JPH01173737A

JPH01173737A - ウエハー供給装置

Info

Publication number: JPH01173737A
Application number: JP62332619A
Authority: JP
Inventors: Shigeru Fukuya; 福家　滋; Nobuhito Yamazaki; 山崎　信人; Kazuo Sugiura; 一夫杉浦
Original assignee: Shinkawa Ltd
Current assignee: Shinkawa Ltd
Priority date: 1987-12-28
Filing date: 1987-12-28
Publication date: 1989-07-10
Anticipated expiration: 2009-02-02
Also published as: KR890011022A; US4936944A; JPH069219B2; KR920009715B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明はペレットボンダー等に用いられるペレットピッ
クアップ装置にウェハーを供給するウェハー供給装置に
関する。

［従来の技術］従来、ペレットボンダー等に対する半導体ペレットの供
給は、次のように行われている。即ち、特公昭６１−３
２８１３号に示すように、ウェハーシートに粘着された
ウェハーをスクライプによって切断分離して個々のペレ
ットにし、このペレットを粘着したウェハーシートを予
め引き伸ばして個々のペレットを１個づつ供給しやすい
ように一定間隔に分離した後、ウェハーシートを環状の
板部材である供給リングに取付ける。そして、特開昭５
９−１６１０４０号に示すように、前記供給リングをエ
レベータマガジンにａ層収納して順次１枚づつ送り出し
ては、ウェハー吸着板を備えたアームにより供給リング
を吸着してペレットピックアップ装置のＸＹ子テーブル
上載置し、ＸＹ子テーブルＸＹ力方向動かしながら個々
のペレットを１個づつ突き上げ針で突き上げては供給ヘ
ッドに設けられた吸着ノズルに吸着させてピックアップ
する。

［発明が解決しようとする問題点］上記従来技術のウェハー供給装置では、ペレットを粘着
したウェハーシートを予め引き伸ばして供給リングに取
付けるための前作業が必要で、またそのための機械装置
を用意する必要があるので、設備費及び作業工数等に問
題点があった。

本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、ペレッ
トを粘着したウェハーシートを前処理することなく直接
供給リングに取付けるだけでペレットを１個づつピック
アップさせることができるウェハー供給装置を提供する
ことにある。

［問題点を解決するための手段］上記従来技術の問題点は、ペレットが粘着されたウェハ
ーシートを取付けた供給リングと、ペレットピックアッ
プ装置のＸＹ子テーブル取付けられ、前記ウェハーシー
トを前記供給リングの内径より小さな外径を有する円筒
部上面により支持して載置するリングホルダーと、この
リングホルダーの上方に設けられ、前記供給リングの部
分を押圧する円環状の押えリングと、この押えリングに
より前記供給リングを前記リングホルダーの円筒部に沿
って押下げせしめる押下げ手段と、前記供給リングを前
記押下げ手段で押下げした後に前記押えリングを前記リ
ングホルダーに固結する手段とを備えた構成にすること
により解決される。

［作用］ウェハーシートをリングホルダーの円筒部上面によって
支持した後、押えリングにより供給リングを押下げると
、これによってウェハーシートは外方へ均等に引き伸ば
され、ペレットは個々に一定間隔にされる。その状態の
ままペレットピックアップ装置のＸＹ子テーブルよって
ウェハーシートをｘＹ力方向順送りして、従来方法と同
様にしてペレットを１個づつピックアップする。

［実施例］以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図乃至第４図に示すように、基台２１の中央部には
、その基台２１に両端を支持された互いに平行な２木の
ガイドバー２２．２３が設けられている。このガイドバ
ー２２．２３には、第１図乃至第４図の左側及び第５図
、第６図に示すように、スライドボールベアリング２４
．２５によって滑動自在にスライダ２６が支持されてお
り、スライダ２６は、ガイドバー２２．２３の中央にこ
れに平行に設けられたロッドレスエアシリンダ２７の外
筒に設けられた外部ピストン２８にピン２９によって連
結され、外部ピストン２８の動作によりガイドバー２２
．２３に沿って移動することができる。前記スライダ２
６の上部は二叉状になり、その上端部には、ウェハーシ
ートを固定した供給リング（後記する）をチャックする
ための固定爪３０が架設されている。またスライダ２６
の二叉状部の中央には、スライダ２６に両端を固定され
たピン３１に揺動自在に支持されたＬ字形のレバー３２
゛が設けられており、レバー３２の上端部側には固定爪
３０に対向して可動爪３３が固設されている。一方、レ
バー３２の下端部には、スライダ２６の二叉状部の外方
に図示しない窓部を挿通して突出したバネ掛はピン３４
が植設されており、このバネ掛はピン３４の両端部とス
ライダ２６に植設されたバネ掛け３５．３６との間にコ
イルバネ３７ａ、３７ｂが掛は合わされている。

