおかれているため、ガスセン
サの多孔質電極としてはふされしくない。すなわち。
２）・・・（４） ここでＥ。は定数、Ｒは気体定数、Ｔは絶対温度、Ｆは
ファラデ一定数、ａＮａ２０はＮ ａ２０の活量、ＰＣ
Ｏ２はＣＯ，ガス分圧を示す。ａＮａ２０は、β−Ａ１
２０．の組成によって決定するもので定数とみなされる
。従って、Ｔ一定という条件のもとて起電力はＰＣＯ２
のみの関数となり、この電池の起電力よりＰＣＯ２を求
めることができる６以上のことは、すでに公知（先山ら
第１０同面体イオニクス討論会講演要旨集６９（１９８
３））となっている。この原理を用いたＣＯ２検出部を
、自己加熱用ヒーターにより、電極反応が充分速く進む
温度まで昇温することができ、Ｃｏ２検出を容易に行な
うことができるデバイスは未だ普及していない。この原
理を実現するデバイスとしては、平衡反応式（２）を円
滑に進行させることが必要である。それにはＣＯ２検出
部の温度を充分な高温に保つと同時に、電極が多孔質で
ありＮａ２Ｃ○３層が電極一固体電解質界面４に充分に
形成され、Ｃｏ２ガス及び０２ガスが円滑に電極−同体
電解質界面４まで至達できること、さらには電極が固体
電解質及びＮ ａ ２ＣＯ３の成分と化合物を作らない
ことが必要である。従来、ＣＯ２検出部の電極には市販
のｐｔペーストが使用されているが、Ｎａとの化合物を
形成するため、経時変化が生じ、長時間の安定性に欠け
ることが明らかになった。また、市販のＡｕペーストを
用いる場合、Ａｕペーストはガスセンサにおける多孔質
電極用として製造されておらず、焼き付は後の膜の緻密
さ、滑らかさなどに重点がおかれているため、ガスセン
サの多孔質電極としてはふされしくない。すなわち。
ＣＯ２検出部において固体電解質の電極に接触している
面が、金の膜により密に覆われるため、気相との接触が
少なく、電極反応（平衡反応（２））が円滑に進行しな
いという問題が生じる。
面が、金の膜により密に覆われるため、気相との接触が
少なく、電極反応（平衡反応（２））が円滑に進行しな
いという問題が生じる。
［発明が解決しようとする問題点］
上記したように、電極反応を円滑に進めるために生じる
電極の有する問題点が、本発明が解決しようという問題
点である。すなわち、従来の電極が化合物を作って経時
変化を生じたり、電極が緻密で気層との接触が少なく、
またＮａ、ＣＯ，層がうまく形成されず、電極反応が抑
制され、ＣＯ□検知特性の再現性を低下させていること
である。
電極の有する問題点が、本発明が解決しようという問題
点である。すなわち、従来の電極が化合物を作って経時
変化を生じたり、電極が緻密で気層との接触が少なく、
またＮａ、ＣＯ，層がうまく形成されず、電極反応が抑
制され、ＣＯ□検知特性の再現性を低下させていること
である。
［問題を解決するための手段］
本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであ
る。その手段とするところは、電極材料としてＡｕ金属
を用い、固体電解質微粉、セラミック微粉（１０００℃
以下の温度においてＡｕもしくは固体電解質成分と化合
物を形成しない）あるいは、焼き付は温度以下において
分解する高分子粒子を重量％にして３０％以下混合して
焼き付けることにより、多孔質電極を形成する。さらに
ＣＯ２感応性電極側には電極一固体電解質界面４（以下
、界面という）に充分Ｎａ２Ｃｏ、を含浸させることで
ある。
る。その手段とするところは、電極材料としてＡｕ金属
を用い、固体電解質微粉、セラミック微粉（１０００℃
以下の温度においてＡｕもしくは固体電解質成分と化合
物を形成しない）あるいは、焼き付は温度以下において
分解する高分子粒子を重量％にして３０％以下混合して
焼き付けることにより、多孔質電極を形成する。さらに
ＣＯ２感応性電極側には電極一固体電解質界面４（以下
、界面という）に充分Ｎａ２Ｃｏ、を含浸させることで
ある。
［作用コ
第１図に電極断面の概念図を示す。（ａ）は、本発明の
多孔質電極であり、細孔が多数おいているため、ＣＯ２
，Ｏ□などのガスが界面４まで至達することが可能であ
る。また、（ｂ）は多孔性電極２の上からＮａ２Ｃ○、
を含浸させた様子であって、界面４の部分まで充分にＮ
ａ２Ｃｏ、層１が形成されており、ガスの透過性もよい
。一方、Ａｕペーストのみを焼き付けた場合が（ｃ）で
あり、細孔がほとんど存在しない上、Ｎ ａ −’ Ｃ
Ｏｓ層も界面４に形成し難い。一方、Ａｕペーストに固
体電解質粉末あるいはセラミック粉末、高分子粉末を混
合して焼き付けた場合、第１図（ａＯｂ）に示すように
、多孔質になることを見出し、上記の手段をもって、多
孔質電極２を形成することにより、界面４におけるＮａ
２Ｃｏ、層の形成を充分に行なうことができると共に、
界面４ヘガス穐が拡散によって至達することが可能とな
る。従って、平衡反応（２）を円滑に行なうことができ
、再現のよい起電力を出力することかできる。以上のこ
とから、ＣＯ２検出の再現性及び各個体Ｃ０２検出部ご
との再現性も向上させることができる。
多孔質電極であり、細孔が多数おいているため、ＣＯ２
，Ｏ□などのガスが界面４まで至達することが可能であ
る。また、（ｂ）は多孔性電極２の上からＮａ２Ｃ○、
を含浸させた様子であって、界面４の部分まで充分にＮ
ａ２Ｃｏ、層１が形成されており、ガスの透過性もよい
。一方、Ａｕペーストのみを焼き付けた場合が（ｃ）で
あり、細孔がほとんど存在しない上、Ｎ ａ −’ Ｃ
Ｏｓ層も界面４に形成し難い。一方、Ａｕペーストに固
体電解質粉末あるいはセラミック粉末、高分子粉末を混
合して焼き付けた場合、第１図（ａＯｂ）に示すように
、多孔質になることを見出し、上記の手段をもって、多
孔質電極２を形成することにより、界面４におけるＮａ
２Ｃｏ、層の形成を充分に行なうことができると共に、
界面４ヘガス穐が拡散によって至達することが可能とな
る。従って、平衡反応（２）を円滑に行なうことができ
、再現のよい起電力を出力することかできる。以上のこ
とから、ＣＯ２検出の再現性及び各個体Ｃ０２検出部ご
との再現性も向上させることができる。
［実施例］
多孔質電極用ペーストはＡｕペーストと固体電解質等の
微粉末（粒度４００ｍｅｓｈ以下）を所定量称量し、め
のう乳鉢にて２０分間混合した後、テレピネオールで粘
度調整して作製した。このペーストを固体電解質の小片
直方体の相対する面にスクリーン印刷し、１２０℃で６
０分間乾燥した後、９００℃で１０分間空気中焼成して
多孔質電極を形成した。さらに、一対の多孔性電極の内
、一方にＮａ２Ｃｏ３飽和水溶液を充分に含浸させ、乾
燥した。Ａｕペースト、固体電解質、セラミック（ｅｘ
、アルミナ）の混合比の例を表１に示す。
微粉末（粒度４００ｍｅｓｈ以下）を所定量称量し、め
のう乳鉢にて２０分間混合した後、テレピネオールで粘
度調整して作製した。このペーストを固体電解質の小片
直方体の相対する面にスクリーン印刷し、１２０℃で６
０分間乾燥した後、９００℃で１０分間空気中焼成して
多孔質電極を形成した。さらに、一対の多孔性電極の内
、一方にＮａ２Ｃｏ３飽和水溶液を充分に含浸させ、乾
燥した。Ａｕペースト、固体電解質、セラミック（ｅｘ
、アルミナ）の混合比の例を表１に示す。
上記の多孔質電極の性能を確認するため、第２図に示す
ごとく、平板状ヒーターの上にＣＯ２検出部を密着固定
し、これを８ピンのステムに取り付け、ＣＯ２ガスセン
サを構成した。ＣＯ□検出部の温度を熱電対で測定しな
がら５００℃になるようにヒーター電圧を調整し、Ｃ０
２ガスセンサのＣＯ２濃度特性を測定した結果、表２、
表３に示す良好な結果、すなわち多孔質電極にしたこと
により予想できる結果が得られた６ 第２表及び第３表に測定温度５００℃における金電極と
第１表に示したＡｕペースト・固体電解質混合多孔質電
極の例のうち、いくつかの測定例を示した。第２表は、
５００℃におけるＣＯ２ガス濃度５００ｐｐｍに対する
ＣＯ２ガスセンサの起電力である。この表より、金ペー
ストのみの電極を有するＣＯ□ガスセンサの個体間の起
電力値は標準偏差６４．３ｍｖとかなりのばらつきを示
している一方、電極１〜４を有するセンサの個体間の起
電力値の標準偏差は１８〜２７ｍｖであり、金ペースト
のみの電極を有するセンサの個体間の起電力値のばらつ
きよりもかなり少ない。混合比による性能に有意差はあ
まり生じていないものの、５％以上の混合比をもつ方が
よい。
ごとく、平板状ヒーターの上にＣＯ２検出部を密着固定
し、これを８ピンのステムに取り付け、ＣＯ２ガスセン
サを構成した。ＣＯ□検出部の温度を熱電対で測定しな
がら５００℃になるようにヒーター電圧を調整し、Ｃ０
２ガスセンサのＣＯ２濃度特性を測定した結果、表２、
表３に示す良好な結果、すなわち多孔質電極にしたこと
により予想できる結果が得られた６ 第２表及び第３表に測定温度５００℃における金電極と
第１表に示したＡｕペースト・固体電解質混合多孔質電
極の例のうち、いくつかの測定例を示した。第２表は、
５００℃におけるＣＯ２ガス濃度５００ｐｐｍに対する
ＣＯ２ガスセンサの起電力である。この表より、金ペー
ストのみの電極を有するＣＯ□ガスセンサの個体間の起
電力値は標準偏差６４．３ｍｖとかなりのばらつきを示
している一方、電極１〜４を有するセンサの個体間の起
電力値の標準偏差は１８〜２７ｍｖであり、金ペースト
のみの電極を有するセンサの個体間の起電力値のばらつ
きよりもかなり少ない。混合比による性能に有意差はあ
まり生じていないものの、５％以上の混合比をもつ方が
よい。
次に第３表は測定温度５００℃においてＣＯ２濃度を５
００ｐｐｍから５０００ｐｐｍに変えた場合のセンサの
起電力変化を示した。金ペーストのみの電極を有するセ
ンサの個体間のばらつき（標準偏差９．１３ｍｖ）に比
較して、電極１〜４の多孔質電極を有するセンサでは個
体間のばらつき（標準偏差１．７〜３．９ｍｖ）が小さ
いことが確認できた。金ペーストのみから成る電極では
、金の緻密な膜により固体電解質の電極に接触している
面が密に覆われているが、個体によっては固体電解質表
面の凹凸によるペーストの塗りむらなどにより生じる細
孔の数が異なるため、界面へのガス拡散、界面４におけ
るＮａ２３０、層の形成状態が異なり、起電力値にばら
つきが生じる。
００ｐｐｍから５０００ｐｐｍに変えた場合のセンサの
起電力変化を示した。金ペーストのみの電極を有するセ
ンサの個体間のばらつき（標準偏差９．１３ｍｖ）に比
較して、電極１〜４の多孔質電極を有するセンサでは個
体間のばらつき（標準偏差１．７〜３．９ｍｖ）が小さ
いことが確認できた。金ペーストのみから成る電極では
、金の緻密な膜により固体電解質の電極に接触している
面が密に覆われているが、個体によっては固体電解質表
面の凹凸によるペーストの塗りむらなどにより生じる細
孔の数が異なるため、界面へのガス拡散、界面４におけ
るＮａ２３０、層の形成状態が異なり、起電力値にばら
つきが生じる。
第３図（ａ）に測定温度５００℃における電極３の多孔
質電極を有するセンサ（サンプル２）、（ｂ）に金ペー
ストのみの電極を有するセンサ（サンプル２）の応答特
性を示した。多孔質電極を有するＣＯ２ガスセンサは、
金ペーストのみの電極を有するセンサと比較して、起電
力の再現性及び安定性に優れていることが確認できた。
質電極を有するセンサ（サンプル２）、（ｂ）に金ペー
ストのみの電極を有するセンサ（サンプル２）の応答特
性を示した。多孔質電極を有するＣＯ２ガスセンサは、
金ペーストのみの電極を有するセンサと比較して、起電
力の再現性及び安定性に優れていることが確認できた。
［本発明の効果〕
本発明の効果は次の通りである。
金ペーストのみを焼き付けた電極と比較し１本発明によ
る多孔質電極は電極の平衡反応が円滑に進むため、ＣＯ
２ガスセンサを構成した場合、安定で個体差の少ないも
のができる。このことは、工業生産上において有意義な
ことである。
る多孔質電極は電極の平衡反応が円滑に進むため、ＣＯ
２ガスセンサを構成した場合、安定で個体差の少ないも
のができる。このことは、工業生産上において有意義な
ことである。
第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ本発明の多孔
質電極、多孔質電極にＮａ２ＣＯ，を含浸させた状態、
Ａｕペーストのみを焼き付けた電極断面の概念図である
。 第２図はＣＯ２ガスセンサ素子の構造を示す斜視図であ
る。 第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ電極３の多孔質電極を
有するセンサ、金ペーストのみの電極を有するセンサの
応答性を示す図である。 ３面の浄だ内容に亥更な乙） （ａｌ （ｂ） 図面の浄書（内容に変更なし） １０ Ａｕワイヤー 第２３ （ａｌ 時間 （時） （ｂ） 第３図 手続補正書
質電極、多孔質電極にＮａ２ＣＯ，を含浸させた状態、
Ａｕペーストのみを焼き付けた電極断面の概念図である
。 第２図はＣＯ２ガスセンサ素子の構造を示す斜視図であ
る。 第３図（ａ）、（ｂ）はそれぞれ電極３の多孔質電極を
有するセンサ、金ペーストのみの電極を有するセンサの
応答性を示す図である。 ３面の浄だ内容に亥更な乙） （ａｌ （ｂ） 図面の浄書（内容に変更なし） １０ Ａｕワイヤー 第２３ （ａｌ 時間 （時） （ｂ） 第３図 手続補正書
Claims (5)
- （１）アルカリ金属イオン導電性固体電解質（以後、単
に固体電解質という）及び固体電解質上に設けられたＣ
Ｏ＿２感応性電極とＣＯ＿２不感応性電極からなるＣＯ
＿２検出部と、自己加熱用ヒーターから成るＣＯ＿２ガ
スセンサにおいて、ＣＯ＿２検出部の電極がＡｕ金属と
他成分より成り、少なくともガス拡散可能な微細孔を形
成することを特徴とする、ＣＯ＿２ガスセンサの電極形
成方法。 - （２）ＣＯ＿２ガス検出部の電極がＡｕ金属微粉体と有
機バインダーすなわちＡｕペースト（以後、Ａｕペース
トという）、固体電解質及び１０００℃以下の温度にお
いてＡｕもしくは固体電解質と化合物を形成しないセラ
ミック微粉体との混合物を印刷し、焼き付けることを特
徴とする、上記特許請求の範囲第１項記載のＣＯ＿２セ
ンサの電極形成方法。 - （３）ＣＯ＿２ガス検出部の電極がＡｕペーストと固体
電解質微粉体より成り、固体電解質の重量％が３０％以
下であることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
ＣＯ＿２ガスセンサの電極形成方法。 - （４）ＣＯ＿２ガス検出部の電極がＡｕペーストとセラ
ミック微粉体より成り、セラミック微粉体の重量％が３
０％以下であることを特徴とする特許請求の範囲第２項
記載のＣＯ＿２ガスセンサの電極形成方法。 - （５）ＣＯ＿２検出部の電極がＡｕペースト、固体電解
質微粉体、及びセラミック微粉体よりなり、固体電解質
とセラミックの混合微粉体の重量％が３０％以下である
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のＣＯ＿２
