JPH01165793A - プリント配線基板用のめっき処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、プリント配線基板におけるスルーホール等に
め９き居を形成するするためのめっき処理装置に関し、
特にプリン（〜配置ｉａ、基板のスルーポールめっき前
処理や無電解めっきを均一に行いつるようにするための
プリント配線基板用のめっき処理装置に関するもの′Ｃ
ある。

（従来の技術） −・般に、プリント配線基板にあ−）ては、例えばその
表裏両面に形成した各導体回路を、互いに導通させるた
めにスルーホールか形成される。このようなプリント配
線基板に導通用のスルーホールを形成するには、パンチ
ンクやトリルで基板に孔をあけたのち、この基板をめっ
き前処理層及びめっき層に浸漬して、孔の内壁にめっき
を施している。第１Ｏ図はその代表的な例を示している
。

第１０図には、めっき処理槽（２１）中において基板（
１９）をその上端にて支持し、この状態で基板（＋９）
をスルーホール（２０）の穴明は方向に揺動している状
態か示しである。この基板（１９）自体の揺動により、
スルーホール（２０）内に液流を得ようとするものであ
るか、基板（１９）はその上端にて支持された状態で揺
動されるのであるから、第１０図中の矢印にて示した如
く、この基板（１９）にあってはその処理槽（２１）の
底に近い個所か液面に近い所に比べＣ小さく揺動される
という揺動差か生じることになる。このため、基板（１
９）に設けたスルーホール（２０）の位置によってその
中に生じる液流に差が生じ、スルーホール（２０）に対
するめっき厚さか場所によって異って均一なめっきか行
なわれないといつだ現象かある。

従来ではこのような扛動法が一般的であり、従来の一般
的に容易に処理出来る、孔長の孔径に対する比であるア
スペクト比の小さい基板（］９）においてはＩＦｉ１題
は少なかった。

（従来技術の問題点） ところが、近年のプリント配線基板Ｃ！９）に対してそ
の高密度化・高多層化への要求が次第に強まる中で、板
厚の増加やスルーホール（２０）の小径化がいりそう進
み、基板（１９）においてもアスペクト比が大きくなっ
てきている。そのため、めっき処理などの各種液体処理
工程において　基板（１９）全体を液体中に挿入しても
、スルーホール（２０）内に気泡か残って孔の内壁に液
が浸漬しないことかあったり、スルーホール（２０）内
ての処理液の循環が悪いために孔の内壁が均一に処理さ
れず、プリント配線基板（１９）の製ｗ不良となる問題
点か生じる。

そこ゛Ｃ１本発明は、Ｆ述の点に鑑み、高密度・高多層
化された多層板の小径スルーホール（２０）の孔内壁を
均一にめっき処理するようにし、かかるプリント配線基
板（１９）の製造不良を防止することのできるプリント
配線基板用のめっき処理装置を提供することを目的とす
るものである。

ｃ問題点を解決するための手段） かかる問題点を解決するために、本発明がとった手段は
、 「プリント配線ノ＾板（１９）をめっき処理槽（２１）
内に浸漬して、このプリント配線基板（１９）にスルー
ホールめっき７のめっき処理を施すためのめっき処理装
置において、 めっき処理槽Ｃ２１）内のめっき液を攪拌する多数の撹
拌用フィン（２）を表面側に４１し、かつ回転駆動され
る複数のドリブンベルト（１）を、その間にプリント配
線基板（１９）が入り得る空間を隔°Ｃた状態てめっき
処理槽（２１）内に配置するとともに、 各ドリブンベルト（１）間に配置した一つのプリント配
線基板（１９）に対して各ドリブンベルト（１）に設け
た攪拌用フィン（２）の攪拌方向か逆向きとなるように
ドリブンベルト（１）を回転駆動するようにし″たこと
を特徴とするプリント配線基＆（１９）用のめっき処理
装置。」である。

すなわち、本発明に係るめっき処理装置は、スルーホー
ル（２０）を看するプリント配線基板（１９〕を処理す
る際、処理槽（２１）内でプリント配線基板（１９）を
はさんで逆位相に作用する攪拌用フィン（２）を作動さ
せるようにして成るものである。

