JPH01176313A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH01176313A JPH01176313A JP33453987A JP33453987A JPH01176313A JP H01176313 A JPH01176313 A JP H01176313A JP 33453987 A JP33453987 A JP 33453987A JP 33453987 A JP33453987 A JP 33453987A JP H01176313 A JPH01176313 A JP H01176313A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 27
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 abstract description 9
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 abstract description 5
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 abstract description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 206010028980 Neoplasm Diseases 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- ABDBNWQRPYOPDF-UHFFFAOYSA-N carbonofluoridic acid Chemical class OC(F)=O ABDBNWQRPYOPDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Paints Or Removers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録再生に適する強磁性金属薄膜
を磁気記録層とする磁気記録媒体に関する。
を磁気記録層とする磁気記録媒体に関する。
従来の技術
従来、磁気記録層として広く実用に供されているものは
、γ−Ｆｅ２０３． Ｇｏ をドープしたγ−Ｆｅ２
０． 、 ＣｒＯ□或いは、鉄等の強磁性金属又は合金
微小粉末磁性材料を塩化ビニル、酢酸ビニル共重合体、
スチレンブタジェン共重合体、エポキシ樹脂等の有機バ
インダ中に分散させて高分子フィルム等の基板上に塗布
乾燥させた塗布型磁性層である。しかしかかる塗布型磁
性層の飽和磁束密度は上限に近すいてきており、厚みも
余り薄くできないことから、短波長記録再生でのＣ／Ｈ
に限界がみえ、この限界を突破するために強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が注目され、開発が
盛んになってきている［例えば、アイイーイーイー ト
ランザクシジンズ オン マグネティクス（ＩＩ！：Ｅ
Ｂ： ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＫ
ＴＩＣ３）。
、γ−Ｆｅ２０３． Ｇｏ をドープしたγ−Ｆｅ２
０． 、 ＣｒＯ□或いは、鉄等の強磁性金属又は合金
微小粉末磁性材料を塩化ビニル、酢酸ビニル共重合体、
スチレンブタジェン共重合体、エポキシ樹脂等の有機バ
インダ中に分散させて高分子フィルム等の基板上に塗布
乾燥させた塗布型磁性層である。しかしかかる塗布型磁
性層の飽和磁束密度は上限に近すいてきており、厚みも
余り薄くできないことから、短波長記録再生でのＣ／Ｈ
に限界がみえ、この限界を突破するために強磁性金属薄
膜を磁気記録層とする磁気記録媒体が注目され、開発が
盛んになってきている［例えば、アイイーイーイー ト
ランザクシジンズ オン マグネティクス（ＩＩ！：Ｅ
Ｂ： ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮ ＭＡＧＮＫ
ＴＩＣ３）。
Ｖｏ５．ＭＡＧ−２１、ＮＯ，３、１２１７〜１２２０
（１９８５）参照］。
（１９８５）参照］。
強磁性金属薄膜を磁気記録層として実用化するには、優
れた電磁変換特性を保ちながら磁気ヘッドとの高速摺動
に対する耐久性を向上させ、いわゆるヘッド相性を改善
することが重要で、これらに関する多くの提案がある［
例えば、特開昭５３＝８８７０４号公報、同５９−１２
１６３１号公報、同６９−１７１０２６号公報、同６２
−１９２０２６号公報参照］。
れた電磁変換特性を保ちながら磁気ヘッドとの高速摺動
に対する耐久性を向上させ、いわゆるヘッド相性を改善
することが重要で、これらに関する多くの提案がある［
例えば、特開昭５３＝８８７０４号公報、同５９−１２
１６３１号公報、同６９−１７１０２６号公報、同６２
−１９２０２６号公報参照］。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、現状の開発レベルでは、磁気へラドがフ
ェライト材から合金系へ移行し、ヘッド構成も多様化し
ていく傾向に十分対応しきれず、短波長記録での出力低
下の問題があり、改善が望まれていた。
ェライト材から合金系へ移行し、ヘッド構成も多様化し
ていく傾向に十分対応しきれず、短波長記録での出力低
下の問題があり、改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、短波長記
録でのＣ／Ｈの改善された磁気記録媒体を提供するもの
である。
録でのＣ／Ｈの改善された磁気記録媒体を提供するもの
