JPH01143613A - シリコン微粉末を含む排水の処理装置 - Google Patents
シリコン微粉末を含む排水の処理装置Info
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- JPH01143613A JPH01143613A JP62301831A JP30183187A JPH01143613A JP H01143613 A JPH01143613 A JP H01143613A JP 62301831 A JP62301831 A JP 62301831A JP 30183187 A JP30183187 A JP 30183187A JP H01143613 A JPH01143613 A JP H01143613A
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 10
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Landscapes
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野］
本発明は半導体製造工程にて排出されるシリコン微粉末
を含む排水（以下、研削排水という）をスラッジ化処理
するシリコン微粉末を含む排水の処理装置に関する。
を含む排水（以下、研削排水という）をスラッジ化処理
するシリコン微粉末を含む排水の処理装置に関する。
［従来の技術］
従来、この種の研削排水は限外濾過膜を備えた排水処理
装置により数十倍に濃縮された後、凝集沈澱槽に装入さ
れる。そして、この凝集沈殿槽にて、濃縮排水に凝集剤
を添加することによりシリコン微粉末を凝集させている
。このように、従来、この研削排水の処理物は他の排水
処理物と一緒に処理するシステムとなっている。
装置により数十倍に濃縮された後、凝集沈澱槽に装入さ
れる。そして、この凝集沈殿槽にて、濃縮排水に凝集剤
を添加することによりシリコン微粉末を凝集させている
。このように、従来、この研削排水の処理物は他の排水
処理物と一緒に処理するシステムとなっている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上述した従来の研削排水処理装置におい
ては、濃縮排水を凝集沈澱させる方式を採用しているた
め、凝集沈澱時に研削排水中から発生ずる水素ガスによ
り沈澱物の浮上が促進されてしまい、沈澱の機能が消失
するという問題点かある。
ては、濃縮排水を凝集沈澱させる方式を採用しているた
め、凝集沈澱時に研削排水中から発生ずる水素ガスによ
り沈澱物の浮上が促進されてしまい、沈澱の機能が消失
するという問題点かある。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたちのであって、
研削排水を凝集沈澱させることなくスラッジ化すること
により、沈ｄ’４ ’ＭＩＪの浮上等による処理効率の
低下を防止したシリコン微粉末を含む排水の処理装置を
提供するとを目的とする。
研削排水を凝集沈澱させることなくスラッジ化すること
により、沈ｄ’４ ’ＭＩＪの浮上等による処理効率の
低下を防止したシリコン微粉末を含む排水の処理装置を
提供するとを目的とする。
［問題点を解決するための手段］
本発明に係るシリコン微粉末を含む排水の処理装置は、
シリコン微粉末を含む排水を限外濾過膜により濃縮する
濃縮手段と、この濃縮排水を濾布により脱水してスラッ
ジ化する脱水手段とを有することを特徴とする。
シリコン微粉末を含む排水を限外濾過膜により濃縮する
濃縮手段と、この濃縮排水を濾布により脱水してスラッ
ジ化する脱水手段とを有することを特徴とする。
［作用］
本発明においては、シリコン微扮末を含む排水を濃縮手
段の限外濾過膜により数十倍に濃縮した後、濾布を備え
た脱水手段により直接脱水する。
段の限外濾過膜により数十倍に濃縮した後、濾布を備え
た脱水手段により直接脱水する。
従って、従来のように、凝集沈澱中に沈澱物が浮上して
きてしまうという事態が回避され、処理効率が向上する
。
きてしまうという事態が回避され、処理効率が向上する
。
［実施例］
次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。
明する。
第１図は本発明の実施例に係る研削排水の処理装置にお
ける排水の流れを示す模式図である。
ける排水の流れを示す模式図である。
研削排水は処理原水流入管１を通流して限外濾過膜を備
えた研削排水濃縮装置２に導入される。
えた研削排水濃縮装置２に導入される。
この濃縮装置２において、研削排水は限外濾過膜により
数十倍に濃縮される。
数十倍に濃縮される。
この濃縮排水は、次いで、濾布を備えた脱水装置３に送
給される。そして、この脱水装置３により、濃縮排水は
直接脱水処理され、スラッジになって脱水装置３から搬
出される。
給される。そして、この脱水装置３により、濃縮排水は
直接脱水処理され、スラッジになって脱水装置３から搬
出される。
このようにして、研削排水の濃縮排水は脱水装置３によ
りスラッジ化された後、廃棄される。従って、凝集沈澱
物が水素ガスにより浮上してしまうということがない。
りスラッジ化された後、廃棄される。従って、凝集沈澱
物が水素ガスにより浮上してしまうということがない。
このため、本実施例は処理効率が極めて高い。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、研削排水を凝集沈
澱させることなく、濃縮後直接脱水処理するから、凝集
沈澱槽における沈澱物の浮上環という不都合が回避され
、処理効率が高い排水処理が可能になる。従って、本発
明は極めて実益が高い。
澱させることなく、濃縮後直接脱水処理するから、凝集
沈澱槽における沈澱物の浮上環という不都合が回避され
、処理効率が高い排水処理が可能になる。従って、本発
明は極めて実益が高い。
第１図は本発明の実施例に係る研削排水の処理装置を示
す模式図である。 ｌ；処理原水流入管、２；研削排水濃縮装置、３；脱水
装置
す模式図である。 ｌ；処理原水流入管、２；研削排水濃縮装置、３；脱水
装置
Claims (1)
- シリコン微粉末を含む排水を限外濾過膜により濃縮する
濃縮手段と、この濃縮排水を濾布により脱水してスラッ
ジ化する脱水手段とを有することを特徴とするシリコン
微粉末を含む排水の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301831A JP2793186B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | シリコン微粉末を含む排水の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301831A JP2793186B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | シリコン微粉末を含む排水の処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143613A true JPH01143613A (ja) | 1989-06-06 |
| JP2793186B2 JP2793186B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=17901682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62301831A Expired - Fee Related JP2793186B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | シリコン微粉末を含む排水の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2793186B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103755075A (zh) * | 2014-01-28 | 2014-04-30 | 鞍山宏源环能科技有限公司 | 一种处理碳化硅酸性废水的工艺方法 |
| CN104370391A (zh) * | 2014-11-20 | 2015-02-25 | 济南银丰硅制品有限责任公司 | 一种硅粉水解法生产硅溶胶废水的处理方法 |
| CN105668983A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-06-15 | 柳州市杰特建材有限责任公司 | 集浆法脱水系统及工艺 |
| CN105749614A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-07-13 | 柳州市杰特建材有限责任公司 | 双动力脱水系统及其控制方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5190752A (ja) * | 1975-02-07 | 1976-08-09 | ||
| JPS54158062A (en) * | 1978-06-03 | 1979-12-13 | Kenjirou Yanagase | Waste water disposal method |
| JPS5949898A (ja) * | 1982-09-14 | 1984-03-22 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 希薄硼酸塩水溶液の処理法 |
| JPS59189987A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-27 | Nec Corp | シリコンウエ−ハ−研摩排水の循環利用方法 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP62301831A patent/JP2793186B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN103755075B (zh) * | 2014-01-28 | 2015-03-25 | 鞍山宏源环能科技有限公司 | 一种处理碳化硅酸性废水的工艺方法 |
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| CN105749614A (zh) * | 2016-03-16 | 2016-07-13 | 柳州市杰特建材有限责任公司 | 双动力脱水系统及其控制方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2793186B2 (ja) | 1998-09-03 |
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