JPH0118994B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0118994B2 JPH0118994B2 JP56500661A JP50066181A JPH0118994B2 JP H0118994 B2 JPH0118994 B2 JP H0118994B2 JP 56500661 A JP56500661 A JP 56500661A JP 50066181 A JP50066181 A JP 50066181A JP H0118994 B2 JPH0118994 B2 JP H0118994B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- coating
- ceramic
- mcraly
- columnar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 70
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 49
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 26
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 13
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 abstract description 10
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 9
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 120
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 97
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 description 27
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 23
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 19
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 17
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 16
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 239000012720 thermal barrier coating Substances 0.000 description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 229910000601 superalloy Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 5
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 3
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 3
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 229910000951 Aluminide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 2
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 2
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000588731 Hafnia Species 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005269 aluminizing Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 150000001642 boronic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000010987 cubic zirconia Substances 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 230000009643 growth defect Effects 0.000 description 1
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052574 oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011224 oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910002076 stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C29/00—Joining metals with the aid of glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B15/00—Layered products comprising a layer of metal
- B32B15/14—Layered products comprising a layer of metal next to a fibrous or filamentary layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
- C23C14/025—Metallic sublayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/028—Physical treatment to alter the texture of the substrate surface, e.g. grinding, polishing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
- C23C14/083—Oxides of refractory metals or yttrium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01D—NON-POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, e.g. STEAM TURBINES
- F01D5/00—Blades; Blade-carrying members; Heating, heat-insulating, cooling or antivibration means on the blades or the members
- F01D5/12—Blades
- F01D5/28—Selecting particular materials; Particular measures relating thereto; Measures against erosion or corrosion
- F01D5/284—Selection of ceramic materials
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2250/00—Geometry
- F05D2250/60—Structure; Surface texture
- F05D2250/62—Structure; Surface texture smooth or fine
- F05D2250/621—Structure; Surface texture smooth or fine polished
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T50/00—Aeronautics or air transport
- Y02T50/60—Efficient propulsion technologies, e.g. for aircraft
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/922—Static electricity metal bleed-off metallic stock
- Y10S428/923—Physical dimension
- Y10S428/924—Composite
- Y10S428/926—Thickness of individual layer specified
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12472—Microscopic interfacial wave or roughness
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12542—More than one such component
- Y10T428/12549—Adjacent to each other
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12583—Component contains compound of adjacent metal
- Y10T428/1259—Oxide
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12611—Oxide-containing component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12535—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.] with additional, spatially distinct nonmetal component
- Y10T428/12611—Oxide-containing component
- Y10T428/12618—Plural oxides
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12493—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
- Y10T428/12771—Transition metal-base component
- Y10T428/12861—Group VIII or IB metal-base component
- Y10T428/12931—Co-, Fe-, or Ni-base components, alternative to each other
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
請求の範囲
１ 耐久性のある柱状晶セラミツク熱障壁被覆を
有する超合金物品を製造する方法にして、 清浄な表面を有する超合金基質を用意すること
と、 前記超合金基質の表面上に密着したMCrAlY
の層を設けることと、 前記MCrAlY層の表面を研磨することと、 前記MCrAlY層の表面部を酸化することによ
り該表面部にアルミナを形成することと、 前記MCrAlY層上にセラミツクを蒸着により
付加することにより各柱状晶がその根元部にて前
記MCrAlY層のアルミナを含む表面部と接合さ
れこれより先端部へ向けて前記MCrAlY層より
遠去かる方向へ延在する柱状晶セラミツク層を形
成することと、 を含むことを特徴とする方法。 技術分野 本発明は金属基質上に施されたセラミツク被覆
の技術分野に係る。本発明による被覆及び方法は
ガスタービンエンジンの構成要素に保護セラミツ
ク熱障壁被覆を施すのに有用である。本発明によ
る被覆を用いることにより、ガスタービンエンジ
ンの運転温度を実質的に高くすることができる。 背景技術 本発明は本願と同日付にて出願されたPCT／
US81／00021（特願昭56−500559号）に係る発明
とある点で類似している。 超合金の技術分野に於ては、長年に亙りセラミ
ツクの特性と金属の特性とを組合わせる努力が払
われている。例えば、セラミツクの熱特性と金属
の延性とを組合わせるべく、高温度に於て使用さ
れる金属物品に保護セラミツク被覆を施す多くの
試みがなされている。 これまで解決されていない主要な問題は、金属
とセラミツクとの熱膨張係数が実質的に異なるこ
とにより、過酷な熱サイクル条件下に於てセラミ
ツク被覆が破損するということである。 かかる問題を克服せんとしてこれまで採用され
た一つの方法は、金属表面に於ける実質的に全て
金属である組成より被覆の外面に於ける全てセラ
ミツクである組成に順次被覆の組成を変化させる
こと（グレーデイング）である。かかる方法に於
ては、熱膨張係数が被覆の厚さ方向に徐々に変化
し、熱サイクルにより惹起される応力はその被覆
を破損させるほどには至らないものと考えられ
る。かかる方法の一つが米国特許第3091548号に
記載されている。かかる組成を徐々に変化させる
方法に於ける問題は、その被覆内の離散的に分散
された金属粒子が酸化し且その体積を増大するこ
とにより、その被覆内に許容し難いほどの応力を
発生するということである。 金属とセラミツクとを組合わせる一般的な技術
分野に於ては、金属構造体を保護すべくその金属
構造体に接合されるタイルの如きセグメントに分
割されたセラミツク片を使用することが知られて
いる。一般に大きな物品に適用されるかかる方法
に於ては、各セラミツク片は互いに接合されず、
各セラミツク片間の間隙によつて金属構造体の熱
膨張が受入れられる。しかしかかる方法は、極端
な運転条件に曝され、また多数の小さな複雑な部
品が低コストにて被覆される必要のあるガスター
ビンエンジン構成要素の場合には実質上不可能で
ある。更に、かかるカグメントに分割されたセラ
ミツク片を用いる方法を使用する場合には、良好
な金属−セラミツクボンドを得ることが困難であ
るという問題がある。 他の技術分野に於ては、蒸着によりセラミツク
及び金属の被覆を施すことが知られている。蒸着
の一般的な内容が、1974年７月／８月号として出
版された「Journal of Vacuum Science of
Technology」のVol.11、No.４にR.F.Bunshahに
より著わされた記事に記載されている。蒸着によ
りセラミツクを着装することは主に極端に薄い被
覆が使用される半導体工業や光学工業に於て採用
されている。 蒸着に於ては、被覆されるべき物品が、蒸発し
その蒸気が物品上に凝結して被覆となる適当な組
成の材料よりなる溶融池の上方に保持される。か
かる方法はガスタービンエンジンの部品に金属被
覆を施す場合の如き種々の用途に於て使用されて
いる。ガスタービンエンジンの部品に金属被覆を
施すことが、前述の「Journal of Vacuum
Science of Technology」の第641頁乃至第646頁
にBoone等により著わされた記事に記載されてい
る。 またこの記事には蒸着された被覆中に発生する
ことがある欠陥の種類が記載されている。記載さ
れている欠陥のうち最も重大な欠陥は柱状欠陥と
呼ばれており、この柱状欠陥は被覆が互いに他に
対する接着が不充分である柱状晶となつたもので
ある。かかる柱状構造は有害であるとして記載さ
れている。何故ならば、かかる柱状構造の露呈面
はその周りの環境に対し露呈された表面積が非常
に大きく、また各柱状体間の間隙が被覆の機械的
性質に悪影響を及ぼすからである。また前述の記
事に於ては、蒸着された被覆を実際に使用するに
は、柱状の構造が最小限に抑えられる必要がある
ことが記載されている。 「High Rate Sputtered Deposition of
Protective Coatings on Marine Gas Turbine
Hot Section Superalloys」と題してJ.
Fairbanks等により著わされた論文が1974年７月
に、「Gas Turbine Materials in the Marine
Environment」と題する会議に於て提出され、そ
の後the Metals Information Center of the
Department of Defenseによる報告書（MCIC75
−27）として提出された。この論文には、柱状に
成長した欠陥がスパツタリングにより装着された
セラミツク被覆に観察されたことが示されてい
る。またこの論文に於ては、柱状構造を有する被
覆は被覆の応力緩和を達成し、これにより被覆の
寿命を高めるであろうとの仮説を提記している。 前記論文の著者の一人によるかかる概念のその
後の発展が、1978年７月19日に発行された
NASA報告書NASA−CR−159412に詳細に記載
されている。この報告書には、ジルコニア基柱状
被覆を銅基質上にスパツタリングにより着装する
ことが記載されている。しかしこの研究は、−196
〓と400〓（−127℃と204℃）との間の冷熱サイ
クルに耐え得る被覆を形成することについては不
成功であつた。また研究者等は、セラミツクの着
装前にチタニウムの中間層が着装される実験を行
なつた。しかし、その方法により得られた被覆は
中程度の冷熱サイクル条件下に於て剥離した。報
告書の結論に於て、研究者等はその被覆の性能は
組成を徐々に変化させた被覆を用いて先に行なつ
た研究に於て観察された性能よりも実質的に劣つ
ていると記載している。また研究者等は、スパツ
タリングにより着装され柱状被覆が形成された組
成が徐々に変化する金属−セラミツク被覆につい
て、Naval Sea Systems Commandのために研
究を行なつた。これらの被覆は過酷な冷熱サイク
ル条件下に於ける剥離を低減することに関しては
不成功であつた。このことに関する報告書は、
「Develop Sputter Deposited Graded Metal
ZrO2 Coating Technology for Application to
Turbine Hot Section Components」（契約書No.
