JPH01140241A - 集積回路の試験装置 - Google Patents
集積回路の試験装置Info
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- JPH01140241A JPH01140241A JP62299114A JP29911487A JPH01140241A JP H01140241 A JPH01140241 A JP H01140241A JP 62299114 A JP62299114 A JP 62299114A JP 29911487 A JP29911487 A JP 29911487A JP H01140241 A JPH01140241 A JP H01140241A
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は集積回路の試験装置に関し、特に、読出専用メ
モリ(以下ROMと記す)と27ダム・アクセス・メモ
リ(以下RAMと記す)及びインタフェース回路を一チ
ップに内蔵した集積回路の試験装置に関する。
モリ(以下ROMと記す)と27ダム・アクセス・メモ
リ(以下RAMと記す)及びインタフェース回路を一チ
ップに内蔵した集積回路の試験装置に関する。
一般に、集積回路の製品検査工程では、高温での動作試
験や、高温雰囲気の中で長時間製品を動作させて製品に
熱及び電気ストレスを加え、初期故障を検出するバーン
・イン試験が行われている。
験や、高温雰囲気の中で長時間製品を動作させて製品に
熱及び電気ストレスを加え、初期故障を検出するバーン
・イン試験が行われている。
しかし、iイクロコンピュータのような複雑なランダム
・ゲートを有する製品は、単にt源嵐圧を印加しただけ
では回路の動作状態が固定してしまうので1回路の中に
電気ストレスのかからない部分がでる。
・ゲートを有する製品は、単にt源嵐圧を印加しただけ
では回路の動作状態が固定してしまうので1回路の中に
電気ストレスのかからない部分がでる。
この場合に、リセットしてクロック信号を印加すnは、
ROMに書かれているユーザ・プログラムを実行するが
、製造工程では、ユーザの周辺回路が接続されずそのプ
ログラムが動作すべき環境では彦いので、無限のループ
に入シ込んでストレスのかからない部分を無くすことは
できない。
ROMに書かれているユーザ・プログラムを実行するが
、製造工程では、ユーザの周辺回路が接続されずそのプ
ログラムが動作すべき環境では彦いので、無限のループ
に入シ込んでストレスのかからない部分を無くすことは
できない。
その対策として、従来から被試験マイクロコンピュータ
の回路全体を動作させるようなプログラムを予め作成し
、それを外部から被試験マイクロコンピュータに入力し
て実行させてバーン・イン試験をする装置(以下、ダイ
ナミックバーン・イン装置と記す)がある。
の回路全体を動作させるようなプログラムを予め作成し
、それを外部から被試験マイクロコンピュータに入力し
て実行させてバーン・イン試験をする装置(以下、ダイ
ナミックバーン・イン装置と記す)がある。
第5図は従来の集積回路の試験装置の一例のブロック図
である。
である。
集積回路の試験装置は、ROM、RAM及び直列インタ
フェース回路を有するn個のマイクロコンピュータQ、
I−Q1n を実装したm個の供試ボードB rc −
Bmcをヒータ2で加熱した恒温槽lに入れ、電源3と
パターンメモリ5eのパターンプログラム信号Spcを
入力するパターン信号発生回路4゜の出力するパターン
データ信号S、Dを10数本の配線束よシなるパターン
データMLsを介して、mXr1個の全被試験マイクロ
コンピュータ9口〜らに並列に供給し1いる。
フェース回路を有するn個のマイクロコンピュータQ、
I−Q1n を実装したm個の供試ボードB rc −
Bmcをヒータ2で加熱した恒温槽lに入れ、電源3と
パターンメモリ5eのパターンプログラム信号Spcを
入力するパターン信号発生回路4゜の出力するパターン
データ信号S、Dを10数本の配線束よシなるパターン
データMLsを介して、mXr1個の全被試験マイクロ
コンピュータ9口〜らに並列に供給し1いる。
バタンメモリ5゜に扛、被試験マイクロコンピュータQ
ll〜Q1.1の内部回路全体を動作させるプログラム
が記憶されておシ、バタン信号発生回路4cはこのバタ
ンメモリ5cからバタンプログラム信号S、cを受けて
、プログラムバタン信号SPDを発生サセ、全マイクロ
コンピュータQll〜Qo1rIを動作させる。
ll〜Q1.1の内部回路全体を動作させるプログラム