またレバー３２の下端部には、スライダ２６に固定され
たエアシリンダ３８のピストン３９の先端に当接する座
４０が設けられている。

図示しないが、基台２１の左側端部には、周知のエレベ
ータマガジン示配置され、エレベータマガジンにはウェ
ハーシー）４１を固定した供給リング４２（第２図及び
第３図参照）がａ層して収納されている。ウェハーシー
）４１にはウェハーを貼付けて該ウェハーをスクライブ
によって切断分離して個々のペレットとした後、このウ
ェハーシー）４１をウェハーの外径よりも大きな内径を
備えた薄板環状部材による供給リング４２にそのまま取
付けられている。なお、図には、ペレットが貼付けれた
ウェハーシート４１及び供給リング４２は簡略化して単
に２点鎖線で図示した。そこで、エレベータマガジンに
収納されたウェハーシート４１は、スライダ２６のエア
シリンダ３８のピストン３９が前進して可動爪３３が開
いた状態でスライダ２６のストロークの左端に達した時
に固定爪３０と可動爪３３の間にウェハーシート４１が
貼付けされた供給リング４２の端側か位置し、ピストン
３９が後退して可動爪３３が閉じてチャックされ、スラ
イダ２６の右方向（第１図及び第２図参照）への移動に
よりエレベータマガジンより１枚づつ引き出される。こ
の時、ウェハーシート４１の引き出し姿勢安定のため、
基台２１の左右端部にはスライダ２６の両側に１対の案
内板４３．４４が設けられている。

第１図乃至第４図に示すように、基台２１の両側縁部に
は、ガイドバー２２．２３に平行にレール４５．４６が
敷設されている。レール４５．４６にはそれぞれ開放形
のリニアポールスライド４７．４８が滑動自在に跨架さ
れており、リニアポールスライド４７．４８には２本の
レール４５．４６をまたぐ門形コラム４９が設けられて
いる。

門形コラム４９は、第４図及び第７図に示すように、ガ
イドバー２３と平行に配設されて基台２１に固定された
ロッドレスエアシリンダ５０の外部ピストン５１に植設
されたピン５２と連結板５３を介して連結され、外部ピ
ストン５１の動作によってレール４５．４６上を移動す
ることができる。

門形コラム４９の両測部下方には、第３図及び第７図に
示すように、リニアポールスライド４７．４８に隣接し
てエアシリンダ５４．５５が設けられている。エアシリ
ンダ５４．５５のピストン５６．５７は門形コラム４９
に設けられた案内部４９ａ、４９ｂに摺動自在に案内さ
れるロッド５８．５９の下端に連結されており、ロー２
ド５８．５９の上端には昇降台６０が架設されていて、
ピストン５６．５７の動作によって昇降台６０は門形コ
ラム４９に対して昇降運動を行うことができる。

昇降台６０の下面には、第７図及び第８図に示すように
、４つの案内片６１．６２．６３．６４が固定されてお
り、これにはそれぞれ平行な２木のスライディングロッ
ド６５．６６及び６７．６８が滑動自在に支持されてい
る。このスライディングロッド６５．６６及び６７．６
８の対向するｌ端側には連結片６９．７０が固定され、
スライディングロッド６５．６６及び６７．６８の他端
にはそれぞれＬ字状の懸架部材７１．７２．７３．７４
が固定されている。昇降台６０の中央部にはハウジング
７５が設けられ、ハウジング７５の内孔に嵌挿された軸
受７６．７７を介して回転軸７８が回転自在に支承され
ている０回転軸７８の下端には円板７９が固定されてい
て、更に円板７９には回転軸７８をはさんで対向する位
置にローラ８０．８１が設けられている。そして、連結
片６９．７０はそれぞれ案内片６１．６３との間に設け
られたコイルバネ８２．８３の付勢力によってローラ８
０．８１に当接している。

