JPH01202384A - レーザ電源の調整方法 - Google Patents
レーザ電源の調整方法Info
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- JPH01202384A JPH01202384A JP63024648A JP2464888A JPH01202384A JP H01202384 A JPH01202384 A JP H01202384A JP 63024648 A JP63024648 A JP 63024648A JP 2464888 A JP2464888 A JP 2464888A JP H01202384 A JPH01202384 A JP H01202384A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ電源の調整方法に関し、特に複数の放電
管と複数のレーザ用電源を有するＮＣレーザ装置での調
整を簡単に行うレーザ電源の調整方法に関する。
管と複数のレーザ用電源を有するＮＣレーザ装置での調
整を簡単に行うレーザ電源の調整方法に関する。
ＣＯ２ガスレーザ装置等の気体レーザ装置は高出力が得
られ、かつ数値制御装置（ＣＮＣ）と結合して、複雑な
形状の加工が可能なために、金属切断等に広（使用され
ている。
られ、かつ数値制御装置（ＣＮＣ）と結合して、複雑な
形状の加工が可能なために、金属切断等に広（使用され
ている。
このようなＮＣレーザ装置では、放電管を直列に結合し
、個々の放電管ごとに励起用のレーザ用電源を設けて、
励起用電源を供給する方式が採用されている。このよう
な例として、本願出願による特願昭６１−２０８４９２
がある。
、個々の放電管ごとに励起用のレーザ用電源を設けて、
励起用電源を供給する方式が採用されている。このよう
な例として、本願出願による特願昭６１−２０８４９２
がある。
一方、放電管の電気的インピーダンスは放電管によって
異なるために、放電管の出力分担が一定になるように、
レーザ用電源を放電管ごとに調整する必要がある。この
ために、レーザ用電源ごとに調整用の器具、例えば電圧
計あるいはオシロスコープ等を接続して、調整を行って
いた。従って、レーザ用電源の調整に長時間を必要とし
ていた。
異なるために、放電管の出力分担が一定になるように、
レーザ用電源を放電管ごとに調整する必要がある。この
ために、レーザ用電源ごとに調整用の器具、例えば電圧
計あるいはオシロスコープ等を接続して、調整を行って
いた。従って、レーザ用電源の調整に長時間を必要とし
ていた。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、複
数の放電管と複数のレーザ用電源を有するＮＣレーザ装
置での調整を節単に行うレーザ電源の調整方法を提供す
ることを目的とする。
数の放電管と複数のレーザ用電源を有するＮＣレーザ装
置での調整を節単に行うレーザ電源の調整方法を提供す
ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明はでは上記課題を解決するために、数値制御装置
（ＣＮＣ）とレーザ発振器を結合し、複数の放電管と該
放電管に励起電圧を供給するレーザ用電源を有するＮＣ
レーザ装置のレーザ電源の調整方法において、 各レーザ用電源にバイアス調整回路、ゲイン調整回路を
設け、 前記放電管の電圧
、電流を測定し、 セレクタ回路で該電圧及び電流を選択した後にディジタ
ル値に変換し、 該ディジタル値を前記数値制御装置（ＣＮＣ）の表示画
面に表示し、 前記各放電管ごとにレーザ用電源を調整していくことを
特徴とするレーザ電源の調整方法が、提供される。
（ＣＮＣ）とレーザ発振器を結合し、複数の放電管と該
放電管に励起電圧を供給するレーザ用電源を有するＮＣ
レーザ装置のレーザ電源の調整方法において、 各レーザ用電源にバイアス調整回路、ゲイン調整回路を
設け、 前記放電管の電圧
、電流を測定し、 セレクタ回路で該電圧及び電流を選択した後にディジタ
ル値に変換し、 該ディジタル値を前記数値制御装置（ＣＮＣ）の表示画
面に表示し、 前記各放電管ごとにレーザ用電源を調整していくことを
特徴とするレーザ電源の調整方法が、提供される。