が記憶されておシ、バタン信号発生回路4cはこのバタ
ンメモリ5cからバタンプログラム信号S、cを受けて
、プログラムバタン信号SPDを発生サセ、全マイクロ
コンピュータQll〜Qo1rIを動作させる。
このようにして、高温のダイナミック試験又は製造工程
スクリーニング試験となる所定時間のダイナミック・バ
ーン・イン試験が行なわれていた。
スクリーニング試験となる所定時間のダイナミック・バ
ーン・イン試験が行なわれていた。
上述の集積回路の試験装置は、プログラムを実行させる
ためには全マイクロコンピュータに対してクロック信号
、リセット信号、例えば8ビツトのパターンデータ信号
及びその他の制御信号等を同時に並列供給を行うので、
配線本数の多いパターンデータ線や大容量のパターン信
号発生回路を要し、装置が複雑になるという問題がめり
た。
ためには全マイクロコンピュータに対してクロック信号
、リセット信号、例えば8ビツトのパターンデータ信号
及びその他の制御信号等を同時に並列供給を行うので、
配線本数の多いパターンデータ線や大容量のパターン信
号発生回路を要し、装置が複雑になるという問題がめり
た。
本発明の目的は、配線が簡単で容量の小袋いパターン信
号発生回路を有する集積回路の試験装置を提供すること
にある。
号発生回路を有する集積回路の試験装置を提供すること
にある。
第1の発明の集積回路の試験装置に、
囚 ROM、RAM及び直列インタフェース回路を有し
前記RAMの命令を読出して実行するn個の被試験マイ
クロコンピュータを実装し、かつ前記直列イン、li7
エース回路の受信端及び送信端がn個の被試験マイクロ
コンピュータについてカスケードに接続された供試ボー
ドのm個、 ■ 入力端にパターンプログラム信号を受け、出力端か
ら直列インタフェース信号を出力し、前記供試ボードの
第1の前記受信端と第nのに前記直列データ信号を供給
するパターン信号発生回路 を含んで構成されている。
前記RAMの命令を読出して実行するn個の被試験マイ
クロコンピュータを実装し、かつ前記直列イン、li7
エース回路の受信端及び送信端がn個の被試験マイクロ
コンピュータについてカスケードに接続された供試ボー
ドのm個、 ■ 入力端にパターンプログラム信号を受け、出力端か
ら直列インタフェース信号を出力し、前記供試ボードの
第1の前記受信端と第nのに前記直列データ信号を供給
するパターン信号発生回路 を含んで構成されている。
第2の発明の集積回路の試験装置は、
(A) ROM、RAM及び直列インタフェース回路
を有し前記RAMの命令tM出して実行するn個の被試
験マイクロコンビ二一部を実装し、かつ前記直列インタ
フェース回路の受信端及び送信端がn個の被試験マイク
ロコンピュータについてカスケードに接続された供試ボ
ードのm個、 ■ 入力端にパターンプログラム信号を受け。
を有し前記RAMの命令tM出して実行するn個の被試
験マイクロコンビ二一部を実装し、かつ前記直列インタ
フェース回路の受信端及び送信端がn個の被試験マイク
ロコンピュータについてカスケードに接続された供試ボ
ードのm個、 ■ 入力端にパターンプログラム信号を受け。
出力端から直列データ信号を前記m個の供試ボードのそ
れぞれMlの前記受信端に並列に供試するパターン信号
発生回路、 を含んで構成されている。
れぞれMlの前記受信端に並列に供試するパターン信号
発生回路、 を含んで構成されている。
第3の発明の集積回路の試験装置は、ROM。
RAM及び直列インタフェース回路とを有し前記RAM
に記憶されたデータを命令として実行可能なマイクロコ
ンピュータの前記直列インタフェース回路に受信した直
列データ信号を前記RAMに転送し所定のバイト数を受
信した後実行する手段を有する複数の被試験マイクロコ
ンビ為−夕を試験する集積回路の試験装置において、前
記被試験マイクロコンビ晶−夕に実行させる試験プログ
ラムを記憶する手段と前記試験プログラムの命令コード
を前記被試験マイクロコンビ1−夕に直夕1j転送して
前記試験プログラムをセルフ実行させる手段とを含んで
構成されている。
に記憶されたデータを命令として実行可能なマイクロコ
ンピュータの前記直列インタフェース回路に受信した直
列データ信号を前記RAMに転送し所定のバイト数を受
信した後実行する手段を有する複数の被試験マイクロコ
ンビ為−夕を試験する集積回路の試験装置において、前
記被試験マイクロコンビ晶−夕に実行させる試験プログ
ラムを記憶する手段と前記試験プログラムの命令コード
を前記被試験マイクロコンビ1−夕に直夕1j転送して
前記試験プログラムをセルフ実行させる手段とを含んで