N00024−75−Ｃ−4333、1976年10月11日）なる
表題が付けられている。 またセラミツク被覆は従来よりプラズマスプレ
ー法によつても着装されている。現在までの最も
優れたプラズマスプレー被覆は、それまで金属ボ
ンド被覆にて被覆されていた物品に対し施されて
いる。ポンド被覆のうちMCrAlYクラスの材料
については研究されている。かかる状況に於て、
ボンド被覆は、プラズマスプレーされた粒子が埋
込まれこれにより機械的ボンドを構成する柔軟で
粗い層として作用することにより、ボンドして機
能するものと考えられる。このことが米国特許第
4055705号及び米国特許出願第811807号に記載さ
れている。 発明の開示 本発明は、特に高温度条件下に於て金属物品を
その環境による損傷より保護する複合被覆及びそ
の被覆の製造方法を提供することを目的としてい
る。 本発明によれば、保護されるべき物品には一様
な密着性MCrAlY層が着装される。そしてこの
MCrAlY層上に、特に新規な柱状微細組織を有
するセラミツク被覆が着装される。 セラミツク被覆は、保護されるべき物品に強固
に接合されているが互いに他に対しては接合され
ていない多数の個々の柱状体よりなつている。各
柱状体間に間隙を与えることにより、金属基質は
セラミツク被覆内に損傷を惹起こすほどの応力を
発生することなく膨張することが可能となる。 セラミツク被覆は蒸着法により着装される。
MCrAlY層と柱状セラミツク被覆との間には連
続的なアルミナ層が存在する。このアルミナ層は
セラミツク被覆をMCrAlY層に接合することに
関し重要な役割を果す。 本発明の一つの重要な特徴は、MCrAlY層と
アルミナ層との間の界面がその表面粗さが小さく
なるよう研磨され、かくして研磨された界面が被
覆の性能を実質的に改善するということである。
有する超合金物品を製造する方法にして、 清浄な表面を有する超合金基質を用意すること
と、 前記超合金基質の表面上に密着したMCrAlY
の層を設けることと、 前記MCrAlY層の表面を研磨することと、 前記MCrAlY層の表面部を酸化することによ
り該表面部にアルミナを形成することと、 前記MCrAlY層上にセラミツクを蒸着により
付加することにより各柱状晶がその根元部にて前
記MCrAlY層のアルミナを含む表面部と接合さ
れこれより先端部へ向けて前記MCrAlY層より
遠去かる方向へ延在する柱状晶セラミツク層を形
成することと、 を含むことを特徴とする方法。 技術分野 本発明は金属基質上に施されたセラミツク被覆
の技術分野に係る。本発明による被覆及び方法は
ガスタービンエンジンの構成要素に保護セラミツ
ク熱障壁被覆を施すのに有用である。本発明によ
る被覆を用いることにより、ガスタービンエンジ
ンの運転温度を実質的に高くすることができる。 背景技術 本発明は本願と同日付にて出願されたPCT／
US81／00021（特願昭56−500559号）に係る発明
とある点で類似している。 超合金の技術分野に於ては、長年に亙りセラミ
ツクの特性と金属の特性とを組合わせる努力が払
われている。例えば、セラミツクの熱特性と金属
の延性とを組合わせるべく、高温度に於て使用さ
れる金属物品に保護セラミツク被覆を施す多くの
試みがなされている。 これまで解決されていない主要な問題は、金属
とセラミツクとの熱膨張係数が実質的に異なるこ
とにより、過酷な熱サイクル条件下に於てセラミ
ツク被覆が破損するということである。 かかる問題を克服せんとしてこれまで採用され
た一つの方法は、金属表面に於ける実質的に全て
金属である組成より被覆の外面に於ける全てセラ
ミツクである組成に順次被覆の組成を変化させる
こと（グレーデイング）である。かかる方法に於
ては、熱膨張係数が被覆の厚さ方向に徐々に変化
し、熱サイクルにより惹起される応力はその被覆
を破損させるほどには至らないものと考えられ
る。かかる方法の一つが米国特許第3091548号に
記載されている。かかる組成を徐々に変化させる
方法に於ける問題は、その被覆内の離散的に分散
された金属粒子が酸化し且その体積を増大するこ
とにより、その被覆内に許容し難いほどの応力を
発生するということである。 金属とセラミツクとを組合わせる一般的な技術
分野に於ては、金属構造体を保護すべくその金属
構造体に接合されるタイルの如きセグメントに分
割されたセラミツク片を使用することが知られて
いる。一般に大きな物品に適用されるかかる方法
に於ては、各セラミツク片は互いに接合されず、
各セラミツク片間の間隙によつて金属構造体の熱
膨張が受入れられる。しかしかかる方法は、極端
な運転条件に曝され、また多数の小さな複雑な部
品が低コストにて被覆される必要のあるガスター
ビンエンジン構成要素の場合には実質上不可能で
ある。更に、かかるカグメントに分割されたセラ
ミツク片を用いる方法を使用する場合には、良好
な金属−セラミツクボンドを得ることが困難であ
るという問題がある。 他の技術分野に於ては、蒸着によりセラミツク
及び金属の被覆を施すことが知られている。蒸着
の一般的な内容が、1974年７月／８月号として出
版された「Journal of Vacuum Science of
Technology」のVol.11、No.４にR.F.Bunshahに
より著わされた記事に記載されている。蒸着によ
りセラミツクを着装することは主に極端に薄い被
覆が使用される半導体工業や光学工業に於て採用
されている。 蒸着に於ては、被覆されるべき物品が、蒸発し
その蒸気が物品上に凝結して被覆となる適当な組
成の材料よりなる溶融池の上方に保持される。か
かる方法はガスタービンエンジンの部品に金属被
覆を施す場合の如き種々の用途に於て使用されて
いる。ガスタービンエンジンの部品に金属被覆を
施すことが、前述の「Journal of Vacuum
Science of Technology」の第641頁乃至第646頁
にBoone等により著わされた記事に記載されてい
る。 またこの記事には蒸着された被覆中に発生する
ことがある欠陥の種類が記載されている。記載さ
れている欠陥のうち最も重大な欠陥は柱状欠陥と
呼ばれており、この柱状欠陥は被覆が互いに他に
対する接着が不充分である柱状晶となつたもので
ある。かかる柱状構造は有害であるとして記載さ
れている。何故ならば、かかる柱状構造の露呈面
はその周りの環境に対し露呈された表面積が非常
に大きく、また各柱状体間の間隙が被覆の機械的
性質に悪影響を及ぼすからである。また前述の記
事に於ては、蒸着された被覆を実際に使用するに
は、柱状の構造が最小限に抑えられる必要がある
ことが記載されている。 「High Rate Sputtered Deposition of
Protective Coatings on Marine Gas Turbine
Hot Section Superalloys」と題してJ.
Fairbanks等により著わされた論文が1974年７月
に、「Gas Turbine Materials in the Marine
Environment」と題する会議に於て提出され、そ
の後the Metals Information Center of the
Department of Defenseによる報告書（MCIC75
−27）として提出された。この論文には、柱状に
成長した欠陥がスパツタリングにより装着された
セラミツク被覆に観察されたことが示されてい
る。またこの論文に於ては、柱状構造を有する被
覆は被覆の応力緩和を達成し、これにより被覆の
寿命を高めるであろうとの仮説を提記している。 前記論文の著者の一人によるかかる概念のその
後の発展が、1978年７月19日に発行された
NASA報告書NASA−CR−159412に詳細に記載
されている。この報告書には、ジルコニア基柱状
被覆を銅基質上にスパツタリングにより着装する
ことが記載されている。しかしこの研究は、−196
〓と400〓（−127℃と204℃）との間の冷熱サイ
クルに耐え得る被覆を形成することについては不
成功であつた。また研究者等は、セラミツクの着
装前にチタニウムの中間層が着装される実験を行
なつた。しかし、その方法により得られた被覆は
中程度の冷熱サイクル条件下に於て剥離した。報
告書の結論に於て、研究者等はその被覆の性能は
組成を徐々に変化させた被覆を用いて先に行なつ
た研究に於て観察された性能よりも実質的に劣つ
ていると記載している。また研究者等は、スパツ
タリングにより着装され柱状被覆が形成された組
成が徐々に変化する金属−セラミツク被覆につい
て、Naval Sea Systems Commandのために研
究を行なつた。これらの被覆は過酷な冷熱サイク
ル条件下に於ける剥離を低減することに関しては
不成功であつた。このことに関する報告書は、
「Develop Sputter Deposited Graded Metal
ZrO2 Coating Technology for Application to
Turbine Hot Section Components」（契約書No.
N00024−75−Ｃ−4333、1976年10月11日）なる
表題が付けられている。 またセラミツク被覆は従来よりプラズマスプレ
ー法によつても着装されている。現在までの最も
優れたプラズマスプレー被覆は、それまで金属ボ
ンド被覆にて被覆されていた物品に対し施されて
いる。ポンド被覆のうちMCrAlYクラスの材料
については研究されている。かかる状況に於て、
ボンド被覆は、プラズマスプレーされた粒子が埋
込まれこれにより機械的ボンドを構成する柔軟で
粗い層として作用することにより、ボンドして機
能するものと考えられる。このことが米国特許第
4055705号及び米国特許出願第811807号に記載さ
れている。 発明の開示 本発明は、特に高温度条件下に於て金属物品を
その環境による損傷より保護する複合被覆及びそ
の被覆の製造方法を提供することを目的としてい
る。 本発明によれば、保護されるべき物品には一様
な密着性MCrAlY層が着装される。そしてこの
MCrAlY層上に、特に新規な柱状微細組織を有
するセラミツク被覆が着装される。 セラミツク被覆は、保護されるべき物品に強固
に接合されているが互いに他に対しては接合され
ていない多数の個々の柱状体よりなつている。各
柱状体間に間隙を与えることにより、金属基質は
セラミツク被覆内に損傷を惹起こすほどの応力を
発生することなく膨張することが可能となる。 セラミツク被覆は蒸着法により着装される。
MCrAlY層と柱状セラミツク被覆との間には連
続的なアルミナ層が存在する。このアルミナ層は
セラミツク被覆をMCrAlY層に接合することに
関し重要な役割を果す。 本発明の一つの重要な特徴は、MCrAlY層と
アルミナ層との間の界面がその表面粗さが小さく
なるよう研磨され、かくして研磨された界面が被
覆の性能を実質的に改善するということである。
以下に添付の図を参照しつつ、本発明を詳細に
説明する。尚、第１図は本発明による被覆を示す
解図的縦断面図、第２図は実験的被覆を示す顕微
鏡写真である。 発明を実施するための最良の形態 本発明の熱障壁被覆は、それぞれ異なつた機能
を果す三つの相互に関連する要素を含む複合被覆
である。本発明の被覆の性能は、ガスタービンエ
ンジンの環境に於て評価した場合、他の任意の公
知の高温被覆の性能よりも優れている。また本発
明の被覆によれば、優れた熱障壁能力または断熱
能力との組合わせに於て、現段階に於て最も優れ
ている被覆の耐酸化性及び耐蝕性に等しい耐酸化
性及び耐蝕性が得られる。本発明の被覆の主要な
用途は超合金物品の保護の分野である。超合金は
高温度に於て優れた性質を有するニツケル基合
金、コバルト基合金、または鉄基合金である。超
合金の典型的な組成が下記の表１に示されてい
る。
説明する。尚、第１図は本発明による被覆を示す
解図的縦断面図、第２図は実験的被覆を示す顕微
鏡写真である。 発明を実施するための最良の形態 本発明の熱障壁被覆は、それぞれ異なつた機能
を果す三つの相互に関連する要素を含む複合被覆
である。本発明の被覆の性能は、ガスタービンエ
ンジンの環境に於て評価した場合、他の任意の公
知の高温被覆の性能よりも優れている。また本発
明の被覆によれば、優れた熱障壁能力または断熱
能力との組合わせに於て、現段階に於て最も優れ
ている被覆の耐酸化性及び耐蝕性に等しい耐酸化
性及び耐蝕性が得られる。本発明の被覆の主要な
用途は超合金物品の保護の分野である。超合金は
高温度に於て優れた性質を有するニツケル基合
金、コバルト基合金、または鉄基合金である。超
合金の典型的な組成が下記の表１に示されてい
る。
【表】
本発明の熱障壁被覆は主にガスタービンエンジ
ンに適用されるものであり、かかる用途を念頭に
置いて開発されたものである。しかし、かかる本
発明の熱障壁被覆またはそのバリエーシヨンに非
常に適した他の有望な用途が多数存在する。 本発明の被覆は、研磨された表面を有する
MCrAlY合金よりなる金属層と、該金属層上に
形成された連続的な密着性アルミナ層と、該アル
ミナ層上に形成された特定の柱状形態の非連続的
な純粋セラミツク層とよりなつている。 金属層はACrAlY合金よりなつている。かかる
合金は10〜30％のクロムと、５〜15％のアルミニ
ウムと、0.01〜１％のイツトリウム（またはハフ
ニウム、ランタン、セリウム、スカンジウム）
と、鉄、コバルト、ニツケル、及びそれらの混合
物よりなる群より選択された残部とよりなる広い
組成を有している。また少量の他の元素も存在し
ている。かかる合金は保護被覆としてそれのみを
使用することが従来より知られているものであ
り、米国特許第3542530号、同第3676085号、同第
3754903号、同第3928026号の如き種々の米国特許
に記載されている。 また本発明は、超合金基質とMCrAlY層との
詰に種々の中間層を使用することを企図するもの
である。特に、米国特許第4005989号より、基質
とMCrAlY層との間にアルミナイド層（アルミ
ナイジングにより形成されたアルミナイド層）を
使用することにより、被覆の耐久性が改善される
ことが知られている。プラチナの如き他の材料に
ついても中間層として使用することが提案されて
いる。勿論、かかる中間層は必要な場合にのみ、
またその中間層が基質とMCrAlY層との間のボ
ンド部に悪影響を及ぼさない場合にのみ使用され
る。 このMCrAlY層は蒸着により着装されるのが
好ましい。ピーニングや熱処理との組合わせでか
かる蒸着法を用いれば、根本的に欠陥のない比較
的一様な厚さの稠密な密着層が得られる。厚さと
しては１〜10mil（25.4〜254μｍ）が適当である。
本発明の一つ重要な特徴は、MCrAlY層の表面
が研磨等によつて非常に平滑な仕上げ面を有する
よう処理されるということである。 研磨面を有しまたは研磨面を有するよう処理さ
れ得る厚さが一様で一体性の高い所要の組成の被
覆を形成し得る限り、MCrAlY層を形成するた
めに、おそらくは被覆の後処理との関連で、スパ
ツタリングやプラズマスプレーの如き他の着装法
が採用されてよい。 MCrAlY層上のアルミナ層はMCrAlY層を酸
化することによつて形成される。このアルミナ層
は比較的薄いものであり（0.01〜0.1mil（0.254〜
2.54μｍ））、また一様であり且密着性を有するも
のである。MCrAlY層の表面が平滑な仕上げ面
を有するので、アルミナ層も平滑である。アルミ
ナ層の密着性は、イツトリウムまたはこれと同様
の活性元素を含有しない同様の合金の密着性に比
べ、MCrAlY合金に於てはかなり改善されてい
る。かくしてアルミナ層の密着性が改善されるこ
とは、MCrAlY層内へ延在し且アルミナ層に密
着し、これによりアルミナ層を固定し且その割れ
を最小限に抑える酸化イツトリウム（イツトリ
ア）が形成されることによる。 アルミナ層の密着性は柱状セラミツク層の密着
性にとつて重要であり、金属層中にイツトリウ
ム、またはランタン、セリウム、ハフニウム、ス
カンジウム、及びそれらの酸化物粒子の混合物の
如きイツトリウムと等価な酸素活性元素が存在す
ることは、本発明の被覆が適正に機能する上で重
要である。 本発明の熱障壁被覆の他の一つ（最表面）の構
成要素は、アルミナ層に密着したユニークな柱状
晶セラミツク表面層である。各柱状晶は基質の表
面に対し実質的に垂直に配向されており、各柱状
晶の間の自由面はアルミナ層まで下方へ延在して
いる。 このセラミツク表面層は、被覆中に実質的な量
の金属を含み組成を徐々に変化された層（グレー
デツド層）を使用することを提案する従来技術の
ものとは明確に異なる純粋セラミツクである。 セラミツク表面層の柱状体としての性質によ
り、基質と被覆との間の熱膨張係数の差（従来技
術のセラミツク熱障壁被覆に於ける破損の原因と
考えられている）が低減される。基質は加熱され
るとセラミツク表面層よりも大きな割合にて膨張
し、個々のセラミツク柱状体間の柱状界面は互い
に離れて熱膨張の不均衡による応力を受入れる。
このことにより基質と柱状セラミツクとの間の界
面に於ける応力が、セラミツク表面層の破断に至
るレベル以下のレベルに低減される。セラミツク
表面層の各柱状体はその断面の寸法が0.1mil
