JPH0119304B2 - - Google Patents

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JPH0119304B2
JPH0119304B2 JP56111932A JP11193281A JPH0119304B2 JP H0119304 B2 JPH0119304 B2 JP H0119304B2 JP 56111932 A JP56111932 A JP 56111932A JP 11193281 A JP11193281 A JP 11193281A JP H0119304 B2 JPH0119304 B2 JP H0119304B2
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JP
Japan
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voltage
mos transistor
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mos
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JP56111932A
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JPS5813028A (ja
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Kenji Matsuo
Yasoji Suzuki
Akira Yamaguchi
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Priority to DE3226339A priority patent/DE3226339C2/de
Priority to US06/398,356 priority patent/US4529897A/en
Priority to FR8212498A priority patent/FR2509931B1/fr
Publication of JPS5813028A publication Critical patent/JPS5813028A/ja
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/14Modifications for compensating variations of physical values, e.g. of temperature
    • H03K17/145Modifications for compensating variations of physical values, e.g. of temperature in field-effect transistor switches
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K2217/00Indexing scheme related to electronic switching or gating, i.e. not by contact-making or -breaking covered by H03K17/00
    • H03K2217/0018Special modifications or use of the back gate voltage of a FET

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  • Electronic Switches (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明はMOS型電界効果トランジスタを用
いたアナログスイツチ装置に関する。
アナログスイツチ装置とは、この装置を制御す
るクロツク信号によつてその状態がオン(導通)
状態あるいはオフ(非導通)状態に切り替わり、
オン状態のときには入力情報、すなわちアナログ
入力信号が出力に伝達され、オフ状態のときには
アナログ入力信号が伝達されないような装置であ
る。
第1図は従来のアナログスイツチ装置の回路構
成図である。この装置は、Nチヤネルでエンハン
スメント型のMOS型電界効果トランジスタ(以
下MOSトランジスタと略称する)1のソース電
極SとPチヤネルでエンハンスメント型のMOS
トランジスタ2のドレイン電極Dとを接続し、こ
の接続点をアナログ入力信号INの供給端子3に
接続し、また上記MOSトランジスタ1のドレイ
ン電極DとMOSトランジスタ2のソース電極S
とを接続し、この接続点をアナログ出力信号
OUTの取り出し端子4に接続し、さらに上記
MOSトランジスタ1のゲート電極Gにはクロツ
ク信号φを、MOSトランジスタ2のゲート電極
Gにはクロツク信号φと相補対をなすクロツク信
号をそれぞれ供給し、またNチヤネルのMOS