構成されている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図及び第2図は第1の発明の一実施例のブロック図
及びマイクロ;ンビ為−夕のブロック図である。
及びマイクロ;ンビ為−夕のブロック図である。
集積回路の試験装置は、ROM12.13及びRAM1
4及び直列インタフェース回路15を有しプログラムR
OM13を読出して実行するn個の被試験マイクロコン
ビ晶−夕Qu〜Qtnを実装し、かつ直列インタフェー
ス回路15の受信端TAB及び送信端T8Tがn個につ
いてカスケード接続されている供試ボードB、及び同様
に構成され7各供試ボード内の最初の受信端と最後の送
信蝋もカスケード接続された供試ボードB鵞〜Bmと、
入力端にパターンプログラム信号S、を受け、出力端か
ら直列データ信号SSDを出力し直列データ信号線fi
sn;+を介して第1の供試ボードB+の第1の被試験
マイクロコンピュータ9口の受信端Tsuに供給するパ
ターン信号発生回路4を有している。
4及び直列インタフェース回路15を有しプログラムR
OM13を読出して実行するn個の被試験マイクロコン
ビ晶−夕Qu〜Qtnを実装し、かつ直列インタフェー
ス回路15の受信端TAB及び送信端T8Tがn個につ
いてカスケード接続されている供試ボードB、及び同様
に構成され7各供試ボード内の最初の受信端と最後の送
信蝋もカスケード接続された供試ボードB鵞〜Bmと、
入力端にパターンプログラム信号S、を受け、出力端か
ら直列データ信号SSDを出力し直列データ信号線fi
sn;+を介して第1の供試ボードB+の第1の被試験
マイクロコンピュータ9口の受信端Tsuに供給するパ
ターン信号発生回路4を有している。
なお、最後のマイクロコンピュータQmnのブートスト
ラップ終了端子’rngからプートストラップ終了IB
Eを介してパターン信号発生回り接続している。
ラップ終了端子’rngからプートストラップ終了IB
Eを介してパターン信号発生回り接続している。
第2図に示すように、被試験マイクロコンピュータQu
は、CPUIIとユーザプログラムを記憶したプログラ
ムROM13と、受信バッファ及び送信バッファを有す
る直列インタフェース回路15を介して動作するプログ
ラムを記憶したプートストラップROM12とRAM1
4を含んで構成されている。
は、CPUIIとユーザプログラムを記憶したプログラ
ムROM13と、受信バッファ及び送信バッファを有す
る直列インタフェース回路15を介して動作するプログ
ラムを記憶したプートストラップROM12とRAM1
4を含んで構成されている。
通常はプログラムROM13が選択されているが、ブー
トストラップROM選択信号sunが入力されたときだ
けインバータIによりフ゛−トストラップROM12が
選択される。
トストラップROM選択信号sunが入力されたときだ
けインバータIによりフ゛−トストラップROM12が
選択される。
各端子TBR・TRr Tc・TIE、TSR及びTS
Tは、それぞれ第1図の各配線J!BR# b a I
C# IBE # 118 II # 及び11nと
接続している。
Tは、それぞれ第1図の各配線J!BR# b a I
C# IBE # 118 II # 及び11nと
接続している。
次に、第1図及び第2図のブロック図の動作を説明する
。
。
まず、恒温槽1内はヒータ2で100℃に加熱する。
次に、電源4から電源線ID及び接地線を通して、バー
ン・インされる被試験マイクロコンピュータQII−Q
Irrnに電源電圧を供給する。
ン・インされる被試験マイクロコンピュータQII−Q
Irrnに電源電圧を供給する。
バタン信号発生回路4はクロック信号線ICを通してク
ロック信号&を、プートストラップROM選択信号線f
f1BRを通してプートストラップROM選択信号SB
Bをそれぞれ全マイクロコンピュータQll %のプー
トストラップROM選択信号端Taに並列に伝達する。
ロック信号&を、プートストラップROM選択信号線f
f1BRを通してプートストラップROM選択信号SB
Bをそれぞれ全マイクロコンピュータQll %のプー
トストラップROM選択信号端Taに並列に伝達する。
リセット信号!i inを通してリセット信号SRを全
マイクロコンピュータQss〜Qmnに供給すると、プ
ートストラップROM12が選択されているのでリセッ
ト解除後CPUIIはプートストラップROM12に書
れているプログラムを実行する。
マイクロコンピュータQss〜Qmnに供給すると、プ
