JPH01156542U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01156542U JPH01156542U JP5293088U JP5293088U JPH01156542U JP H01156542 U JPH01156542 U JP H01156542U JP 5293088 U JP5293088 U JP 5293088U JP 5293088 U JP5293088 U JP 5293088U JP H01156542 U JPH01156542 U JP H01156542U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- substrate
- high frequency
- processing apparatus
- processing gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１の縦断面図、第２図
ａは第１図のステージを示す平面図、ｂはステー
ジの縦断面図、第３図ａ，ｂは実施例２を示しバ
ツチ処理型のドライエツチング装置のステージを
示すもので、ａは平面図、ｂは第３図ａのＡ―Ａ
線断面図、第４図は従来の基板冷却方式のドライ
エツチング装置を示す縦断面図である。 １……真空チヤンバ、３……対向電極、４……
基板、５……高周波シールド部、６……ステージ
、１１……処理ガス吹出口。
ａは第１図のステージを示す平面図、ｂはステー
ジの縦断面図、第３図ａ，ｂは実施例２を示しバ
ツチ処理型のドライエツチング装置のステージを
示すもので、ａは平面図、ｂは第３図ａのＡ―Ａ
線断面図、第４図は従来の基板冷却方式のドライ
エツチング装置を示す縦断面図である。 １……真空チヤンバ、３……対向電極、４……
基板、５……高周波シールド部、６……ステージ
、１１……処理ガス吹出口。
Claims (1)
- 真空チヤンバ内に、基板を載置する冷却可能な
ステージと、該ステージに相対向する電極と、該
ステージあるいは相対向する電極の片側に高周波
電力を印加する高周波部とを有する真空処理装置
において、前記ステージの基板載置面に、冷却さ
れた処理ガスを基板に吹き付ける処理ガス吹出口
を設けたことを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5293088U JPH01156542U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5293088U JPH01156542U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156542U true JPH01156542U (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=31278925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5293088U Pending JPH01156542U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01156542U (ja) |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP5293088U patent/JPH01156542U/ja active Pending