昇降台６０の下方には案内片６１乃至６４に固定された
薄板８５が設けられている。そして、薄板８５の下方に
は、第３図、第７図及び第９図に示すように、懸架部材
７１．７２．７３．７４に支持された供給リング４２の
内径とほぼ等しい径の内孔を備えた押えリング８６が回
転軸７８の軸心線上に中心を置いて設けられている。押
えリング８６には、その外周部に沿ってその中心に対し
て対称の位置に２つの位置決め六８６ａ、８６ｂが備え
られており、案内片６２．６４に植設された段付ピン８
７．８８が位置決め穴８６ａ、８６ｂに嵌入して押えリ
ング８６の位置が決められている。また押えリング８６
の下面部には供給リング４２の案内部材８９．９０が設
けられていて、案内部材８９．９０には供給リング４２
が案内支持されて押えリング８６と中心を同一にして置
かれる。

またピストン５６．５７が第１図に示すように右側に位
置した状態における押えリング８６の下方には、第２図
、第７図及び第９図に示すように、基台２１に対し別個
に置かれた図示しない周知のＸＹ子テーブルよって支持
され、門形コラム４９の内側に入り込むように配置され
たリングホルダー９１が設けられている。リングホルダ
ー９１は、第１０図乃至第１４図に示すように、図示し
ないＸＹ子テーブル固定された片持アーム９２にローラ
９３．９４を介して上下方向と外周方向に回転回部に支
持され、同じく片持アーム９２に設けられたモータ９５
の出力軸に固定されたプーリ９６とリングホルダー９１
の外周とに掛は合わされたベルト手段９７によりモータ
９５の回転によって回転することができる。更にリング
ホルダー９１は、押えリング８６に対し同心であって供
給リング４２の内径よりも僅かに小さい外径を備えた円
筒部９１ａを上方に備えている。そして、リングホルダ
ー９１は、片持アーム９２のたわみによる変形を防止す
るため、第３図、第４図、第７図及び第９図に示すよう
に、門形コラム４９に備えられた支持ローラ９８．９９
によって下方からも支持されている。

またリングホルダー９１には、第１０図及び第１４図に
示すように、リングホルダー９１の中心に対して対称に
押えリング８６を固定するための駒１００．１０１が嵌
挿されている。駒１００．１０１は、リングホルダー９
１に対してコイルバネ１０２の付勢力によって常時下方
に付勢された軸部１００ａ、１０１ａを備え、軸部１０
０ａ、１０１ａの最上部は円板の外周から２面を落した
略長方形状に成形されている。一方、押えリング８６は
、第９図に示すように、駒１００．１０１に対向して前
記略長方形状部が挿通可能な長方形状の穴８６ｃ、８６
ｄｌｉえている。そして、昇降台６０には、第１図、第
２図、第３図、第７図及び第９図に示すように、回転軸
１０３．１０４と、回転軸１０３．１０４に嵌挿されコ
イルバネ１０５．１０６によって遊動可能で下端に駒１
００、ｌＯｌの一ヒ部略長方形状部をはさみ込むことが
できる溝を備えた回転駒１０７．１０８とが備えられて
いる。そして、昇降台６０上の回転軸７８．１０３．１
０４には、上端部にそれぞれプーリ１０９．１１０．１
１１が設けられていて、これらには昇降台６０に支持さ
れたモータ１１２の出力軸に固定されたプーリ１１３と
の間にベルト１１４が掛は合わされている。

また基台２１の左側には、第１図乃至第３図に示すよう
に、上方に突出した２本のパイプ１１５．１１６が備え
られており、このパイプ１１５．１１６から図示しない
装置により必要に応じて熱風が噴出される。