各レーザ用電源ごとに、電圧計及び電流計を設けて、測
定した結果を表示画面に表示して、順次調整を実行する
ので、簡単にレーザ電源の調整ができる。
定した結果を表示画面に表示して、順次調整を実行する
ので、簡単にレーザ電源の調整ができる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明を実施するためのＮＣレーザ装置のブロ
ック図を示す。図において、１０は数値制御装置（ＣＮ
Ｃ）、１１は全体を制御するプロセッサ、１２はレーザ
用電源への指令値をディジタル指令値からアナログ値に
変換するＤＡ変換器である。１３は調整すべきレーザ用
電源を選択する選択信号を出力する出力回路、１４はセ
レクタ回路であり、レーザ用電源からの測定結果を出力
回路１３からの出力信号で選択する。１５はＡＤ変換器
であり、セレクタ回路１４で選択されたレーザ用電源か
らの電圧等のアナログ値をディジタル値に変換する。
ック図を示す。図において、１０は数値制御装置（ＣＮ
Ｃ）、１１は全体を制御するプロセッサ、１２はレーザ
用電源への指令値をディジタル指令値からアナログ値に
変換するＤＡ変換器である。１３は調整すべきレーザ用
電源を選択する選択信号を出力する出力回路、１４はセ
レクタ回路であり、レーザ用電源からの測定結果を出力
回路１３からの出力信号で選択する。１５はＡＤ変換器
であり、セレクタ回路１４で選択されたレーザ用電源か
らの電圧等のアナログ値をディジタル値に変換する。
１６はＣＲＴ制御回路であり、表示信号を出力し、ＣＲ
７表示装置４０に各種のデータを表示させる。１７は入
力回路であり、キーボード４１からの信号をバスに伝送
する。
７表示装置４０に各種のデータを表示させる。１７は入
力回路であり、キーボード４１からの信号をバスに伝送
する。
２０はレーザ用電源であり、ゲイン調整回路２１、バイ
アス調整回路２２、インバータ回路２３がある。ゲイン
調整回路２１はゲインを調整する回路であり、最大出力
時の指令値を与え、放電管２６の電圧が所定の値になる
ように、内部の調整用ボリュームで調整する。バイアス
調整回路２２は放電管が放電を開始するバイアス電圧を
調整する回路であり、バイアス電圧を指令し、所定の電
圧になるように、内部の調整用ボリュームで調整する。
アス調整回路２２、インバータ回路２３がある。ゲイン
調整回路２１はゲインを調整する回路であり、最大出力
時の指令値を与え、放電管２６の電圧が所定の値になる
ように、内部の調整用ボリュームで調整する。バイアス
調整回路２２は放電管が放電を開始するバイアス電圧を
調整する回路であり、バイアス電圧を指令し、所定の電
圧になるように、内部の調整用ボリュームで調整する。
インバータ回路２３は直流電圧を２ＭＨｚ程度の高周波
電圧に変換する回路であり、ＦＥＴ等で構成されている
。
電圧に変換する回路であり、ＦＥＴ等で構成されている
。
２４は放電管２６の電圧を測定する電圧計、２５は電流
を測定する電流計である。２６は放電管であり、内部に
レーザガスが循環され、レーザ用電源からの高周波励起
電圧でレーザガスを励起して、レーザ光を発振、増幅さ
せる。
を測定する電流計である。２６は放電管であり、内部に
レーザガスが循環され、レーザ用電源からの高周波励起
電圧でレーザガスを励起して、レーザ光を発振、増幅さ
せる。
３０はレーザ用電源、３１はゲイン調整回路、３２はバ
イアス調整回路、３３はインバータ回路、３４は電圧計
、３５は電流計、３６は放電管であり、これらの構成要
素は前述の構成要素と同じである。このようにレーザ用
電源、電圧計、電流計、放電管の群が複数個あり、その
数はレーザ出力等によって、決定される。
イアス調整回路、３３はインバータ回路、３４は電圧計
、３５は電流計、３６は放電管であり、これらの構成要
素は前述の構成要素と同じである。このようにレーザ用
電源、電圧計、電流計、放電管の群が複数個あり、その
数はレーザ出力等によって、決定される。
次に調整方法について述べる。調整すべきレーザ用電源
番号が、ＣＲＴ表示装置４０に表示され、そのレーザ用
電源の電流、電流が同時に画面に表示され、オペレータ
はＣＲＴ表示装Ｗ４０の表示画面に従って、バイアス調
整、ゲイン調整を実行していけばよい。従って、特別の
