JPH01137061U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01137061U JPH01137061U JP3417688U JP3417688U JPH01137061U JP H01137061 U JPH01137061 U JP H01137061U JP 3417688 U JP3417688 U JP 3417688U JP 3417688 U JP3417688 U JP 3417688U JP H01137061 U JPH01137061 U JP H01137061U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- high potential
- multiple stages
- exhaust pipe
- acceleration
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 6
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は、実施例に係るイオン注入装置の要部
を示す概略図である。第２図は、第１図の装置に
おける加速モード時の電位分布図である。第３図
は、第１図の装置における減速モード時の電位分
布図である。第４図は、従来のイオン注入装置の
要部を示す概略図である。第５図は、第４図の装
置における加速モード時の電位分布図である。第
６図は、第４図の装置における減速モード時の電
位分布図である。 ２……高電位部、４……イオン源、６……イオ
ンビーム、１２……加速管、１６，２４……分圧
抵抗器、２０……絶縁排気管、２８……引出し電
源、３０……加速電源、４２，４４……ダイオー
ド。
を示す概略図である。第２図は、第１図の装置に
おける加速モード時の電位分布図である。第３図
は、第１図の装置における減速モード時の電位分
布図である。第４図は、従来のイオン注入装置の
要部を示す概略図である。第５図は、第４図の装
置における加速モード時の電位分布図である。第
６図は、第４図の装置における減速モード時の電
位分布図である。 ２……高電位部、４……イオン源、６……イオ
ンビーム、１２……加速管、１６，２４……分圧
抵抗器、２０……絶縁排気管、２８……引出し電
源、３０……加速電源、４２，４４……ダイオー
ド。
Claims (1)
- 高電位部に搭載されたイオン源と、高電位部と
大地電位部間に設けられていてイオン源からのイ
オンビームを加減速する加速管であつて多段配置
された電極を有しかつ各電極間に分圧抵抗器がそ
れぞれ接続されたものと、高電位部内にあるビー
ムラインを大地電位部から真空排気する真空排気
管に直列に挿入された絶縁排気管であつて多段配
置された電極を有しかつ各電極間に分圧抵抗器が
それぞれ接続されたものと、正側がイオン源に負
側が高電位部にそれぞれ接続された引出し電源と
、負側が大地電位部に接続され正側がスイツチを
介して高電位部とイオン源とに切り替えて接続さ
れる加速電源とを備え、このスイツチの切替えに
よつて加速管におけるイオンビームの加減速モー
ドを切り替えられるようにしたイオン注入装置に
おいて、前記加速管に接続された複数段の分圧抵
抗器および前記絶縁排気管に接続された複数段の
分圧抵抗器のそれぞれ１段以上に、ダイオードを
そのアノードを高電位部側に向けてそれぞれ直列
に挿入したことを特徴とするイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3417688U JPH01137061U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3417688U JPH01137061U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01137061U true JPH01137061U (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=31260895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3417688U Pending JPH01137061U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01137061U (ja) |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3417688U patent/JPH01137061U/ja active Pending