JPH01196305A - グリーンシート加工方法 - Google Patents
グリーンシート加工方法Info
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- JPH01196305A JPH01196305A JP63020688A JP2068888A JPH01196305A JP H01196305 A JPH01196305 A JP H01196305A JP 63020688 A JP63020688 A JP 63020688A JP 2068888 A JP2068888 A JP 2068888A JP H01196305 A JPH01196305 A JP H01196305A
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Landscapes
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は、グリーンシート形成後穴明は加工前のグリー
ンシートを改善するグリーンシート加工方法に関し、 前記形成後のグリーンシートを熱処理し形成時の溶剤の
みを完全に除去し寸法変化を安定化することを目的とし
、 前記グリーンシート形成後前記加工工程前に、グリーン
シートに含まれる結合剤、可坦剤を全く脱離することな
く溶剤のみを完全に除去するため所定温度、所定時間の
熱処理を行なうエージング工程と、 常温、常圧、常湿度下にセラミック粒径に応じ１〜２週
間の期間組成を安定化する熟成工程とを設けた構成とす
る。
ンシートを改善するグリーンシート加工方法に関し、 前記形成後のグリーンシートを熱処理し形成時の溶剤の
みを完全に除去し寸法変化を安定化することを目的とし
、 前記グリーンシート形成後前記加工工程前に、グリーン
シートに含まれる結合剤、可坦剤を全く脱離することな
く溶剤のみを完全に除去するため所定温度、所定時間の
熱処理を行なうエージング工程と、 常温、常圧、常湿度下にセラミック粒径に応じ１〜２週
間の期間組成を安定化する熟成工程とを設けた構成とす
る。
本発明はグリーンシート形成後穴明は加工前のグリーン
シートを改善するグリーンシート加工方法に関するもの
である。
シートを改善するグリーンシート加工方法に関するもの
である。
従来、基板用セラミックの生シートであるグリーンシー
トの作成方法の１例を第３図に示す。すなわち、セラミ
ック粉末と、該粉末粒子間の結合を行なう結合剤と、可
塑剤とを溶剤によシ泥状に混合したスラリ１０を、ポリ
エステルキャリフィルム２を底面として、構成した容器
１１に入れ、キャリフィルム２の送シ側にグリーンシー
トの厚さに対応する窓１３を調整するドクタブレード１
２を設ける。キャリフィルム２は巻戻しフレーム５から
ローラ６１ｍ６！を介して駆動ローラ７によシ駆動され
、ドクタブレード１２で調整された厚さの生シートをキ
ャリフィルム２上に接着した状態で排出する。
トの作成方法の１例を第３図に示す。すなわち、セラミ
ック粉末と、該粉末粒子間の結合を行なう結合剤と、可
塑剤とを溶剤によシ泥状に混合したスラリ１０を、ポリ
エステルキャリフィルム２を底面として、構成した容器
１１に入れ、キャリフィルム２の送シ側にグリーンシー
トの厚さに対応する窓１３を調整するドクタブレード１
２を設ける。キャリフィルム２は巻戻しフレーム５から
ローラ６１ｍ６！を介して駆動ローラ７によシ駆動され
、ドクタブレード１２で調整された厚さの生シートをキ
ャリフィルム２上に接着した状態で排出する。
このグリーンシート付のキャリフィルムを適当な形状に
切断したものを作成し、第４図■〜■に加工手順を示す
ように、とのキャリフィルム２上からレーザビームで加
工することはレーザの加工性が異なるから不適当なため
ポリエステルフィルム２を剥離し〔■〕、所定時間自然
乾燥した後数十μｍ厚さの鋼薄板３をグリーンジートド
上に圧着し〔■〕、この銅薄板３上からＹＡＧレーザ４
の照射か、ドリル、パンチなどを用いて穴明は加工する
〔■〕。
切断したものを作成し、第４図■〜■に加工手順を示す
ように、とのキャリフィルム２上からレーザビームで加
工することはレーザの加工性が異なるから不適当なため
ポリエステルフィルム２を剥離し〔■〕、所定時間自然
乾燥した後数十μｍ厚さの鋼薄板３をグリーンジートド
上に圧着し〔■〕、この銅薄板３上からＹＡＧレーザ４
の照射か、ドリル、パンチなどを用いて穴明は加工する
〔■〕。
上記の方法によシ、スラリよシ作成したグリーンシート
１はその内の溶剤は時間とともに揮発し寸法が変化する
。常温、常圧下の自然乾燥ではその時の環境やキャリフ
ィルム２を剥離してからの経時変化によシ大きな影響を
与える。
１はその内の溶剤は時間とともに揮発し寸法が変化する
。常温、常圧下の自然乾燥ではその時の環境やキャリフ