（2.54μｍ）程度である。本願発明者等は、
MCrAlY層の表面を酸化させる前に、その
MCrAlY層の表面を研磨することにより、セラ
ミツク表面層の密着性が驚くべきほどに改善され
ることを見出した。 柱状のセラミツク表面層は多くのセラミツク組
成のうちの一つのものであつてよい。現在まで行
なわれている実験的研究の多くは、20％または35
％のイツトリアを添加することにより安定化され
たキユービツクジルコニアよりなるセラミツクつ
いてのものである。 柱状セラミツク表面層として使用されるセラミ
ツク材料に必要とされる特性を正確に特定するこ
とは困難である。柱状のセラミツク材とアルミナ
との間にある程度の固溶性がなければならないも
のと考えられる。この固溶性は、アルミナ層に対
する柱状セラミツク表面層の密着性に最も影響す
る主要な因子であるものと考えられる。他の特性
も必要である。柱状のセラミツク材は高温に於て
アルミナと接触した場合にも低融点化合物（共
晶）を生成しないものでなければならない。柱状
のセラミツク材の融点（及び昇華点）は使用温度
よりもはるかに高いものでなければならない。 最後に、柱状のセラミツク材は所定の影境に於
て安定なものでなければならない。即ちセラミツ
ク材はかなりの程度まで所定の環境に於て酸化せ
ず、またはその環境と反応しないものでなければ
ならない（Si3N4の如く、セラミツクの中には高
温に於て酸化するものがある。しかしその場合の
酸化は生成される酸化物（SiO2）がそれ以上の
酸化を防止するので自己制限的なものである）。
ジルコニア（イツトリアの如き材料にて安定化さ
れたものであるのが好ましい）、アルミナ、セリ
ア、ムライト、ジルコン、シリカ、窒化シリコ
ン、ハフニア、ある種のジルコン酸塩、ホウ酸
塩、窒化物の如きセラミツクは、本発明に於ける
柱状セラミツク材として有用なものであると考え
られる。 以上要するに、柱状のセラミツク材はアルミナ
中に於てある程度の固溶性を有するものでなけれ
ばならず、また所期の用途環境に於て安定なもの
でなければならない。当業者は上述のガイドライ
ンに基いて容易に適当なセラミツクを選定するこ
とができる。 MCrAlY層の機能は基質に強固に固着し且強
力で連続的な密着性酸化物表面層を形成すること
である。かくして形成されるアルミナ層は酸化及
び高温腐食よりその下層のMCrAlY層及び基質
を保護し、また柱状晶セラミツク表面層のための
強固な基礎を与える。 柱状晶セラミツク表面層はその下にある基質及
び被覆層の温度を低下させる。多くのセラミツク
の性質及び各柱状体間に互いに離れた界面が存在
することにより、セラミツク表面層は比較的酸素
を透過させ易いものであり、下層（MCrAlY層
及びアルミナ層）の温度を低下させることによつ
て酸化速度を低下させることはさせるが、下層の
酸化を低減する主要な役割を果たす訳ではない。
MCrAlY層上のアルミナ層は酸化に対する主要
な障壁である。5mil（127μｍ）層のジルコニア基
被覆は、冷却式ブードを組込まれた現在のガスタ
ービンエンジンに於ける通常の条件下に於て基質
の温度を50〜200〓（10〜93℃）低下させること
ができることが知られている。 セラミツク表面層は、その下層のMCrAlY層
とこれまで高温腐食を惹起こす原因であることが
観察されている種々の液体及び固体燃焼生成物と
の間の障壁として作用することにより、高温腐食
を低減する役割を果たす。またセラミツク表面層
は、その断熱能力が高いことによつてその表面温
度が高くなる結果として、ある環境に於て表面付
着物の蒸発速度を増大させることにより、高温腐
食より基質を保護する点で有効であるものと考え
られる。後に説明する如く、研磨された
MCrAlY表面は柱状セラミツク層の密着性を大
きく改善する。 第１図は本発明による被覆の断面を示す解図的
縦断面図である。基質材料１にはMCrAlY層２
が被覆されている。このMCrAlY層は研磨され
た外面３を有している。この外面３上には密着性
アルミナ層４が形成されている。そして柱状のセ
ラミツク層５がアルミナ層４に固着している。 以上に被覆された物品の構造について説明した
ので、これよりブレードやベーンの如きガスター
ビンエンジン構成要素上にかかる被覆を形成する
好ましい方法について説明する。 被覆を施す方法の第１段階は被覆されるべき表
面を用意することである。被覆されるべき表面は
埃やグリースや酸化物等のない清浄なものでなけ
ればならない。 本願発明者等が採用した浄化方法は、被覆され
るべき表面に付着した全ての物質をその表面より
除去するに充分な力にて、浄化されるべき表面に
対し衝突せしめられる水溶研磨性スラリーを使用
する蒸気ホーニングである。かかる浄化工程の
後、浄化されるべき表面は蒸気脱脂されるのが好
ましい。かかるプロセスは満足し得る浄化プロセ
スであるが、満足し得る浄化された表面を得るこ
とができる限り他の多数のプロセスが採用されて
よい。 次いでMCrAlY層が着装される。この
MCrAlY層は蒸着によつて着装されるのが好ま
しい。MCrAlY層の着装プロセスは、被覆され
るべき表面を真空室内に於てMCrAlY材料の溶
融池上に保持することによつて行なわれる。
MCrAlY材料を溶融状態に維持するために使用
される熱源は一般に電子ビームである。 被覆されるべき表面はかかるMCrAlY着装プ
ロセス中約1600〜1800〓（871〜982℃）の温度に
維持されるのが好ましい。 MCrAlY層は約１〜10mil（25.4〜254μｍ）の厚
さを有しているのが好ましい。MCrAlY層の厚
さが約1mil（25.4μｍ）以内の場合には基質の表面
に対する保護が不充分となり、またその厚さが約
10mil（254μｍ）以上の場合には繰返し熱サイク
ルを受けている間にその層が波打つた状態となつ
てしまう。 従来のMCrAlY被覆法に於ては、被覆内の空
所を充填しまた被覆構造を改善すべく、乾燥ガラ
スビーズによるピーニングが行なわれる。かかる
ピーニングは好ましいものであるが、本発明の被
覆法に於ては必須ではないことが解つた。 次いで被覆は水素中に於て1975〓（1079℃）の
温度にて熱処理されるのが好ましい。しかし熱処
理時間及び温度が特に重要であるという訳ではな
い。本願発明者等は、基質に対する被覆の密着性
を改善すべく、４時間の熱処理を行なつた。 前述の如く、MCrAlY表面を研磨することに
よつて被覆の性能を大幅に改善することができ
る。かかる研磨工程は本発明による被覆法の一つ
の重要な部分を占めている。 使用される研磨方法自体はさほど重要ではない
ものと考えられる。本願発明者等は機械的研磨及
び電気研磨（電解研磨）を行なつたが、その結果
得られた被覆の特性には特に顕著な差異は認めら
れなかつた。純粋に化学的な方法の如き他の研磨
法も適用可能である。35〜50μinch RMS（889〜
1270ｍμRMS）及び６〜10μinch RMS（152〜254
ｍμRMS）の表面粗さを有するMCrAlY基質に
被覆を施すと、基質表面がより平滑になることに
より、100倍以上性能が改善されることが解つた。
この結果より、研磨後の表面粗さは25μinch
RMS（635ｍμRMS）以下であるのが好ましい。
研磨工程の後にはアルミナの膜が形成されなけれ
ばならない。本願発明者等は、商業的純度の水素
雰囲気中にて1975〓（1079℃）の温度に於て加熱
酸化し、良好な結果を得た。酸化物の生成は水素
中に不純物としての酸素が存在することによつて
発生する。500〜2000〓（260〜1093℃）の温度に
て空気中に於て酸化することも可能である。 MCrAlY層を研磨してその表面粗さを低減す
ることにより、その後形成されるアルミナ層の表
面粗さも低減される。かくしてアルミナ層の表面
仕上げが改善されることにより、その後着装され
る柱状セラミツク層の初期部分の完全性が改善さ
れる。柱状セラミツク層の初期部分は互いに競争
して成長すると思われる多数の小さな柱状晶より
なつており、より好ましく配向された柱状晶が不
適当に配向された柱状晶に打克つ。その結果より
好ましく配向された柱状晶が優勢を占め、これに
よりセラミツク層の自由表面に於ける柱状晶の数
は最初に核生成した結晶の数よりも実質的に少な
くなる。MCrAlY層を研磨することにより、競
争的結晶成長の完全性が増大され、またセラミツ
ク層それ自身の完全性が増大される。被覆の破断
はアルミナ層との界面近傍の柱状セラミツク層に
於て発生する。かかる柱状セラミツク層はアルミ
ナ層が平滑な表面を有している場合には、アルミ
ナ層に対するセラミツク層の密着性を大きく改善
する。 最終的には、アルミナ層は研磨された
MCrAlY層表面上に形成されなければならない。
アルミナ層はその下層の表面に忠実に従うので、
アルミナ層の表面仕上りはアルミナ層が形成され
るMCrAlY層の表面仕上げとほぼ同一である。 また、柱状晶セラミツク層を着装した後、アル
ミナ層を形成することも可能である。この方法
は、酸素に対する透過性が非常に大きいジルコニ
ア基セラミツクの場合に特に適している。しか
し、柱状晶セラミツク層を着装する前にアルミナ
層を形成するのが好ましい。 採用される表面研磨法はさほど重要ではない。
例えばピーニング工程が省略される場合には、
MCrAlYが着装され熱処理が行なわれた直後に
その物品が研磨されてよい。たとえピーニングが
行なわれる場合であつても部材はピーニングの直
後に研磨されてよく、ピーニング後の熱処理はア
ルミナ層を形成する熱処理と組合わせて行なわれ
てよい。 MCrAlY層の着装及び酸化層（アルミナ層）
の形成の後、柱状晶セラミツク表面層が蒸着法に
より着装される。 着装されるべきセラミツクは溶融され、溶融池
または蒸発源として維持される。本願発明者等は
開始材料として10〜20メツシユのセラミツク粉末
を使用したが、他の開始材料であつてもよい。被
覆されるべき基質が蒸発源の上方に配置され、一
様な被覆厚としまた柱状構造の形成を促進するよ
う操作される。セラミツク層の厚さは約１〜
50mil（25.4〜127μｍ）範囲であつてよい。 セラミツク層被覆工程中には、比較的粗い柱状
構造としまた比較的化学量論的な被覆組成とする
ために、基質を比較的低温度、例えば1000〜1500
〓（538〜816℃）に維持するのが望ましいことが
解つている。 酸化物セラミツクの場合には、着装されたまま
のセラミツクは酸素が不足している。酸素に関し
化学量論的均衡を採るために空気中に於ける熱処
理が採用されてよい。 本発明による被覆は、従来技術が一般に被覆欠
陥とみなされている柱状構造の生成を回避せんと
することに終始しているという意味に於て、新規
なものである。本発明は被覆の性能を改善するの
に、これまで被覆欠陥とみなされていたもの、即
ち柱状構造を使用するものである。 研磨された基質により被覆の性質が顕著に改善
されるという発見も従来提案されていたものとは
相反するものである。一般に、より大きな表面積
を与えまた機械的固定の可能性を与える粗い表面
は、平滑な表面よりも被覆の装着にとつてより優
れていると考えられていた。 これより本発明を幾つかの例について説明す
る。 例 １ 合金MAR−Ｍ−200（その公称組成が表１に示
されている）にて形成されたニツケル基超合金基
質が、18％クロム、23％コバルト、12.5％アルミ
ニウム、0.3％イツトリウム、残部ニツケルなる
公称組成を有するNiCoCrAlY被覆が施された。 一組のサンプルについては、NiCoCrAlY被覆
を施すのにプラズマスプレー法が使用された。プ
ラズマスプレーにより着装されたままの
NiCoCrAlY被覆の表面粗さは280〜
350μinchRMS（7110〜8890ｍμRMS）であつた。
次いで同様のプラズマスプレー法を用いてイツト
リアにて安定された厚さ5mil（127μｍ）のジルコ
ニア層が着装された。かかるセラミツク着装法及
びその結果得られる被覆層の詳細については、特
許査定された米国特許出願第811807号に記載され
ている。このプラズマスプレーされた熱障壁被覆
は当技術分野に於て一般に行なわれている熱障壁
被覆である。 他の一組のサンプルが、本願と同日付にて出願
されたPCT／US81／00021号（米国特許出願第
109956号に対応）の教えるところに従つて用意さ
れた。このサンプルの用意は、アルミナ層の形成
及び柱状セラミツク層の着装に先立つて
MCrAlYが研磨されない点を除き、本明細書に
於て記載されたものと同様である。 MAR−Ｍ−200の混合金基質が浄化され、蒸
着によつて厚さが5mil（127μｍ）のNiCoCrAlY
被覆が施された。蒸着は真空室内に於て行なわ
れ、基質は蒸着プロセス中1500〓（816℃）の温
度に維持された。NiCoCrAlY被覆はガラスビー
ズにてピーニングされ、1975〓（1079℃）にて４
時間熱処理された。ピーニング後に於ける
NiCoCrAlY被覆の表面粗さは35〜50μinchRMS
（88〜1270ｍμRMS）であつた。上述の熱処理中
にNiCoCrAlY被覆上に薄い密着性アルミナ層が
形成された。かかるアルミナ層上にイツトリアに
て安定化された厚さ5mil（127μｍ）のジルコニア
被覆が施された。このジルコニア被覆は蒸着によ
り着装され、前述の柱状構造を有していた。得ら
れた被覆の構造が第２図に図示されている。この
第２図よりセラミツクが柱状であることが解る。 上述の二組のサンプルについて冷熱サイクルバ
ーナ装置内に於て試験が行なわれた。この試験に
於ては、サンプルは回転プラツトフオーム上に装
着され、噴射燃料の燃焼により生成される火炎が
サンプル上に衝突せしめられた。所定の熱サイク
ルに従つて火炎の温度を変化し得る制御系によつ
て火炎が調整され、またサンプルが所要の温度に
維持される。 この例に於て使用された熱サイクルに於ては、
サンプルは1850〓（1010℃）に加熱され、この温
度に４分間維持された。次いで火炎が除去され、
冷却空気のジエツトを用いてサンプルが２分以内
に400〓（204℃）に冷却された。かかる熱サイク
ルが被覆の破損の兆候が観察されるまで繰返され
た。かかる熱サイクルにより被覆上に過酷な熱歪
みが誘起される。 この試験に於て、プラズマスプレーにより被覆
されたサンプルは1210サイクルに耐えた。これに
対し蒸着によりセラミツク層が施されたサンプル
は破断することなく29470サイクルに耐え、その
時点に於ても試験が続けられていた。この例よ
り、MCrAlY層の表面を研磨しなくても、本発
明による被覆と同様の被覆の性能が驚くべきほど
に優れていることが解る。この試験結果より、柱
状セラミツク被覆はプラズマスプレーされた被覆
の寿命の約20倍の寿命を有していることが解る。 次に説明する例はMCrAlY層の表面を酸化し
柱状セラミツク被覆を着装する前にMCrAlY層
の表面を研磨することによつて被覆が改善される
ことを示している。 例 ２ 合金MAR−Ｍ−200の超合金サンプルが、前
述の例１に記載されている如く、厚さ5mil（127μ
ｍ）のNiCoCrAlYの層にて被覆された。次いで
そのNiCoCrAlY被覆されたサンプルはガラスビ
ーズにてピーニングされ、熱処理された。この時
点でNiCoCrAlY被覆の表面は35〜50μinchRMS
（889〜1270ｍμRMS）の表面粗さを有していた。
熱処理によりNiCoCrAlY被覆の表面に薄い密着
性アルミナ層が形成された。一組の熱処理された
サンプルには、アルミナ層が形成された
NiCoCrAlY被覆の表面に柱状晶セラミツク被覆
が直接装着された。 他の一組のサンプルはその表面粗さを６〜
14μinchRMS（152〜356ｍμRMS）の値に低減す
べく、600グリツドのシリコンカーバイドペーパ
ーにて機械的に研磨された。かくして研磨された
NiCoCrAlY被覆されたサンプルはアルミナ層を
形成すべく酸素を含む水素雰囲気中にて1975〓
（1079℃）の温度にて４時間熱処理され、イツト
リアにて安定化された厚さ5mil（127μｍ）のジル
コニア被覆が例１に記載された条件と同一の条件
下にて蒸着により着装された。かくして着装され
たセラミツク被覆は第２図に図示されたものとは
区別し得ない柱状構造を有していた。 これら二組のサンプルは、一方の組のサンプル
については研磨が行なわれた点を除き同一の要領
にて処理された。かくして研磨が行なわれた一組
のサンプルは本発明によるものである。これらの
サンプルは例１に於て記載された型式のバーナ装
置内にて試験された。しかしこの例に於ては、熱
サイクル中に被覆により過酷な歪みが発生するよ
う試験条件が修正された。各サンプルは、より過
酷な試験を行なうべく、2100〓（1149℃）の温度
に加熱されその温度に２分間維持され、次いで２
分以内に約400〓（204℃）の温度に強制空冷され
た。 セラミツク被覆を施す前に研磨されなかつたサ
ンプルは54サイクルにしか耐えなかつた。前述の
例に於て、1850〓（1010℃）の温度サイクルにて
試験された同様のサンプルは29000サイクル以上
に耐え、このことより、2100゜（1149℃）の熱サイ
クルは被覆の耐久性を調べるための実質的により
