CN113161276A - 一种晶圆贴装供料设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种晶圆贴装供料设备包括基座，所述基座具有首端和尾端；扩膜装置，可升降地连接于所述基座尾端；上压板组件，所述上压板组件设于所述基座上；薄膜载具，所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件；夹取装置，所述夹取装置滑动连接于所述基座上，并在所述首端至尾端的位置来回滑动；本申请中，通过将所述抓取装置与所述扩膜装置和所述上压板组件设置成一体结构，使得所述抓取装置有可以在所述上压板组件与所述扩膜装置之间移动穿梭，且规避了所述上压板组件需要开口放料的问题，保证了扩膜张力的均衡性，同时解决了传统设计中将所述夹取装置外置设计的问题，减少了所述抓取装置占用空间，提高了所述晶圆贴装供料设备的工作效率。

Description

一种晶圆贴装供料设备

技术领域

本发明涉及一种供料设备，尤其是一种晶圆贴装供料设备。

背景技术

现有技术中晶圆贴装自动供料均由外部的夹取放料的模式进行操作，会在晶圆压板上开个缺口供夹料装置进出，当晶圆在扩膜时压板下压与扩膜环相互作用进行扩膜时，缺口处的晶环蓝膜受到的扩膜张力不均衡，影响了扩晶良率，且夹取放料装置均需外置，增大了设备占用空间。

发明内容

为了克服现有技术中的缺点和不足，本申请旨在解决现有技术中心晶圆贴装供料设备结构复杂的问题。

本申请提供了一种晶圆贴装供料设备，包括基座，所述基座具有首端和尾端；扩膜装置，可升降地连接于所述尾端；上压板组件，所述上压板组件设于所述基座上；薄膜载具，所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件；夹取装置，所述夹取装置滑动连接于所述基座上，并在所述首端至尾端的位置来回滑动；当所述夹取装置滑动至所述首端时，所述薄膜载具滑动至与所述扩膜装置正对的位置，所述夹取装置与所述薄膜载具分离，所述上压板组件下降，所述扩膜装置上升至靠近所述薄膜载具的位置进行扩膜工作；当所述扩膜装置下降远离所述薄膜载具时，所述上压板组件上升，所述夹取装置夹取所述薄膜载具，并从所述首端滑动至所述尾端，以将所述薄膜载具送离所述上压板组件。

其中，所述夹取装置包括夹持悬臂、悬臂固定件、夹取机构，所述悬臂固定件沿着所述首端至所述尾端的方向与所述基座滑动连接，所述夹持悬臂安装于所述悬臂固定件上，所述夹取机构安装于所述夹持悬臂上，所述夹取机构用以夹持所述薄膜载具。

其中，所述夹取装置还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述基座上，所述第一驱动机构控制所述夹取装置夹取所述薄膜载具且所述第一驱动机构驱动所述夹取装置沿所述首端至所述尾端的方向移动。

其中，所述上压板组件包括顶板、盖板、多个第一滑轮和一对承载件，所述顶板设于所述基座上，多个所述第一滑轮固定于所述顶板朝向所述基座的一侧，所述盖板安装在所述顶板上，且多个所述第一滑轮与所述盖板转动连接，所述承载件安装在所述盖板朝向所述基座的一侧，所述承载件具有抵持面，所述薄膜载具抵接于所述抵持面上，所述抵持面平行于所述夹取装置的运动方向，所述承载件用于承接所述薄膜载具。

其中，所述上压板组件还包括导向件，所述导向件固定于所述顶板朝向所述基座的一面，所述导向件设于所述顶板靠近所述尾端的一侧，所述导向件与所述承载件设置在同一水平线上。

其中，所述晶圆贴装供料设备还包括升降装置和第二驱动机构，所述升降装置安装在所述基座上，所述第二驱动机构安装于所述基座上，所述第二驱动装置控制所述升降装置带动所述上压板组件上升或下降。

其中，所述扩膜装置包括扩膜器、内环座、外环座、多个第二滑轮和驱动所述内环座升降的传动组件，多个所述第二滑轮固定于所述基座背向所述上压板组件的一面，所述内环座安装在所述基座上，多个所述第二滑轮环设于所述外环座周侧，且多个所述第二滑轮与所述外环座转动连接，所述外环座环套设于所述内环座，所述扩膜器固定于所述内环座朝向所述上压板组件的一端，所述传动组件包括固定在所述外环座上的滚轮以及开设于所述内环座向上倾斜的旋转槽，所述外环座转动带动所述滚轮沿着所述旋转槽运动，以实现所述内环座升降。

其中，所述扩膜装置还包括第三驱动机构，所述第三驱动机构安装在所述基座上，所述第三驱动机构控制所述外环座转动。

其中，所述晶圆贴装供料设备还包括连接装置，所述连接装置的一端固定于所述盖板，所述连接装置的另一端固定于所述扩膜装置，以使得当所述扩膜装置转动时，所述扩膜装置带动所述盖板进行同步转动。