トランジスタ1の基板電極Bには上記クロツク信
号φ,の低電位に相当する電圧VSS(たとえば
0Vあるいは負極性電圧)を、PチヤネルのMOS
トランジスタ2の基板電極Bにはクロツク信号
φ,の高電位に相当する電圧VDD(たとえば正
極性電圧)をそれぞれ供給することによつて構成
されている。
このような装置において、いま、クロツク信号
φをHレベルVDD、クロツク信号をLレベル
VSSにそれぞれ設定すると、上記Nチヤネル、P
チヤネルの両MOSトランジスタ1,2はオン状
態になりその抵抗RN,RPはそれぞれ小さなもの
となり、入力信号INが両MOSトランジスタ1,
2を介して伝達されて、端子4からは出力信号
OUTが取り出される。一方、クロツク信号φを
Lレベル、クロツク信号をHレベルにそれぞれ
設定すると、両MOSトランジスタ1,2はオフ
状態となりその抵抗RN,RPはそれぞれ極めて大
きなものとなり、入力信号INは端子4に伝達さ
れず、出力信号OUTは取り出されない。
ところでアナログスイツチ装置では、入力信号
INがMOSトランジスタ1,2を通つても、出力
信号OUTの電圧を入力信号INの電圧に等しくす
るかあるいは直線的に比例させる必要があり、こ
のためには両MOSトランジスタ1,2のオン時
に端子3,4間の抵抗値を常に一定にしておく必
要がある。しかしながら、従来のアナログスイツ
チ装置では、端子3,4間の抵抗は、端子3ある
いは4の電圧に従つて変化してしまう。これは
MOSトランジスタにはソース―基板バイアス効
果(バツクゲートバイアス効果)があり、この効
果によつてMOSトランジスタのしきい値が変化
してしまい、これによつてMOSトランジスタの
オン抵抗が影響を受けるからである。すなわち、
MOSトランジスタのオン抵抗Rには次のような
比例式が成立する。
R∝1/VGS−Vth …(1) VGS::ゲート電極とソース電極との間のバイ
アス電圧 Vth:しきい値 さらにMOSトランジスタのしきい値Vthは次式
で表わされる。
Vth=Vth0+tOX/εOX・√2・・S・ ・(√2FBS−√2F) …(2) Vth0:真性のしきい値(ソース電極と基板電極
との間のバイアス電圧が0Vの時) tOX:ゲート酸化膜の膜厚 εOX:ゲート酸化膜の誘電率 εS:シリコンの誘電率 q:電子の電荷量 N:基板不純物濃度 VBS:ソース電極と基板電極との間のバイアス
電圧 φF:フエルミ準位 上記(2)式から明かなようにVBSが大きくなると
しきい値Vthも大きくなり、またVthが大きくなる
と前記(1)式よりRは大きくなる。
さらに前記第1図に示すアナログスイツチ装置
のNチヤネルのMOSトランジスタ1を、第2図
に示すようにN型半導体基板11内に拡散法等に
よつて形成されたPウエル領域12内に設け、ま
たPチヤネルのMOSトランジスタ2は基板11
内に設ける場合、Pウエル領域12の不純物濃度
が基板11のそれよりも当然大きくなるために、
NチヤネルのMOSトランジスタ1のしきい値の
ソース―基板バイアス効果に対する感度がPチヤ
ネルのMOSトランジスタ2のそれよりも高くな
り、普通は約3倍程度高くなる。したがつて両
MOSトランジスタ1,2のオン時に、端子3に
与える入力信号INの電圧をVSS(0V)からVDD(+
5V)まで変化させた場合には、第3図の特性図
に示すように、MOSトランジスタ1の抵抗RN
MOSトランジスタ2の抵抗RPとの特性が対称と
ならず、この結果、入力信号INの中間電圧であ
る1/2VDD(+2.5V)付近で、RNとRPの並列抵抗で
ある端子3,4間の抵抗RON(=RN・RP/RN+RP)が高
い 値となる。
このように従来では、入出力端子間の抵抗が一
定とはならないために、出力信号OUTに大きな
歪が発生するという欠点がある。
この発明は上記のような事情を考慮してなされ
たもので、その目的とするところは、MOS型電
界効果トランジスタの基板電極にアナログ信号電
圧にほぼ等しいバイアス電圧を供給してこのトラ
ンジスタのソース―基板バイアス効果を極めて小
さくしてしきい値の変動をなくし、これによつて
アナログ信号の入出力端間の抵抗値を一定にし、
もつて歪の少ない出力信号を得ることができるア
ナログスイツチ装置を提供することにある。
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明
する。第4図はこの発明に係るアナログスイツチ
装置の回路構成図である。この装置ではNチヤネ
ルのMOSトランジスタ1の基板電極BにVSSを供
給する代りに、MOSトランジスタ1のゲート電
極GとVSS印加点との間に二つのNチヤネル、エ
ンハンスメント型のMOSトランジスタ5,6を
直列挿入し、MOSトランジスタ5のソース電極
SとMOSトランジスタ6のドレイン電極Dとの
直列接続点aを上記MOSトランジスタ1の基板
電極Bに接続するようにしたものである。また、
上記一方のMOSトランジスタ5の基板電極Bは
そのソース電極Sに接続されると共に、ゲート電