ィルム２を剥離してからの経時変化によシ大きな影響を
与える。
一方、最近のセラミック基板の微小化に伴ない、位置決
めがこれらの環境や経時変化の影響を受は寸法変化が起
シ品質管理の悪化を招く結果となる。
めがこれらの環境や経時変化の影響を受は寸法変化が起
シ品質管理の悪化を招く結果となる。
そこで、スラリから作成されたグリーンシートを一定の
条件下でエージング処理して寸法変化を安定化させて加
工工程に入ることが考えられる。
条件下でエージング処理して寸法変化を安定化させて加
工工程に入ることが考えられる。
本発明の目的は形成後のグリーンシートを一定条件で熱
処理し形成時の溶剤のみを完全に除去し寸法変化を安定
化したグリーンシート加工方法を提供することである。
処理し形成時の溶剤のみを完全に除去し寸法変化を安定
化したグリーンシート加工方法を提供することである。
前記目的を達成するため、本発明においては、グリーン
シート形成後位置決め穴明は加工前に、グリーンシート
に含まれる結合剤、可塑剤を全く脱離することなく、溶
剤のみを完全に除去するため所定温度、所定時の熱処理
を行なうエージング工程と、常温、常圧、常湿皮下にセ
ラミック粒径に応じ１〜２週間の期間組成を安定化する
熟成工程とを設けたものである。
シート形成後位置決め穴明は加工前に、グリーンシート
に含まれる結合剤、可塑剤を全く脱離することなく、溶
剤のみを完全に除去するため所定温度、所定時の熱処理
を行なうエージング工程と、常温、常圧、常湿皮下にセ
ラミック粒径に応じ１〜２週間の期間組成を安定化する
熟成工程とを設けたものである。
第１図の原理説明図は、たとえばセラミックとしてアル
ミナを用いた場合のグリーンシートにつき経時変化時の
寸法変化率（４）を図示したものである。すなわち、第
３図によシ形成されたグリーンフィルムからキャリアの
ポリエステルフィルムを剥離した直後の寸法変化を■と
すると、自然乾燥によらず人為的に７０℃、３０分のエ
ージング工程を経過して＠以下に改善されるが、これは
グリーンシー、トに含まれる溶剤が殆ど除去されたため
である。この後常温、常圧、常湿度下でセラミック粒径
に応じ１〜２週間（こむではθの２週間）の熟成工程が
設けられ、この間に組成の安定化が進行する。これによ
シ寸法変化は殆ど０となる。
ミナを用いた場合のグリーンシートにつき経時変化時の
寸法変化率（４）を図示したものである。すなわち、第
３図によシ形成されたグリーンフィルムからキャリアの
ポリエステルフィルムを剥離した直後の寸法変化を■と
すると、自然乾燥によらず人為的に７０℃、３０分のエ
ージング工程を経過して＠以下に改善されるが、これは
グリーンシー、トに含まれる溶剤が殆ど除去されたため
である。この後常温、常圧、常湿度下でセラミック粒径
に応じ１〜２週間（こむではθの２週間）の熟成工程が
設けられ、この間に組成の安定化が進行する。これによ
シ寸法変化は殆ど０となる。
第２図■〜■は本発明の実施例の加工手順説明図である
。
。
同図において、セラミックとしてアルミナ粉末（粒径１
〜２ＱｊｘＬ）を用いるものとし、第３図で説明したよ
うに、この粉末に結合剤としてアクリル系樹脂、可塑剤
としジブチル７タレートを混合し、これを溶剤によ）泥
状にし【スラリを作シ、これをポリエステルフィルム上
に所定の厚さに接着し【グリーンシートを作成する。こ
れを適当に切断して同図■に図示するように、まずグリ
ーンシート１からポリエステルフィルム２を剥離スる０
次にこのグリーンシートを７０℃の恒温槽に入れ３０分
エージングを行ない、溶剤を完全に脱離する〔■〕。
〜２ＱｊｘＬ）を用いるものとし、第３図で説明したよ
うに、この粉末に結合剤としてアクリル系樹脂、可塑剤
としジブチル７タレートを混合し、これを溶剤によ）泥
状にし【スラリを作シ、これをポリエステルフィルム上
に所定の厚さに接着し【グリーンシートを作成する。こ
れを適当に切断して同図■に図示するように、まずグリ
ーンシート１からポリエステルフィルム２を剥離スる０
次にこのグリーンシートを７０℃の恒温槽に入れ３０分
エージングを行ない、溶剤を完全に脱離する〔■〕。
この場合、溶剤以外の脱離（気化）温度は、結合剤は３
５０℃〜４００℃、可塑剤は１５０℃程度であるから７
０℃３０分の熱処理によっても全く脱離することはない
。なおエージング時に余シ急激な温度変化を与えるとグ
リーンシートに割れを生じる。
５０℃〜４００℃、可塑剤は１５０℃程度であるから７
０℃３０分の熱処理によっても全く脱離することはない
。なおエージング時に余シ急激な温度変化を与えるとグ
リーンシートに割れを生じる。
これを考慮して７０℃３０分のエージングが適当である
という結果が得られた。
という結果が得られた。
次に第１図に示すように、常温、常圧、常湿皮下に放置
、熟成工程に入る〔■〕。アルミナ粒径１μ麗〜２０μ
准のうち粒径の大きい範囲は１週間、小さい範囲は２週