ートストラップROM12が選択されているのでリセッ
ト解除後CPUIIはプートストラップROM12に書
れているプログラムを実行する。
バタン信号発生回路4昧リセツト信号Snを発生後、バ
タンメモリ5に記憶されているパターンプログラム信号
SPを読出し、1ビツト毎に直列に直列データ信号線I
L8Dに直列データSBDを出力する。
タンメモリ5に記憶されているパターンプログラム信号
SPを読出し、1ビツト毎に直列に直列データ信号線I
L8Dに直列データSBDを出力する。
被試験マイクロコンピユー29口の直列インタガフエー
ス回路15の受信端TSRFi直列データ信号5sl)
を受信する。
ス回路15の受信端TSRFi直列データ信号5sl)
を受信する。
CPUIIはプートストラップROM13のプログ2ム
によって読出信号S聾を出力して、受信直列データSs
nを直列インタ−7エtス回路15の受信バッファから
読出し、アドレス信号線ム及びデータ信号線ムを使って
RAM14に誓込むとともに、書込信号Swを出力して
直列インクガフエイス回路15の送信バッファに1=込
む。
によって読出信号S聾を出力して、受信直列データSs
nを直列インタ−7エtス回路15の受信バッファから
読出し、アドレス信号線ム及びデータ信号線ムを使って
RAM14に誓込むとともに、書込信号Swを出力して
直列インクガフエイス回路15の送信バッファに1=込
む。
直列インク命フェース回路15は、送信バッファの直列
送信データSsTを送信端T’s’rからカスケード接
続されている次段の被試販マイクロコンピュータQI2
の直列インタフェース回路15の受信端TSKに供給す
る。
送信データSsTを送信端T’s’rからカスケード接
続されている次段の被試販マイクロコンピュータQI2
の直列インタフェース回路15の受信端TSKに供給す
る。
同様にして以下順次第nの被試験マイクロコンピュータ
Q1[1の送信端TSTまで直列送信データ88丁が伝
えられる。
Q1[1の送信端TSTまで直列送信データ88丁が伝
えられる。
バタン信号発生回′Rr4から続いて送られる次の直列
データ信号SADも同様に処理される。
データ信号SADも同様に処理される。
最後の直列データ信号SSDの受信が終了するとCPU
IIはプートストラップ終了信号SBKを発生し、RA
M14の先頭アドレスにジャンプしてRAM14に畳か
詐たプログラムを実行始め、第1のマイクロコンピュー
タQI+の全内部回路が動作し始める。
IIはプートストラップ終了信号SBKを発生し、RA
M14の先頭アドレスにジャンプしてRAM14に畳か
詐たプログラムを実行始め、第1のマイクロコンピュー
タQI+の全内部回路が動作し始める。
各マイクロコンピュータQ11〜Q工はカスケード接続
されているので、順々にプートストラップPr了信号S
agがそれぞれのマイクロコンピュータから発せらn4
最後に第mxnのマイクロコンピュータQm%−)スト
ラップ終了信号SBEが発せられるとプートストラップ
終了信号線flBgを通してバタン信号発生回M4は、
プログラムの命令がバーン・イン試験される被試験全製
品に伝達されたことを知る。
されているので、順々にプートストラップPr了信号S
agがそれぞれのマイクロコンピュータから発せらn4
最後に第mxnのマイクロコンピュータQm%−)スト
ラップ終了信号SBEが発せられるとプートストラップ
終了信号線flBgを通してバタン信号発生回M4は、
プログラムの命令がバーン・イン試験される被試験全製
品に伝達されたことを知る。
以上のようにしてプログラム命令をmxn個のマイクロ
コンピュータQs+〜Qmnに伝達し、回路全体を動作
させ、ダイナミックバーン・イン試験〜Bmと接続する
線の数は従来の十数本から5本に減少できた。
コンピュータQs+〜Qmnに伝達し、回路全体を動作
させ、ダイナミックバーン・イン試験〜Bmと接続する
線の数は従来の十数本から5本に減少できた。
なお、プートストラップ終了信号SBEがバタン信号発
生回路4に伝達されないときには、エラー信号を発生し
て異常を知らせることも出来る。
生回路4に伝達されないときには、エラー信号を発生し
て異常を知らせることも出来る。
この集積回路の試験装置は、高温安定後に直ぐマイクロ
コンピュータの動作良否を検出すれば、−LSIテスタ
となり、例えば1時間以上の高温動作後に動作良否を検
出すれば、ダイナミック・バーン・イン試験装置として
使用出来る。
コンピュータの動作良否を検出すれば、−LSIテスタ
となり、例えば1時間以上の高温動作後に動作良否を検
出すれば、ダイナミック・バーン・イン試験装置として