其中，所述晶圆贴装供料设备还包括卡持组件，所述卡持组件设于所述基座上，所述卡持组件用于限制所述内环座转动。

本申请中，通过将所述抓取装置与所述扩膜装置和所述上压板组件设置成一体结构，使得所述抓取装置有可以在所述上压板组件与所述扩膜装置之间移动穿梭，且规避了所述上压板组件需要开口放料的问题，保证了扩膜张力的均衡性，同时解决了传统设计中将所述夹取装置外置设计的问题，减少了所述抓取装置占用空间，提高了所述晶圆贴装供料设备的工作效率。

附图说明

图1为本申请提供的晶圆贴装供料设备结构示意图。

图2为本申请提供的晶圆贴装供料设备结构分解示意图。

图3为本申请提供的晶圆贴装供料设备结构另一种分示意图。

图4为本申请提供的上压板组件结构分解示意图。

图5为图4的局部放大示意图。

图6为本申请提供的晶圆贴装供料另一种分示意图。

图7为本申请提供的扩膜装置结构示意图。

图8为本申请提供的晶圆贴装供料另一种分示意图。

图9为本申请提供的晶圆贴装供料另一种分示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。

请参阅图1至图2，本申请提供了一种晶圆贴装供料设备1包括基座10，所述基座10具有首端11和尾端12；扩膜装置20，可升降地连接于所述尾端12；上压板组件30，所述上压板组件30设于所述基座10上；薄膜载具50，所述薄膜载具50滑动连接于所述上压板组件30；夹取装置40，所述夹取装置40滑动连接于所述基座10上，并在所述首端11至尾端12的位置来回滑动；当所述夹取装置40滑动至所述首端11时，所述薄膜载具50滑动至与所述扩膜装置20正对的位置，所述夹取装置40与所述薄膜载具50分离，所述上压板组件30下降，所述扩膜装置20上升至靠近所述薄膜载具50的位置进行扩膜工作；当所述扩膜装置20下降远离所述薄膜载具50时，所述上压板组件30上升，所述夹取装置40夹取所述薄膜载具50，并从所述首端11滑动至所述尾端12，以将所述薄膜载具50送离所述上压板组件30。

具体的，所述基座10呈矩形块状，所述基座10的尾端12开设有第一收容槽10a，所述第一收容槽10a为圆形，所述扩膜装置20安装于所述第一收容槽10a内，所述扩膜装置20沿着所述收容槽的轴向方向进行可升降运动的扩膜工作，所述上压板组件30也沿着所述第一收容槽10a的轴向方向进行可升降运动，所述薄膜载具50设在所述上压板组件30与所述基座10之间，所述薄膜载具50为蓝膜钢圈，所述夹取装置40可抓取所述薄膜载具50于所述基座10的首端11滑动至所述基座10的尾端12。

当所述夹取装置40从物料仓(未图示)中夹取一个所述薄膜载具50，并沿着所述尾端12朝向所述首端11的方向移动，所述薄膜载具50被所述夹取装置40带动，在所述上压板组件30上沿着与所述夹取装置40相同的移动方向进行移动，此时，所述上压板板组件位于自身可升降的最高点，所述扩膜装置20位于自身可升降的最低点，当所述夹取装置40将所述薄膜载具50夹取至与所述扩膜装置20同轴时，所述夹取装置40松开所述薄膜载具50并继续移动至所述首端11，所述夹取装置40于所述首端11待机，所述上压板组件30固定住所述薄膜载具50，所述上压板组件30开始下降至自身可升降的最低点，所述扩膜装置20开始上升至自身可升降的最高点，所述扩膜装置20对所述薄膜载具50进行扩膜工作；待所述扩膜装置20完成所述扩膜工作后，所述薄膜载具50需要进行更换，所述扩膜装置20从最高点下降至最低点，所述上压板组件30上升至最高点，以避免阻挡所述夹取装置40移动，所述夹取装置40移动至所述薄膜载具50处并将所述薄膜载具50抓取，沿着所述首端11至所述尾端12的方向将已扩膜的薄膜载具50运送至物料仓(未图示)。

本申请中，通过将所述夹取装置40与所述扩膜装置20和所述上压板组件30设置成一体结构，使得所述夹取装置40可以在所述上压板组件30与所述扩膜装置20之间移动穿梭，且规避了所述上压板组件30需要开口放料的问题，保证了扩膜张力的均衡性，同时解决了传统设计中将所述夹取装置40外置设计的问题，减少了所述夹取装置40占用空间，提高了所述晶圆贴装供料设备1的工作效率。