過酷な試験であることが解る。セラミツク被覆を
着装する前に研磨されたサンプルは2100〓（1149
℃）の試験の7125サイクルに耐えた。この結果よ
り、研磨されたサンプルは研磨されていないサン
プルの性能の約130倍の性能を有していることが
解る。 例１に於けるプラズマスプレーされた被覆は当
技術分野に於て一般的な熱障壁被覆である。上述
の二つの例に於て記載された三つの被覆の相対的
性能を組合わせることにより、研磨された
MCrAlY基質に施された柱状セラミツク被覆は
プラズマスプレーされたセラミツク熱障壁被覆の
寿命の約６×104倍の寿命を有しているというこ
とができる。試験条件が異なつているので、この
比較は必ずしも正確なものではないが、本発明に
よる被覆が優れていることは明白である。 以上に於ては本発明を特定の実施例及び幾つか
の例について説明したが、本発明はこれらの実施
例や例に限定されるものではなく、本発明の範囲
内にて種々の修正ならびに省略が可能であること
は当業者にとつて明らかであろう。
ンに適用されるものであり、かかる用途を念頭に
置いて開発されたものである。しかし、かかる本
発明の熱障壁被覆またはそのバリエーシヨンに非
常に適した他の有望な用途が多数存在する。 本発明の被覆は、研磨された表面を有する
MCrAlY合金よりなる金属層と、該金属層上に
形成された連続的な密着性アルミナ層と、該アル
ミナ層上に形成された特定の柱状形態の非連続的
な純粋セラミツク層とよりなつている。 金属層はACrAlY合金よりなつている。かかる
合金は10〜30％のクロムと、５〜15％のアルミニ
ウムと、0.01〜１％のイツトリウム（またはハフ
ニウム、ランタン、セリウム、スカンジウム）
と、鉄、コバルト、ニツケル、及びそれらの混合
物よりなる群より選択された残部とよりなる広い
組成を有している。また少量の他の元素も存在し
ている。かかる合金は保護被覆としてそれのみを
使用することが従来より知られているものであ
り、米国特許第3542530号、同第3676085号、同第
3754903号、同第3928026号の如き種々の米国特許
に記載されている。 また本発明は、超合金基質とMCrAlY層との
詰に種々の中間層を使用することを企図するもの
である。特に、米国特許第4005989号より、基質
とMCrAlY層との間にアルミナイド層（アルミ
ナイジングにより形成されたアルミナイド層）を
使用することにより、被覆の耐久性が改善される
ことが知られている。プラチナの如き他の材料に
ついても中間層として使用することが提案されて
いる。勿論、かかる中間層は必要な場合にのみ、
またその中間層が基質とMCrAlY層との間のボ
ンド部に悪影響を及ぼさない場合にのみ使用され
る。 このMCrAlY層は蒸着により着装されるのが
好ましい。ピーニングや熱処理との組合わせでか
かる蒸着法を用いれば、根本的に欠陥のない比較
的一様な厚さの稠密な密着層が得られる。厚さと
しては１〜10mil（25.4〜254μｍ）が適当である。
本発明の一つ重要な特徴は、MCrAlY層の表面
が研磨等によつて非常に平滑な仕上げ面を有する
よう処理されるということである。 研磨面を有しまたは研磨面を有するよう処理さ
れ得る厚さが一様で一体性の高い所要の組成の被
覆を形成し得る限り、MCrAlY層を形成するた
めに、おそらくは被覆の後処理との関連で、スパ
ツタリングやプラズマスプレーの如き他の着装法
が採用されてよい。 MCrAlY層上のアルミナ層はMCrAlY層を酸
化することによつて形成される。このアルミナ層
は比較的薄いものであり（0.01〜0.1mil（0.254〜
2.54μｍ））、また一様であり且密着性を有するも
のである。MCrAlY層の表面が平滑な仕上げ面
を有するので、アルミナ層も平滑である。アルミ
ナ層の密着性は、イツトリウムまたはこれと同様
の活性元素を含有しない同様の合金の密着性に比
べ、MCrAlY合金に於てはかなり改善されてい
る。かくしてアルミナ層の密着性が改善されるこ
とは、MCrAlY層内へ延在し且アルミナ層に密
着し、これによりアルミナ層を固定し且その割れ
を最小限に抑える酸化イツトリウム（イツトリ
ア）が形成されることによる。 アルミナ層の密着性は柱状セラミツク層の密着
性にとつて重要であり、金属層中にイツトリウ
ム、またはランタン、セリウム、ハフニウム、ス
カンジウム、及びそれらの酸化物粒子の混合物の
如きイツトリウムと等価な酸素活性元素が存在す
ることは、本発明の被覆が適正に機能する上で重
要である。 本発明の熱障壁被覆の他の一つ（最表面）の構
成要素は、アルミナ層に密着したユニークな柱状
晶セラミツク表面層である。各柱状晶は基質の表
面に対し実質的に垂直に配向されており、各柱状
晶の間の自由面はアルミナ層まで下方へ延在して
いる。 このセラミツク表面層は、被覆中に実質的な量
の金属を含み組成を徐々に変化された層（グレー
デツド層）を使用することを提案する従来技術の
ものとは明確に異なる純粋セラミツクである。 セラミツク表面層の柱状体としての性質によ
り、基質と被覆との間の熱膨張係数の差（従来技
術のセラミツク熱障壁被覆に於ける破損の原因と
考えられている）が低減される。基質は加熱され
るとセラミツク表面層よりも大きな割合にて膨張
し、個々のセラミツク柱状体間の柱状界面は互い
に離れて熱膨張の不均衡による応力を受入れる。
このことにより基質と柱状セラミツクとの間の界
面に於ける応力が、セラミツク表面層の破断に至
るレベル以下のレベルに低減される。セラミツク
表面層の各柱状体はその断面の寸法が0.1mil
（2.54μｍ）程度である。本願発明者等は、
MCrAlY層の表面を酸化させる前に、その
MCrAlY層の表面を研磨することにより、セラ
ミツク表面層の密着性が驚くべきほどに改善され
ることを見出した。 柱状のセラミツク表面層は多くのセラミツク組
成のうちの一つのものであつてよい。現在まで行
なわれている実験的研究の多くは、20％または35
％のイツトリアを添加することにより安定化され
たキユービツクジルコニアよりなるセラミツクつ
いてのものである。 柱状セラミツク表面層として使用されるセラミ
ツク材料に必要とされる特性を正確に特定するこ
とは困難である。柱状のセラミツク材とアルミナ
との間にある程度の固溶性がなければならないも
のと考えられる。この固溶性は、アルミナ層に対
する柱状セラミツク表面層の密着性に最も影響す
る主要な因子であるものと考えられる。他の特性
も必要である。柱状のセラミツク材は高温に於て
アルミナと接触した場合にも低融点化合物（共
晶）を生成しないものでなければならない。柱状
のセラミツク材の融点（及び昇華点）は使用温度
よりもはるかに高いものでなければならない。 最後に、柱状のセラミツク材は所定の影境に於
て安定なものでなければならない。即ちセラミツ
ク材はかなりの程度まで所定の環境に於て酸化せ
ず、またはその環境と反応しないものでなければ
ならない（Si3N4の如く、セラミツクの中には高
温に於て酸化するものがある。しかしその場合の
酸化は生成される酸化物（SiO2）がそれ以上の
酸化を防止するので自己制限的なものである）。
ジルコニア（イツトリアの如き材料にて安定化さ
れたものであるのが好ましい）、アルミナ、セリ
ア、ムライト、ジルコン、シリカ、窒化シリコ
ン、ハフニア、ある種のジルコン酸塩、ホウ酸
塩、窒化物の如きセラミツクは、本発明に於ける
柱状セラミツク材として有用なものであると考え
られる。 以上要するに、柱状のセラミツク材はアルミナ
中に於てある程度の固溶性を有するものでなけれ
ばならず、また所期の用途環境に於て安定なもの
でなければならない。当業者は上述のガイドライ
ンに基いて容易に適当なセラミツクを選定するこ
とができる。 MCrAlY層の機能は基質に強固に固着し且強
力で連続的な密着性酸化物表面層を形成すること
である。かくして形成されるアルミナ層は酸化及
び高温腐食よりその下層のMCrAlY層及び基質
を保護し、また柱状晶セラミツク表面層のための
強固な基礎を与える。 柱状晶セラミツク表面層はその下にある基質及
び被覆層の温度を低下させる。多くのセラミツク
の性質及び各柱状体間に互いに離れた界面が存在
することにより、セラミツク表面層は比較的酸素
を透過させ易いものであり、下層（MCrAlY層
及びアルミナ層）の温度を低下させることによつ
て酸化速度を低下させることはさせるが、下層の
酸化を低減する主要な役割を果たす訳ではない。
MCrAlY層上のアルミナ層は酸化に対する主要
な障壁である。5mil（127μｍ）層のジルコニア基
被覆は、冷却式ブードを組込まれた現在のガスタ
ービンエンジンに於ける通常の条件下に於て基質
の温度を50〜200〓（10〜93℃）低下させること
ができることが知られている。 セラミツク表面層は、その下層のMCrAlY層
とこれまで高温腐食を惹起こす原因であることが
観察されている種々の液体及び固体燃焼生成物と
の間の障壁として作用することにより、高温腐食
を低減する役割を果たす。またセラミツク表面層
は、その断熱能力が高いことによつてその表面温
度が高くなる結果として、ある環境に於て表面付
着物の蒸発速度を増大させることにより、高温腐
食より基質を保護する点で有効であるものと考え
られる。後に説明する如く、研磨された
MCrAlY表面は柱状セラミツク層の密着性を大
きく改善する。 第１図は本発明による被覆の断面を示す解図的
縦断面図である。基質材料１にはMCrAlY層２
が被覆されている。このMCrAlY層は研磨され
た外面３を有している。この外面３上には密着性
アルミナ層４が形成されている。そして柱状のセ
ラミツク層５がアルミナ層４に固着している。 以上に被覆された物品の構造について説明した
ので、これよりブレードやベーンの如きガスター
ビンエンジン構成要素上にかかる被覆を形成する
好ましい方法について説明する。 被覆を施す方法の第１段階は被覆されるべき表
面を用意することである。被覆されるべき表面は
埃やグリースや酸化物等のない清浄なものでなけ
ればならない。 本願発明者等が採用した浄化方法は、被覆され
るべき表面に付着した全ての物質をその表面より
除去するに充分な力にて、浄化されるべき表面に
対し衝突せしめられる水溶研磨性スラリーを使用
する蒸気ホーニングである。かかる浄化工程の
後、浄化されるべき表面は蒸気脱脂されるのが好
ましい。かかるプロセスは満足し得る浄化プロセ
スであるが、満足し得る浄化された表面を得るこ
とができる限り他の多数のプロセスが採用されて
よい。 次いでMCrAlY層が着装される。この
MCrAlY層は蒸着によつて着装されるのが好ま
しい。MCrAlY層の着装プロセスは、被覆され
るべき表面を真空室内に於てMCrAlY材料の溶
融池上に保持することによつて行なわれる。
MCrAlY材料を溶融状態に維持するために使用
される熱源は一般に電子ビームである。 被覆されるべき表面はかかるMCrAlY着装プ
ロセス中約1600〜1800〓（871〜982℃）の温度に
維持されるのが好ましい。 MCrAlY層は約１〜10mil（25.4〜254μｍ）の厚
さを有しているのが好ましい。MCrAlY層の厚
さが約1mil（25.4μｍ）以内の場合には基質の表面
に対する保護が不充分となり、またその厚さが約
10mil（254μｍ）以上の場合には繰返し熱サイク
ルを受けている間にその層が波打つた状態となつ
てしまう。 従来のMCrAlY被覆法に於ては、被覆内の空
所を充填しまた被覆構造を改善すべく、乾燥ガラ
スビーズによるピーニングが行なわれる。かかる
ピーニングは好ましいものであるが、本発明の被
覆法に於ては必須ではないことが解つた。 次いで被覆は水素中に於て1975〓（1079℃）の
温度にて熱処理されるのが好ましい。しかし熱処
理時間及び温度が特に重要であるという訳ではな
い。本願発明者等は、基質に対する被覆の密着性
を改善すべく、４時間の熱処理を行なつた。 前述の如く、MCrAlY表面を研磨することに
よつて被覆の性能を大幅に改善することができ
る。かかる研磨工程は本発明による被覆法の一つ
の重要な部分を占めている。 使用される研磨方法自体はさほど重要ではない
ものと考えられる。本願発明者等は機械的研磨及
び電気研磨（電解研磨）を行なつたが、その結果
得られた被覆の特性には特に顕著な差異は認めら
れなかつた。純粋に化学的な方法の如き他の研磨
法も適用可能である。35〜50μinch RMS（889〜
1270ｍμRMS）及び６〜10μinch RMS（152〜254
ｍμRMS）の表面粗さを有するMCrAlY基質に
被覆を施すと、基質表面がより平滑になることに
より、100倍以上性能が改善されることが解つた。
この結果より、研磨後の表面粗さは25μinch
RMS（635ｍμRMS）以下であるのが好ましい。
研磨工程の後にはアルミナの膜が形成されなけれ
ばならない。本願発明者等は、商業的純度の水素
雰囲気中にて1975〓（1079℃）の温度に於て加熱
酸化し、良好な結果を得た。酸化物の生成は水素
中に不純物としての酸素が存在することによつて
発生する。500〜2000〓（260〜1093℃）の温度に
て空気中に於て酸化することも可能である。 MCrAlY層を研磨してその表面粗さを低減す
ることにより、その後形成されるアルミナ層の表
面粗さも低減される。かくしてアルミナ層の表面
仕上げが改善されることにより、その後着装され
る柱状セラミツク層の初期部分の完全性が改善さ
れる。柱状セラミツク層の初期部分は互いに競争
して成長すると思われる多数の小さな柱状晶より
なつており、より好ましく配向された柱状晶が不
適当に配向された柱状晶に打克つ。その結果より
好ましく配向された柱状晶が優勢を占め、これに
よりセラミツク層の自由表面に於ける柱状晶の数
は最初に核生成した結晶の数よりも実質的に少な
くなる。MCrAlY層を研磨することにより、競
争的結晶成長の完全性が増大され、またセラミツ
ク層それ自身の完全性が増大される。被覆の破断
はアルミナ層との界面近傍の柱状セラミツク層に
於て発生する。かかる柱状セラミツク層はアルミ
ナ層が平滑な表面を有している場合には、アルミ
ナ層に対するセラミツク層の密着性を大きく改善
する。 最終的には、アルミナ層は研磨された
MCrAlY層表面上に形成されなければならない。
アルミナ層はその下層の表面に忠実に従うので、
アルミナ層の表面仕上りはアルミナ層が形成され
るMCrAlY層の表面仕上げとほぼ同一である。 また、柱状晶セラミツク層を着装した後、アル
ミナ層を形成することも可能である。この方法
は、酸素に対する透過性が非常に大きいジルコニ
ア基セラミツクの場合に特に適している。しか
し、柱状晶セラミツク層を着装する前にアルミナ
層を形成するのが好ましい。 採用される表面研磨法はさほど重要ではない。
例えばピーニング工程が省略される場合には、
MCrAlYが着装され熱処理が行なわれた直後に
その物品が研磨されてよい。たとえピーニングが
行なわれる場合であつても部材はピーニングの直
後に研磨されてよく、ピーニング後の熱処理はア
ルミナ層を形成する熱処理と組合わせて行なわれ
てよい。 MCrAlY層の着装及び酸化層（アルミナ層）
の形成の後、柱状晶セラミツク表面層が蒸着法に
より着装される。 着装されるべきセラミツクは溶融され、溶融池
または蒸発源として維持される。本願発明者等は
開始材料として10〜20メツシユのセラミツク粉末
を使用したが、他の開始材料であつてもよい。被
覆されるべき基質が蒸発源の上方に配置され、一
様な被覆厚としまた柱状構造の形成を促進するよ
う操作される。セラミツク層の厚さは約１〜
50mil（25.4〜127μｍ）範囲であつてよい。 セラミツク層被覆工程中には、比較的粗い柱状
構造としまた比較的化学量論的な被覆組成とする
ために、基質を比較的低温度、例えば1000〜1500
〓（538〜816℃）に維持するのが望ましいことが
解つている。 酸化物セラミツクの場合には、着装されたまま
のセラミツクは酸素が不足している。酸素に関し
化学量論的均衡を採るために空気中に於ける熱処
理が採用されてよい。 本発明による被覆は、従来技術が一般に被覆欠
陥とみなされている柱状構造の生成を回避せんと
することに終始しているという意味に於て、新規
なものである。本発明は被覆の性能を改善するの
に、これまで被覆欠陥とみなされていたもの、即
ち柱状構造を使用するものである。 研磨された基質により被覆の性質が顕著に改善
されるという発見も従来提案されていたものとは
相反するものである。一般に、より大きな表面積
を与えまた機械的固定の可能性を与える粗い表面
は、平滑な表面よりも被覆の装着にとつてより優
れていると考えられていた。 これより本発明を幾つかの例について説明す
る。 例 １ 合金MAR−Ｍ−200（その公称組成が表１に示
されている）にて形成されたニツケル基超合金基
質が、18％クロム、23％コバルト、12.5％アルミ
ニウム、0.3％イツトリウム、残部ニツケルなる
公称組成を有するNiCoCrAlY被覆が施された。 一組のサンプルについては、NiCoCrAlY被覆
を施すのにプラズマスプレー法が使用された。プ
ラズマスプレーにより着装されたままの