である。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
は、微細な凹凸を有する強磁性金属薄膜上にＢを含む硬
質炭素薄膜を配して潤滑剤層を配したものである。
は、微細な凹凸を有する強磁性金属薄膜上にＢを含む硬
質炭素薄膜を配して潤滑剤層を配したものである。
作用
本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、保護膜
の硬度が大きくなり、磁気テープ磁気ディスク側から摩
耗粉が発生し−なくなるので、磁気ヘッド前面の摺動面
にダメージを与えないので、良好なエンベロープが維持
され、短波長でもＣ／Ｎが改善されることになる。
の硬度が大きくなり、磁気テープ磁気ディスク側から摩
耗粉が発生し−なくなるので、磁気ヘッド前面の摺動面
にダメージを与えないので、良好なエンベロープが維持
され、短波長でもＣ／Ｎが改善されることになる。
実施例
以下、図面を参照しながら、本発明の一実施例について
詳しく説明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体
の拡大断面図である。
詳しく説明する。図は本発明の一実施例の磁気記録媒体
の拡大断面図である。
図中、１は、ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリイミド等の高分子フィルムである
。２は、ｋ１２０． 、 ＣａＯ、ＺｕＯ。
ンサルファイド、ポリイミド等の高分子フィルムである
。２は、ｋ１２０． 、 ＣａＯ、ＺｕＯ。
Ｅｕ２Ｏ，、ポリエステル球等の微粒子を配した、微粒
子塗布層で、直径６０八から５００人の微粒子を１〜１
ｏｏケ／（μｍ） の密度で配したものが適している。
子塗布層で、直径６０八から５００人の微粒子を１〜１
ｏｏケ／（μｍ） の密度で配したものが適している。
３は、Ｇｏ −Ｎｉ 、 Ｇｏ −Ｏｒ 、 Ｇｏ−０
、Ｇｏ−Ｔｉ 、 Ｇ。
、Ｇｏ−Ｔｉ 、 Ｇ。
−Ｗ 、 Ｇｏ −Ｍｏ 、 Ｇｏ−Ｏｒ−Ｗｂ 、
Ｇｏ−Ｏｒ−Ｂ 、 Ｃｏ −Ｎｉ−０等の強磁性金属
薄膜で、電子ビーム蒸着法。
Ｇｏ−Ｏｒ−Ｂ 、 Ｃｏ −Ｎｉ−０等の強磁性金属
薄膜で、電子ビーム蒸着法。
高周波スパッタリング法等で形成した膜厚５００人から
３００ＯＡの薄膜で、必要に応じ多層構成であってもよ
い。４はＢを含む硬質炭素薄膜で、グラファイトをター
ゲットにして、Ａｒ、３２Ｈ６ガスによりスパッタリン
グして形成するか、炭化水素系のガスとＢ２Ｈ６ガスを
グロー放電分解して形成することができるもので、膜厚
はスペーシング損失を考慮し、５０人から２００人の範
囲で構成するのが好ましい。
３００ＯＡの薄膜で、必要に応じ多層構成であってもよ
い。４はＢを含む硬質炭素薄膜で、グラファイトをター
ゲットにして、Ａｒ、３２Ｈ６ガスによりスパッタリン
グして形成するか、炭化水素系のガスとＢ２Ｈ６ガスを
グロー放電分解して形成することができるもので、膜厚
はスペーシング損失を考慮し、５０人から２００人の範
囲で構成するのが好ましい。
又、膜を構成するＢとＣの元素の比率はＢが全体の２０
％から４０％含まれるのが好ましい。５は潤滑剤層で、
脂肪酸、脂肪酸エステル、パーフルオロカルボン酸、バ
ーフルオロポリエーテル等を溶液塗布法、真空蒸着法等
で２ｏ人から１００人の範囲で構成すればよい。実施態
様はテープ状。
％から４０％含まれるのが好ましい。５は潤滑剤層で、
脂肪酸、脂肪酸エステル、パーフルオロカルボン酸、バ
ーフルオロポリエーテル等を溶液塗布法、真空蒸着法等
で２ｏ人から１００人の範囲で構成すればよい。実施態
様はテープ状。
ディスク状いずれでもよい。
以下更に具体的に実施例について、比較例との対比で詳
しく説明する。厚み１０．６μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に、直径ｉｏ。
しく説明する。厚み１０．６μｍのポリエチレンテレフ
タレートフィルム上に、直径ｉｏ。
人のＣｒ２Ｏ５微粒子を１３ケ／（μｍ）配し、その上
に直径１ｍの円筒キャンに沿わせて、最小入射角４５度
、酸素分圧ｅ Ｘ １０ （Ｔｏｒｒ）でＧｏ −Ｎ
ｉ（ｃｏ：ａｏｗｔ％）をａｏｏ八電子電子ビーム蒸着
ことを２回くり返し、計１６ｏｏ人（７）Ｇｏ −Ｎｉ
−０磁気記録層を形成した。比較例はその上にＣＨ４ガ
ス０．０１（Ｔｏｒｒ）で１３．５６ （ＭＨｚ） １
２００ （Ｗ）のグロー放電を発生させ、直流電圧ａｏ
ｏ（ｖ）で加速し、ダイアモンド状硬質炭素薄膜を２０
ＯＡ配した。実施例は、ＣＨ４：Ｂ２Ｈ６ガス：１で圧
力０．０１ （Ｔｏｒｒ） 、 １３．５６ （ＭＨｚ
） 、 １４００ （Ｗ）、直流加速電圧ｓ ｓ ｏ
（ｖ）でＢを含むダイアモンド状硬質炭素薄膜を１３Ｏ
Ａ配した。ビッカース硬度を直接計測できないが、シリ
コンウェハ上の薄膜で推定した値は、実施例の方が比較
例の４０％高いビッカース硬度を示した。いずれも潤滑
剤層としては、モンテフルオス社製のパーフルオロポリ
エーテル系潤滑剤゛フオンプリン”Ｚ−２５ＱｅＱ人配
したものを用いた。実施例、比較例共に８ミリ幅に加工
し、キャリア周波数ｉｓ（ＭＨｚ）から７．５ （ＭＨ
ｚ）にあげ広帯域化した、改造８ミリビデオデツキに、
ギャップ部近傍にアモルファス合金をスパッタした構成
のギャップ長０．２μｍのヘッドを塔載し、輝度のｃ７
Ｎ−ｑ比較した。初期のＣ／Ｎは実施例が比較例に比べ
１．９ （ｄＢ）良好であった。４０℃６％ＲＨの環境
で２００回くり返し走行した後、２０’Ｃ７０％ＲＨ環
境で測定したＣ／Ｎは実施例の方が比較例より３．３
