JPH01173171A - 位置補正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は製造工程等の生産技術分野において、製品の製
造を行なう製造機器や製品、半製品、各種部品等の検査
９分類１位置決めを行なう検査装置に用いる位置決めを
高精度に行なう位置補正方法に関するものである。

、　　従来の技術 近年エレクトロニクス技術の発達によシ製造工程の自動
化が進んでおシ、その鍵となる位置決め装置にもよシ高
精度・高信頼性が求められている。

以下図面を参照しながら、従来の位置決め装置の位置補
正方法の一例について説明する。第６図は従来の位置補
正方法の概念図であシ、１は検出部、１６は位置決めテ
ーブル、６は位置決め穴である。さて従来位置決め装置
の位置補正の方法は、位置決め穴等の位置決め基準とな
る２点の位置を検出部によシ検出し、位置決めテーブル
の位置決め位置との誤差を演算し２点間の位置を補間し
て位置補正°を行っていた。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記のような従来方法では、位置決め穴
を結んだ軸に直角な軸方向に対する位置決め誤差の補正
しか行なえなかったり、位置決め穴２点間の細かい位置
決め誤差の補正を行なえず高精度な位置決めを行なえな
いという問題点を有していた。

本発明は上記問題点に鑑み、位置決め装置における高精
度な位置補正方法を実現し、高精度な位置決め装置を可
能にするものである。

問題点を解決するだめの手段 上記問題点を解決するために本発明の位置補正方法は、
位置決め穴あるいは位置決め基準面に対して正しい位置
に描かれた図形（以下アートワークと称す）を有する基
板の画像を部分的に検出する検出工程と、検出工程で検
出した画像からアートワークを認識する認識工程と、認
識工程で得たアートワークの位置と予め位置決め穴ある
いは位置決め基準面から正しく求められているアートワ
ークの位置を比較演算しその差を位置決めの補正値とし
て記憶する演算工程を有し、さらに位置決め装置の位置
決め範囲に対して部分的に狭い視野ごとにアートワーク
を認識し全体の位置補正値を各部ととに細かく求め位置
補正を行なうものである。

作　　用 本発明は上記した構成によシ、あらかじめ、位置決め穴
あるいは位置決め基準面に対して正しい位置に描かれた
アートワークを有する基板を用意しておき、そのアート
ワークを位置決め装置の位置決め範囲に比べ狭い視野で
部分的に検出・認識・演算し位置補正値を求め、この検
出位置を順次移動し各部について行うことで、従来に比
べ、位置決め装置の位置補正を各位置ごとに高精度に行
なうことが可能となシ、位置決めの高精度化が行なえる
とともに、複数の位置決め装置の座標系の統一が可能と
なシ、複数の位置決め装置間の位置決めデータの共通化
を高精度に行なえ、製造工程検査工程の省人化・自動化
が促進される。

実施例 以下、本発明の一実施例の位置補正方法について、図面
を参照しながら説明する。第１図、第４図は本発明の一
実施例における構成図を示すものである。また第２図、
第６図はこの構成におけるアートワークを有する基板（
以下、テンプレートという）の概念図を示すものである
。また第３図は本発明の一実施例における動作の流れ図
を示すものである。

第１図において、１は検出部、２は認識部、３は演算部
、４は位置補正値記憶部、５は位置決め穴、６はテンプ
レートである。第２図において、６は位置決め穴、６は
テンプレート、７はアートワークである。第３図におい
て、８は移動工程、９は検出工程、１ｏは認識工程、１
１は演算工程、１２は判断工程である。第４図において
、１は検出部、２は認識部、３は演算部、４は位置補正
値記憶部、１３は画像記憶部、１４は位置決めテーブル
制御部、１６は位置決めテーブルである。第６図におい
て、６はテンプレート、７はアートワーク、１６は位置
決め基準面である。