使用出来る。
第3図はW12の発明の一実施例のブロック図である。
集積回路の試験装置は、パターン信号発生回路4の出力
端と接続された直列データ信号線ρ■がm個の供試ボー
ドB tl ”” BfnIの6第1の受信端T8Rに
すべて並列に接続され、6第nの送信端子TsTは開放
している点が異る以外は第1図の第1の発明の実施例と
同様である。
端と接続された直列データ信号線ρ■がm個の供試ボー
ドB tl ”” BfnIの6第1の受信端T8Rに
すべて並列に接続され、6第nの送信端子TsTは開放
している点が異る以外は第1図の第1の発明の実施例と
同様である。
ここで、全マイクロコンピュータの直列インタフェース
回路15受及び送信端のカスケード接続は、それぞれの
供試ボードB1〜Bmの中だけである。
回路15受及び送信端のカスケード接続は、それぞれの
供試ボードB1〜Bmの中だけである。
本発明は第1のnXm個のプートストラップ回路のうち
に不良が発生しても、それが実装された供試ボード内だ
けの影響で済むという利点がちる。
に不良が発生しても、それが実装された供試ボード内だ
けの影響で済むという利点がちる。
第4図は第3の発明の一実施例のブロック図である。
集積回路の試験装置は、全被試験マイクロコンピュータ
QCs〜Qmflの全ての送信端T8Hに直列データ線
fispが接続さ扛ている点が異る以外は第3凶の第2
の発明のブロック1と同一である。
QCs〜Qmflの全ての送信端T8Hに直列データ線
fispが接続さ扛ている点が異る以外は第3凶の第2
の発明のブロック1と同一である。
従って、直列データ信号SBDは全てのマイクロコンピ
ュータQl ” Qmnの直列インタフェース回船15
の受信端’I’saに同時に供給さ匹る。
ュータQl ” Qmnの直列インタフェース回船15
の受信端’I’saに同時に供給さ匹る。
次に第2図及び第4図を参照してブロック図の動作を説
明する。
明する。
恒温槽1内盆ヒータ2によっで高温(たとえば100℃
)に設定する。
)に設定する。
電源3は電源線ID及び接地線を通して被試験マイクロ
コンピュータQ、ρ−Q、nnに電蝕電圧を供給する。
コンピュータQ、ρ−Q、nnに電蝕電圧を供給する。
バタン信号発生回船4はクロック信号線i。を通じてク
ロック信号Sc km ブートストラップ’ROM選択
信号線fiau’i−通してプートストラップROM選
択信+jSBRをそれぞれ全マ1クロコンビエータQ+
t〜Qtm、のプートストラップROM選択イ6号端T
BRに同時に伝達する。
ロック信号Sc km ブートストラップ’ROM選択
信号線fiau’i−通してプートストラップROM選
択信+jSBRをそれぞれ全マ1クロコンビエータQ+
t〜Qtm、のプートストラップROM選択イ6号端T
BRに同時に伝達する。
バタン信号発生回路4がリセット信号線ムを通じてリセ
ット信号SRを発生すると各マイクロコンピュータQ■
〜qヨはプートストラップROM選択信号線IBRがハ
イレベルなのでプートストラップROM12を選択し、
リセット解除後CPUIIはプートストラップROM1
2に格納されているプログラムを実行する。
ット信号SRを発生すると各マイクロコンピュータQ■
〜qヨはプートストラップROM選択信号線IBRがハ
イレベルなのでプートストラップROM12を選択し、
リセット解除後CPUIIはプートストラップROM1
2に格納されているプログラムを実行する。
バタン信号発生回路4はリセット信号5Rt−発生後バ
タンメモリ5に記憶されているパターンプログラムSp
t読出し、1ビツトずつ直列に直列データ信号線psn
に出力する。
タンメモリ5に記憶されているパターンプログラムSp
t読出し、1ビツトずつ直列に直列データ信号線psn
に出力する。
各マイクロコンピュータQ11〜Qr11nは直列イン
タフェース回路15を用いて同時に直列データ信号線1
snの直列データ信号SSOを受信する。
タフェース回路15を用いて同時に直列データ信号線1
snの直列データ信号SSOを受信する。
CPUIIはプートストラップROM12に格納されて
いるプログラムによって以下に示す処理を行なう。
いるプログラムによって以下に示す処理を行なう。
l 直列インタフェース回路15内の受信バッファに直
列データ信号SSDが受信端TRDから受信し受信バッ
ファに読込まれると、CPUIIは受信バッファ続出し
信号SRをハイレベルとする。
列データ信号SSDが受信端TRDから受信し受信バッ
ファに読込まれると、CPUIIは受信バッファ続出し
信号SRをハイレベルとする。