NiCoCrAlY被覆の表面粗さは280〜
350μinchRMS（7110〜8890ｍμRMS）であつた。
次いで同様のプラズマスプレー法を用いてイツト
リアにて安定された厚さ5mil（127μｍ）のジルコ
ニア層が着装された。かかるセラミツク着装法及
びその結果得られる被覆層の詳細については、特
許査定された米国特許出願第811807号に記載され
ている。このプラズマスプレーされた熱障壁被覆
は当技術分野に於て一般に行なわれている熱障壁
被覆である。 他の一組のサンプルが、本願と同日付にて出願
されたPCT／US81／00021号（米国特許出願第
109956号に対応）の教えるところに従つて用意さ
れた。このサンプルの用意は、アルミナ層の形成
及び柱状セラミツク層の着装に先立つて
MCrAlYが研磨されない点を除き、本明細書に
於て記載されたものと同様である。 MAR−Ｍ−200の混合金基質が浄化され、蒸
着によつて厚さが5mil（127μｍ）のNiCoCrAlY
被覆が施された。蒸着は真空室内に於て行なわ
れ、基質は蒸着プロセス中1500〓（816℃）の温
度に維持された。NiCoCrAlY被覆はガラスビー
ズにてピーニングされ、1975〓（1079℃）にて４
時間熱処理された。ピーニング後に於ける
NiCoCrAlY被覆の表面粗さは35〜50μinchRMS
（88〜1270ｍμRMS）であつた。上述の熱処理中
にNiCoCrAlY被覆上に薄い密着性アルミナ層が
形成された。かかるアルミナ層上にイツトリアに
て安定化された厚さ5mil（127μｍ）のジルコニア
被覆が施された。このジルコニア被覆は蒸着によ
り着装され、前述の柱状構造を有していた。得ら
れた被覆の構造が第２図に図示されている。この
第２図よりセラミツクが柱状であることが解る。 上述の二組のサンプルについて冷熱サイクルバ
ーナ装置内に於て試験が行なわれた。この試験に
於ては、サンプルは回転プラツトフオーム上に装
着され、噴射燃料の燃焼により生成される火炎が
サンプル上に衝突せしめられた。所定の熱サイク
ルに従つて火炎の温度を変化し得る制御系によつ
て火炎が調整され、またサンプルが所要の温度に
維持される。 この例に於て使用された熱サイクルに於ては、
サンプルは1850〓（1010℃）に加熱され、この温
度に４分間維持された。次いで火炎が除去され、
冷却空気のジエツトを用いてサンプルが２分以内
に400〓（204℃）に冷却された。かかる熱サイク
ルが被覆の破損の兆候が観察されるまで繰返され
た。かかる熱サイクルにより被覆上に過酷な熱歪
みが誘起される。 この試験に於て、プラズマスプレーにより被覆
されたサンプルは1210サイクルに耐えた。これに
対し蒸着によりセラミツク層が施されたサンプル
は破断することなく29470サイクルに耐え、その
時点に於ても試験が続けられていた。この例よ
り、MCrAlY層の表面を研磨しなくても、本発
明による被覆と同様の被覆の性能が驚くべきほど
に優れていることが解る。この試験結果より、柱
状セラミツク被覆はプラズマスプレーされた被覆
の寿命の約20倍の寿命を有していることが解る。 次に説明する例はMCrAlY層の表面を酸化し
柱状セラミツク被覆を着装する前にMCrAlY層
の表面を研磨することによつて被覆が改善される
ことを示している。 例 ２ 合金MAR−Ｍ−200の超合金サンプルが、前
述の例１に記載されている如く、厚さ5mil（127μ
ｍ）のNiCoCrAlYの層にて被覆された。次いで
そのNiCoCrAlY被覆されたサンプルはガラスビ
ーズにてピーニングされ、熱処理された。この時
点でNiCoCrAlY被覆の表面は35〜50μinchRMS
（889〜1270ｍμRMS）の表面粗さを有していた。
熱処理によりNiCoCrAlY被覆の表面に薄い密着
性アルミナ層が形成された。一組の熱処理された
サンプルには、アルミナ層が形成された
NiCoCrAlY被覆の表面に柱状晶セラミツク被覆
が直接装着された。 他の一組のサンプルはその表面粗さを６〜
14μinchRMS（152〜356ｍμRMS）の値に低減す
べく、600グリツドのシリコンカーバイドペーパ
ーにて機械的に研磨された。かくして研磨された
NiCoCrAlY被覆されたサンプルはアルミナ層を
形成すべく酸素を含む水素雰囲気中にて1975〓
（1079℃）の温度にて４時間熱処理され、イツト
リアにて安定化された厚さ5mil（127μｍ）のジル
コニア被覆が例１に記載された条件と同一の条件
下にて蒸着により着装された。かくして着装され
たセラミツク被覆は第２図に図示されたものとは
区別し得ない柱状構造を有していた。 これら二組のサンプルは、一方の組のサンプル
については研磨が行なわれた点を除き同一の要領
にて処理された。かくして研磨が行なわれた一組
のサンプルは本発明によるものである。これらの
サンプルは例１に於て記載された型式のバーナ装
置内にて試験された。しかしこの例に於ては、熱
サイクル中に被覆により過酷な歪みが発生するよ
う試験条件が修正された。各サンプルは、より過
酷な試験を行なうべく、2100〓（1149℃）の温度
に加熱されその温度に２分間維持され、次いで２
分以内に約400〓（204℃）の温度に強制空冷され
た。 セラミツク被覆を施す前に研磨されなかつたサ
ンプルは54サイクルにしか耐えなかつた。前述の
例に於て、1850〓（1010℃）の温度サイクルにて
試験された同様のサンプルは29000サイクル以上
に耐え、このことより、2100゜（1149℃）の熱サイ
クルは被覆の耐久性を調べるための実質的により
過酷な試験であることが解る。セラミツク被覆を
着装する前に研磨されたサンプルは2100〓（1149
℃）の試験の7125サイクルに耐えた。この結果よ
り、研磨されたサンプルは研磨されていないサン
プルの性能の約130倍の性能を有していることが
解る。 例１に於けるプラズマスプレーされた被覆は当
技術分野に於て一般的な熱障壁被覆である。上述
の二つの例に於て記載された三つの被覆の相対的
性能を組合わせることにより、研磨された
MCrAlY基質に施された柱状セラミツク被覆は
プラズマスプレーされたセラミツク熱障壁被覆の
寿命の約６×104倍の寿命を有しているというこ
とができる。試験条件が異なつているので、この
比較は必ずしも正確なものではないが、本発明に
よる被覆が優れていることは明白である。 以上に於ては本発明を特定の実施例及び幾つか
の例について説明したが、本発明はこれらの実施
例や例に限定されるものではなく、本発明の範囲
内にて種々の修正ならびに省略が可能であること
は当業者にとつて明らかであろう。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/109,955 US4321310A (en) | 1980-01-07 | 1980-01-07 | Columnar grain ceramic thermal barrier coatings on polished substrates |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57500292A JPS57500292A (ja) | 1982-02-18 |
| JPH0118994B2 true JPH0118994B2 (ja) | 1989-04-10 |
Family
ID=22330483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56500661A Expired JPH0118994B2 (ja) | 1980-01-07 | 1981-01-07 |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4321310A (ja) |
| EP (1) | EP0044329B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0118994B2 (ja) |
| KR (1) | KR840001682B1 (ja) |
| AU (1) | AU543682B2 (ja) |
| BE (1) | BE886974A (ja) |
| BR (1) | BR8105749A (ja) |
| CA (1) | CA1167328A (ja) |
| DE (1) | DE3162618D1 (ja) |
| IL (1) | IL61877A (ja) |
| IT (1) | IT1134958B (ja) |
| NO (1) | NO156747C (ja) |
| WO (1) | WO1981001983A1 (ja) |
Families Citing this family (125)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4481237A (en) * | 1981-12-14 | 1984-11-06 | United Technologies Corporation | Method of applying ceramic coatings on a metallic substrate |
| DE3246504A1 (de) * | 1982-12-16 | 1984-06-20 | BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie., Baden, Aargau | Hochtemperatur-schutzschicht |
| US4676994A (en) * | 1983-06-15 | 1987-06-30 | The Boc Group, Inc. | Adherent ceramic coatings |
| IL72728A (en) * | 1983-08-22 | 1988-02-29 | Ovonic Synthetic Materials | Adherence wear resistant coatings |
| CA1231240A (en) * | 1983-08-26 | 1988-01-12 | Westinghouse Electric Corporation | Varying thickness thermal barrier for combustion turbine baskets |
| IL75304A (en) * | 1984-06-08 | 1989-03-31 | United Technologies Corp | Coated superalloy articles and method of strengthening same |
| CH660200A5 (en) * | 1984-07-16 | 1987-03-31 | Bbc Brown Boveri & Cie | Process for applying a high-temperature corrosion protection layer to a component consisting in the base body of a superalloy or of a high-melting metal |
| JPS61174385A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-08-06 | Hitachi Ltd | セラミツク被覆耐熱部材及びその製造方法 |
| US4576874A (en) * | 1984-10-03 | 1986-03-18 | Westinghouse Electric Corp. | Spalling and corrosion resistant ceramic coating for land and marine combustion turbines |
| US4569889A (en) * | 1984-10-29 | 1986-02-11 | United Technologies Corporation | Polished overlay coatings with enhanced durability |
| GB2285632B (en) * | 1985-08-19 | 1996-02-14 | Garrett Corp | Thermal barrier coating system for superalloy components |
| US4639399A (en) * | 1985-11-26 | 1987-01-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Nickel oxide, ceramic insulated, high temperature coating |
| IL84067A (en) * | 1986-10-30 | 1992-03-29 | United Technologies Corp | Thermal barrier coating system |
| US4942732A (en) * | 1987-08-17 | 1990-07-24 | Barson Corporation | Refractory metal composite coated article |
| US4889776A (en) * | 1987-08-17 | 1989-12-26 | Barson Corporation | Refractory metal composite coated article |
| US5223045A (en) * | 1987-08-17 | 1993-06-29 | Barson Corporation | Refractory metal composite coated article |
| US5277936A (en) * | 1987-11-19 | 1994-01-11 | United Technologies Corporation | Oxide containing MCrAlY-type overlay coatings |
| US5015502A (en) * | 1988-11-03 | 1991-05-14 | Allied-Signal Inc. | Ceramic thermal barrier coating with alumina interlayer |
| US4880614A (en) * | 1988-11-03 | 1989-11-14 | Allied-Signal Inc. | Ceramic thermal barrier coating with alumina interlayer |
| US4916022A (en) * | 1988-11-03 | 1990-04-10 | Allied-Signal Inc. | Titania doped ceramic thermal barrier coatings |
| JPH0791660B2 (ja) * | 1989-08-30 | 1995-10-04 | 株式会社日立製作所 | 環境遮断用耐熱壁を備えた地上機器 |
| US5498484A (en) * | 1990-05-07 | 1996-03-12 | General Electric Company | Thermal barrier coating system with hardenable bond coat |
| US5238752A (en) * | 1990-05-07 | 1993-08-24 | General Electric Company | Thermal barrier coating system with intermetallic overlay bond coat |
| US5080977A (en) * | 1990-07-31 | 1992-01-14 | United States Of America, As Represented By The Administrator, Nat'l. Aero. And Space Admin. | Composite thermal barrier coating |
| US5147731A (en) * | 1990-08-30 | 1992-09-15 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Stabilized zirconia/CoCRAlY high temperature coating |
| US5269451A (en) * | 1990-09-14 | 1993-12-14 | Max Co., Ltd. | Electric stapler with unmovably fixed magazine |
| GB9204791D0 (en) * | 1992-03-05 | 1992-04-22 | Rolls Royce Plc | A coated article |
| WO1993024672A1 (en) * | 1992-05-29 | 1993-12-09 | United Technologies Corporation | Ceramic thermal barrier coating for rapid thermal cycling applications |