进一步的，请参阅图3，所述夹取装置40包括夹持悬臂41、悬臂固定件42、夹取机构43，所述悬臂固定件42沿着所述首端11至所述尾端12的方向与所述基座10滑动连接，所述夹持悬臂41安装于所述悬臂固定件42上，所述夹取机构43安装于所述夹持悬臂41上，所述夹取机构43用以夹持所述薄膜载具50。

具体的，所述基座10具有侧壁13，所述侧壁13沿着所述首端11至所述尾端12的方向延伸设置，所述侧壁13朝向所述扩膜装置20的一面设有第一滑轨131，所述第一滑轨131沿着所述首端11至所述尾端12的方向延伸，所述第一滑轨131通过螺钉(未图示)固定于所述侧壁13上，所述悬臂固定件42朝向所述第一滑轨131的一面设有与所述第一滑轨131相适配的第一滑槽，使得所述悬臂固定件42可以在所述第一滑轨131上往返移动；所述夹持悬臂41为矩形块状，所述夹持悬臂41沿着垂直于所述侧壁13的方向延伸设置，所述夹持悬臂41靠近所述侧壁13的一端通过螺钉与所述悬臂固定件42固定连接，所述夹持悬臂41远离所述侧壁13的一端装设有夹取机构43，所述夹取机构43通过螺钉与所述悬臂固定件42固定连接，所述夹持悬臂41上设有夹持气缸44，所述夹持气缸44控制所述夹取机构43进行压紧松开的运动，以使得所述夹取机构43可以夹取所述薄膜载具50或者放置所述薄膜载具50。

本实施例中，通过在所述基座10上装设所述夹取装置40，且所述夹取装置40可以沿着所述第一滑轨131往返移动，以实现所述夹取装置40在所述首端11至所述尾端12移动操作，以便于所述夹取装置40可以对所述薄膜载具50的传送工作，使得所述晶圆贴装供料设备1更为一体化，提高工作效率。

进一步的，继续参阅图3，所述晶圆贴装供料设备1还包括第一驱动机构100，所述第一驱动机构100安装于所述基座10上，所述第一驱动机构100控制所述夹取装置40夹取所述薄膜载具50且所述第一驱动机构100驱动所述夹取装置40沿所述首端11至所述尾端12的方向移动。

具体的，所述第一驱动机构100设置在所述首端11的一侧，所述第一驱动机构100包括第一驱动电机110、第一驱动同步带120、第一驱动同步轮130和第一驱动固定座140，所述第一驱动固定座140的一端与所述基座10固定连接，所述第一驱动固定座140的另一端延伸出所述首端11，且用于固定安装所述第一驱动电机110，所述第一驱动电机110通过螺钉固定在所述第一驱动固定座140上，所述第一驱动固定座140半包围所述第一驱动电机110，所述第一驱动电机110延伸出所述首端11，以减少所述第一驱动电机110与所述基座10的接触面积以增大所述第一驱动电机110的散热效率，所述第一驱动电机110朝向所述侧壁13的一面装设有第一驱动同步轮130，所述第一驱动电机110可以带动所述第一驱动同步轮130转动，所述第一驱动同步轮130的周侧缠绕有第一驱动同步带120，所述第一驱动同步带120沿着所述首端11至所述尾端12的方向转动，所述第一驱动同步带120与所述悬臂固定件42相互抵接，所述第一驱动同步带120转动时可带动所述悬臂固定件42移动。

本实施例中，所述第一驱动电机110驱动所述第一驱动同步轮130转动，所述第一驱动同步轮130带动所述第一驱动同步带120转动，所述第一同步带带动所述悬臂固定件42移动，以实现所述第一驱动机构100驱动所述夹取装置40移动；当所述晶圆贴装供料设备1完成扩膜工作后，所述第一驱动机构100驱动所述夹取装置40移动至靠近所述薄膜载具50，所述第一驱动机构100发出电信号控制所述夹取机构43抓取所述薄膜载具50，所述第一驱动机构100继续驱动所述夹取装置40将所述薄膜载具50传送至物料仓。

进一步的，请参阅图4至图5，所述上压板组件30包括顶板31、盖板32、多个第一滑轮33和一对承载件34，所述顶板31设于所述基座10上，多个所述第一滑轮33固定于所述顶板31朝向所述基座10的一侧，所述盖板32安装在所述顶板31上，且多个所述第一滑轮33与所述盖板32转动连接，所述承载件34安装在所述盖板32朝向所述基座10的一侧，所述承载件34具有抵持面34c，所述薄膜载具50抵接于所述抵持面34c上，所述抵持面34c平行于所述夹取装置40的运动方向，所述承载件34用于承接所述薄膜载具50。

