JP2793186B2 - シリコン微粉末を含む排水の処理装置 - Google Patents
シリコン微粉末を含む排水の処理装置Info
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Landscapes
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は半導体製造工程にて排出されるシリコン微粉
末を含む排水（以下、研削排水という）をスラッジ化処
理するシリコン微粉末を含む排水の処理装置に関する。 ［従来の技術］ 従来、この種の研削排水は限外濾過膜を備えた排水処
理装置により数十倍に濃縮された後、凝集沈澱槽に装入
される。そして、この凝集沈殿槽にて、濃縮排水に凝集
剤を添加することによりシリコン微粉末を凝集させてい
る。このように、従来、この研削排水の処理物は他の排
水処理物と一緒に処理するシステムとなっている。 ［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上述した従来の研削排水処理装置にお
いては、濃縮排水を凝集沈澱させる方式を採用している
ため、凝集沈澱時に研削排水中から発生する水素ガスに
より沈澱物の浮上が促進されてしまい、沈澱の機能が消
失するという問題点がある。 本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであっ
て、研削排水を凝集沈澱させることなくスラッジ化する
ことにより、沈澱物の浮上等による処理効率の低下を防
止したシリコン微粉末を含む排水の処理装置を提供する
とを目的とする。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明に係るシリコン微粉末を含む排水の処理装置
は、シリコン微粉末を含む排水を凝集剤の添加なしに限
外濾過膜により濃縮する濃縮手段と、この濃縮排水を濾
布により直接脱水してスラッジ化する脱水手段とを有す
ることを特徴とする。 ［作用］ 本発明においては、シリコン微粉末を含む排水を濃縮
手段の限外濾過膜により数十倍に濃縮した後、濾布を備
えた脱水手段により直接脱水する。 従って、従来のように、凝集沈澱中に沈澱物が浮上し
てきてしまうという事態が回避され、処理効率が向上す
る。 ［実施例］ 次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して
説明する。 第１図は本発明の実施例に係る研削排水の処理装置に
おける排水の流れを示す模式図である。 研削排水は処理原水流入管１を通流して限外濾過膜を
備えた研削排水濃縮装置２に導入される。この濃縮装置
２において、研削排水は限外濾過膜により数十倍の濃縮
される。 この濃縮排水は、次いで、濾布を備えた脱水装置３に
送給される。そして、この脱水装置３により、濃縮排水
は直接脱水処理され、スラッジになって脱水装置３から
搬出される。 このようにして、研削排水の濃縮排水は脱水装置３に
よりスラッジ化された後、廃棄される。従って、凝集沈
澱物が水素ガスにより浮上してしまうということがな
い。このため、本実施例は処理効率が極めて高い。 ［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、研削排水を凝集
沈澱させることなく、濃縮後直接脱水処理するから、凝
集沈澱槽における沈澱物の浮上等という不都合が回避さ
れ、処理効率が高い排水処理が可能になる。従って、本
発明は極めて実益が高い。
末を含む排水（以下、研削排水という）をスラッジ化処
理するシリコン微粉末を含む排水の処理装置に関する。 ［従来の技術］ 従来、この種の研削排水は限外濾過膜を備えた排水処
理装置により数十倍に濃縮された後、凝集沈澱槽に装入
される。そして、この凝集沈殿槽にて、濃縮排水に凝集
剤を添加することによりシリコン微粉末を凝集させてい
る。このように、従来、この研削排水の処理物は他の排
水処理物と一緒に処理するシステムとなっている。 ［発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上述した従来の研削排水処理装置にお
いては、濃縮排水を凝集沈澱させる方式を採用している
ため、凝集沈澱時に研削排水中から発生する水素ガスに
より沈澱物の浮上が促進されてしまい、沈澱の機能が消
失するという問題点がある。 本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであっ
て、研削排水を凝集沈澱させることなくスラッジ化する
ことにより、沈澱物の浮上等による処理効率の低下を防
止したシリコン微粉末を含む排水の処理装置を提供する
とを目的とする。 ［問題点を解決するための手段］ 本発明に係るシリコン微粉末を含む排水の処理装置
は、シリコン微粉末を含む排水を凝集剤の添加なしに限
外濾過膜により濃縮する濃縮手段と、この濃縮排水を濾
布により直接脱水してスラッジ化する脱水手段とを有す
ることを特徴とする。 ［作用］ 本発明においては、シリコン微粉末を含む排水を濃縮
手段の限外濾過膜により数十倍に濃縮した後、濾布を備
えた脱水手段により直接脱水する。 従って、従来のように、凝集沈澱中に沈澱物が浮上し
てきてしまうという事態が回避され、処理効率が向上す
る。 ［実施例］ 次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して
説明する。 第１図は本発明の実施例に係る研削排水の処理装置に
おける排水の流れを示す模式図である。 研削排水は処理原水流入管１を通流して限外濾過膜を
