JPH01188804A - 中空導波路の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、炭酸ガスレーザー、遠赤外線等の各種の光
を伝送するだめの中空導波路の製造方法に関する。

［従来の技術１ 従来、炭酸ガスレーザー等の赤外光を伝送するための中
空導波路を製造する場合には、アルミニウム製のパイプ
材の外周面にスパッタリングによってデルマニウムの薄
膜を形成する。次に、この薄膜の上に補強層および反射
面としてのニッケルメッキ層を形成する。その後、パイ
プ材を水酸化ナトリウムの溶液によって溶解除去するよ
うにしている。

このようにして製造された中空導波路においては、ニッ
ケルメッキ層の内周面が光を反射して伝送するための反
射面となり、この反射面の面粗度の良否によって伝送特
性が左右される。したがって、メツキ層の内周面の面粗
度を極めて良好な状態にする必要がある。そのためには
、薄膜の内周面の面粗度を向上させる必要があり、薄膜
の面粗度はけパイプ材の外周面の面粗度に左右される。

そこで、上記のようにして中空導波路を製造する場合１
こは、パイプ材の外周面を研摩仕上げしている。

［発明が解決しようとする問題点１ しかしながら、アルミニウム製のパイプ材を研摩仕上げ
したのでは、パイプ材の外周面を鏡面状態にするのが非
常に困難であり、研摩仕上げによる面ｔｎ度はせいぜい
０．０２μＲｚである。この程度の面粗度では、伝送損
失を十分に低減することが困難であるという問題があっ
た。また、パイプ材が細い場合には、パイプ材の強度が
低いため、研摩自体が困難であるという問題があった。

［発明の目的１ この発明は、上記間石を解決するためになされたもので
、光を伝送するための反射面が鏡面とされ、伝送損失の
少ない中空導波路を容易に、かつ安価に製造することが
できる中空導波路の製造方法を提供することを目的とす
る。

［発明の構成１ この発明は、上記の目的を達成するために、パイプ材の
外周面に金属の薄膜を形成した後、パイプ材を溶解除去
するようにした中空導波路の製造方法において、パイプ
材として可溶性のガラスパイプを用いるようにしたもの
である。

すなわち、この出願の発明者は、ガラス製品の表面が非
常に滑らかである点に着目し、パイプ材としてガラスパ
イプを用いることに思い至った。

そこで、実際にガラスパイプを周知の方法、例えぼガラ
ス吹き法、あるいはダンカー法等によって製造し、その
外周面の面粗度を測定したところ、その面粗度は０．０
０００３５μＲｚであり、研摩仕上げしたアルミニウム
パイプの面粗度を遥かに凌駕するものであった。そして
、そのような面ネ■度のガラスパイプを用いることによ
って伝送損失が極めて少ない中空導波路を製造すること
ができたのである。

次に、この発明の製造方法について図面を参照してさら
に具体的に説明すると、まず第１図（Ａ）に示すガラス
パイプ１を準備する。このガラスパイプ１は、前述した
従来の製造方法におけるアルミニウム製のパイプ材と同
様に、製造の最終段階１こおいては溶解除去されるもの
である。そのｒこめに、ここではガラスパイプ１として
酸またはアルカリによって溶解される可溶性のガラスも
のを用いている。そのような可溶性のガラスとしては、
例えばｐｂ〇−Ｎａ２０系ガラス、Ｂ２０．−Ｎａ２０
系ガラス、ＳｉＯ２Ｂ２０．−ＢａＯ系ガラス、Ｐ２Ｏ
５−Ｎａ２Ｏ系ガラス、およびＳｉＯ□−Ｎａｏ系ガラ
ス等がある。また、ガラスパイプ１の製造方法としては
、周知の製法、例えばガラス吹き法、あるいはダンカー
法等の方法がある。

次に、ガラスパイプ１の外周面に金属からなる薄膜２を
形成する。この薄膜２は、その内周面がガラスパイプ１
の除去後反射面となるものである。

したがって、薄膜２を形成する金属としては、金（Ａｕ
）、ニッケル（Ｎ　ｉ）等のように反射率の高い金属を
用いる。主だ、薄膜２の形成法としては、真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンブレーティング法あるいはメ
ツキ法等がある。なお、薄膜２の厚さは従来のちのと同
様にする。