2 CPUIIは直列データ信号線1sn k介して
受信バッファの値を読込み、その値f RAM14の先
頭アドレスに書込む。
受信バッファの値を読込み、その値f RAM14の先
頭アドレスに書込む。
3 前述の処理k)VA久RAM14への書込みアドレ
スを更新しながら所定のバイト数の受信が終了するまで
行なう。
スを更新しながら所定のバイト数の受信が終了するまで
行なう。
4 RAM14先頭アドレスに分岐し、 R)hM1
4に書込まnたプログラムを実行する。
4に書込まnたプログラムを実行する。
以上のように、試験中に実行するプログラムをバタン信
号発生口M4より読込み、全被試験マイクロコンピュー
タQ■〜Qmnの回錯全体を動作させ、ダイナミック試
験を簡単な配線構成で経済的に行える。
号発生口M4より読込み、全被試験マイクロコンピュー
タQ■〜Qmnの回錯全体を動作させ、ダイナミック試
験を簡単な配線構成で経済的に行える。
この場合は、各被試験マイクロコンピュータが独立に動
作するので、試験中に不良のマイクロコンピュータが発
生しても他に影響を与えない。
作するので、試験中に不良のマイクロコンピュータが発
生しても他に影響を与えない。
なお本発明の直列インタフェース回路を利用してプログ
ラムを被試験マイクロコンピュータに入力するアクセス
時間は、恒温槽の温度設定立上げ時間内に終了するので
、試験時間の増加はない。
ラムを被試験マイクロコンピュータに入力するアクセス
時間は、恒温槽の温度設定立上げ時間内に終了するので
、試験時間の増加はない。
以上説明したように本発明は、被試験マイクロコンピュ
ータに内蔵されている直列インク7工−ス回路の全受信
端に直列データ信号を供給して全回路が動作するプログ
ラムを実行させることKよシ、バタン信号発生回路が簡
単で、パターン信号線の本数の少い集積回路の試験回踏
が得らnるという効果がある。
ータに内蔵されている直列インク7工−ス回路の全受信
端に直列データ信号を供給して全回路が動作するプログ
ラムを実行させることKよシ、バタン信号発生回路が簡
単で、パターン信号線の本数の少い集積回路の試験回踏
が得らnるという効果がある。
第1図及び第2図は第1の発明の一実施例のブロック図
及びマイクロコンピュータのブロック図、第3図は第2
の発明の一実施例のブロック図、第4図は第3の発明の
一実施例のブロック図、第5図は従来の集積回路の試験
装置の一例のブロック図である。 4・・・・・・パターン信号発生同時、15・・・・・
・直列インタフエース回路、Bm・曲・第nの供試ボー
ド、Qmn・・・・・・第nの供試ボードの第nめマイ
クロコンピュータssP・・・・・・パターンプログラ
ム信号、SSD・・・・・・・直列データ信号、TsQ
・・曲受信端、Tsτ・・・・・・送信端。 代理人 弁理士 内 原 音 劣3図 茶、f図
及びマイクロコンピュータのブロック図、第3図は第2
の発明の一実施例のブロック図、第4図は第3の発明の
一実施例のブロック図、第5図は従来の集積回路の試験
装置の一例のブロック図である。 4・・・・・・パターン信号発生同時、15・・・・・
・直列インタフエース回路、Bm・曲・第nの供試ボー
ド、Qmn・・・・・・第nの供試ボードの第nめマイ
クロコンピュータssP・・・・・・パターンプログラ
ム信号、SSD・・・・・・・直列データ信号、TsQ
・・曲受信端、Tsτ・・・・・・送信端。 代理人 弁理士 内 原 音 劣3図 茶、f図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 (A)ROM、RAM及び直列インタフェース回路を有
し前記RAMの命令を読出して実行するn個の被試験マ
イクロコンピュータを実装し、かつ前記直列インタフェ
ース回路の受信端及び送信端がn個の被試験マイクロコ
ンピュータについてカスケードに接続された供試ボード
のm個、 (B)入力端にパターンプログラム信号を受け、出力端
から直列インタフェース信号を出力し、前記供試ボード
の第1の前記受信端と第nの前記送信端とを前記m個の
供試ボードについて直列に接続された回路の第1の前記
供試ボードに前記直列データ信号を供給するパターン信
号発生回路、 を含むことを特徴とする集積回路の試験装置。 2 (A)ROM、RAM及び直列インタフェース回路を有
し前記RAMの命令を読出して実行するn個の被試験マ
イクロコンピュータを実装し、かつ前記直列インタフェ
ース回路の受信端及び送信端がn個の被試験マイクロコ
ンピュータについてカスケードに接続された供試ボード
のm個、 (B)入力端にパターンプログラム信号を受け、出力端