測定器を用意したり、取り付けたり、操作する必要がな
く、表示画面をみながら調整を行うことができる。
番号が、ＣＲＴ表示装置４０に表示され、そのレーザ用
電源の電流、電流が同時に画面に表示され、オペレータ
はＣＲＴ表示装Ｗ４０の表示画面に従って、バイアス調
整、ゲイン調整を実行していけばよい。従って、特別の
測定器を用意したり、取り付けたり、操作する必要がな
く、表示画面をみながら調整を行うことができる。
第２図にＣＲＴ表示装置４０の表示画面の例を示す。図
において、５０は表示画面であり、５１はレーザ用電源
の調整用画面であることを表している。５２は調整すべ
きレーザ用電源の番号を示し、５３は調整項目を示し、
図ではゲイン調整をすべきことを表している。５４は未
調整電源を示し、この表示は調整が終了したレーザ用電
源の番号は自動的に消えていくようになっている。従っ
て、この表示がなくなれば、全てのレーザ用電源の調整
が終了したことになる。
において、５０は表示画面であり、５１はレーザ用電源
の調整用画面であることを表している。５２は調整すべ
きレーザ用電源の番号を示し、５３は調整項目を示し、
図ではゲイン調整をすべきことを表している。５４は未
調整電源を示し、この表示は調整が終了したレーザ用電
源の番号は自動的に消えていくようになっている。従っ
て、この表示がなくなれば、全てのレーザ用電源の調整
が終了したことになる。
５５は測定値等を示す表示であり、図ではバイアス調整
が終了して、ゲイン調整をすべきことを表している。電
圧は放電管２６等の電圧であり、電流は放電管２６等に
流れる電流である。オペレータはこの表示を参照しなが
らゲイン調整回路２１、バイアス調整回路２２等の内部
の調整用ボリュームで調整を行う。
が終了して、ゲイン調整をすべきことを表している。電
圧は放電管２６等の電圧であり、電流は放電管２６等に
流れる電流である。オペレータはこの表示を参照しなが
らゲイン調整回路２１、バイアス調整回路２２等の内部
の調整用ボリュームで調整を行う。
５６は電源番号を設定するキーであり、５７はバイアス
調整を指定するキー、５８はゲイン調整を指定するキー
、５９は終了を指定するキーである。これらのキーはソ
フトキーで構成されいる。
調整を指定するキー、５８はゲイン調整を指定するキー
、５９は終了を指定するキーである。これらのキーはソ
フトキーで構成されいる。
すなわち、オペレータはこれらのキーを操作して、調整
すべきレーザ用電源の番号、バイアス調整、ゲイン調整
を選択して調整を実行する。
すべきレーザ用電源の番号、バイアス調整、ゲイン調整
を選択して調整を実行する。
次に本発明のソフトウェアの処理について、フローチャ
ート図に基づいて説明する。第３図に本発明のソフトウ
ェアの処理のフローチャート図を示す。図において、Ｓ
に続（数値はステップ番号である。
ート図に基づいて説明する。第３図に本発明のソフトウ
ェアの処理のフローチャート図を示す。図において、Ｓ
に続（数値はステップ番号である。
（Ｓｌ）ｉＪＭ整開始指令によって、調整画面を表示す
る。
る。
（３２）調整すべきレーザ用電源の電源番号が入力され
、これを読み取る。
、これを読み取る。
〔Ｓ３〕入力された電源番号Ｎが表示する。
〔Ｓ４〕セレクト回路への信号を奇数番号として、選択
された電源番号の電圧を読み取り、これをＡＤ変換器で
ディジタル値に変換して、表示画面に表示する。
された電源番号の電圧を読み取り、これをＡＤ変換器で
ディジタル値に変換して、表示画面に表示する。
〔Ｓ５〕セレクト回路への信号を偶数番号として、選択
された電源番号の電流を読み取り、これをＡＤ変換器で
ディジタル値に変換して、表示画面に電流値を表示する
。
された電源番号の電流を読み取り、これをＡＤ変換器で
ディジタル値に変換して、表示画面に電流値を表示する
。
〔Ｓ６〕バイア・ス調整か調べ、そうならＳ７へ、バイ
アス調整でなければＳ９へいく。
アス調整でなければＳ９へいく。
（Ｓ７）調整すべき放電管が放電中か調べる。これは表
示画面の電流値によって判別することができる。また、
補助的に放電管を直接確認することもできる。
示画面の電流値によって判別することができる。また、
補助的に放電管を直接確認することもできる。
放電中であるとこが確認できれば、オペレータはバイア