次に、薄膜２の外周面に補強層３を形成する。

この補強層３は、ガラスパイプ１を溶解除去した。

後、薄膜２の形状を保持するためのものであり、ニッケ
ル等のメツキ層によって補強層３を形成することもでき
るが、可撓性を有する中空導波路を製造することができ
るという点を考慮するならば、可撓性を有する樹脂によ
って形成するのが望ましい。特に、熱収縮性を有する樹
脂からなるチューブを用いるようにすれば、そのチュー
ブ内に薄膜２が形ｒ＃、されｔこガラスパイプ１を挿入
し、その後チューブを過熱して縮径させることにより、
薄膜２に密着した補強層３を容易に形成することができ
る。

なお、補強層３としては、比較的薄いメツキ層の上に樹
脂層を形成した２層構造としてもよい。

このようにすれば、可撓性が若干低下するものの、強度
が向上する。主た、可撓性を有する樹脂としては、エポ
キシ樹脂、ポリエステル樹脂、フェノール樹脂、アクリ
ル樹脂、メラミン樹脂、ポリイミド樹脂等の熱硬化性樹
脂、ふっそ樹脂、ポリアミド樹脂等の熱可塑性樹脂があ
る。

上記のようにしてガラスパイプ１の外周面に薄膜２を形
成し、その上に保護層３を形成した後、ガラスパイプ１
を酸またはアルカリ等によって溶解除去する。この場合
、酸またはアルカリとして、薄膜２および保護層３を溶
解せず、ガラスパイプ１だけを溶解するものを用いるこ
とは勿論である。

また、ガラスパイプ１の溶解に際しては、例えば酸また
はアルカリの水溶液中にガラスパイプ１を浸漬すること
によって容易に行うことがで外る。

［実施例］ 次に、この発明の実施例について説明する。

ガラスパイプとして、内径１　、０　＋ｎｎ＋、外径１
．５ｍｍのものをグンナー法によって製造した。その外
周面の面粗度は、０．００００３５μＲｚであった。

一方、比較例として、ガラスパイプと同一寸法のアルミ
ニウムパイプの外周面を研摩仕上げし、その面粗度を測
定したところ、０，０２３μＲｚであった。そして、各
パイプの外周面に金の薄膜を形成した後、熱収縮性チュ
ーブを密着させ、その後者パイプをそれぞれ溶融して導
波路を製造した。アルミニウムパイプとガラスパイプと
を用いだ各導波路の反射面の反射率を測定したところ、
前者が７５％であったのに対し、後者は９６％と前者に
比して大幅に向上した。この点から、この発明による中
空導波路によれば、伝送損失を大幅に低減し得ることが
判る。

［効果１ 以上説明したように、この発明の中空導波路め製造方法
によれば、パイプ材としてガラスパイプをｍいたもので
あるから、ガラスパイプを周知の製法、例えば力゛う又
吹き法によって製造するだけで、研摩等の加工を何等施
すことなくパイプ材の外周面を鏡面にすることができ、
したがって中空導波路を従来の製法に比して容易に、か
つ安価に製造することができる。また、パイプ材の外周
面を鏡面とするために何等の加工も必要としないから、
細径のパイプ材を容易に製造することがでト、従来方法
では製造が困難であった細径の中空導波路を容易に製造
することができる。さらに、ガラスパイプの外周面の面
粗度が研摩仕上げされたアルミニウムパイプの面粗度よ
１）も遥かに良好なものであるから、製造された中空導
波路の反射面の面（■度を向上させることができ、これ
によって伝送損失を大幅に低減することができる等の効
果が得られる。

【図面の簡単な説明】

ｔ５１図はガラスパイプの外周面に薄膜および保護層を
形成したものの一部を破断して示す斜視図、第２図はガ
ラスパイプを溶解除去して製造された中空導波路の断面
図である。 １・・・ガラスパイプ（パイプ材）、２・・・薄膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. パイプ材の外周面に金属の薄膜を形成した後、前記パイ
   プ材を溶解除去するようにした中空導波路の製造方法に
   おいて、前記パイプ材として可溶性のガラスパイプを用
   いることを特徴とする中空導波路の製造方法。