なお、テンプレート６は位置決めテーブルに設置され、
位置決め穴６に位置決めテープ〃の位置決めピンが設定
されることによって位置決めテーブルに正しく設置され
る。テンプレート６は位置決めテーブルの移動によシ移
・動し、テンプレート６の上部に設置されている検査部
１によシテンプレート６の狭い部分が検出される。第２
図に示すテンプレート６は、位置決めテープ〃に正しく
位置決め設置されるための位置決め穴を２つ以上有して
おシ、テンプレート上には位置決め穴の中心とそれらを
結んだ軸を基準軸とする系に対し正確に高精度に位置が
分っているアートワーク７が描かれている。ここで、テ
ンプレート６を位置決めテーブルに設置してから第３図
に示すように位置補正処理を行なう。

まず移動工程８にて最初に位置補正を行なう位置へ検出
部１が移動するようにテンプレート６あるいは検出部１
を移動し、検出工程９にてテンプレート６上の一部分の
狭い視野の画像を検出する。

認識工程１ｏにて検出工程９で検出したテンプレート上
の画像のアートワーク７を認識し、その視野位置におけ
るアートワークの位置を測定する。

演算工程１１にて、認識工程１０で得たその視野位置に
おけるアートワーク位置と既に分っているその視野位置
におけるアートワークの正しい位置とを比較・演算し、
その演算によシ正しいアートワーク位置からのズレを位
置決め装置のその視野位置での位置補正値として記憶す
る。判断工程１２にて、位置決め装置の位置決め範囲内
の全ての部分について位置補正のだめの検出工程中認識
工程・演算工程を終了したかを判断し、終了していない
ならば次の演出位置へ視野の位置を移動し範囲の全ての
部分について終了するまで上記工程を繰シ返す。上記の
工程によって求まった位置補正値を位置決めを行う時に
位置決め位置に対応した補正値を位置決めデータに対し
て補正を行い位置決めを行なう。

以上によシ、位置決め装置の各軸の非直線ズレや各軸の
直交ズレを一括して高精度に補正でき、高精度で共通の
座標系を有する位置決め装置を実現できる。

発明の効果 以上のように本発明によれば、位置決め穴あるいは位置
決め基準面に対して正しい位置に描かれたアートワーク
を有したテンプレートと、アートワークを狭い視野で部
分的に画像を検出する工程と、検出した画像からアート
ワークの位置を認識する工程と、認識によシ得た視野内
のアートワーク位置と予め高精度に知られているアート
ワークの位置とを比較・演算し認識したアートワークの
位置のズレを演算する工程と、上記工程を位置決め装置
の位置決め範囲全体に対し狭い視野で部分的に行なうこ
とによる位置補正によシ、高精度で座標系に高い共通性
を有する位置決め装置を実現し、生産技術分野における
製品等の検査・分類等における位置決めの精度の向上、
信頼性の向上を行ない、ひいては、製造工程における自
動化を容易にする事ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例における位置補正装置の
！ロック図、第２図はテンブレーＦの平面図、第３図は
位置補正方法のフローチャート図、第４図は第２の実施
例における位置補正装置のブロック図、第６図は第２実
施例のテンプレートの平面図、第６図は従来の位置補正
装置のブロック図である。 １・・・・・・検出部、２・・・・・・認識部、３・・
・・・・演算部、４・・・・・・位置補正値記憶部、６
・・・・・・位置決め穴、６・・・・・・テンプレート
、７・・・・・・アートワーク、８・・・・・・移動工
程、９・・・・・・検出工程、１ｏ・・・・・・認識工
程、１１・・・・・・演算工程、１２・・・・・・判断
工程、１３・・・・・嗜画像記憶部、１４・・・・・・
位置決めテーブル制御部、１５・・・・・・位置決めテ
ーブル、１６・・・・・・位置決め基準面。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 ８−−一鋒萱っ１戊 ９−・−孜妃工社 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 位置決め穴あるいは位置決め基準面に対して正しい位置
   に描かれた図形を有する基板の画像を部分的に検出する
   検出工程と、検出工程で検出した画像から前記図形を認
   識する認識工程と、認識工程で得た前記図形の位置と予
   め位置決め穴あるいは位置決め基準面に対して正しく求
   められている前記図形の位置とを比較演算を行いその差
   を位置決め補正値として記憶する演算工程を有し、位置
   決め装置の位置決め範囲全体に対して部分的に狭い視野
   ごとに前記図形を認識し全体の位置補正値を求め位置補
   正を行うことを特徴とする位置補正方法。