極Gは端子3に接続されている。さらに上記他方
のMOSトランジスタ6の基板電極Bはそのソー
ス電極Sに接続されると共に、ゲート電極Gは一
定電圧VB印加点に接続されている。すなわち、
上記両MOSトランジスタ5,6は一対の所定電
圧印加点間に直列挿入され、一方のMOSトラン
ジスタ5はそのオン抵抗が入力信号INの電圧に
応じて変化するようになつており、また他方の
MOSトランジスタ6のオン抵抗はVBによつて所
定の値に設定されている。したがつて、クロツク
信号φがHレベルVDDのときには、VDDとVSSとの
間の電位差が一対のMOSトランジスタ5,6に
よつて抵抗分割され、この分割電圧がバイアス電
圧としてMOSトランジスタ1の基板電極Bに供
給されるようになつている。なお、従来と同様
に、NチヤネルのMOSトランジスタ1は、第2
図に示すようにN型半導体基板11内に拡散法等
によつて形成されたPウエル領域12内に設けら
れ、また、PチヤネルのMOSトランジスタ2は
基板11内に設けられている。
また上記MOSトランジスタ5のデイメンジヨ
ンはMOSトランジスタ6のそれに比較して十分
大きく設定されている。
上記構成でなるアナログスイツチ装置におい
て、まず、クロツク信号φをHレベル、クロツク
信号をLレベルにそれぞれ設定した場合、
MOSトランジスタ1,2は共にオン状態になる。
この時、入力信号INの電圧が十分に高いとする
と、MOSトランジスタ5は十分にオン状態とな
る。一方、MOSトランジスタ6はVBの電圧に応
じてその導通度が定まるがある一定の抵抗として
働く。したがつて、この時のMOSトランジスタ
5のオン抵抗をRN5、MOSトランジスタ6のオン
抵抗をRN6とそれぞれ定めると、MOSトランジス
タ5,6の直列接続点a点の電圧Vaは次式で表
わされる。
Va=RN6・VDD+RN5・VSS/RN5+RN6 …(3) 上記電圧Vaはバイアス電圧としてMOSトラン
ジスタ1の基板電極Bに供給されるものである
が、両オン抵抗RN5,RN6の値を設定することに
よつて、この値VaをMOSトランジスタ1のソー
ス電極Sの電圧にほぼ等しくすることができる。
すなわち、MOSトランジスタ5のデイメンジヨ
ンをMOSトランジスタ6のデイメンジヨンに比
較して十分大きくすることによつて、上記Va
入力信号INの電圧VINよりもMOSトランジスタ
5のしきい値Vth5の絶対値|Vth5|だけ小さな値
VIN−|Vth5|にすることができる。したがつて、
MOSトランジスタ1に関しては、基板電極Bの
電圧はVINにほとんど等しいVIN−|Vth5|であ
り、ソース電極Sの電圧がVINとなつているため
に、ソース、基板間電圧VBSは高さMOSトランジ
スタ5のしきい値の絶対値|Vth5|となる。この
|Vth5|の値はVINが変化してもほとんど変化せ
ず一定であるため、MOSトランジスタ1に与え
られるソース―基板バイアス効果は極めて小さな
ものとなる。したがつて、MOSトランジスタ1
のオン抵抗のしきい値変動による変化はほとんど
なくすことができる。
次にクロツク信号φをLレベル、クロツク信号
φをHレベルにそれぞれ設定した場合、MOSト
ランジスタ5のドレイン電極Dの電圧はLレベル
VSSとなる。このとき、VINがMOSトランジスタ
5のしきい値Vth5よりも高い値であるかまたは
VBがMOSトランジスタ6のしきい値Vth6よりも
低い値であれば、MOSトランジスタ5または6
によつてMOSトランジスタ1の基板電極Bには
VSSが供給される。一方、VINがVth5よりも低くか
つVBがVth6よりも低くければMOSトランジスタ
5,6は共にオフ状態になるが、MOSトランジ
スタ1の基板電極Bが設けられる前記Pウエル領
域12と、N型半導体基板11との間にはPN接
合ダイオードが形成されており、このダイオード
のカソード側はVSSに保たれているため、この場
合にもMOSトランジスタ1の基板電極Bの電圧
はVSSに近い十分低い値に設定される。したがつ
て、この場合、MOSトランジスタ1はオフ状態、
また、MOSトランジスタ2もオフ状態となるた
めに、その両抵抗RN,RPは極めて大きな値とな
り、この結果、入力信号INは端子4に伝達され
ず、出力信号OUTは取り出されない。
第5図は上記実施例装置において、両MOSト
ランジスタ1,2のオン時に、端子3に与える入
力信号INの電圧を0Vから+5Vまで変化させた場
合の、MOSトランジスタ1の抵抗RNとMOSトラ
ンジスタ2の抵抗RP、およびRNとRPの並列抵抗
として表わされる端子3,4間の抵抗RONそれぞ
れの特性を表わすものである。前記第3図に示す
従来装置の特性図では、入力信号INの電圧が+
2.5V付近でNチヤネルのMOSトランジスタ1の
ΔVthが増加し、RNの値が大きく変化していたが、
上記実施例装置では第5図に示すように、RN
RPとは、入力信号INの電圧が約+2.5V付近で線
対称となるような変化をしている。すなわち、こ
れはクロツク信号φ印加点とVSSとの間に入力信
号INの電圧に応じてそのオン抵抗が変化する