ガスセンサの電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63040461A JPH01213565A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | Ｃｏ↓２ガスセンサの電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63040461A JPH01213565A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | Ｃｏ↓２ガスセンサの電極形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01213565A true JPH01213565A (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=12581282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63040461A Pending JPH01213565A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | Ｃｏ↓２ガスセンサの電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01213565A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02103458A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-16 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH02195246A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-01 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH02195245A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-01 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH02287253A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-27 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH04109360U (ja) * | 1991-03-07 | 1992-09-22 | 矢崎総業株式会社 | コントローラ機能付き炭酸ガスメータ |
| US5766433A (en) * | 1996-02-22 | 1998-06-16 | Akebono Brake Industry Co., Ltd. | Solid electrolyte type gas sensor |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP63040461A patent/JPH01213565A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02103458A (ja) * | 1988-10-13 | 1990-04-16 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH02195246A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-01 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH02195245A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-01 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH02287253A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-27 | Matsushita Seiko Co Ltd | 炭酸ガスセンサ |
| JPH04109360U (ja) * | 1991-03-07 | 1992-09-22 | 矢崎総業株式会社 | コントローラ機能付き炭酸ガスメータ |
| US5766433A (en) * | 1996-02-22 | 1998-06-16 | Akebono Brake Industry Co., Ltd. | Solid electrolyte type gas sensor |
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