JPH01201166A - プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、Ｉｃの電極に接触させるプローブの針先位
置を固定部材によって任意に調整したプローブカードに
関する。

〔従来の技術〕

プローブカードは、半導体チップに設置された集積回路
（ＩＣ）の電極（バンド）に対して接触させて電気的な
導通を取る探針電極としてプローブを備え、ＩＣの製造
途上でＩＣの特性検査に用いるものである。そして、プ
ローブは、複雑化、微細化を増したＩＣの多数の電極に
対応させることが要求されている。

通常、ＩＣの電極は、半導体チップの周縁部に特定の間
隔で規則的に配置されているが、高集積化や回路特性に
よって周縁部以外の変則的な位置に設置されたものもあ
る。このようなＩＣの検査には、その変則的な電極に対
応したプローブの配置が必要とされる。

また、従来、ｒＣの検査は、単一の半導体チップごとに
行われてきたが、検査能率を上げるために、−度に複数
の半導体チップを検査することが提案されている。この
場合、複数の半導体チップの電極に対応したプローブの
配置が必要とされる。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、従来、プローブは、検査する半導体チップの
電極に対応させるため、環状の固定部材に先端が電極に
向かうて放射状に配置固定されており、半導体チップに
接触させた際、針先に対する応力を等しくし、換言すれ
ば、電極に対して等しい針先圧力が作用するように、同
径の針材を用いて固定部材の内縁からの突出長を等しく
設定されている。

しかしながら、隣接する２以上の半導体チップを一度に
検査する場合には、各チップの隣接する縁部側の電極の
位置とプローブの固定部材の縁部との距離が他の電極と
異なり、また、チップの周縁部だけでなく、その中間部
分に変則的な電極が存在している場合にも、各電極に対
する固定部材の内縁との距離が電極によって異なること
になる。

そして、固定部材からの距離が異なる電極に対応させた
プローブは、通常の電極配置に対応させたプローブより
突出長が大きくなるので、電極およびプローブごとに針
圧が変化し、各プローブによって針先の摩耗や電気的な
接触を不十分にするなど、プローブの耐久性ないし検査
精度に影響を与えることになる。

このため、プローブの太さや、プローブの中間部のテー
パ長の変化によって針圧調整を行うことが考えられるが
、電極の距離との関係で針圧ごとにこれらの調整を行う
ことは極めて面倒であり、針圧を均等化することは困難
であった。

そこで、この発明は、橿めて簡単な構成によって変則的
な電極配置に対応した各プローブにおける針圧の均一化
を実現したプローブカードを提供することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

この発明のプローブカードは、第１図に示すように、第
１の固定部材（固定リング４）に任意の突出長！を以て
第１のプローブ２を固定するとともに、第２の固定部材
（固定リング１６）に突出長２を以て第２のプローブ１
４を固定し、これら第１および第２の固定部材（固定リ
ング４．１６）を重畳させて第１および第２のプローブ
２．１４の先端位置を異ならせたものである。

〔作　　用〕

第１の固定部材（固定リング４）に第１のプローブ２、
第２の固定部材（固定リング１６）に第２のプローブ１
４を固定し、第１および第２の固定部材（固定リング４
．１６）を任意に重合させることにより、第１および第
２のプローブ２．１４の針先位置が任意に設定される。

したがって、第１および第２の固定部材（固定リング４
．１６）の固定位置によって、針先位置が異なる等しい
突出長！を持つ第１および第２のプローブ２．１４が得
られ、隣接する複数の半導体チンプロＡ、６Ｂの各電極
や、半導体チップの中間部分などに設置された変則的な
電極を持つ半導体チップの各電極に対応させることがで
きる。

〔実　施　例〕

第１図および第２図は、この発明のプローブカードの第
１実施例を示す。

複数の第１のプローブ２を固定するための環状の第１の
固定部材として固定リング４が設置されている。固定リ
ング４は、合成樹脂やセラミックなどの硬質材料を以て
措鉢状の環体であり°、角部を湾曲させ、２つの半導体
チップ６Ａ、６Ｂの周縁部の電極配置に対応する縁部８
を備えている。

この固定リング４には、針先端を半導体チップ６Ａ、６
Ｂの電極１０に対応させた複数のプローブ２が、縁部８
から等しい突出長！を以て配置され、合成樹脂などから
なる接着剤１２を以て固定されている。