ス調整回路の調整用ボリュームでバイアス調整を実行し
、Ｓ４へいく。放電管が放電していないときはＳ８へい
く。
ス調整回路の調整用ボリュームでバイアス調整を実行し
、Ｓ４へいく。放電管が放電していないときはＳ８へい
く。
〔Ｓ８〕ランプ指令を出力して放電管を放電させる。第
４図にこのランプ指令の例を示す。図において、横軸は
時間、縦軸は指令値である。このようなランプ指令を与
え、表示画面の電流値によって、放電を確認する。
４図にこのランプ指令の例を示す。図において、横軸は
時間、縦軸は指令値である。このようなランプ指令を与
え、表示画面の電流値によって、放電を確認する。
〔Ｓ９〕ゲイン８周整か３周べ、そうであればＳＩＯへ
、そうでなければＳ２へ戻る。
、そうでなければＳ２へ戻る。
（ＳＩＯ）表示電圧と設定電圧が一致するように調整す
る。一致しないときはＳ４へ戻り調整用の処理が続行さ
る。一致すれば調整完了表示が表示される。
る。一致しないときはＳ４へ戻り調整用の処理が続行さ
る。一致すれば調整完了表示が表示される。
このように、オペレータは表示画面を見て、その指示に
従って、調整を実行すればよく、調整が極めて簡単に実
行でき、調整時間も短縮され、熟練者でなくても節単に
調整ができる。
従って、調整を実行すればよく、調整が極めて簡単に実
行でき、調整時間も短縮され、熟練者でなくても節単に
調整ができる。
以上説明したように本発明では、調整すべき放電管の電
圧及び電流を表示画面に表示して、オペレータはこの表
示を見て、調整を実行できるようにしたので、簡単にレ
ーザ電源の調整ができる。
圧及び電流を表示画面に表示して、オペレータはこの表
示を見て、調整を実行できるようにしたので、簡単にレ
ーザ電源の調整ができる。
また、調整時間が短くなり、初心者でも調整を行うこと
ができる。
ができる。
第１図は本発明を実施するためのＮＣレーザ装置のブロ
ック図、 第２図はＣＲＴ表示装置の表示画面の例を示す図、 第３図は本発明の画面の表示等の処理のフローチャート
図、 第４図はランプ指令の例を示す図である。 １０−・−−−−−−−−−−−ｍ−数値制御装置（Ｃ
ＮＣ）１１−−一・−・−・−・−プロセッサ１２−−
−−−−−・−・−・・・ＤＡ変換器１３・−・−・−
−〜−−−−出力回路１４−・−−一−−−−−−−−
−セレクト回路１５−−−−−−−−・−一−−−・Ａ
Ｄ変換器２０−−−−−−・−−−−−−−−レーザ用
電源２１−−−−−−−−−一・−ゲイン調整回路２２
・−・・・−−−−一−−−バイアス調整回路２３−−
−−−−−−−−−−・−インバータ回路２４・・〜・
−・−・−・電圧計 ２５−、−・−−−−−−−−一電流計２６−−−−−
・・−−−−一一一・放電管４０−−−−−−−−−−
−−一・−ＣＲ７表示装置特許出願人 ファナック株式
会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図 第３図
ック図、 第２図はＣＲＴ表示装置の表示画面の例を示す図、 第３図は本発明の画面の表示等の処理のフローチャート
図、 第４図はランプ指令の例を示す図である。 １０−・−−−−−−−−−−−ｍ−数値制御装置（Ｃ
ＮＣ）１１−−一・−・−・−・−プロセッサ１２−−
−−−−−・−・−・・・ＤＡ変換器１３・−・−・−
−〜−−−−出力回路１４−・−−一−−−−−−−−
−セレクト回路１５−−−−−−−−・−一−−−・Ａ
Ｄ変換器２０−−−−−−・−−−−−−−−レーザ用
電源２１−−−−−−−−−一・−ゲイン調整回路２２
・−・・・−−−−一−−−バイアス調整回路２３−−
−−−−−−−−−−・−インバータ回路２４・・〜・
−・−・−・電圧計 ２５−、−・−−−−−−−−一電流計２６−−−−−
・・−−−−一一一・放電管４０−−−−−−−−−−
−−一・−ＣＲ７表示装置特許出願人 ファナック株式
会社 代理人 弁理士 服部毅巖 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）数値制御装置（ＣＮＣ）とレーザ発振器を結合し
、複数の放電管と該放電管に励起電圧を供給するレーザ
用電源を有するＮＣレーザ装置のレーザ電源の調整方法