（ｄＢ）良好で、実施例のＣ／Ｎは初期値と同じであっ
た。
に直径１ｍの円筒キャンに沿わせて、最小入射角４５度
、酸素分圧ｅ Ｘ １０ （Ｔｏｒｒ）でＧｏ −Ｎ
ｉ（ｃｏ：ａｏｗｔ％）をａｏｏ八電子電子ビーム蒸着
ことを２回くり返し、計１６ｏｏ人（７）Ｇｏ −Ｎｉ
−０磁気記録層を形成した。比較例はその上にＣＨ４ガ
ス０．０１（Ｔｏｒｒ）で１３．５６ （ＭＨｚ） １
２００ （Ｗ）のグロー放電を発生させ、直流電圧ａｏ
ｏ（ｖ）で加速し、ダイアモンド状硬質炭素薄膜を２０
ＯＡ配した。実施例は、ＣＨ４：Ｂ２Ｈ６ガス：１で圧
力０．０１ （Ｔｏｒｒ） 、 １３．５６ （ＭＨｚ
） 、 １４００ （Ｗ）、直流加速電圧ｓ ｓ ｏ
（ｖ）でＢを含むダイアモンド状硬質炭素薄膜を１３Ｏ
Ａ配した。ビッカース硬度を直接計測できないが、シリ
コンウェハ上の薄膜で推定した値は、実施例の方が比較
例の４０％高いビッカース硬度を示した。いずれも潤滑
剤層としては、モンテフルオス社製のパーフルオロポリ
エーテル系潤滑剤゛フオンプリン”Ｚ−２５ＱｅＱ人配
したものを用いた。実施例、比較例共に８ミリ幅に加工
し、キャリア周波数ｉｓ（ＭＨｚ）から７．５ （ＭＨ
ｚ）にあげ広帯域化した、改造８ミリビデオデツキに、
ギャップ部近傍にアモルファス合金をスパッタした構成
のギャップ長０．２μｍのヘッドを塔載し、輝度のｃ７
Ｎ−ｑ比較した。初期のＣ／Ｎは実施例が比較例に比べ
１．９ （ｄＢ）良好であった。４０℃６％ＲＨの環境
で２００回くり返し走行した後、２０’Ｃ７０％ＲＨ環
境で測定したＣ／Ｎは実施例の方が比較例より３．３
（ｄＢ）良好で、実施例のＣ／Ｎは初期値と同じであっ
た。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長記録再生で優れた
Ｃ／Ｎの磁気記録媒体が得られるすぐれた効果がある。
Ｃ／Ｎの磁気記録媒体が得られるすぐれた効果がある。
図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。 １・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子塗
布層、３・・・・・強磁性金属薄膜、４・・・・・・Ｂ
含有硬質炭素薄膜、５・・・・・・潤滑剤層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名Ｉ−
高分子フイルム ？−微粒子塗布層 ３−蔗鷹住金属薄膜 ４−８含有硬貫庚素薄腫 ５−潤滑ＩＰＪ層
る。 １・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子塗
布層、３・・・・・強磁性金属薄膜、４・・・・・・Ｂ
含有硬質炭素薄膜、５・・・・・・潤滑剤層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名Ｉ−
高分子フイルム ？−微粒子塗布層 ３−蔗鷹住金属薄膜 ４−８含有硬貫庚素薄腫 ５−潤滑ＩＰＪ層
Claims (1)
- 微細な凹凸を有する強磁性金属薄膜上に、Ｂを含む硬
質炭素薄膜を配して潤滑剤層を配したことを特徴とする
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33453987A JPH01176313A (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33453987A JPH01176313A (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01176313A true JPH01176313A (ja) | 1989-07-12 |
Family
ID=18278540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33453987A Pending JPH01176313A (ja) | 1987-12-29 | 1987-12-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01176313A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029936A (ja) * | 1983-07-29 | 1985-02-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体およびその製法 |
| JPS60214423A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-26 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-12-29 JP JP33453987A patent/JPH01176313A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6029936A (ja) * | 1983-07-29 | 1985-02-15 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体およびその製法 |
| JPS60214423A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-26 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
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