| US5737496A (en) * | 1993-11-17 | 1998-04-07 | Lucent Technologies Inc. | Active neural network control of wafer attributes in a plasma etch process |
| US5427866A (en) * | 1994-03-28 | 1995-06-27 | General Electric Company | Platinum, rhodium, or palladium protective coatings in thermal barrier coating systems |
| DE59505454D1 (de) * | 1994-10-14 | 1999-04-29 | Siemens Ag | Schutzschicht zum schutz eines bauteils gegen korrosion, oxidation und thermische überbeanspruchung sowie verfahren zu ihrer herstellung |
| US5562998A (en) * | 1994-11-18 | 1996-10-08 | Alliedsignal Inc. | Durable thermal barrier coating |
| US6103386A (en) * | 1994-11-18 | 2000-08-15 | Allied Signal Inc | Thermal barrier coating with alumina bond inhibitor |
| DE69509202T2 (de) * | 1994-12-24 | 1999-09-09 | Chromalloy United Kingdom Ltd. | Wärmedämmschicht sowie Methode zu deren Auftragung auf einen Superlegierungskörper |
| GB9426257D0 (en) * | 1994-12-24 | 1995-03-01 | Rolls Royce Plc | Thermal barrier coating for a superalloy article and method of application |
| US5740515A (en) * | 1995-04-06 | 1998-04-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Erosion/corrosion protective coating for high-temperature components |
| IN187185B (ja) * | 1995-04-25 | 2002-02-23 | Siemens Ag | |
| UA46761C2 (uk) * | 1995-04-27 | 2002-06-17 | Сіменс Акцієнгезельшафт | Спосіб нанесення покриття на металеву деталь та металева деталь з високотемпературною захисною системою покриття |
| US5512382A (en) * | 1995-05-08 | 1996-04-30 | Alliedsignal Inc. | Porous thermal barrier coating |
| US5939204A (en) * | 1995-08-16 | 1999-08-17 | Siemens Aktiengesellschaft | Article for transporting a hot, oxidizing gas |
| US5780106A (en) * | 1995-09-29 | 1998-07-14 | General Electric Company | Method for low temperature aluminum coating of an article |
| US6123997A (en) * | 1995-12-22 | 2000-09-26 | General Electric Company | Method for forming a thermal barrier coating |
| DE69615517T2 (de) * | 1995-12-22 | 2002-05-16 | General Electric Co., Schenectady | Körper mit Hochtemperatur-Schutzschicht und Verfahren zum Beschichten |
| US6066405A (en) * | 1995-12-22 | 2000-05-23 | General Electric Company | Nickel-base superalloy having an optimized platinum-aluminide coating |
| US5683825A (en) * | 1996-01-02 | 1997-11-04 | General Electric Company | Thermal barrier coating resistant to erosion and impact by particulate matter |
| US5824423A (en) * | 1996-02-07 | 1998-10-20 | N.V. Interturbine | Thermal barrier coating system and methods |
| US5681661A (en) * | 1996-02-09 | 1997-10-28 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | High aspect ratio, microstructure-covered, macroscopic surfaces |
| US6197180B1 (en) | 1996-02-09 | 2001-03-06 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | High aspect ratio, microstructure-covered, macroscopic surfaces |
| WO1998004759A1 (en) * | 1996-04-12 | 1998-02-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Metal substrate with an oxide layer and an improved anchoring layer |
| DE19621763A1 (de) * | 1996-05-30 | 1997-12-04 | Siemens Ag | Erzeugnis mit einem Grundkörper aus einer Superlegierung und einem darauf befindlichen Schichtsystem sowie Verfahren zu seiner Herstellung |
| JP2000511974A (ja) * | 1996-06-13 | 2000-09-12 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 改良された固着層を有する保護皮膜系を備えた製品およびその製造方法 |
| WO1998013531A1 (de) | 1996-09-23 | 1998-04-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und vorrichtung zur herstellung einer wärmedämmschicht |
| US6835465B2 (en) * | 1996-12-10 | 2004-12-28 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Thermal barrier layer and process for producing the same |
| US6930066B2 (en) * | 2001-12-06 | 2005-08-16 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Highly defective oxides as sinter resistant thermal barrier coating |
| US6258467B1 (en) | 2000-08-17 | 2001-07-10 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Thermal barrier coating having high phase stability |
| KR100611136B1 (ko) * | 1996-12-10 | 2006-08-10 | 지멘스 악티엔게젤샤프트 | 열 절연층을 가지며 고온 가스에 노출될 수 있는 제품 및 그 제조 방법 |
| US6924040B2 (en) * | 1996-12-12 | 2005-08-02 | United Technologies Corporation | Thermal barrier coating systems and materials |
| US6177200B1 (en) | 1996-12-12 | 2001-01-23 | United Technologies Corporation | Thermal barrier coating systems and materials |
| US6117560A (en) * | 1996-12-12 | 2000-09-12 | United Technologies Corporation | Thermal barrier coating systems and materials |
| DE19758751B4 (de) * | 1997-04-16 | 2010-12-02 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Keramische Wärmedämmschichten mit Keulenstruktur |
| DE19715791C2 (de) * | 1997-04-16 | 2003-02-20 | Deutsch Zentr Luft & Raumfahrt | Verfahren zur Herstellung keramischer Wärmedämmschichten mit Keulenstruktur und Verwendung des Verfahrens |
| US6224963B1 (en) | 1997-05-14 | 2001-05-01 | Alliedsignal Inc. | Laser segmented thick thermal barrier coatings for turbine shrouds |
| WO1999023270A1 (de) | 1997-11-03 | 1999-05-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Erzeugnis mit einem schichtsystem zum schutz gegen ein heisses aggressives gas |
| WO1999023278A1 (de) | 1997-11-03 | 1999-05-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Erzeugnis, insbesondere bauteil einer gasturbine, mit keramischer wärmedämmschicht |
| WO1999023271A1 (de) | 1997-11-03 | 1999-05-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Erzeugnis, insbesondere bauteil einer gasturbine, mit keramischer wärmedämmschicht |
| US6190124B1 (en) | 1997-11-26 | 2001-02-20 | United Technologies Corporation | Columnar zirconium oxide abrasive coating for a gas turbine engine seal system |
| US6060177A (en) * | 1998-02-19 | 2000-05-09 | United Technologies Corporation | Method of applying an overcoat to a thermal barrier coating and coated article |
| US6333090B1 (en) | 1998-04-10 | 2001-12-25 | Dlr Deutsches Zentrum Fur Luft-Und Raumfahrt E.V. | Ceramic heat-insulating layers with club-structure |
| US6610419B1 (en) | 1998-04-29 | 2003-08-26 | Siemens Akteingesellschaft | Product with an anticorrosion protective layer and a method for producing an anticorrosion protective |
| US20040180233A1 (en) * | 1998-04-29 | 2004-09-16 | Siemens Aktiengesellschaft | Product having a layer which protects against corrosion. and process for producing a layer which protects against corrosion |
| US5972424A (en) * | 1998-05-21 | 1999-10-26 | United Technologies Corporation | Repair of gas turbine engine component coated with a thermal barrier coating |
| GB9811456D0 (en) | 1998-05-29 | 1998-07-29 | Rolls Royce Plc | A metallic article having a thermal barrier coating and a method of application thereof |
| US6805750B1 (en) * | 1998-06-12 | 2004-10-19 | United Technologies Corporation | Surface preparation process for deposition of ceramic coating |
| US6106959A (en) * | 1998-08-11 | 2000-08-22 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Multilayer thermal barrier coating systems |
| US6042898A (en) * | 1998-12-15 | 2000-03-28 | United Technologies Corporation | Method for applying improved durability thermal barrier coatings |
| US6203927B1 (en) | 1999-02-05 | 2001-03-20 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Thermal barrier coating resistant to sintering |
| US6933060B2 (en) | 1999-02-05 | 2005-08-23 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Thermal barrier coating resistant to sintering |