（発明の作用） すなわち、本発明に係るめっき処理装置にあっては、処
ｆ１１！ｙ（２１）内に浸漬され°Ｃ液体処理中のプリ
ント配線基板（１９）に対して、その内板面間の圧力差
か板面全体に均一とするものであり、これにより、スル
ーホール（２０）内のめっき液循環を円滑かつ均等に行
うようにしたものである。

（実施例） 以ｒ図面を参照１／て本発明の詳細な説明する。

第１図は本装置の下面図である。また、第２図は第１図
の入方向から見た図で、槽壁（９）を透視しである。第
３図は第１図のＢ方向から見た図である。第４図は第２
図の枝線Ｃの部分拡大図である。第５図は、被処理物で
あるプリント配ｍ基板（１９）が基板搬送用ラウク（１
０）を介して本装置において処理されている状態を第１
図のＡ方向から見た図で槽壁（９）及びドリブンベルト
（＋）や支持ローラー（３）を透視しである。

このめっき処理装置にあっては、まずめっき処理槽（２
１）内のめっき液を攪拌する多数の攪拌用フィン（２）
を表面側に有し、かつ回転駆動される複数のドリブンベ
ルト（＋）を、その間にプリント配線基板（１９）が入
り得る空間を隔てた状態てめつき処理槽（２１）内に配
置しである。これとともに、各ドリブンベルト（１）間
に配置した一つのプリント配線基板（ｔｑ）に対して各
ドリブンベルト（１）に設けた攪拌用フィン（２）の攪
拌方向が逆向きとなるようにドリブンベルト（１）を回
転駆動するようにしである。

ドリブンベルト（１）には攪拌用フィン（２）が取り付
けてあり、その取り付けはドリブンベルト（＋）の延長
の１／２ずつ逆位相に取り付けである。この逆位相とは
、攪拌用フィン（２）の取付方向について一方が他方と
は逆になっていることを言う。

攪拌用フィン（２）か作用している１ν、基板（１９）
をはさんで対称の位置にある攪拌用フィン（２）とは逆
位相に作用する様になっている。ドリブンベルト（１）
はドライブローラー（４）、ギアＡ（５）。

ギアＢ（ｌコ）、ギアＣ（１，４）、ギアＤ　（Ｉｓ）
を介して七−タ（■２）により駆動される。ギアＡ（５
）は、各ドリブンベルト（１）かそれぞれ相隣り合うト
リノンベルト（１）と正確に逆位相させるためにそれぞ
れか咬み合った状態で接続されている。また、ドライブ
ローラー（４）はドリブンベルト（１）が正確に作動す
るように歯型が付いており、トリノンベルト（１）のド
ライブローラー（４）と接触する所にもドライブローラ
ー（４）の歯型に咬み合う歯型が付いている。

また、ドリブンベルト（１）に形成しである逃げ穴（１
１）は、攪拌用フィン（２）により液流を円滑に行いう
るために設けである。

ドリブンベルト（１）は耐薬品性が高くかつ機械的強度
や耐久性の良好なフッ素ゴムなどが有用である。他の材
質については耐薬品性が良く安価な塩化ビニルか適当で
ある。

次に本装置の作用原理について第６図〜第８図を参照し
て説明する。

第６ｒ２１〜第８図において、左右のドリブンベルト（
１）が各図の矢印の様に作動している時、第６［２１１
においては液流の流れにより基板（１９）の左右に圧力
差ができ、スルーホール（２０）の液流が向かって右か
ら左へと流れる。さらに進んで第７図の如く、Ａ−Ａ’
　、Ｂ−Ｂ”が槽の中央付近で最接近した時、攪拌用フ
ィン（２）の半分が逆位相となり、逆位相となった所で
はスルーホール（２０）の液流が向かって左から右へと
変化する。Ａ−Ａ’、Ｂ−Ｂ’付近のスルーホール（２
０）内の液流は乱流しながら一定の方向へは流れない、
第８図では第６図に比べ全く逆位相に攪拌用フィン（２
）が作用し、当然のことながらスルーホール（２０）の
液流は第６図とは反対に向かって左から右へと流れる。