具体的，所述上压板组件30设置为垂直于所述扩膜装置20的升降方向，所述顶板31呈矩形块状，所述顶板31设置在所述尾端12正投影的方向上，所述顶板31开设有第二收容槽30a，所述第二收容槽30a为圆形，所述第二收容槽30a与所述第一收容槽10a为同轴设置，所述盖板32呈环状凸台结构，所述盖板32背离所述基座10的一端收容于所述第二收容槽30a内，所述盖板32的另一端设有第一环轨32a，所述第一环轨32a的轴截面呈V型结构，多个所述第一滑轮33安装在所述顶板31朝向所述基座10的一侧，多个所述第一滑轮33沿着所述盖板32的周侧圆周排布，且多个所述第一滑轮33与所述第一环轨32a滑动连接，使得多个所述第一滑轮33将所述盖板32固定的同时还可以让所述盖板32进行旋转运动。

可以理解的，请参阅图5，一对所述承载件34相对设置在所述盖板32的两侧，所述承载件34与所述第一环轨32a固定连接，且所述承载件34沿着所述夹取装置40移动的方向延伸设置，所述承载件34呈L型结构，所述承载件34还具有承载主体部34a和承载延伸部34b，所述抵持面34c位于所述承载主体部34a朝向所述薄膜载具50的轴心的一面，所述承载延伸部34b与所述承载主体部34a相互垂直，所述承载延伸部34b朝所述薄膜载具50的轴心方向延伸设置，所述承载延伸部34b用于放置所述薄膜载具50，以使得所述承载件34可以承接所述薄膜载具50；所述承载主体部34a上设有第一限位件36和第二限位件37，所述第一限位件36为挡块，所述第一限位件36固定在所述承载件34靠近所述首端11的一侧，所述第二限位件37为弹片滚轮251，所述薄膜载具50可以从所述尾端12的一侧滑动进入所述承载件34内，所述第二限位件37固定在所述承载件34靠近所述尾端12的一侧，所述第一限位件36和所述第二限位件37用于阻挡所述薄膜载具50脱离所述承载件34。

本实施例中，当所述夹取装置40抓取所述薄膜载具50从所述尾端12移动至所述第二限位件37，所述夹取装置40将带动所述薄膜载具50滑入所述第二限位件37，当所述夹取装置40将所述薄膜载具50带动至所述第一限位件36后，所述第一限位件36将限制所述薄膜载具50继续移动，所述夹取装置40松开所述模板载具并移动至所述首端11等候。通过在所述盖板32朝向所述基座10的一侧装设一对所述承载件34，使得所述薄膜载具50得以支撑，又通过在所述承载件34内分别设置所述第一限位件36和所述第二限位件37，以防止所述薄膜载具50脱离所述承载件34。

一实施例中，请参阅图3，所述上压板组件30还包括第二盖板38和转接板39，所述第二盖板38为圆环状，所述第二盖板38与所述盖板32固定连接，所述盖板32背向所述基座10的一面开设有盖板32定位槽，所述第二盖板38背向所述基座10的一面开设有盖板32安装槽，所述转接板39的一端卡接于所述盖板32定位槽内，所述转接板39的另一端通过螺钉固定在所述盖板32安装槽内，以使得所述第二盖板38可以平稳的固定在所述盖板32内，所述盖板32为12寸钢圈板，所述第二盖板38为8寸钢圈板，当需要更换时，先将所述第二盖板38放置所述盖板32内侧，再通过所述转接板39将所述盖板32与所述第二盖板38固定连接。当然所述第二盖板38朝向所述基座10的一侧均安装设有对应尺寸的承载件34，在此不再一一赘述。

本实施例中，通过在所述盖板32内侧增设可以更换型的第二盖板38，使得可以兼容8/12寸规格晶圆的生产，生产人员可以根据实际需求灵活变更，提高工作效率。

进一步的，请参阅图6，所述上压板组件30还包括一对导向件35，一对所述导向件35固定于所述顶板31朝向所述基座10的一面，所述导向件35设于所述顶板31靠近所述尾端12的一侧，所述导向件35与所述承载件34设置在同一水平线上。

具体的，所述导向件35呈L型结构，所述导向件35与所述承载件34结构相似，所述导向件35具有导向主体部35a和导向延伸部35b，所述导向主体部35a与所述导向延伸部35b相互垂直，所述导向延伸部35b与所述承载延伸部34b的延伸方向一致，所述导向主体部35a固定在所述顶板31朝向所述基座10的一面，所述导向件35从所述顶板31靠近所述尾端12的一侧朝所述首端11的方向延伸设置至所述承载件34。

本实施例中，通过在所述顶板31靠近所述尾端12的一侧装设所述导向件35，使得当所述夹取装置40从物料仓取出所述薄膜载具50时，可以实现定向移动且防止所述薄膜载具50在移动时发生位置偏移。

进一步的，请参阅图3，所述晶圆贴装供料设备1还包括升降装置60和第二驱动机构200，所述升降装置60安装在所述基座10上，所述第二驱动机构200安装于所述基座10上，所述第二驱动机构控制所述升降装置60带动所述上压板组件30上升或下降。

