JPH01202637A - 光強度測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は例えば反射鏡の反射率等を測定する光強度測定
装置に関する。

（従来の技術） レーザ光を用いて被測定用光学体に４５度でレーザ光を
入射させた時の反射率を測定する反射率測定装置を一例
にあげて説明する。すなわち、第２図に示すようにＨｅ
　−Ｎｅレーザ等のレーザ発振器（１）を有し、放出さ
れたレーザ光（２）の光路には反射率を測定される被測
定反射鏡（３）が設けられている。また、被測定反射鏡
（３）で反射された光路には光検出器（４）が設けられ
、この光検出器（４）は上記レーザ光路（２）を直接測
定する位置、すなわち第２図で位置（５）に変換される
ようになっている。上記の構成での反射率の測定は次の
ように行つていた。先ず、位置（５）に位置変換した光
検出器（４）でレーザ光（２）の強度を測定し、その強
度をＰｏとする。次に光検出器（４）を元に戻し、被測
定反射鏡（３）で反射されたレーザ光の強度を測定し、
その強度をＰｒとし、反射率ｒをＰｒ　／　Ｐ　ｏとし
て計算していた。この場合、レーザ光の時間による強度
変動があると測定精度が上がらない問題があった。これ
を改良するために、第３に示す構成が知られている。す
なわち、レーザ光路（２）の途中にビームスプリッタ（
８）を設け、このビームスプリッタで反射された光路に
光検出器（４）とは別に光検出器（７）を設け、レーザ
光（２）の一部を検出するようになっている。他の構成
は第２図と同じである。

上記の構成での反射率の測定は次のように行っていた。

先ず位置（５）に位置変換した光検出器（４）でビーム
スプリッタ（６）を通過したレーザ光（８）の強度を測
定し、その強度をＰｏｔとする。これと同時にビームス
プリッタ（６）により反射されたレーザ光（９）の強度
を光検出器（７）で測定し、その強度をＰ＋ｎｌとする
。次に、光検出器（４）を元に戻し、同様のＣＩ定を行
い光検出器（４）で測定した強度をＰ　ｒ２．光検出器
（７）で測定した強度をＰｍ２とする。この時反射率ｒ
を（Ｐｒ２Ｘ　ＰＩｌｌ）　／　（Ｐｍ２ｘＰｏｌ）と
して計算していた。

（発明が解決しようとする課題） 第３図に示した構成では、ビームスプリッタにおける散
乱光の影響を少なくするため光検出器（７）をビームス
プリッタからできるだけ遠ざけて配置していた。しかし
ながらビームスプリッタで分けられた二つの光路は位置
が遠くなるほど光路中の環境が一致しなくなり、精度の
高い測定が行えなかった。本発明はこのような事情に鑑
みてなされたもので、精度の高い測定が行える反射率測
定装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段と作用） 光源と、裏面側に高反射面を有し光源から発せられた光
の光路を偏向する反射鏡と、この反射鏡の上記高反射面
で反射された光路に設けられて反射する被測定光学体と
、この被測定光学体で反射または透過した光の強度を検
出する第１の光検出器と、上記反射鏡の表面で反射され
た反射光の強度を検出する第２の光検出器とを備えた構
成とし、レーザ光の強度変動にかかわりなく、はぼ同じ
環境で同時に測定ができる。

（実施例） 以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明する。

なお、第２図と共通する部分には同一の符号を付して説
明する。第１図において、レーザ発振器（１）を有し、
このレーザ発振器（１）から放出されたレーザ光（２）
の光路にはレーザ光を偏向する反射鏡（１０）が設けら
れている。この反射鏡（１０）は裏面側に高反射面（１
１）が形成されているもので、レーザ光（２）は入射表
面（１２）でおよそ１０％程度が反射される光路（１４
）と、上記裏面の高反射面（１１）で残りの９０％程度
反射される光路（１３）の二つの光路に分れる。そして
、光路（１３）には被測定反射鏡（３）が設けられ、偏
向された光路（１３）は第１の光検出器（１５）に、ま
た、光路（１４）は被測定反射鏡（３）の近傍に設けら
れた第２の光検出器（１７）にそれぞれ入射するように
構成されている。上記構成による反射率の測定は第３図
の場合に準じて行う。先ず、位置（１６）に位置変換し
た光検出器（１５）でレーザ光（１３）の強度を測定し
、その強度をＰｏｔとする。これと同時にレーザ光（１
４）の強度を光検出器（１７）で測定し、その強度をＰ
ａｌとする。次に光検出器（１５）を元に戻し、同様の
測定を行い光検出器（１５）でｎ１定した強度をＰ　ｒ
２．光検出器（１７）で測定した強度をＰａ＋２とする
。この時反射率ｒは（Ｐｒ２Ｘ　Ｐａ１）　／　（Ｐｍ
２Ｘ　Ｐｏｔ）として計算により求めることができる。

上記の構成では光路（１３）と光路（１４）とは互いに
近接して進行するから、はぼ同一の環境中に存在し、ま
た、第１の光検出器（１５）を被測定反射鏡（３）に近
接させ第１、第２の光検出器（１５）。

（１７）をできるかぎり近づけさせることで、測定結果
に及ぼす環境差の影響を除去できた。

なお、上記実施例では、反射鏡の反射率を測定する例に
ついて説明したが、これに限定されること無く、被測定
反射鏡に変えて、光透過性の光学体を設ければ、この光
学体の透過率を高精度に測定することができる。また、
光源はレーザ発振器以外の光源であってもよい。

［発明の効果］ 以上詳述したように、部品点数を増すことなく、高精度
に反射率、透過率の光強度を測定できるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図および
第３図は従来例を示す構成図である。 （１）・・・レーザ発振器 （３）・・・被測定反射鏡（被測定光学体）（１０）・
・・反射鏡 （１１）・・・高反射面 （１５）・・・第１の光検出器 （１７）・・−第２の光検出器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光源と、裏面側に高反射面を有し光源から発せられた光
   の光路をこの光路と異なる方向に反射する反射鏡と、こ
   の反射鏡の上記高反射面で反射された光路に設けられて
   反射する被測定用光学体と、この被測定用光学体で反射
   または透過した光の強度を検出する第１の光検出器と、
   上記反射鏡の表面で反射された反射光の強度を検出する
   第２の光検出器とを備えたことを特徴とする光強度測定
   装置。