から直列データ信号を前記m個の供試ボードのそれぞれ
第1の前記受信端に並列に供試するパターン信号発生回
路、 を含むことを特徴とする集積回路の試験装置。 3 ROM、RAM及び直列インタフェース回路とを有し前
記RAMに記憶されたデータを命令として実行可能なマ
イクロコンピュータの前記直列インタフェース回路に受
信した直列データ信号を前記RAMに転送し所定のバイ
ト数を受信した後実行する手段を有する複数の被試験マ
イクロコンピュータを試験する集積回路の試験装置にお
いて、前記被試験マイクロコンピュータに実行させる試
験プログラムを記憶する手段と前記試験プログラムの命
令コードを前記被試験マイクロコンピュータに直列転送
して前記試験プログラムをセルフ実行させる手段とを含
むことを特徴とする集積回路の試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62299114A JPH01140241A (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | 集積回路の試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62299114A JPH01140241A (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | 集積回路の試験装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01140241A true JPH01140241A (ja) | 1989-06-01 |
Family
ID=17868304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62299114A Pending JPH01140241A (ja) | 1987-11-26 | 1987-11-26 | 集積回路の試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01140241A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0390983A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Icカードのテスト装置およびテストボード |
JPH0390985A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Icカードのテスト装置 |
JP2002369625A (ja) * | 2001-08-09 | 2002-12-24 | Yoshinobu Ito | 植木鉢 |
JP2015169524A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、キャリブレーションデバイス、キャリブレーション方法、および試験方法 |
-
1987
- 1987-11-26 JP JP62299114A patent/JPH01140241A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0390983A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Icカードのテスト装置およびテストボード |
JPH0390985A (ja) * | 1989-09-01 | 1991-04-16 | Dainippon Printing Co Ltd | Icカードのテスト装置 |
JP2002369625A (ja) * | 2001-08-09 | 2002-12-24 | Yoshinobu Ito | 植木鉢 |
JP2015169524A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | 株式会社アドバンテスト | 試験装置、キャリブレーションデバイス、キャリブレーション方法、および試験方法 |
US9791512B2 (en) | 2014-03-06 | 2017-10-17 | Advantest Corporation | Test apparatus, test method, calibration device, and calibration method |
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