具体的，所述升降装置60设置所述顶板31的边角上，所述升降装置60有四个，所述升降装置60将所述基座10和所述上压板组件30固定连接，所述升降装置60包括升降杆61和转动环62，所述升降杆61的一端与所述顶板31固定连接，所述升降杆61的另一端与所述基座10固定连接且延伸至所述基座10背向所述上压板组件30的一侧，所述转动环62环套设于所述升降杆61的周侧，所述转动环62转动可以带动所述升降杆61上升或下降；所述第二驱动机构200设置在所述首端11远离所述侧壁13的一侧，所述第二驱动机构200与所述升降装置60转动连接，所述第二驱动机构200包括第二驱动电机210和第二驱动固定座220，所述第二驱动固定座220安装在所述首端11远离所述侧壁13的一侧，所述第二驱动电机210固定于所述第二驱动固定座220内，所述第二驱动电机210与所述转动环62转动连接；所述升降杆61远离所述上压板组件30的一端还装设有第二驱动同步轮230和第二驱动同步带240，所述第二驱动同步轮230和所述第二驱动同步带240设置在所述基座10背向所述上压板组件30的一侧，所述第二驱动同步轮230环套设于所述升降杆61的周侧，所述第二驱动同步带240缠绕在所述第二驱动同步轮230上，所述第二驱动电机210驱动所述旋转环转动，所述旋转环转动带动所述升降杆61转动，所述升降杆61转动带动所述第二驱动同步轮230转动，所述第二驱动同步轮230带动所述第二驱动同步带240滑动，进而驱动剩余三个所述升降装置60转动，所述升降杆61带动所述上压板组件30朝远离所述基座10的方向升起。

当所述晶圆贴装供料设备1需要更换所述薄膜载具50时，所述第二驱动机构200控制所述升降装置60驱动所述上压板组件30升起，所述夹取装置40夹取所述薄膜载具50并传送至所述尾端12；当所述夹取装置40夹取所述薄膜载具50放置所述承载件34后，所述第二驱动机构200控制所述升降装置60驱动所述上压板组件30下降进行扩膜作业。

本实施例中，在所述顶板31的边角区域装设有升降装置60，使得所述上压板组件30可以稳固地安装在所述基座10上，又通过所述第二驱动机构200控制所述升降装置60运动进而带动所述上压板组件30运动，使得所述晶圆贴装供料设备1结构紧凑，一体化程度高，提高生产效率。

进一步的，请参阅图6和图7，所述扩膜装置20包括扩膜器21、内环座22、外环座23、多个第二滑轮24和驱动所述内环座22升降的传动组件25，多个所述第二滑轮24固定于所述基座10背向所述上压板组件30的一面，所述内环座22安装在所述基座10上，多个所述第二滑轮24环设于所述外环座23周侧，且多个所述第二滑轮24与所述外环座23转动连接，所述外环座23环套设于所述内环座22，所述扩膜器21固定于所述内环座22朝向所述上压板组件30的一端，所述传动组件25包括固定在所述外环座23上的滚轮251以及开设于所述内环座22向上倾斜的旋转槽252，所述外环座23转动带动所述滚轮251沿着所述旋转槽252运动，以实现所述内环座22升降运动。

具体的，所述外环座23呈环状凸台结构，所述外环座23的朝向所述上压板组件30的一端收容于第一收容槽10a内，所述外环座23背离所述上压板组件30的一端设有第二环轨23a，所述第二环轨23a轴截面呈V型结构，多个所述第二滑轮24安装在所述基座10背向所述上压板组件30的一侧，多个所述第二滑轮24沿着所述外环座23的周侧圆周排布，且多个所述第二滑轮24与所述第二环轨23a滑动连接，使得多个所述第二滑轮24将所述外环座23支撑的同时还可以与所述外环座23进行旋转运动；所述外环座23具有内壁23c，所述内壁23c上设有与所述滚轮251适配的滚轮定位孔23b，所述滚轮251固定于所述滚轮定位孔23b中，所述滚轮251的数量为三个且均匀装设在所述内壁23c上，所述旋转槽252靠近所述扩膜器21的一侧还设有滚轮卡槽252，所述滚轮卡槽252为水平轨道，所述滚轮卡槽252用于收容所述滚轮251；所述扩膜装置20还包括滚轮挡板221，所述内环座22背向所述上压板组件30的一面开设有挡板固定槽(未图示)，所述滚轮挡板221安装在所述挡板固定槽内，且所述滚轮挡板221与所述内环座22弹性连接，所述滚轮挡板221与所述内环座22形成滚轮收容槽221a，所述滚轮收容槽221a为半圆弧状，所述滚轮251收容槽221a尺寸与所述滚轮251尺寸相适配，所述滚轮收容槽221a与所述旋转槽252形成衔接部221b，所述衔接部221b为矩形槽状，所述衔接部221b与所述内环座22具有小于所述滚轮251直径尺寸的间距，当所述滚轮251滑动至所述衔接部221b时，由于所述滚轮挡板221与所述内环座22弹性连接，所述滚轮251将所述滚轮挡板221撑起，即所述滚轮挡板221朝背向所述内环座22的一侧撑开，接着所述滚轮251继续滑动至所述滚轮收容槽221a内，所述滚轮挡板221将朝所述内环座22的一面收缩，使得所述滚轮251固定在所述滚轮收容槽221a内，即实现所述内环座22与所述外环座23一体同步性，所述滚轮251将所述外环座23和所述内环座22滑动连接，所述扩膜器21呈环状凸台结构，所述扩膜器21与所述内环座22朝向所述上压板组件30的一端磁性连接，且所述扩膜器21靠近所述内环座22的一端通过销钉固定在所述内环座22上，使得所述扩膜器21随着所述内环座22的转动而转动，同时以便于所述扩膜器21从所述内环座22拆装，结构简单稳定，当然在其他实施例中所述扩膜器21还可以通过粘接、螺接等方式固定在所述内环座22上。