備えた研削排水濃縮装置２に導入される。この濃縮装置
２において、研削排水は限外濾過膜により数十倍の濃縮
される。 この濃縮排水は、次いで、濾布を備えた脱水装置３に
送給される。そして、この脱水装置３により、濃縮排水
は直接脱水処理され、スラッジになって脱水装置３から
搬出される。 このようにして、研削排水の濃縮排水は脱水装置３に
よりスラッジ化された後、廃棄される。従って、凝集沈
澱物が水素ガスにより浮上してしまうということがな
い。このため、本実施例は処理効率が極めて高い。 ［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、研削排水を凝集
沈澱させることなく、濃縮後直接脱水処理するから、凝
集沈澱槽における沈澱物の浮上等という不都合が回避さ
れ、処理効率が高い排水処理が可能になる。従って、本
発明は極めて実益が高い。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例に係る研削排水の処理装置を示
す模式図である。 1;処理原水流入管、2;研削排水濃縮装置、3;脱水装置
す模式図である。 1;処理原水流入管、2;研削排水濃縮装置、3;脱水装置
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．シリコン微粉末を含む排水を凝集剤の添加なしに限
外濾過膜により濃縮する濃縮手段と、この濃縮排水を濾
布により直接脱水してスラッジ化する脱水手段とを有す
ることを特徴とするシリコン微粉末を含む排水の処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301831A JP2793186B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | シリコン微粉末を含む排水の処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62301831A JP2793186B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | シリコン微粉末を含む排水の処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01143613A JPH01143613A (ja) | 1989-06-06 |
| JP2793186B2 true JP2793186B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=17901682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62301831A Expired - Fee Related JP2793186B2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 | シリコン微粉末を含む排水の処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2793186B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103755075B (zh) * | 2014-01-28 | 2015-03-25 | 鞍山宏源环能科技有限公司 | 一种处理碳化硅酸性废水的工艺方法 |
| CN104370391A (zh) * | 2014-11-20 | 2015-02-25 | 济南银丰硅制品有限责任公司 | 一种硅粉水解法生产硅溶胶废水的处理方法 |
| CN105749614B (zh) * | 2016-03-16 | 2019-01-04 | 柳州市杰特建材有限责任公司 | 双动力脱水系统及其控制方法 |
| CN105668983B (zh) * | 2016-03-16 | 2019-03-12 | 柳州市杰特建材有限责任公司 | 集浆法脱水系统及工艺 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5746399B2 (ja) * | 1975-02-07 | 1982-10-02 | ||
| JPS54158062A (en) * | 1978-06-03 | 1979-12-13 | Kenjirou Yanagase | Waste water disposal method |
| JPS5949898A (ja) * | 1982-09-14 | 1984-03-22 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 希薄硼酸塩水溶液の処理法 |
| JPS59189987A (ja) * | 1983-04-11 | 1984-10-27 | Nec Corp | シリコンウエ−ハ−研摩排水の循環利用方法 |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP62301831A patent/JP2793186B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01143613A (ja) | 1989-06-06 |
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Legal Events
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