| US6756082B1 (en) | 1999-02-05 | 2004-06-29 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Thermal barrier coating resistant to sintering |
| US6283714B1 (en) * | 1999-08-11 | 2001-09-04 | General Electric Company | Protection of internal and external surfaces of gas turbine airfoils |
| EP1218145B1 (de) * | 1999-09-01 | 2004-10-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und vorrichtung zur oberflächenbehandlung eines bauteils |
| US6207297B1 (en) | 1999-09-29 | 2001-03-27 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Barrier layer for a MCrAlY basecoat superalloy combination |
| US6472018B1 (en) * | 2000-02-23 | 2002-10-29 | Howmet Research Corporation | Thermal barrier coating method |
| US6482537B1 (en) | 2000-03-24 | 2002-11-19 | Honeywell International, Inc. | Lower conductivity barrier coating |
| US20030039764A1 (en) | 2000-12-22 | 2003-02-27 | Burns Steven M. | Enhanced surface preparation process for application of ceramic coatings |
| EP1219389A1 (de) * | 2000-12-27 | 2002-07-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur Glättung der Oberfläche einer Gasturbinenschaufel |
| US7144302B2 (en) * | 2000-12-27 | 2006-12-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for smoothing the surface of a gas turbine blade |
| CH695689A5 (de) | 2001-05-23 | 2006-07-31 | Sulzer Metco Ag | Verfahren zum Erzeugen eines wärmedämmenden Schichtsystems auf einem metallischen Substrat. |
| WO2002097162A1 (en) * | 2001-05-29 | 2002-12-05 | Mcgill University | Thermal barrier coatings and fabrication of same using electrochemical methods |
| US7204019B2 (en) | 2001-08-23 | 2007-04-17 | United Technologies Corporation | Method for repairing an apertured gas turbine component |
| EP1317995A1 (de) * | 2001-12-05 | 2003-06-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Vorrichtung zur Glättung der Oberfläche einer Gasturbinenschaufel |
| US6528178B1 (en) | 2001-12-17 | 2003-03-04 | Siemens Westinghouse Power Corporation | High temperature resistant article with improved protective coating bonding and method of manufacturing same |
| US6689487B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-02-10 | Howmet Research Corporation | Thermal barrier coating |
| CA2440573C (en) * | 2002-12-16 | 2013-06-18 | Howmet Research Corporation | Nickel base superalloy |
| US6977233B2 (en) * | 2003-07-15 | 2005-12-20 | Honeywell International, Inc. | Sintered silicon nitride |
| US20050123783A1 (en) * | 2003-07-31 | 2005-06-09 | Gregory Otto J. | Composite used for thermal spray instrumentation and method for making the same |
| DE10342398B4 (de) * | 2003-09-13 | 2008-05-29 | Schott Ag | Schutzschicht für einen Körper sowie Verfahren zur Herstellung und Verwendung von Schutzschichten |
| US20060016191A1 (en) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | Honeywell International Inc. | Combined effusion and thick TBC cooling method |
| DE102004045049A1 (de) * | 2004-09-15 | 2006-03-16 | Man Turbo Ag | Verfahren zum Aufbringen einer Schutzschicht |
| CA2573585A1 (en) * | 2006-02-16 | 2007-08-16 | Sulzer Metco Coatings B.V. | A component, an apparatus and a method for the manufacture of a layer system |
| US7740948B1 (en) | 2006-05-31 | 2010-06-22 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Thermal barrier coatings |
| US20090098286A1 (en) * | 2007-06-11 | 2009-04-16 | Honeywell International, Inc. | Method for forming bond coats for thermal barrier coatings on turbine engine components |
| DE102007028109A1 (de) | 2007-06-19 | 2008-12-24 | Märkisches Werk GmbH | Thermisch gespritzte, gasdichte Schutzschicht für metallische Substrate |
| US7981741B2 (en) * | 2007-08-02 | 2011-07-19 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | High-capacitance density thin film dielectrics having columnar grains formed on base-metal foils |
| US20100104773A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Neal James W | Method for use in a coating process |
| TWI376022B (en) * | 2008-12-05 | 2012-11-01 | Ind Tech Res Inst | Semiconductor package structure and method of fabricating the same |
| US20100154425A1 (en) * | 2008-12-24 | 2010-06-24 | United Technologies Corporation | Strain tolerant thermal barrier coating system |
| EP2216421A1 (de) * | 2009-01-29 | 2010-08-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Legierung, Schutzschicht und Bauteil |
| FR2941963B1 (fr) * | 2009-02-10 | 2011-03-04 | Snecma | Methode de fabrication d'une barriere thermique recouvrant un substrat metallique en superalliage et piece thermomecanique resultant de cette methode de fabrication |
| DE102010033935B4 (de) | 2010-08-10 | 2013-01-17 | Lurgi Gmbh | Brenner und Verfahren für die partielle Oxidation von flüssigem, kohlenstoffhaltigem Brennstoff |
| FR2994397B1 (fr) * | 2012-08-07 | 2014-08-01 | Snecma | Revetement en materiau abradable a faible rugosite de surface |
| US9683448B2 (en) | 2013-03-18 | 2017-06-20 | Honeywell International Inc. | Low conductivity thermal barrier coating |
| US11479846B2 (en) | 2014-01-07 | 2022-10-25 | Honeywell International Inc. | Thermal barrier coatings for turbine engine components |
| US8939706B1 (en) | 2014-02-25 | 2015-01-27 | Siemens Energy, Inc. | Turbine abradable layer with progressive wear zone having a frangible or pixelated nib surface |
| US9151175B2 (en) | 2014-02-25 | 2015-10-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Turbine abradable layer with progressive wear zone multi level ridge arrays |
| EP3111055A2 (en) | 2014-02-25 | 2017-01-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Turbine component thermal barrier coating with depth-varying material properties |
| US9243511B2 (en) | 2014-02-25 | 2016-01-26 | Siemens Aktiengesellschaft | Turbine abradable layer with zig zag groove pattern |
| GB201416585D0 (en) * | 2014-09-19 | 2014-11-05 | Rolls Royce Plc | A method of applying a thermal barrier coating to a metallic article and a thermal barrier coated metallic article |
| SE538682C2 (en) * | 2014-10-27 | 2016-10-18 | Scania Cv Ab | A cast iron article with a corrosion resistant layer and a method of producing said article |
| DE102014222684A1 (de) * | 2014-11-06 | 2016-05-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Segmentierte Wärmedämmschicht aus vollstabilisiertem Zirkonoxid |
| US10408079B2 (en) | 2015-02-18 | 2019-09-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Forming cooling passages in thermal barrier coated, combustion turbine superalloy components |
| WO2016133583A1 (en) | 2015-02-18 | 2016-08-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Turbine shroud with abradable layer having ridges with holes |
| DE102017206063A1 (de) * | 2017-04-10 | 2018-10-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Teil- und vollstabilisiertes Zirkonoxidpulver als keramische Schicht |
| FR3065968B1 (fr) * | 2017-05-05 | 2020-11-20 | Safran | Piece de turbine en superalliage et procede de fabrication associe par bombardement de particules chargees |
| WO2021099459A1 (en) | 2019-11-21 | 2021-05-27 | Norsk Titanium As | Distortion mitigation in directed energy deposition |
| EP4341032A1 (en) | 2021-05-21 | 2024-03-27 | Norsk Titanium AS | Mount system, pin support system and a method of directed energy deposition for producing a metal workpiece to mitigate distortion |
Family Cites Families (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH366712A (fr) * | 1956-03-09 | 1963-01-15 | Norton Co | Objet et procédé de fabrication de celui-ci |