本实施例中，通过在所述外环座23上安装所述滚轮251，所述内环座22上开设所述旋转槽252，使得所述内环座22与所述外环座23滑动连接，通过所述滚轮251可以在所述旋转槽252上滑动，进而带动所述内环座22相对于所述外环座23进行升降运动，以满足所述夹取装置40在所述上压板组件30与所述基座10之间通过的前提下，仍保持足够的扩膜升降高度，以满足晶圆的扩膜性能。

进一步的，请参阅图8至图9，所述晶圆贴装供料设备1还包括卡持组件90，所述卡持组件90设于所述基座10上，所述卡持组件90用于限制所述内环座22转动。

所述卡持组件90包括卡持气缸91和压杆92，所述卡持气缸91固定在所述首端11靠近所述扩膜装置20的一侧，所述卡持气缸91呈矩形块状，所述压杆92固定在所述卡持气缸91朝向所述扩膜装置20的一端，所述压杆92呈凸字型结构，所述内环座22朝向所述首端11的一侧开设有第二定位槽22b，所述第二定位槽22b上安装一对嵌块93，所述嵌块93为矩形块状，一对所述嵌块93间隔安装在所述第二定位槽22b中，所述压杆92插入一对所述嵌块93的间隙中，当所述第三驱动机构300驱动所述外环座23旋转至预设角度后，所述卡持气缸91推动所述压杆92将插入所述嵌块93中，以阻止所述内环座22继续旋转。

进一步的，所述晶圆贴装供料设备1还包括第三驱动机构300，所述第三驱动机构300安装在所述基座10上，所述第三驱动机构300控制所述外环座23转动。

具体的，请参阅图2和图6，所述第三驱动机构300设置在所述尾端12远离所述侧壁13的一侧，所述第三驱动机构300包括第三驱动电机310、第三驱动同步带320、第三驱动同步轮330、第三驱动旋转轴340、外环座同步轮350和外环座同步带360，所述第三驱动旋转轴340朝向所述上压板组件30的一端与所述第三驱动电机310通过所述第三驱动同步带320缠绕连接，所述第三驱动旋转轴340背向所述上压板的一端与所述外环座同步轮350通过所述外环座同步带360缠绕连接，所述第三驱动电机310控制所述第三驱动同步轮330转动，所述第三驱动同步轮330带动所述第三驱动旋转轴340转动，所述第三驱动旋转轴340转动带动所述外环座同步轮350转动；所述外环座同步轮350固定在所述外环座23背向所述上压板组件30的一侧，通过螺钉安装在所述第二环轨23a背向所述内环座22的一面，以实现所述外环座同步轮350转动带动所述外环座23转动。

当所述晶圆贴装供料设备1需要更换所述薄膜载具50时，所述卡持气缸91推动所述压杆92将插入所述嵌块93中，以阻止所述内环座22继续旋转，所述滚轮251位于所述滚轮收容槽221a内，所述第三驱动电机310控制所述外环座同步轮350转动，所述外环座同步轮350带动所述外环座23转动，所述外环座23转动使得所述滚轮251从所述滚轮收容槽221a旋转移动至所述滚轮卡槽252a内，所述外环座23相对于所述基座10是固定不动的，即所述内环座22沿着所述旋转槽252下降，同时所述压杆92沿着所述嵌块93的间隙下落，进而带动所述扩膜器21下降，以便于所述夹取装置40夹取所述薄膜载具50并且从所述首端11移动至所述尾端12。