MOSトランジスタ5と一定のオン抵抗をもつ
MOSトランジスタ6とを直列挿入し、この両
MOSトランジスタ5,6の直列接続点aに入力
信号INの電圧にほとんど等しいバイアス電圧を
発生させ、このバイアス電圧をMOSトランジス
タ1の基板電極Bに供給してMOSトランジスタ
1のソース―基板バイアス効果を極めて小さくし
てしきい値の変動をなくし、しきい値の変動によ
るRNの変化を最小におさえるようにしたからで
ある。したがつて、端子3,4間の抵抗RONはほ
ぼ平坦な特性となり、入力信号INの電圧に影響
されず一定値とすることができる。この結果、出
力信号OUTに発生する歪を極めて小さくするこ
とができる。
第6図ないし第10図はそれぞれこの発明の他
の実施例の回路構成図である。
第6図のものは、上記一定電圧VBをゲート入
力とするMOSトランジスタ6の代りに抵抗7を
設けるようにしたものである。
第7図のものは、MOSトランジスタ5のドレ
イン電極DをMOSトランジスタ1のゲート電極
Gに接続する代りに、一定電圧VCC印加点に接続
するようにしたものである。
第8図に示すものは、MOSトランジスタ5の
ドレイン電極Dを、直線VCC印加点に接続する代
りに、クロツク信号φによつてオンオフ制御され
るNチヤネルのエンハンスメント型MOSトラン
ジスタ8を介して接続するようにしたものであ
る。
第9図のものは、第8図中のMOSトランジス
タ8のドレイン電極DをVCC印加点に接続する代
りに、クロツク信号φ印加点に接続するようにし
たものである。
第10図のものは、第8図の中のNチヤネルの
エンハンスメント型MOSトランジスタ8をPチ
ヤネルのエンハンスメント型MOSトランジスタ
9に置き換えてこれをクロツク信号によつて制
御するようにしたものである。
上記第6図ないし第10図に示す各実施例装置
ではいずれの場合でも、一対の所定電圧(クロツ
ク信号φのVDDあるいはVCCおよびVSS)印加点間
に、入力信号INの電圧に応じてオン抵抗が変化
するMOSトランジスタ5と所定の抵抗をもつ
MOSトランジスタ6あるいは抵抗7とを直列挿
入し、この直列接続点aに入力信号INの電圧に
ほぼ等しいバイアス電圧を発生させ、この電圧が
バイアス電圧としてMOSトランジスタ1の基板
電極Bに供給されることになる。したがつて、こ
れらの各実施例回路においても、第5図に示すよ
うなものと同等の特性を得ることができ、出力信
号OUTに発生する歪を極めて小さくすることが
できる。
なお、この発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、たとえば第4図に示す実施例装置で
は、端子3を入力信号供給端子、端子4を出力信
号取り出し端子として説明したが、これは端子4
を入力信号の供給端子として用い、また端子3を
出力信号取り出し端子として用いるようにしても
よい。
さらに第4図に示す実施例装置を始めとする各
実施例装置では、MOSトランジスタ1,2以外
のトランジスタの基板電極Bをそれぞれのソース
電極Sに接続する場合について説明したが、これ
は各MOSトランジスタの基板電極Bを他の電位
点に接続するようにしてもよい。
またさらに上記実施例では、Nチヤネルの
MOSトランジスタ1を、N型半導体基板内に拡
散法等によつて形成されたPウエル領域内に、P
チヤネルのMOSトランジスタ2はN型半導体基
板内にそれぞれ設け、NチヤネルのMOSトラン
ジスタ1の基板電極Bに入力信号INあるいは出
力信号OUTの電圧にほぼ等しいバイアス電圧を
供給する場合について説明したが、これはP型半
導体基板内に拡散法等によつて形成されたNウエ
ル領域内にPチヤネルのMOSトランジスタ2を
設けかつP型半導体基板内にNチヤネルのMOS
トランジスタ1を設ける場合には、Pチヤネルの
MOSトランジスタ2のしきい値のソース―基板
バイアス効果に対する感度がNチヤネルのMOS
トランジスタ1のそれよりも大きくなるので、こ
の場合にはPチヤネルのMOSトランジスタ2の
基板電極Bに端子4あるいは端子3の電圧に応じ
たバイアス電圧を供給すればよく、また、MOS
トランジスタ5,6はPチヤネルのものであつて
もよい。
またNチヤネルのMOSトランジスタ1とPチ
ヤネルのMOSトランジスタ2それぞれの基板の
不純物濃度が高い場合には、両MOSトランジス
タ1,2の基板電極Bそれぞれに、入力信号IN
あるいは出力信号OUTに応じたバイアス電圧を
供給するようにしてもよい。
以上説明したようにこの発明によれば、第1の
電圧印加点に第2のMOS型電界効果トランジス
タのドレイン電極を接続し、このゲート電極には
アナログ信号を入力し、第2のMOS型電界効果
トランジスタのソース電極と第2の電圧印加点と
の間にインピーダンス素子を挿入し、アナログ信
号電圧よりも一定電圧だけ低下した第2のMOS
型電界効果トランジスタのソース電圧を第1の
MOS型電界効果トランジスタの基板電極に供給
するようにしたので、出力信号に発生する歪を極
めて小さくすることができるアナログスイツチ装