この一連の動作を反復することにより基板（１ｇ）のス
ルーホ・−ル（２０）に液流を循環させるものである。

第９１１；４は第１図のＢ方向から見た図であり、従来
法である第１Ｏ図と対比すると、特に基板（１ｇ）の下
部において、従来法では液流か少ないのに対し１本発明
によれば上部下部ともに均一に処理しうるものである。

実施例１ 本発明によるプリント配線基板（１９）用のめっき処理
装置を用いて、板厚３．２＋＊■、孔径０．４ｍ＋＊の
３５ｐｍ両面銅箔張ガラスエポキシ植層板を無電解銅め
っき前処理及び無電解銅めっきに適用した所、孔内に均
一・にめっきを析出させることができた。

実施例２ 実施例１て用いた本発明による装置により、実施例１で
用いたのと同様のガラスエポキシ積層板を無電解ニッケ
ルめっき前処理及び無電解ニッケルめっきに適用した所
、孔内に均一にめっきを析出させることができた。

（発明の効果） 以上、実施例において本発明の作用について説明したが
、その効果は以下に挙げるようなものである。

ａ、スルーホール（２０）内の液循環か円滑に行なわれ
るため、スルーホール（２０）内の処理が均一に行なえ
る。

ｂ、基板（１９）表面全体を均一に処理できる。

Ｃ０めっき液を処理槽（２１）内力−に攪拌しているの
で、処理槽（２Ｉ）内の浴濃度や浴温度か均一になり、
基板（１９）の処理むらは皆無となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るめっき処理装置の平面図、第２図
は第１図のへ方向より見た側面図、：ＪＳａ図は第１図
のＢ方向より見た側面図、第４図は第２図のａｇ！線部
Ｃの部分拡大図、：ｉ’、　５図は基板を装着したラッ
クが本装置に配置された時の側面図、第６図〜第８図の
それぞれは本装置の基本動作を示す平面図である。 また、第９図及び第１０図は本発明と従来法におけるス
ルーホール内でのめっき液の流れの差異を示すものであ
って、第９図が未発すＩの場合の断面図であり、第１Ｏ
図か従来法の場合の断面図である。 符　　　号　　　の　　　説　　　明 １−・・ドリブンベルト、２−［伴用フィン、３・・・
支持ローラー、４・・・ドライブローラー、５・・・ギ
アＡ、６・・・軸受は兼モータハウジング、７・・・ラ
ック営け、８・・・ドライブ＆支持ローラ軸受け、９・
・・処理槽の壁、ｉｏ・・・基板搬送用ラック、１１−
・・逃げ穴、１２−・・モータ、１３・・・ギアＢ、１
４−・・ギアＣ１５−・・ギアＤ、１６−・・キアＡ＆
Ｂ＆Ｃ軸受け。 １７−・・基板ｌヒめ（上）、１８・・・基板り一め（
下）。 １９−・・プリント配線基板、２０・・・スルーホール
、２１・・・処Ｊ！！！槽。 以　　　上 特許出願人　　イビデン株式会社 第３図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）．プリント配線基板をめっき処理槽内に浸漬して、
   このプリント配線基板にスルーホールめっき等のめっき
   処理を施すためのめっき処理装置において、 前記めっき処理槽内のめっき液を攪拌する多数の攪拌用
   フィンを表面側に有し、かつ回転駆動される複数のドリ
   ブンベルトを、その間に前記プリント配線基板が入り得
   る空間を隔てた状態で前記めっき処理槽内に配置すると
   ともに、 前記各ドリブンベルト間に配置した一つのプリント配線
   基板に対して前記各ドリブンベルトに設けた攪拌用フィ
   ンの攪拌方向が逆向きとなるように前記ドリブンベルト
   を回転駆動するようにしたことを特徴とするプリント配
   線基板用のめっき処理装置。 ２）．前記攪拌用フィンは、前記ドリブンベルトの半周
   期ごとにその作用する方向が逆になるものであることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプリント配線基
   板用のめっき処理装置。