JPH01159357A - 非晶質軟磁性材料を含む磁気ヘッド製造用磁界中熱処理炉 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、軟磁性非晶質材料を用いた磁気ヘッド製造に
おいて使用する磁界中熱処理炉に関するものである。

従来の技術 従来の量産用磁気へラドコア剛軟磁性非晶質材料として
は飽和磁束密度ＢＢが大きく、初透磁率の高いこと等の
磁気特性上の要求と、非晶質の結晶化温度Ｔｘ　　に対
する制約とから、軟磁性非晶質材料のキュリー温度Ｔｃ
　　およびＴｘ　　との間にＴｃ＜Ｔｘの関係のものを
選び、ＴｃまたはＴｃとＴｘの間の温度において、無磁
界中の熱処理を行うことが多かった。しかし、特に高密
度記録をねらいとした高品位ＶＴＲ等において、従来の
金属粉末テープ等の磁気記録媒体に十分に対応させるた
め磁気へラドコア剛軟磁性非晶質材料として、より高い
飽和磁束密度（ＢＳＺｌｏｏｏｏＧａｕｓｓ）が要求さ
れ、これが同時にＴｃ　の高温度化につながることから
、上記の関係に対してＴｃ）Ｔｘの関係になることが通
常となった。

このような関係にある非晶質材料においては、従来のよ
うに熱処理にＴａ以上へ昇温し、非晶質材料作製時の磁
気異方性を軽減することは、材料の結晶化のため不可能
である。このため、これにかかわってＴｘ以下の温度に
おいて、材料が強磁性状態のまま回転磁界中における熱
処理が必要であることが知られている。

発明が解決しようとする問題点 上記軟磁性非晶質材料を含む磁気ヘッド製造用の磁界中
熱処理としての問題点に以下の点がある。

通常、印加する外部直流磁界の方向、又は回転移動方向
が、第３図に示すような炉心軸２方向に垂直な面内（ｘ
ｙ面）であることに対して、（当然、軟磁性非晶質膜面
も！ｙ面内）、電気炉の加熱用ヒーター巻線１の方向は
、炉心管２にそって巻かれることが一般的である。この
ため、ヒーター線１に流れる比較的大きな電流（通常６
０〜ｅｏＨｚ）によって発生する交流磁界の大きさは、
例えばヒーター線１に流れる最大電流１００Ａ、（ＯＮ
、ＯＦＦ制御）、ヒーター線１が単位長さ当シ８０　ｔ
ｕｒｎ　、半径を４０瓢とし、全ヒーター巻線長（２方
向）を５０ｃｍとした場合についてその炉心管２の軸方
向に生ずる交流磁界を調べると、半径ａ、長さ！、年単
位さ当シの巻線数ｎのソレノイド状コイルに流れる電流
工による中心軸上の任意の点Ｐに生ずる磁界の強さＨは
。

Ｈ＝（Ｉ−ｎ／２）・（Ｃ２θ１−Ｃ２θ２）　である
ので炉心軸（２軸方向）上の中央点では、外部直流磁界
として、Ｈｅ　糎５０　（Ｏｓ　）の大きさとなシ、こ
れは、軟磁性材料に対して加わる磁界の太きさとしては
無視することのできない大きさでおるといえる。

しかも、この交流磁界方向は熱処理を行う際の外部印加
磁界（直流磁界）方向に対し、常に垂直方向（２方向）
にはたらき、その向きも、２軸方向上を振動するもので
あるため、このようなヒーター線による発生磁界の熱処
理をする非晶質軟磁性材料に対する減磁効果等の悪影響
があった。

この問題を解決するため本発明はヒーター線を流れる電
流によって発生する交流磁界を消去することを目的とす
るものである。

問題点を解決するための手段 上記の問題を解決するため、前記電気炉の炉心に対する
ヒーター巻線方法として、ヒーター線を流れる電流によ
って発生する交流磁界を消去するため直列に結合させた
複数の互いに逆向きの巻線によって構成させる電気炉を
用いるものである。

作　　　用 この構成により電気炉加熱用ヒーター巻線により発生す
る交流磁界の軟磁性非晶質膜への影響を極力消去するこ
とができ、有効な磁界中熱処理が可能となる。

実施例 本発明の実施例として、第１図に示すような構成とし単
位長さｍ当りの巻線数８０ｔｕｒｎ（片側巻線方向４０
ｔｕｒｎずつ）、巻線ヒーター長（２軸方向）６０ｍ＆
、最大電流値１００Ａの炉心中で、Ｇｏ　−Ｎｂ−Ｚｒ
　系非晶質膜４ｐｖａを４５０’Ｃ，２０分間の回転磁
界中熱処理後、そのまま、同温度において一軸方向への
固定磁界中熱処理を６分間行った膜についての磁化困難
軸方向への初透磁率（励磁界１ｍ０ｅ）の周波数特性を
示したものが第２図の曲線ａである。比較のため、これ
と同時蒸着を行った膜を従来の磁界中熱処理炉を用いて
、同温度、同時間の熱処理を同じ形式（回転後、固定磁
界とする）で行ったことによる同非晶質膜のやはり初透
磁率μｍの周波数特性を第２図の曲線すに併わせて示し
た。曲線ａで示された本発明のものは低周波域、高周波
域ともにより優れた特性を示した。

発明の効果 以上のように本発明によれば、高密度記録磁気ヘッド等
に用いられる高飽和磁束密度の軟磁性非晶質材料を用い
た磁気ヘッドの磁界中熱処理による作製において、通常
外部直流磁界に対して垂直に作用するζ−ター巻線等に
よる交流磁界の影響をなくし、有効な磁界中熱処理が可
能となり、その実用上の効果は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁界中熱処理炉の概
略断面図、第２図は本発明の電気炉と従来の電気炉の周
波数初透磁率特性図、第３図は従来の電気炉の概略断面
図である。 １・・・・・・”ニー１１．２・川・・炉心管。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　はが１名第２
ｒＩ！ｊ ｍ　３７Ｌ１１．（Ｍ）ｌｘ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）外部直流磁界源を回転移動するか、又は静止磁界
   に対して、熱処理物を回転移動させることによつて、直
   流の回転磁界中又は静磁界中の熱処理を行う磁界中熱処
   理用の電気炉において、前記電気炉のヒーター巻線がヒ
   ーター線電流によって、発生する交流磁界を互いに消去
   するように直列に結合した複数の逆向きの巻線によって
   構成されたことを特徴とする非晶質軟磁性材料を含む磁
   気ヘッド製造用磁界中熱処理炉。
2. （２）直列に結合した正逆両巻線のヒーター線対が複数
   対、並列、又は直列に構成されたことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項記載の非晶質軟磁性材料を含む磁気ヘ
   ッド製造用磁界中熱処理炉。