において、 各レーザ用電源にバイアス調整回路、ゲイン調整回路を
設け、前 記放電管の電圧、電流を測定し、 セレクタ回路で該電圧及び電流を選択した後にディジタ
ル値に変換し、 該ディジタル値を前記数値制御装置（ＣＮＣ）の表示画
面に表示し、 前記各放電管ごとにレーザ用電源を調整していくことを
特徴とするレーザ電源の調整方法。 - （２）前記調整はバイアス調整、及びゲイン調整である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ電
源の調整方法。 - （３）前記表示画面に、レーザ用電源番号、バイアス調
整選択枝、ゲイン調整選択枝、放電管電流、放電管電圧
、調整の完了及び調整の未完了が表示されることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のレーザ電源の調整方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024648A JPH01202384A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | レーザ電源の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024648A JPH01202384A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | レーザ電源の調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01202384A true JPH01202384A (ja) | 1989-08-15 |
Family
ID=12143959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63024648A Pending JPH01202384A (ja) | 1988-02-04 | 1988-02-04 | レーザ電源の調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01202384A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09214028A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-08-15 | Cymer Inc | 共通バス上に共用メモリを有する複数のｃｐｕを用いたガス放電レーザ制御システム |
| WO1999056108A1 (fr) * | 1998-04-28 | 1999-11-04 | Hitachi, Ltd. | Instrument et procede de mesure optique |
-
1988
- 1988-02-04 JP JP63024648A patent/JPH01202384A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09214028A (ja) * | 1996-01-23 | 1997-08-15 | Cymer Inc | 共通バス上に共用メモリを有する複数のｃｐｕを用いたガス放電レーザ制御システム |
| WO1999056108A1 (fr) * | 1998-04-28 | 1999-11-04 | Hitachi, Ltd. | Instrument et procede de mesure optique |
| US7047149B1 (en) | 1998-04-28 | 2006-05-16 | Hitachi, Ltd. | Optical measurement instrument and optical measurement method |
| US7359825B2 (en) | 1998-04-28 | 2008-04-15 | Hitachi, Ltd. | Optical measurement instrument and optical measurement method |
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