本实施例，通过第三驱动机构300控制所述外环座23旋转，通过带动所述内环座22通过所述滚轮251与所述内环座22配合沿着所述旋转槽252升降，以实现所述扩膜装置20在所述基座10上高效便捷的升降运动，从而满足夹取装置40能在所述上压板组件30和所述扩膜装置20的间距中穿梭的情况下，仍保持足够的扩膜升降高度，以确保晶圆的扩膜性能，提高了所述晶圆加工的稳定性。

进一步的，请参阅图2，所述晶圆贴装供料设备1还包括编码器70，所述编码器70安装在所述尾端12靠近所述侧壁13的一端，所述编码器70背向所述上压板组件30的一端安装有编码器同步轮(未图示)，所述编码器同步轮与所述外环座同步带360滑动连接，所述编码器70可以读取所述第三驱动同步轮330转动角度，即所述编码器70可以反馈所述第三驱动同步轮330每次转动的角度，进而工作人员通过所述编码器70的反馈再结合实际需求即可对薄膜载具50的角度进行调整或更改。

进一步的，请参阅图8，所述晶圆贴装供料设备1还包括连接装置80，所述连接装置80的一端固定于所述盖板32，所述连接装置80的另一端固定于所述扩膜装置20，以使得当所述扩膜装置20转动时，所述扩膜装置20带动所述盖板32进行同步转动。

具体的，所述连接装置80包括连接杆81、连接轴承82、定位座83，所述连接杆81的一端固定在所述顶板31上，所述内环座22朝向所述扩膜器21的一端开设有第一定位槽22a，所述定位座83通过螺钉固定在所述第一定位槽22a内，所述连接轴承82安装于所述定位座83中，所述连接轴承82套设于所述连接杆81的另一端，所述连接杆81与所述连接轴承82间隙配合，以便于所述连接杆81在所述连接轴承82内升降；当所述第三驱动机构300驱动所述扩膜装置20转动时，所述扩膜装置20可带动所述盖板32在所述第二收容槽30a旋转，以实现所述扩膜装置20与所述盖板32同步转动。

进一步的，请参阅图1，所述晶圆贴装供料设备1还包括移动装置400，所述移动装置400包括第一移动器410和第二移动器420，所述第一移动器410朝第一方向X运动，所述第二移动器420朝第二方向Y运动，所述第一方向X与所述第二方向Y相互垂直，所述第二方向Y为所述首端至所述尾端的方向，所述第一移动器410设置在所述首端背向所述上压板组件的一面，所述基座朝向所述第一移动器410的一端设有第一滑块(未图示)，所述第一移动器410朝向所述基座的一端设有第一滑轨(未图示)，所述第一滑块与所述第一滑轨滑动连接，以实现所述基座可以在所述一方向上移动，所述第二移动器420设置在所述第一移动器410背向所述基座的一侧，所述第一移动器410朝向所述第二移动器420的一端设有第二滑块，所述第二移动器420朝向所述第一移动器410的一端设有第二滑轨，所述第二滑块与所述第二滑轨滑动连接，以实现所述第一移动器410可以在所述第二移动器420上移动，进而带动所述基座在所述第二方向Y上移动。

本申请中，请一并参阅图6和图9，当所述晶圆贴装供料设备1开始工作时，所述夹取装置40从物料仓中夹取所述薄膜载具50，所述物料仓位于靠近所述尾端12的一侧，所述第一驱动机构100控制所述夹取装置40夹紧所述薄膜载具50从所述尾端12朝向所述首端11的方向移动，所述薄膜载具50随着所述导向件35延伸的方向移动至所述承载件34内，所述第一限位件36和所述第二限位件37将所述薄膜载具50固定在所述承载件34中，所述夹取装置40松开所述薄膜载具50并继续移动至所述首端11待机等候；此时，所述上压板组件30处于自身可上升的最高点，所述扩膜装置20处于自身可下降的最低点，所述压杆92一直卡接在所述嵌块93的间隙中，所述上压板组件30与所述扩膜装置20之间的间距可以满足所述夹取装置40移动；当所述薄膜载具50固定在所述上压板组件30后，所述第三驱动机构300控制所述外环座23转动，所述外环座23转动带动所述内环座22上升，此时，所述滚轮251处于所述滚轮卡槽252a中，随着所述外环座23的转动，所述滚轮251从所述滚轮卡槽252a沿着所述旋转槽252进行滑动下降，所述滚轮251将滑动下降至所述滚轮挡板221中的滚轮收容槽221a内，即所述内环座22朝所述上压板组件30的方向升起，所述扩膜器21随着所述内环座22同步升起，然后所述第二驱动机构200控制所述升降装置60朝向所述基座10的方向下降至自身可下降的最低点处，即所述扩膜器21将所述薄膜载具50中间区域朝向所述上压板组件30的方向顶起，以达到薄膜载具50中的蓝膜绷紧的目的，当所述扩膜器21完成扩膜工作后，所述压杆92收缩回所述卡持气缸91中，即所述卡持组件90停止抵接所述内环座22，由于所述连接杆81与所述连接轴承82连接，所述内环座22转动带动所述盖板32转动，工作人员可以通过所述编码器70的反馈调整所述晶圆的转动角度，最后再进行下一步工序。