| US3129069A (en) * | 1956-10-11 | 1964-04-14 | Gen Motors Corp | Oxidation-resistant turbine blades |
| US2937102A (en) * | 1957-03-18 | 1960-05-17 | Zirconium Corp Of America | Zirconia stabilization control |
| US3091548A (en) * | 1959-12-15 | 1963-05-28 | Union Carbide Corp | High temperature coatings |
| DE1204048B (de) * | 1961-03-11 | 1965-10-28 | Heraeus Gmbh W C | Verfahren zum Aufbringen von kratzfesten, transparenten oxydischen Schutzschichten auf optischen Gegenstaenden, z. B. Brillenglaesern, aus thermoplastischen Kunststoffen, insbesondere Acrylharzen, durch Vakuumaufdampfen |
| US3415631A (en) * | 1965-03-12 | 1968-12-10 | Norton Co | Protective coated article |
| GB1159823A (en) * | 1965-08-06 | 1969-07-30 | Montedison Spa | Protective Coatings |
| US3481715A (en) * | 1967-02-03 | 1969-12-02 | Ford Motor Co | Sealing member for high temperature applications and a process of producing the same |
| US3522064A (en) * | 1967-08-21 | 1970-07-28 | Du Pont | Stabilized zirconia containing niobia and calcium oxide |
| US3615275A (en) * | 1967-12-12 | 1971-10-26 | Texas Instruments Inc | Homogeneously fine-grained vapor-deposited material in bulk form |
| US3754902A (en) * | 1968-06-05 | 1973-08-28 | United Aircraft Corp | Nickel base superalloy resistant to oxidation erosion |
| US3560252A (en) * | 1968-08-13 | 1971-02-02 | Air Reduction | Vapor deposition method including specified solid angle of radiant heater |
| US3620815A (en) * | 1969-03-13 | 1971-11-16 | United Aircraft Corp | Vapor collimation in vacuum deposition of coatings |
| BE754553A (fr) * | 1969-08-13 | 1971-01-18 | Leybold Heraeus Verwaltung | Procede et dispositif d'evaporation sous vide de corps non metalliques a point de fusion eleve |
| US3746571A (en) * | 1971-06-29 | 1973-07-17 | Xerox Corp | Method of vacuum evaporation |
| US3758233A (en) * | 1972-01-17 | 1973-09-11 | Gen Motors Corp | Vibration damping coatings |
| US3756193A (en) * | 1972-05-01 | 1973-09-04 | Battelle Memorial Institute | Coating apparatus |
| JPS526291B2 (ja) * | 1972-05-11 | 1977-02-21 | ||
| US3837894A (en) * | 1972-05-22 | 1974-09-24 | Union Carbide Corp | Process for producing a corrosion resistant duplex coating |
| US3890456A (en) * | 1973-08-06 | 1975-06-17 | United Aircraft Corp | Process of coating a gas turbine engine alloy substrate |
| US3976809A (en) * | 1973-08-13 | 1976-08-24 | Dowell Robert D | Coating for metal surfaces and method for application |
| US4024294A (en) * | 1973-08-29 | 1977-05-17 | General Electric Company | Protective coatings for superalloys |
| US3974309A (en) * | 1973-12-26 | 1976-08-10 | Ford Motor Company | Method of coating a rotary internal combustion engine |
| US4006268A (en) * | 1975-03-17 | 1977-02-01 | Airco, Inc. | Vapor collimation in vacuum deposition of coatings |
| JPS5276314A (en) * | 1975-12-22 | 1977-06-27 | Suwa Seikosha Kk | Fusion coating pretreatment |
| US4095003A (en) * | 1976-09-09 | 1978-06-13 | Union Carbide Corporation | Duplex coating for thermal and corrosion protection |
| US4109031A (en) * | 1976-12-27 | 1978-08-22 | United Technologies Corporation | Stress relief of metal-ceramic gas turbine seals |
| US4110893A (en) * | 1977-05-24 | 1978-09-05 | United Technologies Corporation | Fabrication of co-cr-al-y feed stock |
| US4152223A (en) * | 1977-07-13 | 1979-05-01 | United Technologies Corporation | Plasma sprayed MCrAlY coating and coating method |
| US4145481A (en) * | 1977-08-03 | 1979-03-20 | Howmet Turbine Components Corporation | Process for producing elevated temperature corrosion resistant metal articles |
| US4109061A (en) * | 1977-12-08 | 1978-08-22 | United Technologies Corporation | Method for altering the composition and structure of aluminum bearing overlay alloy coatings during deposition from metallic vapor |
| DE2820289C2 (de) * | 1978-05-10 | 1986-09-18 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum Beschichten von metallischen Substraten mit Legierungsschichten bei erhöhter Substrattemperatur |
| JPH05276314A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-10-22 | Toshiba Corp | イメージ入力装置 |
-
1980
- 1980-01-07 US US06/109,955 patent/US4321310A/en not_active Expired - Lifetime
- 1980-12-17 CA CA000367035A patent/CA1167328A/en not_active Expired
-
1981
- 1981-01-06 BE BE0/203410A patent/BE886974A/fr not_active IP Right Cessation
- 1981-01-07 DE DE8181900392T patent/DE3162618D1/de not_active Expired
- 1981-01-07 IT IT19031/81A patent/IT1134958B/it active
- 1981-01-07 JP JP56500661A patent/JPH0118994B2/ja not_active Expired
- 1981-01-07 WO PCT/US1981/000022 patent/WO1981001983A1/en active IP Right Grant
- 1981-01-07 AU AU67732/81A patent/AU543682B2/en not_active Expired
- 1981-01-07 IL IL61877A patent/IL61877A/xx not_active IP Right Cessation
- 1981-01-07 KR KR1019810000023A patent/KR840001682B1/ko active
- 1981-01-07 BR BR8105749A patent/BR8105749A/pt not_active IP Right Cessation
- 1981-01-07 EP EP81900392A patent/EP0044329B1/en not_active Expired
- 1981-09-04 NO NO81812999A patent/NO156747C/no unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4321310A (en) | 1982-03-23 |
| DE3162618D1 (en) | 1984-07-12 |
| EP0044329A4 (en) | 1982-06-10 |
| AU6773281A (en) | 1981-08-07 |
| IL61877A (en) | 1984-09-30 |
| EP0044329B1 (en) | 1984-06-06 |
| IT8119031A0 (it) | 1981-01-07 |
| EP0044329A1 (en) | 1982-01-27 |
| NO812999L (no) | 1981-09-04 |
| CA1167328A (en) | 1984-05-15 |
| KR840001682B1 (ko) | 1984-10-15 |
| IT1134958B (it) | 1986-08-20 |
| WO1981001983A1 (en) | 1981-07-23 |
| NO156747B (no) | 1987-08-10 |
| KR830005067A (ko) | 1983-07-23 |
| BR8105749A (pt) | 1981-11-24 |
| AU543682B2 (en) | 1985-04-26 |
| BE886974A (fr) | 1981-05-04 |
| NO156747C (no) | 1987-11-18 |
| JPS57500292A (ja) | 1982-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0118994B2 (ja) | ||
| US4414249A (en) | Method for producing metallic articles having durable ceramic thermal barrier coatings | |
| US4405660A (en) | Method for producing metallic articles having durable ceramic thermal barrier coatings | |
| JPH0118993B2 (ja) | ||
| US4405659A (en) | Method for producing columnar grain ceramic thermal barrier coatings | |
| US4401697A (en) | Method for producing columnar grain ceramic thermal barrier coatings | |
| US4880614A (en) | Ceramic thermal barrier coating with alumina interlayer | |
| US5015502A (en) | Ceramic thermal barrier coating with alumina interlayer | |
| US6103386A (en) | Thermal barrier coating with alumina bond inhibitor | |
| US4916022A (en) | Titania doped ceramic thermal barrier coatings | |
| JP4320411B2 (ja) | 多層断熱被膜システム | |
| US6395343B1 (en) | Durable thermal barrier coating | |
| US7998601B2 (en) | Sandwich thermal insulation layer system and method for production | |
| US5514482A (en) | Thermal barrier coating system for superalloy components | |
| KR100688739B1 (ko) | 초합금 제품, 코팅된 초합금 부품 및 제품 형성 방법 | |
| US9139896B2 (en) | Heat-insulating protective layer for a component located within the hot gas zone of a gas turbine | |
| US20090252985A1 (en) | Thermal barrier coating system and coating methods for gas turbine engine shroud | |
| JPH0251978B2 (ja) | ||
| WO1992005298A1 (en) | Columnar ceramic thermal barrier coating with improved adherence | |
| GB2159838A (en) | Surface strengthening of overlay coatings | |
| JPH09272987A (ja) | 耐熱部材 | |
| WO1994015000A1 (en) | Columnar ceramic thermal barrier coating with improved adherence | |
| JPS62211390A (ja) | セラミツク被覆耐熱部材およびその製造方法 | |
| JPS62211389A (ja) | セラミツク被覆タ−ボチヤ−ジヤ−及びその製造方法 | |
| JPH0610354B2 (ja) | セラミツク被覆耐熱部材およびその製造方法 |