間程度で熟成が終了し、寸法変化率が殆ど皆無となる。
、熟成工程に入る〔■〕。アルミナ粒径１μ麗〜２０μ
准のうち粒径の大きい範囲は１週間、小さい範囲は２週
間程度で熟成が終了し、寸法変化率が殆ど皆無となる。
この熟成工程が終った後、グリーンシート１上に鋼薄板
３を圧着し〔■〕、その鋼薄板３上からＹＡＧレーザ５
を照射して穴明は加工を行なう〔■〕。
３を圧着し〔■〕、その鋼薄板３上からＹＡＧレーザ５
を照射して穴明は加工を行なう〔■〕。
以上説明したように、本発明によれば、グリンシート形
成後、自然乾燥でなく人為的にエージング工程と熟成工
程を設けて、溶剤を完全に脱離し、寸法変化を皆無とす
るとともに内部組成を完全に安定化したものである。
成後、自然乾燥でなく人為的にエージング工程と熟成工
程を設けて、溶剤を完全に脱離し、寸法変化を皆無とす
るとともに内部組成を完全に安定化したものである。
これにより、加工工程における位置合せや加工精度を格
段に向上することができる。
段に向上することができる。
第１図は本発明の原理説明図、第２図は本発明の実施例
の加工手順説明図、第５図はグリーンシート作成方法、
第４図は従来例の加工手順説明図であり、図中、１はグ
リーンシート、２はキャリフィルム、５は銅薄板、４は
レーザビーム、５は巻戻しフレーム、６１ｔ６冨はロー
ラ、７は駆動ローラ、１０はスラリ、１１はスラリ容器
、１２はドクタブレード、１３は窓を示す。 本発明のり理説明図 第 １ 図 本発明の実施例のＱｏ工手順説明図 第 ２ 図 第 ３ 図 従来例の加工手順説明図 第 ４ 図
の加工手順説明図、第５図はグリーンシート作成方法、
第４図は従来例の加工手順説明図であり、図中、１はグ
リーンシート、２はキャリフィルム、５は銅薄板、４は
レーザビーム、５は巻戻しフレーム、６１ｔ６冨はロー
ラ、７は駆動ローラ、１０はスラリ、１１はスラリ容器
、１２はドクタブレード、１３は窓を示す。 本発明のり理説明図 第 １ 図 本発明の実施例のＱｏ工手順説明図 第 ２ 図 第 ３ 図 従来例の加工手順説明図 第 ４ 図
Claims (2)
- （１）基板用セラミックの生シートであるグリーンシー
トを形成した後、スルーホールの位置決めして穴明け加
工を行なうグリーンシート加工方法において、 前記グリーンシート形成後前記加工工程前に、グリーン
シートに含まれる結合剤、可塑剤を全く脱離することな
く溶剤のみを完全に除去するため所定温度，所定時間の
熱処理を行なうエージング工程と、 常温，常圧，常湿度下にセラミック粒径に応じ１〜２週
間の期間組成を安定化する熟成工程とを設け、 グリーンシートの寸法変化を安定化したことを特徴とす
るグリーンシート加工方法。 - （２）前記エージング工程の所定温度，所定時間が７０
℃，３０分であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のグリーンシート加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63020688A JPH07115337B2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | グリーンシート加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63020688A JPH07115337B2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | グリーンシート加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01196305A true JPH01196305A (ja) | 1989-08-08 |
| JPH07115337B2 JPH07115337B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=12034100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63020688A Expired - Fee Related JPH07115337B2 (ja) | 1988-01-30 | 1988-01-30 | グリーンシート加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07115337B2 (ja) |
-
1988
- 1988-01-30 JP JP63020688A patent/JPH07115337B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07115337B2 (ja) | 1995-12-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |