JPH0448872Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0448872Y2
JPH0448872Y2 JP1988023100U JP2310088U JPH0448872Y2 JP H0448872 Y2 JPH0448872 Y2 JP H0448872Y2 JP 1988023100 U JP1988023100 U JP 1988023100U JP 2310088 U JP2310088 U JP 2310088U JP H0448872 Y2 JPH0448872 Y2 JP H0448872Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
container
workpiece
cleaning
injection
casing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1988023100U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63149288U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Publication of JPS63149288U publication Critical patent/JPS63149288U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0448872Y2 publication Critical patent/JPH0448872Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0085Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor
    • H05K3/0088Apparatus for treatments of printed circuits with liquids not provided for in groups H05K3/02 - H05K3/46; conveyors and holding means therefor for treatment of holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0055After-treatment, e.g. cleaning or desmearing of holes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0736Methods for applying liquids, e.g. spraying
    • H05K2203/0746Local treatment using a fluid jet, e.g. for removing or cleaning material; Providing mechanical pressure using a fluid jet
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S134/00Cleaning and liquid contact with solids
    • Y10S134/902Semiconductor wafer

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Absorbent Articles And Supports Therefor (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、ノズルから被加工部材へ溢流される
溶液を使用し、被加工部材、とくに印刷回路板を
洗浄または化学処理する装置に関する。
従来の技術 すでに、この種の装置は公知技術に属する(西
ドイツ国特許明細書第2606984号;西ドイツ国公
開特許明細書第3528575号)。公知の装置は1スリ
ツト形の噴出チヤンバを使用し、このことが、搬
送分量に対しそれぞれの処理工程でわずかな利用
分量を有するにすぎないという欠点を有し;その
結果不十分な処理効果を有する。
考案が解決しようとする課題 本考案の課題は、同時に処理すべき被加工部材
の物質交換が大きい場合でも処理行程での大きい
利用分量を有する装置をつくり出すことである。
課題を解決するための手段 本考案によればこの課題は、この装置がケーシ
ング容器とその下部に配置された給送容器とから
形成され、その場合ケーシング容器が仕切り壁に
より2つのチヤンバに分割され、これらチヤンバ
中に、2つの噴射スリツトから形成された上部ケ
ーシング壁に対しこれらチヤンバを制限する有孔
板が配置されていることにより解決される。
有利に本考案による装置は、被加工部材、とく
に印刷回路板の極めて強力な洗浄力を有し、かつ
大きい設置面積節減の特別な利点を有し、このこ
とが連続装置で使用した際に工業的に重要であ
る。
とくに本考案による装置は、水平方向に案内さ
れる印刷回路板の穿孔を洗浄しかつ化学処理する
ために適当であり、その場合それぞれの処理工程
での直接的利用分量が、搬送循環分量が低減した
際に増大される。さらに、このような装置の長さ
が低減される。
さらに本考案による装置は、常用の活性化−お
よびメツキ液の使用下にこれら穿孔を活性化しか
つメタライズするためにも適当である。
とくに有利なのは、0.15mmにまでの極めて小口
径の孔でさえ確実に状態調節、活性化および/ま
たはメタライズされうることである。
他の利点は、付着する水素気泡がないため、メ
タライズ、例えば化学銅メツキが極めて改善さ
れ、大ていの工程が加熱せずに実施されることが
でき、かつフレームのメツキ除去がなくなること
である。
有利にノズルは、スリツト形成、穿孔または対
称ないしは非対称に切欠された有孔板であればよ
い。
液状の洗浄剤として、例えば、水、酸、例えば
硫酸、または塩基が使用されることができる。活
性化のために、これに常用の、例えば貴金属溶液
をベースとする活性化液、例えばパラジウム溶液
が使用されることができる。
同じく、化学および場合により電解によるメツ
キのために、これに常用の浴液が使用されること
ができる。
実施例 以下に、本考案を図面実施例につき詳説する。
とくに本考案による装置は、エレクトロニクスに
使用される印刷回路用の回路板の処理に適当であ
る。
本考案による装置の作動法は例えば以下の通り
である: 処理液が、下部給送容器5から、ケーシング容
器3の底部に配置された孔を経てケーシングの内
部へ流れる。中央仕切り壁4および2つの有孔板
2の配置および構造により、媒体がその上に配置
されたスリツト6を流れ、かつその上に2つの均
等な正弦形の溢流波状断面が形成され、これら断
面が被加工部材、とくに回路板の穿孔を貫流さ
せ、かつベンチユリ効果により強力な物質交換が
得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本考案による装置の1実
施例の構造につきそれぞれその半分を断面図とし
て示す側面図および平面図、第3図は第1図の横
断面図、および第4図は本考案による装置を搬送
装置と組合せた状態を例示する側面図である。 1……上部溢流ノズルマスク、2……有孔板、
3……ケーシング容器、4……中央仕切り壁、5
……下部給送容器、6……噴射スリツト、7……
チヤンバ、8……調節装置、9……移動面の案内
線、10……搬送ローラ、11……圧迫ローラ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 ノズルから被加工部材へ溢流される溶液を使
    用し被加工部材を洗浄または化学処理する装置
    において、この装置がケーシング容器3とその
    下部に配置された給送容器5とから形成され、
    その場合ケーシング容器3が仕切り壁4により
    2つのチヤンバ7に分割され、これらチヤンバ
    中に、2つの噴射スリツト6から形成された上
    部ケーシング壁に対しこれらチヤンバを制限す
    る有孔板2が配置されていることを特徴とする
    被加工部材を洗浄または化学処理する装置。 2 これら噴射スリツト6が噴射角度をなして形
    成されている請求項1記載の装置。
JP1988023100U 1987-02-25 1988-02-25 Expired JPH0448872Y2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8703114U DE8703114U1 (de) 1987-02-25 1987-02-25 Einrichtung zur Reinigung oder chemischen Behandlung von Werkstücken

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63149288U JPS63149288U (ja) 1988-09-30
JPH0448872Y2 true JPH0448872Y2 (ja) 1992-11-17

Family

ID=6805344

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1988023100U Expired JPH0448872Y2 (ja) 1987-02-25 1988-02-25

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4846202A (ja)
EP (1) EP0280078B1 (ja)
JP (1) JPH0448872Y2 (ja)
AT (1) AT395721B (ja)
DE (2) DE8703114U1 (ja)
ES (1) ES2025710T3 (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3916693A1 (de) * 1989-05-23 1990-11-29 Schering Ag Anordnung zur behandlung und/oder reinigung von gut, insbesondere von mit bohrungen versehenen leiterplatten
US5095926A (en) * 1990-01-16 1992-03-17 Wegner Paul C Apparatus for washing storage batteries
US5195547A (en) * 1991-11-01 1993-03-23 Allegheny Plastics, Inc. Pressurized weir for a fumeless pickling or cleaning system
JPH05291228A (ja) * 1992-04-07 1993-11-05 Fujitsu Ltd ウェーハ洗浄装置及び洗浄方法
DE19530989C1 (de) * 1995-08-23 1997-03-13 Atotech Deutschland Gmbh Verfahren zum Filmstrippen
US6269823B1 (en) * 1998-05-04 2001-08-07 Eagle-Picher Industries, Inc. Can washing apparatus with plastic risers
EP0959153A3 (en) 1998-05-20 2000-09-13 Process Automation International Limited An electroplating machine
US6261425B1 (en) 1998-08-28 2001-07-17 Process Automation International, Ltd. Electroplating machine
US6539963B1 (en) * 1999-07-14 2003-04-01 Micron Technology, Inc. Pressurized liquid diffuser
JP4215900B2 (ja) * 1999-08-13 2009-01-28 アルプス電気株式会社 ウェット処理用ノズル装置およびウェット処理装置
DE10255884B4 (de) * 2002-11-29 2006-05-11 Atotech Deutschland Gmbh Düsenanordnung
DE102004002421A1 (de) * 2004-01-16 2005-08-18 Atotech Deutschland Gmbh Düsenanordnung
DE102004053337A1 (de) * 2004-11-04 2006-05-11 Steag Hama Tech Ag Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Substraten und Düseneinheit hierfür
DE102011004232B4 (de) * 2011-02-16 2024-04-18 Ecoclean Gmbh Düsenmodul und Reinigungsvorrichtung mit Düsenmodul

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2026027A (en) * 1934-06-27 1935-12-31 Ralph E Evans Gas burner
US2295522A (en) * 1940-09-12 1942-09-08 Linde Air Prod Co Blowpipe head
US2414874A (en) * 1942-09-17 1947-01-28 Union Carbide & Carbon Corp Welding
US3682185A (en) * 1970-03-10 1972-08-08 James J Murray Plated wire manufacturing cell
US3687145A (en) * 1970-06-26 1972-08-29 Inland Steel Co Quench system
US4227550A (en) * 1975-05-12 1980-10-14 Bowles Fluidics Corporation Liquid oscillator having control passages continuously communicating with ambient air
FR2335268A2 (fr) * 1974-01-04 1977-07-15 Fives Cail Babcock Dispositif de pulverisation notamment pour le refroidissement de produits coules en continu
US4076222A (en) * 1976-07-19 1978-02-28 Schaming Edward J Runout cooling method and apparatus for metal rolling mills
US4161285A (en) * 1977-12-22 1979-07-17 United Technologies Corporation Laser nozzle construction
DE2906648C3 (de) * 1979-02-21 1981-09-10 Alfred Kärcher GmbH & Co, 7057 Winnenden Spritzdüsenanordnung für Hochdruckreinigungsgeräte
US4367597A (en) * 1979-12-13 1983-01-11 Nippon Steel Corporation Gas-liquid cooling apparatus
GB2096490B (en) * 1981-04-13 1984-12-05 Davey Loewy Ltd Spraying apparatus
DE3528575A1 (de) * 1985-08-06 1987-02-19 Schering Ag Verfahren und einrichtung zur reinigung, aktivierung und/oder metallisierung von bohrloechern in horizontal gefuehrten leiterplatten

Also Published As

Publication number Publication date
EP0280078A3 (en) 1989-03-08
EP0280078B1 (de) 1991-09-04
ES2025710T3 (es) 1992-04-01
AT395721B (de) 1993-02-25
DE3864537D1 (de) 1991-10-10
DE8703114U1 (de) 1987-04-09
JPS63149288U (ja) 1988-09-30
ATA44088A (de) 1992-07-15
US4846202A (en) 1989-07-11
EP0280078A2 (de) 1988-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0448872Y2 (ja)
JPH0445996B2 (ja)
KR101641475B1 (ko) 판상 제품의 전해 처리를 위한 장치 및 방법
JPS5831883Y2 (ja) 透孔を有する薄板の無電解メツキ装置
US3871914A (en) Etchant rinse apparatus
US3905827A (en) Etchant rinse method
US5063950A (en) Apparatus and method for treating and/or cleaning of objects, particularly circuit boards
US5378307A (en) Fluid treatment apparatus
US5879738A (en) Method for fluid transport for the surface treatment of planar substrates
US4734296A (en) Electroless plating of through-holes using pressure differential
JPH0645733A (ja) 基板への流体供給装置及び基板処理方法
CA2229023A1 (en) Method and device for treating holes or recesses extending into workpieces with liquid treatment media
JPS6274089A (ja) プリント基板製造装置
JPH05209298A (ja) プリント配線板用電気めっき装置
JPS60198889A (ja) 回路板を処理する方法および装置
JP3079698B2 (ja) プリント配線板の表面処理装置
JPH10512101A (ja) 超微細孔を有したプレート形状の加工材料の処理のための方法と装置
JPH0572165U (ja) エッチング装置
JPH0356696A (ja) 湿式電解処理装置
CN217345862U (zh) 电路板用的沉浸式水刀处理设备
CN2377795Y (zh) 均压式电路板表面处理装置
JP2774617B2 (ja) 微細構造の金属部を有するセラミックス構造体の製造方法
EP0613049A1 (en) Apparatus for the processing of sheet material
CN116728517A (zh) 电路板用的沉浸式水刀处理设备
KR100349582B1 (ko) 피씨비단자부 금도금장치