置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のアナログスイツチ装置の回路構
成図、第2図は同装置を構成するMOS型電界効
果トランジスタの構造断面図、第3図は同従来装
置の特性図、第4図はこの発明の一実施例の回路
構成図、第5図は同実施例装置の特性図、第6図
ないし第10図はそれぞれこの発明の他の実施例
の回路構成図である。 1…Nチヤネルでエンハンスメント型のMOS
型電界効果トランジスタ、2…Pチヤネルでエン
ハンスメント型のMOS型電界効果トランジスタ、
3…入力信号の供給端子、4…出力信号の取り出
し端子、5,6,8…Nチヤネルでエンハンスメ
ント型のMOS型電界効果トランジスタ、9…P
チヤネルでエンハンスメント型のMOS型電界効
果トランジスタ、7…抵抗、11…N型半導体基
板、12…Pウエル領域。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 アナログ信号を入力するためあるいはアナロ
    グ信号を出力するためのソース、ドレイン電極、
    導通制御を行なう制御信号が入力されるゲート電
    極および基板電極が設けられたスイツチ用の第1
    のMOS型電界効果トランジスタと、第1の電圧
    印加点にドレイン電極が接続され上記アナログ信
    号がゲート電極に入力される第2のMOS型電界
    効果トランジスタと、上記第2のMOS型電界効
    果トランジスタのソース電極と第2の電圧印加点
    との間に挿入されたインピーダンス素子とを具備
    し、上記アナログ信号電圧よりも一定電圧だけ低
    下した上記第2のMOS型電界効果トランジスタ
    のソース電圧を上記第1のMOS型電界効果トラ
    ンジスタの基板電極に供給し、入力アナログ信号
    の電圧変化に対する第1のMOS型電界効果トラ
    ンジスタの抵抗の変化を最小にして出力アナログ
    信号の歪を最小とし得るように構成したことを特
    徴とするアナログスイツチ装置。
JP56111932A 1981-07-17 1981-07-17 アナログスイッチ装置 Granted JPS5813028A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56111932A JPS5813028A (ja) 1981-07-17 1981-07-17 アナログスイッチ装置
DE3226339A DE3226339C2 (de) 1981-07-17 1982-07-14 Analoge Schaltervorrichtung mit MOS-Transistoren
US06/398,356 US4529897A (en) 1981-07-17 1982-07-15 Analog switch device having threshold change reducing means
FR8212498A FR2509931B1 (ja) 1981-07-17 1982-07-16

Applications Claiming Priority (1)

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JP56111932A JPS5813028A (ja) 1981-07-17 1981-07-17 アナログスイッチ装置

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JPS5813028A JPS5813028A (ja) 1983-01-25
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ID=14573740

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US20090108911A1 (en) 2007-10-30 2009-04-30 Rohm Co., Ltd. Analog switch

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5323260A (en) * 1976-08-17 1978-03-03 Torio Kk Mosfet transistor switch circuit

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JPS5323260A (en) * 1976-08-17 1978-03-03 Torio Kk Mosfet transistor switch circuit

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JPS5813028A (ja) 1983-01-25

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