次にかかる構成よりなるウェハー供給装置の作用を説明
する。始動前は、スライダ２６は第１図及び第２図の状
態よりやや右側に位置し、門形コラム４９は第１図及び
第２図において中間部（図より左側）に位置している０
図示しないエレベータマガジンが位ご決めされ、ウェハ
ーシー）４１を備えた供給リング４２が供給位置に待機
すると、その直前にピストン３９が突出して可動爪３３
が開き、その後、ロッドレスエアシリンダ２７が動作し
てスライダ２６は左行する。そして、スライダ２６が最
左端位りに至ると、供給リング４２の外側部分が固定爪
３０と可動爪３３の間に位置する０次にピストン３９が
復動して可動爪３３を閉じ、固定爪３０と可動爪３３と
の間で供給リング４２をチャックする。この後、ロッド
レスエアシリンダ２７が逆に動作してスライダ２６を右
行させると、ウェハーシート４１を有する供給リング４
２は図示しないエレベータマガジンから引き出され、か
つ案内板４３．４４に案内され、更にスライダ２６が右
行して案内部材８９．９０の内側に供給リング４２は位
置する。

次にピストン３９が復動して可動爪３３が開き、供給リ
ング４２は案内部材８９．９０に移載される。そして、
スライダ２６を更に右行させてから、次にエアシリンダ
５４．５５を動作させてＡ降台６０を上昇させ、固定爪
３０がウェハーシート４１を有する供給リング４２の下
方を通過できるようにする。こうして、ウェハーシート
４１及び供給リング４２を一度上方へ逃がした後、スラ
イダ２６を左行させる。また門形コラム４９はロッドレ
スエアシリンダ５０の動作によって右行させ、リングホ
ルダー９１の上方位置まで移動させる。

この後、エアシリンダ５４．５５が逆動作すると、Ａ降
台６０が下降を始める。この動作によって、初めにウェ
ハーシート４１がリングホルダー９１の円筒部上面によ
って支持され、次に押えリング８６が下降してきて供給
リング４２をリングホルダー９１の円筒部外径に沿って
押下げると、これによってウェハーシート４１が外周方
向に均等に引き伸ばされてウェハーシート４１上のペレ
ットは個々の隣接する同士で間隙を生じ、周知の方法に
よりペレットが吸着されるに際して不都合のないように
する。

押えリング８６が下降して駒１００．ｌＯ１の最上部の
略長方形状部分が押えリング８６の穴８６ｃ、８６ｄに
挿通すると、次に回転駒１０７．１０８がその下端の溝
部で駒１００、ｌｏｔをはさみ込む、その後、モータ１
１２が回転すると、回転軸１０３．１０４が回転して回
転駒１０７゜１０８が９０度回転して駒１００．１０１
を回転せしめ、これによって駒１００．１０１の最上部
が押えリング８６の穴８６ｃ、８６ｄと直交するように
変位して押えリング８６をリングホルダー９１に対して
固定する。この時、同時に回転軸７８も回転を行ってお
り、これによってローラ８０．８１が連結片６９．７０
を外方へ押圧して懸架部材７１．７２．７３．７４が外
方に開いて押えリング８６の支持を開放する。

そして、昇降台６０は再び上昇して門形コラム４９が左
行して第１図及び第２図において中間部に位置する。こ
れによってリングホルダー９１上に支持されたウェハー
シー）４１がペレットの供給？！！！備を終えた状態で
露出する。この後は図示しないテレビカメラなどによる
画像認識装置でウェハーシー）４１上のペレットの配列
方向とリングホルダー９１を支持するＸＹ子テーブル移
動方向の整合が行われる。これは、モータ９５の回転に
よってリングホルダ−９１自体が微少量旋回することに
より調整が行われる。

この後は周知の方法により、ＸＹ子テーブル移動とペレ
ット吸着ノズルの働きによってウェハーシート４１　、
ｈのペレットが順にピックアップされる。

こうしてペレットの全てがピックアップされると、門形
コラム４９が右行し、昇降台６０が下降して、その後モ
ータ１１２が回転して回転駒１０７．１０８が前記と逆
に９０度回転して駒１００．１０１を回転せしめ、また
懸架部材７１．７２．７３．７４が押えリング８６の下
方に移動する。そして、■降台６０が上■すると、ウェ
ハーシー）４１は案内部材８９．９０に支持され、供給
リング４２は懸架部材７１．７２．７３．７４に支持さ
れる０次に門形コラム４９が左行して第１図及び第２図
の中間部に位置し、また同時にスライダ２６は右行して
門形コラム４９の右側に位置する。その後、ｙ１降台６
０が下降して供給リング４２を固定爪３０及び可動爪３
３の前方に位置させ、また可動爪３３が開く。そして、
スライグ２６が左行して固定爪３０と可動爪３３との間
に供給リング４２を位置させ、その後可動爪３３が閉じ
て供給リング４２をチャックする。次にスライダ２６は
再び左行して供給リング４２をエレベータマガジンに戻
す、この時、ウェハーシート４１は供給リング４２に対
し引き伸ばされているためたるんでおり、エレベータマ
ガジンへの再収納に不都合であるため、再収納の前にパ
イプ１１５．１１６より熱風を噴出させてウェハーシー
ト４１を加熱してこれを収縮させ供給リング４２に対し
たるみをなくすることを行う。