本申请中，通过将所述夹取装置40与所述扩膜装置20和所述上压板组件30设置成一体结构，所述上压板组件30可以上升且所述扩膜装置20下降，使得所述夹取装置40有可以在所述上压板组件30与所述扩膜装置20之间移动穿梭，且规避了所述上压板组件30需要开口放料的问题，保证了扩膜张力的均衡性，同时解决了传统设计中将所述夹取装置40外置设计的问题，减少了所述夹取装置40占用空间，提高了所述晶圆贴装供料设备1的工作效率。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易的想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种晶圆贴装供料设备，包括：

基座，所述基座具有首端和尾端；

扩膜装置，可升降地连接于所述尾端；

上压板组件，所述上压板组件设于所述基座上；

薄膜载具，所述薄膜载具滑动连接于所述上压板组件；

夹取装置，所述夹取装置滑动连接于所述基座上，并在所述首端至尾端的位置来回滑动；

当所述夹取装置滑动至所述首端时，所述薄膜载具滑动至与所述扩膜装置正对的位置，所述夹取装置与所述薄膜载具分离，所述上压板组件下降，所述扩膜装置上升至靠近所述薄膜载具的位置进行扩膜工作；

当所述扩膜装置下降远离所述薄膜载具时，所述上压板组件上升，所述夹取装置夹取所述薄膜载具，并从所述首端滑动至所述尾端，以将所述薄膜载具送离所述上压板组件。

2.根据权利要求1所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述夹取装置包括夹持悬臂、悬臂固定件、夹取机构，所述悬臂固定件沿着所述首端至所述尾端的方向与所述基座滑动连接，所述夹持悬臂安装于所述悬臂固定件上，所述夹取机构安装于所述夹持悬臂上，所述夹取机构用以夹持所述薄膜载具。

3.根据权利要求2所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述晶圆贴装供料设备还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述基座上，所述第一驱动机构控制所述夹取装置夹取所述薄膜载具且所述第一驱动机构驱动所述夹取装置沿所述首端至所述尾端的方向移动。

4.根据权利要求1所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述上压板组件包括顶板、盖板、多个第一滑轮和一对承载件，所述顶板设于所述基座上，多个所述第一滑轮固定于所述顶板朝向所述基座的一侧，所述盖板安装在所述顶板上，且多个所述第一滑轮与所述盖板转动连接，所述承载件安装在所述盖板朝向所述基座的一侧，所述承载件具有抵持面，所述薄膜载具抵接于所述抵持面上，所述抵持面平行于所述夹取装置的运动方向，所述承载件用于承接所述薄膜载具。

5.根据权利要求4所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述上压板组件还包括导向件，所述导向件固定于所述顶板朝向所述基座的一面，所述导向件设于所述顶板靠近所述尾端的一侧，所述导向件与所述承载件设置在同一水平线上。

6.根据权利要求1所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述晶圆贴装供料设备还包括升降装置和第二驱动机构，所述升降装置安装在所述基座上，所述第二驱动机构安装于所述基座上，所述第二驱动装置控制所述升降装置带动所述上压板组件上升或下降。

7.根据权利要求1所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述扩膜装置包括扩膜器、内环座、外环座、多个第二滑轮和驱动所述内环座升降的传动组件，多个所述第二滑轮固定于所述基座背向所述上压板组件的一面，所述内环座安装在所述基座上，多个所述第二滑轮环设于所述外环座周侧，且多个所述第二滑轮与所述外环座转动连接，所述外环座环套设于所述内环座，所述扩膜器固定于所述内环座朝向所述上压板组件的一端，所述传动组件包括固定在所述外环座上的滚轮以及开设于所述内环座向上倾斜的旋转槽，所述外环座转动带动所述滚轮沿着所述旋转槽运动，以实现所述内环座升降。

8.根据权利要求7所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述晶圆贴装供料设备还包括第三驱动机构，所述第三驱动机构安装在所述基座上，所述第三驱动机构控制所述外环座转动。

9.根据权利要求1-8任一项所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述晶圆贴装供料设备还包括连接装置，所述连接装置的一端固定于所述盖板，所述连接装置的另一端固定于所述扩膜装置，以使得当所述扩膜装置转动时，所述扩膜装置带动所述盖板进行同步转动。

10.根据权利要求1-9任一项所述晶圆贴装供料设备，其特征在于，所述晶圆贴装供料设备还包括卡持组件，所述卡持组件设于所述基座上，所述卡持组件用于限制所述内环座转动。

Images