そして、第２のプローブ１４を固定するための環状の第
２の固定部材として固定リング１６が設置されている。

固定リング１６は、固定リング４と同様の材料を以て構
成された襠鉢状の環体であり、角部を湾曲させ、半導体
チップ６Ａ、６Ｂの変則的な電極配置に対応する縁部１
８を備えている。この固定リング１６には、針先端を半
導体子ツブ６Ａ、６Ｂの隣接する側の電極２０に対応さ
せた複数のプローブ１４が、縁部１８から等しい突出長
ｌを以て配置され、合成樹脂などからなる接着剤２２を
以て固定されている。

このように縁部８．１８から等しい突出長ｉを持ったプ
ローブ２．１４を備えた固定リング４．１６は、それぞ
れのプローブ２．１４が所定の電極配置に対応するよう
に重合させ、両者を接着剤を以て固着する。

そして、固定リング４．１６は、図示しないプローブカ
ード用の基板に固定されるとともに、各プローブ２．１
４を電極１０．２０に半田などの接続手段によって接続
される。

このようにすれば、プローブ２．１４を固定リング４．
１６から等しい突出長２を以て突出させ、その針先端位
置を複数の半導体チップ６Ａ、６Ｂの周縁部の電極１０
および変則的な位置の電極２０に対応させることができ
、それぞれ共通の針材を用いて等しい針圧を設定するこ
とができる。

第１実施例では、２個の半導体チップ６Ａ、６Ｂの検査
に用いるプローブ２．１４の配置について説明したが、
１個または複数個の半導体チップの変則的な電極配置を
持つものにも対応させることができる。

次に、第３図および第４図は、この発明のプローブカー
ドの第２実施例を示す。

第１実施例では２つの半導体チップ６Ａ、６Ｂの検査に
用いるプローブカードについて説明したが、第２実施例
は、配列された４個の半導体チップ６Ａ、６Ｂ、６Ｃ１
６Ｄの電極１０．２０に対応する場合を示す。

固定リング４には、半導体チップ６Ａ〜６Ｄの周縁部に
おける規則的な電極１０に対応した複数のプローブ２が
等しい突出長ｌを以て配置固定され、固定リング１６に
は、互いに隣接する部分の電極２０に対応する複数のプ
ローブ１４がプローブ２と等しい突出長ｌを以て配置固
定されている。

固定リング４．１６の外形を等しくし、固定リング１６
には、プローブエ４に等しい突出長２を設定する縁部１
８を成す突部２４が形成され、この突部２４にプローブ
１４が接着剤２２を以て固定されている。

このようにすれば、複数の半導体チンプロＡ〜６Ｄに対
応したプローブ２．１４の配置が実現され、しかも、極
めて簡単に等しい針圧を設定することができる。

なお、第２実施例において、固定リング４にプローブ２
、また、固定リング１６にプローブ１４をそれぞれ固定
した後、各固定リング４．１６を重合させているが、第
５図に示すように、プローブ２を固定した固定リング４
の背面側にプローブ１４を固定し、その上に固定リング
１６を接着剤を以て固定してもよい。

また、各実施例では２つの固定リング４．１６を用いた
場合について説明したが、針先位置の態様に応じて多数
の固定リングを設置してもよく、多数の固定リングによ
って針先位置を任意に設定することができる。

〔発明の効果〕 以上説明したように、この発明によれば、２以上の半導
体チップの電極や、変則的な電極配置を持つ半導体チッ
プの電極に対応して針先位置を任意に設定できるととも
に、針先位置に応じて固定部材を異ならせて固定部材か
らの各プローブの突出長を等しくできるので、針圧を一
定にでき、信顛性の高い検査が実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のプローブカードの第１実施例を示す
平面図、第２図は第１図の■−■線断面図、第３図はこ
の発明のプローブカードの第２実施例を示す平面図、第
４図は第３図のＩＶ−ＩＶ線断面図、第５図はこの発明
のプローブカードの第２実施例の変形例を示す分解断面
斜視図である。 ２・・・第１のプローブ ４・・・固定リング（第１の固定部材）１４・・・第２
のプローブ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１の固定部材に任意の突出長を以て第１のプロ
   ーブを固定するとともに、第２の固定部材に前記突出長
   を以て第２のプローブを固定し、これら第１および第２
   の固定部材を重畳させて第１および第２のプローブの先
   端位置を異ならせたプローブカード。