［発明の効果］以りの説明から明らかなように、本発明によれば、ペレ
ットを粘着したウェハーシートを前処理することなく直
接供給リングに取付けるだけでペレットを１個づつピッ
クアップさせることができるウェハー供給装置が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図の正面図、第３図は第１図の左側面図、第４図は第２
図の４−４線断面図、第５図は第１図の５−５ｖｊ、断
面図、第６図は第１図の６−６１１ａ断面図、第７図は
第１図の７−７線断面図、第８図は第７図の８−８線断
面図、第９図は第１図の９−９線断面図、第１０図はウ
ェハ取付台の平面図、第１１図は第１０図の正面図、第
１２図は第１０図の１２−１２線断面図、第１３図は第
１０図の１３−１３線断面図、第１４図は第１０図の１
４−１４線断面図である。２１：基台、　　　　　２２．２３ニガイドバー、２６
：スライダ、　　　３０：固定爪、３３：可動爪、　　
　　４１：ウェハーシート、４２：供給リング、　　４
５．４６：レール、４９：門形コラム、　　６０：昇降
台、７１〜７４：懸架部材、　　８６：押えリング、８
９．９０：案内部材、　　　９１：リングホルダー、　
　　１００，１０１：駒、１０７．１０８二回転駒。第５図第８図７１〜７４　：４：、　ｙ　２Ｂ料第１０図９１：りン７゛岸、ルＴ− ＋００．ｌｏｔ：３均第１１図第１２図　　第１３Ｆ２１　　　第１４図ｔｏｏ、ｌｏ
ｔ：　Ｌｊｉｌ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ペレットが粘着されたウェハーシートを取付けた
供給リングと、ペレットピックアップ装置のＸＹテーブ
ルに取付けられ、前記ウェハーシートを前記供給リング
の内径より小さな外径を有する円筒部上面により支持し
て載置するリングホルダーと、このリングホルダーの上
方に設けられ、前記供給リングの部分を押圧する円環状
の押えリングと、この押えリングにより前記供給リング
を前記リングホルダーの円筒部に沿って押下げせしめる
押下げ手段と、前記供給リングを前記押下げ手段で押下
げした後に前記押えリングを前記リングホルダーに固結
する手段とを備えたウェハー供給装置。
（２）ペレットが粘着されたウェハーシートを取付けた
供給リングと、この供給リングを積層する形で収納する
エレベータマガジンと、このエレベータマガジンより一
定距離離れて配置されたペレットピックアップ装置と、
このペレットピックアップ装置のＸＹテーブルに取付け
られ、前記ウェハーシートを前記供給リングの内径より
小さな外径を有する円筒部上面により支持して載置する
リングホルダーと、前記エレベータマガジンと前記リン
グホルダーとの中間より前記リングホルダーの上方に往
復動可能で、かつ上下動可能な門形コラムと、この門形
コラムに設けられ、前記供給リングを保持する案内部材
と、前記供給リングの部分を押圧する円環状の押えリン
グと、前記門形コラムに設けられ、この案内部材に保持
された供給リングの上方に前記押えリングを保持する懸
架部材と、前記門形コラムを押し下げ、前記この押えリ
ングにより前記供給リングを前記リングホルダーの円筒
部に沿って押下げせしめる門形コラムの上下駆動手段と
、前記門形コラムに設けられ、前記供給リングを前記押
下げ手段で押下げした後に前記押えリングを前記リング
ホルダーに固結する手段と、前記エレベータマガジンよ
り前記門形コラムに設けられた案内部材に、またその逆
に前記供給リングをチャックして移載させるように往復
動可能に設けられた移載手段とを備えたウェハー供給装
置。